TW531677B - Method for making a liquid crystal display panel and a rinsing device therefor - Google Patents

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Description

531677 __案號87119057 7 /年夕月日_修正 _ ，五、發明說明（1) 二[發明所屬技術領域] - 本發明有關用於液晶顯示裝置或液晶快門（shutter) 等之液晶顯示板之製造方法以及用於液晶顯示板的製造之 洗淨裝置者。 [以往之技術] 以往的液晶顯示板，係於玻璃基板表面形成電極等之 後，施行配向膜的成型•硬化，接著使用尼龍（nyl〇n)或 嫘縈（ray on)等的布施行摩擦配向膜表面之摩擦處理以賦 配向後’為去除因摩擦處理而附著於基板表面之異物， 而施行純水或異丙醇等之潤濕洗淨，施行去水、乾燥之濕 式洗淨或施行以氮氣或乾燥空氣等沖吹（b丨〇 w )之乾式洗 淨’然後藉由使此等兩張基板相對向並於其中間封入液晶 以構成。 - 再者’於日本專利特開平6-23 5893號公報揭示有以摩 擦處理後的洗淨方法而言，於施行濕式洗淨之前，於蒸氣 槽中保持經摩擦處理後之基板以防止洗淨不均的發生之方 法。 泰發明擬解決之課題] 淨方^以往的液晶顯不板的製造過程中的摩擦處理後之洗 污听1处乾式洗淨方法有摩擦時附著於基板表面的異物或 ο氷禾能充分去哈 > 时 初、、Φ > 示之問題，於濕式洗淨方法則水或淨劑最 發士獅A、 因其壓力有強弱之故，有於基板表面 <4 I + 之問題。再者，將基板上的異物用水 4洗淨劑沖洗時，有 3在暴板未完全濕潤之前因異物摩擦配
第4頁 531677 87119057 9/ ^_£p _—案电 五、發明說明（2) 向膜表面而發生配向混亂或污點之問題。 再^ :於日本特開平6〜235893號公報所揭示之方 必須於条氣槽内保接美扼之妨 / ’ 之單片處理過程‘問；。有不適用於做連續性處理 一錄ί ί ? f'為解決如上述問題點而做者，其目的為提供 ;= ; =造過程中的摩擦處理後之洗淨過程 π韵式、-赴異物或污染之同時，防止配向 :3 ”的發生以製造顯示品位較高的液晶顯示板之方 法。 . 々 、。再者，本發明之目的為提供一種於摩擦處理後的洗 過耘中，能去除基板表面的異物或污染之同時，能防止 向的混亂或污點發生之洗淨裝置。 [解決問題之手段] 有關本發明之液晶顯示板之製造方法，係使形成有電 極及配向膜之兩張基板相對向並粘接之同時，於上述兩張 基板間夾持液晶而成者，該方法包含··於摩擦處理配向獏 後在基板表面整體形成不流動的水膜之過程；及將經形成 不流動的水膜之基板藉由超音波或高壓喷霧施行潤濕洗淨 之過程者。 再者’基板表面的不流動的水膜，係藉由使霧狀粒子 附著於基板表面而形成者。 又，霧狀粒子係使用二流體噴嘴使之產生者。 又，霧狀粒子係使用超音波加濕器使之產生者。 又，基板表面的不流動的水膜，藉由冷卻基板而形成
案號87119052__ %年夕月 531677
五、發明說明（3) 於基板表面之結露者。 ，另外，有關本發明之洗淨裝置，係在對基板上所形成 之配向膜表面施予摩擦處理後洗淨基板表面之洗淨裝置 中，具備：於基板表面整體形成不流動的水膜之洗^預處 理至，及將經开> 成有不流動的水膜藉由超音波或高壓噴霧 (spray)施行潤濕洗淨之潤濕洗淨室者。 、 [發明之施形態]' 實施形態1 _ ’以下，參照圖面說明本發明一實施形態之液晶顯示板 之製造方法。第1圖係表示依本發明之實施形態丨之液晶顯 示板之製造過程的一部分之流程圖。 曰”、、 依本實施形態之液晶顯示板之製造方法為，於玻璃美 板上开7成電極專之後，如第1圖所示，於經形成有電極等 之玻璃基板上形成•硬化配向膜之後，使用尼龍或嫘縈 布施行摩擦配向膜表面之摩擦處理以對配向膜賦予配向。 接著為去除於摩擦過程所附著之異物而施行濕式洗淨，惟 為防止此時因水流所引起之配向的混亂起見，施行在玻璃 •儀|，表面形成不流動的水膜之洗淨預處理。其次，施行 高壓水流洗淨等的潤濕洗淨’以去除附著於破 土板表面之異物。接著，施行去水、乾燥。麸 =兩張基板相對向，並在其中間封入液晶以構成= 第2圖/系表示依實施形態1之液晶顯示板之製造方法 中為實^摩擦處理後的洗淨方法之洗淨裝置的構成之_
531677 --~—案莖87119057_7/年夕月4日_修正 五、發明說明（4) 例之模式圖，第3圖係為說明第2圖的洗淨裝置的二流體喷 嘴之概念圖。 圖中，1為構成液晶顯示板之玻璃基板，2為，〜 理室、3為超音波洗淨室、4為高壓水流室、5為嗽洗 (rinse)室、6為乾燥室、7為設在洗淨預處理室2内之二流 體喷嘴、而連接有給水配管8及瓦斯配管9。1〇、11為設在 超音波洗淨室3之淋灑器喷嘴（sh〇wer nozzle)及超音波 槽’而由水箱1 2透過水泵（pump ) 1 3給水。1 4為設於高壓水 /瓜至4之南壓噴霧嘴（spray n〇zzle)，由水箱15透過水泵 1 6給水。1 7為設在嗷洗室5内之淋灑器喷嘴，而連接有給 水配管8。18為設在乾燥室6内之空氣刀（air knife)而連 接有瓦斯配管。20為從二流體噴嘴7喷出之粒徑1〇至1〇〇 a m的霧狀粒子。 另外’從，洗室5的淋麗器嘴嘴17喷出之嗽洗處理後 土 7 ,回^至水相（tank)15，於高壓水流室4再使用。再 者’從高壓水流室4的冥廢嗜翁 噴硌嘴14喷霧之高壓洗淨後的 水回收至水箱1 2内，松栌立、、* 成。 按起曰/皮冼淨室3能再利用之方式構 其次’說明摩擦處理後的 經施予摩擦處理之破璃某板丨4淨方法。形成有配向膜並 運搬至洗淨預處理室2，^由係藉由運搬裝置（未圖示） 子20使玻璁某板1砉；炎二流體喷嘴7噴出之霧狀粒 千ZU使玻璃基扳1表面被覆成 度。其次，以表面被覆水之狀有足夠水置但不流動之程 3，於超音波槽11施行超音波：’運搬至超音波洗淨室 疋夺。接著，運搬至高壓水
310098.ptc
531677 一 -案號 87119(157_年夕月2癸曰 修正 ，五、發明說明（5) /流室4，由從高壓喷霧嘴丨4喷霧之水施行洗淨。其次，運 •搬至嗽洗室5，由淋灑器噴嘴17進行嗷洗作業，最後運搬 至乾燥室6，藉由空氣刀18施行去水作業。 第4圖係表示於洗淨預處理室2中處理後之破璃基板i 的狀態之模式圖。於洗淨預處理室2從二流體噴嘴7所喷霧 之霧狀粒子20，係在形成有配向膜21之破璃基板1上雖成 為水滴22，惟將霧狀粒子2〇的喷霧加以控制成無空隙的被 覆玻璃基板1，並於玻璃基板1上形成水的薄膜之前不产 fe。 · 根據本發明，以液晶顯示板的製造過程之摩擦處理後 的玻璃基板1之洗淨方法而言，係於洗淨預處理室2藉由於 玻璃基板1的表面喷霧霧狀粒子20，以於玻璃基板1表面形 成不流動的水膜之後，施行超音波洗淨等潤濕洗淨之故^ 可防止基板完全濕潤之前異物因洗淨而於基板上移動之情 況’並可防止因洗淨水的壓力或異物摩擦配向膜表面引起 之配向混亂或污點的產生。 實施形態2 • 於實施形態1，雖係於洗淨預處理室2透過二流體喷嘴 7產生務狀粒子20並在玻璃基板1上噴霧霧狀粒子μ，惟如 第5圖所示.，於洗淨預處理室2配置超音波加濕器23，藉由 震蘆器（oci 1 lator)使水震動，藉由使以細粒徑之形態充 滿在洗淨預處理室2内，並於玻璃基板丨表面形成水膜，亦 可得與實施形態1同樣的效果。 ' 又，也可如第6圖所示 將超音波加濕器2 3配置於洗
531677 案號〒/年夕月& 修正 五、發明說明（6) 淨預處理室2的外部，介由導管2 4對洗淨預處理— 成細粒徑之水的粒子。 、处至2供給做 免差態3 , 於實施形態1，係於洗淨預處理室2透過二冷场+ 產生霧狀粒子2 0並於玻璃基板1喷霧霧狀粒子實嘴7 動的水膜被覆玻璃基板1的表面者，惟如第7圖 厂、以不流 淨預處理室2配置冷卻板（p 1 a t e ) 2 5，使冷卻^ :，於洗 板1岔貼’藉由冷卻玻璃基板1使其表面結霖，二破㈤基 板1表面形成的水膜，亦·可得與實施形態}同===璃基 於第7圖，2 5為配置於洗淨預處理室2之冷…I ，。、 玻璃基板1運搬用的輥子，2 7為配置於；Y部反’ 2 6為 移動可能之運搬輥子，當在配置於置二冷二板25上之上下 板25上之運搬輕子27上運搬玻璃二工里室：冷！ 搬輥子26，27的旋轉即停止，支持 7圖（a))日守，逆 可此的運搬幸,子27即下降至比冷卻 板1在冷卻板25上接觸並保持(第7圖:能充分 被冷卻並於玻璃基板i表面形成因結露弓丨起之：=，上 下移動可能的運搬輥子2 7即上升至®央认 Ίη ,、、#_!_ 王席來的運搬位置（第7圖 (C ))，糟由開始運搬輥子2 6，2 7 A > 進以運搬玻璃基板!至次過程。7的疑轉’朝向箭頭方向則 π暗Ϊ Ϊ被1玻璃基板1的冷卻方法而言，亦可藉由將冷 璃基板k方法。 平預處理室整體’以冷卻玻 [發明之效果]
531677 案號87119057 ?/年夕月曰 修正
310098.ptc 第10頁 531677 _案號 87119Q57_W年夕月V曰_^_ 圖式簡單說明 [圖面之簡單說明] 第1圖係表示依本發明實施形態1之液晶顯示板之製造 過程之流程圖。 第2圖係表示依本發明實施形態1之液晶顯示板之製造 過程所用之洗淨裝置的構成之模式圖。 第3圖係用以說明依本發明實施形態1之液晶顯示板之 製造過程所用之洗淨裝置的二流體喷嘴之概念圖。 第4圖係表示依本發明實施形態1之液晶顯示板之製造 過程中的基板狀態之模式圖。 第5圖係表示依本發明實施形態2之液晶顯示板之製造 過程所用之洗淨裝置的洗淨預處理室的構成之模式圖。 第6圖係表示依本發明實施形態2之液晶顯示板的製造 過程所用之洗淨裝置的另一洗淨預處理室的構成之模式 圖。 第7圖係表示依本發明實施形態3之液晶顯示板之製造 過程所用之洗淨裝置的洗淨預處理室的構成之模式圖。 [符號說明] 1 玻 璃 基 板 2 洗 淨 預 處理室 3 超 音 波 洗 淨室 4 高 壓 水 流室 5 嗷 洗 (r i nse)室 6 乾 燥 室 7 二 流 體 噴 嘴（nozzle) 8 給 水 配 管 9 瓦 斯 (g as )配管 10 淋 灑 器 喷 嘴（shower nozzle) 11 超 音 波 槽 12 水 箱 ( tank)
310098.ptc 第11頁 案號 87119057 月曰 修正 ，圖式簡單說明 *13 水泵（pump) :14 高壓喷霧嘴（spray nozzle ) 15 水箱 16 水泵 17 淋灑器喷嘴 18 空氣刀（air knife) 20 霧狀粒子 21 配向膜 22 水滴 23 超音波加濕器 24 導管 25 冷卻板（P 1 a t e ) 26 運搬輥子 27 上下移動可能的運搬 • • 531677
310098.ptc 第12頁

Claims (1)

  1. 531677 案號 8J119057 曰 修正 六、申請專利範圍 ：；广 1· 一種液晶顯ί泉楗之製造方法，係使形成有電極及配向 膜之兩張基~板相對向並粘接之同時，於上述兩張基板 間夾持液晶而成者，其特徵為包含：於摩擦處理上述配 向膜後在上述基板表面整體形成不流動的水膜之過 程；及將上述經形成不流動的水膜之基板藉由超音波 或高壓喷霧施行潤濕（we t)洗淨之過程。 2. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示板之製造方法，其 中，基板表面不流動的水膜，係藉由使霧狀粒子附著 於上述基板表面而形成。 3. 如申請專利範圍第2項之液晶顯示板之製造方法，其 中，霧狀粒子係使用二流體喷嘴使之發生者。 4. 如申請專利範圍第2項之液晶顯示板之製造方法，其 中，霧狀粒子係使用超音波加濕器而產生。 5. 如申請專利範圍第1項之液晶顯示板之製造方法，其 中，基板表面不流動的水膜，係藉由冷卻上述基板而 形成於上述基板表面之結露者。 6. 一種洗淨裝置，係在對基板上所形成之配向膜表面施 手摩擦（rubbing)處理後洗淨上述基板表面者，其特徵 為具備：於上述基板表面整體形成不流動的水膜之洗 淨預處理室；及將上述經形成有不流動的水膜藉由超 音波或高壓喷霧（spray)實施潤濕洗淨之潤濕洗淨室。
    310098.ptc 第13頁
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