TW425603B - A deaerating apparatus a process of deaerating a treatment apparatus - Google Patents
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Description
4256 經濟部中央標车局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(1 ) 【發明之技術領域】 本發明係關於一種可自塗佈於液晶顯示裝置(L C D )基板上的光阻劑中去除氣體之除氣裝置,及除氣方法, 以及使用此類的除氣裝置之處理裝置。 【先前之技術】 一般,就製造L CD基板而言,係利用光學成像法來 形成電路圖案。其製造工程中|首先是在L C D基板上塗 佈光阻劑,其次對電路圖案上光阻劑進行曝光處理,然後 再執行顯像處理。 在如此之塗佈•顯像處理中,並非只有使用光阻劑( 作爲處理液之用),其他還有使用到顯像液及稀釋劑等之 光阻劑的溶劑。而這些處理液中,將會因種種的因素而含 有氣體。若這些處理液中一旦含有氣體的話,則會產生以 下所述之不良的影響。 例如|若光阻劑中含有氣體的話,則於塗佈光阻劑時 會產生氣泡*而導致光阻劑分布不均。又·若顯像液中含 有氣體的話•則當顯像液噴灑於被處理基板上時會產生氣 泡,而導致形成非顯像部分。又,若稀釋劑中含有氣體的 話,則會使光阻膜產生孔洞。 在此,爲了解決上述習知者所既存的種種問題,而必 須從如何除去含於這些處理液中的氣體著手。 就液體的除氣方法而言,係例如有將液體裝入減壓槽 ,而利用真空泵等來進行真空除氣之方法。此方法雖可除 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐),4- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. *ar ^425603 A7 _____B7 五、發明説明(2 ) 去液體表面部分的氣體,但卻無法去除內部的氣體,換言 .之|該方法的除氣能力不夠充分。 另外,就日本特開平第9 一 7 9 3 6號公報之顯像液 的除氣方法而言,係使液體流經氟化乙烯樹脂管,並從此 樹脂管的外側真空吸引液體,而利用樹脂管的氣孔來除去 通過此樹脂管的液體中之氣體*但由於此方法爲了考量本 身的強度,而無法令樹脂管的厚度形成更薄,因此透過性 不佳*換言之,該方法的除氣能力也不夠充分。特別是對 於必須處理大量的處理液之L C D基板的塗佈•顯像工程 而言,由於上述方法之除氣能力的不足,而必須投入更大 的除氣設備來應付大量的處理液之除氣處理β 【發明之槪要】 本發明之目的,係在於提供一種能夠充分地除去含於 液體中的氣體之除氣裝置,及除氣方法,以及使用此除氣 裝置之處理裝置。 經濟部中失榡準局負工消費合作社印製 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又,本發明之目的,係在於提供一種能夠大量地去除 氣體之除氣裝置,及除氣方法,以及使用此除氣裝置之處 理裝置。 又,本發明之目的,係在於提供一種構造簡單且組裝 極爲容易之除氣裝置,以及使用此除氣裝置之處理裝置。 爲了達成上述之目的,本案之第1發明,係屬供以除 去液體中的氣體之除氣裝置,其特徵係具備有: 一可旋轉的液體容器,該液體容器係供以貯存必須執行除 本紙乐尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2!0Χ297公釐) -5- ^425603 A7 ___B7______ 五、發明説明(3 ) 氣的液體;及 一旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 :及 一引吸裝置,該引吸裝置係供以至少能夠吸引上述液 體容器內的氣體;及 一送出裝置,該送出裝置係供以送出上述液體容器內 的液體。 又,本案之第2發明,係屣將液體供應給被處理基板 而來進行予定·的處理之處理裝置,其特徵係具備有: —處理液供給噴嘴,該處理液供給噴嘴係供以將處理 液供應給上述被處理基板;及 一處理液送出裝置,該處理液送出裝置係供以將處理 液送至上述處理液供給噴嘴:及 一處理液配管,該處理液配管係設於上述處理液送出 裝置與上述處理液供給噴嘴之間:及 一除氣裝置,該除氣裝置係設於上述處理液配管的途 中,而供以除去處理液中之氣體: 經濟部中央標率局員工消費合作社印掣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述除氣裝置係具備有: 一可旋轉的液體容器,該液體容器係供以貯存必須執 行除氣的液體;及 一旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 ;及 —引吸裝置,該引吸裝置係供以至少能夠吸引上述液 體容器內的氣體:及 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4优格(210X297公釐) -6- ^25603 經濟部中央標準局負工消费合作社印紫 A7 __ B7五、發明説明(4 ) 一送出裝置,該送出裝置係供以送出上述液體容器內 的液體。 又|本案之第3發明,係屬供以除去液體中的氣體之 除氣方法,其特徵係具備有以下之工程: (a )供以將必須執行除氣的液體導入至液體容器內 之工程;及 (b)供以令上述液體容器旋轉之工程;及_ (c )供以至少能夠吸引上述液體容器內的氣體,而 予以排出至上述液體容器外之工程。 若利用本發明的話,則由於可藉由液體容器的旋轉來 將液體中的氣體予以集中於容器的中央部,然後再吸引該 氣體而除去,因此不但可以提高其除去效率,而且還能夠 充分地除去存在液體中的氣體。亦即,藉由液體容器的旋 轉,而得以利用離心力來將比重較小的氣體集中於中央部 ,因而使得外側及容器內下部的液體中幾乎不會含有氣.體 ,換言之,可使氣體集中於中央部上部,因此此刻只要除 去集中於中央部上部的氣體便能完成除氣處理,藉此而能 夠大幅度地提高除氣效率》 【實施發明之最佳形態】 以下,參照圖面來詳細說明本發明實施形態《 圖1係表示本發明之實施例的塗佈•顯像裝置的立體 圖。 圖2係表示圖1的平面圖β (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ^4256 0 3 A7 _________B7______ 五、發明説明(5 ) 首先,在塗佈.顯像裝置1的一端側設有一卡匣站C ./S。並且在塗佈•顯像裝置1的另一端側設有一介面部 I/F,該介面部I/F係供以在與曝光裝置(圖中未示 )之間進行玻璃基板G的傳遞。 其次,在卡匣站C/S上載置有供以收容L CD用基 板等的基板G之複數組(例如4組)的卡匣2。並且在卡 匣站C/S之卡匣2的正面側設有一輔助臂4,該輔助臂 4係供以進行基板G (被處理基板)的搬送與定位,同時 供以在與主臂3之間進行基板G的傳遞。 此外,在介面部I /F設有一供以在與曝光裝置(圖 中未示)之間進行基扳G的傳遞之輔助臂5。又,在介面 部I /F設有一供以在與主臂3之間進行基板G的傳遞之 外置部6,及令基板G形成一時待機狀態之緩衝單元7。 經濟部中央標準局負工消资合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填穹本頁) 主臂3係配匱成直列2台,並且可以移動於塗佈♦顯 像裝置1的中央部長度方向*而且在各主臂3的搬送路的 兩側分別配置有第1處理單元群A|及第2處理單元群B «又,於第1處理單元群A與第2處理單元群B之間配置 有一中繼部8,該中繼部8係於一時保持基板G的同時, 對基板G進行冷卻。 又,在第1處理單元群A中,於卡匣站C/S的側方 並設有供以洗淨基板G的洗淨單元S CR,及供以進行顯 像處理的顯像處理單元DEV »並且,夾著主臂3的搬送 路·而於洗淨單元S C R及顯像處理單元D E V的相反側 配置有:成上下兩段配置之2組的熱處理單元HP,及成 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(2丨0X297公釐)_8-
經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 上下兩段配置之紫外光烘烤(ultra-violet bake)處理單元UV 及冷卻單元COL。 又,在第2處理單元群B中配置有供以進行光阻劑塗佈 處理及邊緣塗佈處理之塗佈處理單元COT。並且,夾著主臂 34的搬送路,而於塗佈處理單元COT的相反側配置有:成上 下兩段配置之供以對基板G進行疏水處理之粘著處理單元 AD及冷卻單元COL,及成上下兩段配置之熱處理單元HP及 冷卻單元COL,及成上下兩段配置之2組的熱處理單元HP。 此外,將熱處理單元HP與冷卻單元COL配置成上下兩段的 情況時,把熱處理單元HP配置於上方,而把冷卻單元COL配 置於下方,藉此來避免兩者間彼此的熱干擾。如此一來,將能 夠正確地控制溫度。 又,主臂3係具備有X軸驅動機構,Υ軸驅動機構,Z軸驅 動機構,及以Ζ軸爲中心而旋轉之旋轉驅動機構。此外,主臂 3係可沿著塗佈•顯像裝置1的中央通路而適宜地行進,且 在各處理單元間搬送基板G。然後,主臂3將會把處理前的 基板G搬入至各處理單元內,接著再從各處理單元內將處理 完成的基板G搬出。 就如以之本實施形態的塗佈•顯像裝置1而言,由於可 將各處理單元集合而成一體化,因此能夠達成省空間化及處 埋的效率化。
在如此構成之塗佈•顯像裝置1中,首先卡匣2內的基 板G將會經由輔助臂4及主臂3來搬送至洗淨處理單元SCR 而進行洗淨處理。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2】0 X 297公釐) (諳先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝··-------訂---- -9- 附件1: 第87丨0087〇號專利申請案125俯遽修正頁 A7民國89年Π B7
五、發明說明(7 ) 其次,基板G將會經由主臂3,中繼部來搬送至粘著 處理單元A D而進行疏水化處理。藉此來提高光阻劑的定 經濟部智«財產局員工消费合作杜印製 元光 元處面的 搬元 元搬的來 助 系 基 單至 單卻介定 來單 單來定 3 輔 給 .持 理送 理冷及預 F 理 理 3 預臂 及 供 保 處搬 處至 3 成 \ 處 處臂成主 3 之 著 卻來 熱送臂光 I熱 卻主形由 臂 劑 吸 冷 3 加搬主曝 部加 冷,由而經 主。溶 以 至臂 至來由以 面至 至經,會 由Ε2及 供 送主 π送 3 經予 介送 送再理將 I經 W劑 有 搬由㈣搬臂將處 由搬 搬將處 Gti將 Μ阻 具 來經㈣來主後此 經來 來 G 像板 MGn光 係 3 再 13 由之於 將 3 3 板顯基 板& 的 T 臂-且臂經,而 G 臂 臂基行的一T基 Μ 元 ο 主後 Μ 主再理, 板主 主後進後iif的上單 C 由之 17由後處置 基由。由然而理 jg 後 S 佈 元 .經。ΐιί經然卻裝 的經理經。V 處 V 理 \塗 單 會理而會"冷光 後再ΜΪ會理 Ε 像 U 處 C 劑 佈 將處 Τ 將理行曝 光後焙將處D顯一兀V站阻 塗 G 卻 OG 處進至 曝而主 G 卻元過單UE'光 劑 板冷 C 板焙而送 經,以板冷單經理過卡示。阻 基行元基預 L 搬 再內施基行理,處經於表式光 , 進單,行 ο 來 ,1來,進處且;>,容係圖.’ 次而佈次進 CF 著置而後而像並 U 次收 3 的中 。 其 L 塗其而元 \ 。接裝,之 L 顯。至其來圖 5 其 性0劑 Ρ 單 I 案 至 ρ ο 至案送 4 2 著 C 阻 Η 理部圖 送ΗC 送圖搬 臂 統 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格<210 X 297公釐) ίρ Ε 11---裝 ----!訂 ----II 線ί '♦ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標率局負工消費合作社印聚 425603 A7 B7 五、發明説明(8 ) 板G之旋轉夾頭3 1,並且在其上方設有噴嘴支持具3 2 。而且在此噴嘴支持具3 2安裝有接近於基板G之光阻劑 噴嘴3 3與溶劑噴嘴3 4,並且這些噴嘴將分別與光阻劑 供給系統4 0及溶劑供給系統5 0連接。此外’保持於旋 轉夾頭3 1的基板G將可旋轉地圍繞於罩杯3 5 ,且此罩 杯3 5將於塗佈動作中藉由蓋體3 6來予以封閉。另外, 光阻劑噴嘴3 3與溶劑噴嘴3 4可爲單流噴嘴,形可爲複 流噴嘴。又,光阻劑噴嘴3 3與溶劑噴嘴3 4將藉由噴嘴 支持具3 2的移動而沿著例如基板G的一方向而移動。 光阻劑供給系統4 0係具有光阻劑供給配管4 1。並 且,在光阻劑供給配管4 1的一端設有光阻劑噴嘴3 3。 而且,在光阻劑供給配管4 1的另一端設有光阻劑容器 4 2。該光阻劑容器4 2內的光阻劑,係利用隔膜泵4 3 來供應給噴嘴3 3。又,此隔膜泵4 3係可藉由步進馬達 4 4來使球拴4 5旋轉,而得以吸引送出光阻劑。 自隔膜泵4 3中所被送出的光阻劑,將經由過濾器 46 ’除氣裝置47,氣體操作閥48及回袋閥49 ,而 來從光阻劑噴嘴3 3中噴出。 又’氣體操作閥4 8係具有開閉光阻劑的供給路之功 能。又·回袋閥4 9係具有將殘留於噴嘴3 3前端的光阻 劑引回,而來防止光阻劑產生固化之功能。 溶劑供給系統5 0係具有溶劑供給配管5 1。並且, 在溶劑供給配管5 1的一端設有溶劑噴嘴3 4。而且,在 溶劑供給配管5 1的另一端設有溶劑容器5 2 »該溶劑容 (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装 •-° 本紙张尺度適用中國國家標準(CNS ) A4说格(2】〇><297公釐) -11 -
經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 器5 2係供以貯存溶劑(例如稀釋劑)。此溶劑將利用氣 壓輸送來予以供應給噴嘴3 4。該氣壓輸送係利用氣瓶 5.3內的壓送氣體來進行’例如’將氮氣經由配管5 6供 應至容器5 2內,而來進行氣壓輸送。藉此,溶劑容器 5 2內的溶劑,將經由過濾器5 4及除氣裝匱5 5 ’而來 從溶劑噴嘴34中噴出。 圖4係表示顯像處理單元〇 E V 2 9的顯像液之供給 系統圖。 顯像處理單元D E V 2 9係具有供以吸著保持基板G 之夾頭7 3。並且,在夾頭7 3的上方設有噴嘴7 2。此 噴嘴7 2係具有與基板G約相同之寬度。而且,在噴嘴 7 2的底部設有沿著噴嘴7 2的長度方向而成之複數的液 體噴出孔。又,噴嘴7 2將與顯像液供給系統6 0連接。 並且配置於接近被處理基板的表面處。又,噴嘴7 2亦可 爲具有單獨一個供以噴出處理液的液體噴出口之單流噴嘴 ,或者是具有複數個供以噴出處理液的液體噴’出口之複流 噴嘴。再者,噴嘴7 2將可沿基板G的一邊方向而移動。 此外,被保持於夾頭7 3的基板G將圍繞於杯罩7 4。 另外,顯像液供給系統6 0係具有顯像液容器6 1。 該顯像液容器6 1係供以貯存顯像液。該顯像液容器6 1 係經由配管6 4與貯存有壓送氣體(例如氮氣)的氣瓶 6 3連接。並且,配管6 5的端部將浸潰於顯像液容器 6 1內的顯像液中。其次,在另一配管6 2的途中配置有 中間容器66及除氣裝置67。又,顯像液容器6 1內的 本紙張尺度適用中國國涂標準(CNS>A4規格(210 X 297公釐) - rl·! -----------------線卜 (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1256 0 3 Α7 贫年/1月外七正, Β7 補充 五、發明說明(1G) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 顯像液將經由配管6 5來壓送(利用氣瓶6 3內的壓送氣 體一氮氣)至噴嘴72。又,在中間容器66的外側設有 例如由靜電容量感應器所構成的限位感應器6 6 a及空間 感應器6 6 b ,並且控制器(圖中未示).將根據這些感應 器所輸出的訊號來控制顯像液的液面位置。 再者,在除氣裝置6 7的下游側,配管6 5配置有形 成分歧的配管65a ,65b。並且,從配管65a , 6 5 b到噴嘴7 2之間分別依次地設有流量計6 8 a , 68b,過濾器 69a ,69b,水箱 70a ,70b 及 氣體操作閥71a ,71b。而且,噴嘴72將分別經由 配管65a ,65b而被導入顯像液。而於進行顯像時, 從設於噴嘴7 2底部的液體噴出孔所噴出的顯像液將被供 應給基板G。其次,根據圖5來說明除氣裝置4 7,5 5 ,6 7 ° 基本上,除氣裝置47,55,67係具有相同之構 造,係分別具備有:供以貯存所欲除氣的液體之液體容器 8 1,及設於其上方之頭部構件8 2。 經濟部智慧財產局負工消費合作杜印製 此外,液體容器8 1係形成上部具有開口部8 1 a的 圓錐形,並設置成可旋轉自如,而使得能夠自開口部 8 1 a導入所欲除氣的液體。又,於開口部8 1 a的上部 設置一液面感應器9 2 ,並且控制器將根據來自此感應器 9 2的訊號來控制閥8 7,而使得能夠控制液面。又,液 體容器81內亦可設有散熱片。 另外,頭部構件8 2係具有:供以導入液體之液體導 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS>A4規格(210x297公芨) 經濟部中央標隼局負工消费合作钍印製 425603 A7 _______B7__ 五、發明説明(11 ) 入管8 3 ’及供以排出氣體或含氣體的液體之氣體排出管 8 4,及液體送出管8 5。又,液體導入管8 3係連接於 液體供給管8 6 ’該液體供給管8 6係可自液體供給源來 供給液體’而由頭部構件8 2的中央部往下方延伸至與液 體容器8 1的開口部8 1 a成對向的位置爲止。又,在液 體供給管8 6的途中設有一閥8 7,並利用該閥8 7來進 行往液體容器8 1內供給液體之控制。 又’氣體排出管8 4係連設於排氣配管9 0,而由頭 部構件8 2的中央部往下方延伸至與液體容器8 1的液面 以下爲止。另外,上述液體導入管8 3係貫通排氣配管 9 0,並將液體導入管8 3與氣體排出管8 4設於同軸上 =此外,在排氣配管90設有真空泵91 ,該真空泵91 係洪以作爲吸引氣體及含有氣體的液體之吸引裝置 又,液體送出管8 5係與液體導入管8 3與氣體排出 管8 4同軸而朝垂直下方延伸,並且經由開口部8 1 a而 延伸於液體容器8 1的底部附近。而且在此液體送出管 8 5設有一泵8 9,而利用此泵8 9來送出液體。 此外,並非只限於使用真空泵來作爲吸引裝置,也可 使用噴射泵等之其他的裝置。亦即,從液體導入管8 3藉 由閥9 1 a ( 3向閥)的切換來進行Ν2加壓,而使得能 夠將壓力送往液體送出管8 5。 又,頭部構件8 2係設成能夠上下作動自如,藉此上 下作動而得以接離於液體容器8 1。並且在頭部構件8 2 與液體容器8 1之間設有密封構件9 3。 {請先聞讀背面之注意?項再填寫表頁) 装· 本紙張尺度適用中国S家標準(CNS ) A4規格(210X29?公釐) -14- 經漪部中央標率局員工消费合作社印Κ 425603 A7 _B7______ 五、發明説明(12 ) 又,在液體容器8 1的底部中央設有向下突出之圓柱 狀的突出部9 6,且該突出部9 6將經由軸承9 5來旋轉 自如地安裝於基底構件9 4。又,在此突出部9 6的中央 部設有向下延伸的旋轉軸,並在其下端部安裝有一皮帶輪 9 7。 另一方面,在安裝於基底構件9 4的狀態下|將馬達 9 9設於液體容器8 1的側方。此馬達9 9的旋轉軸9 9 a將貫通基底構件9 4而往下方延伸,並在此旋轉軸9 9 a的下端部安裝有一皮帶輪1 0 0。又,在皮帶輪9 7, 1 0 0上掛有皮帶9 8,藉此馬達9 9的旋轉將經由皮帶 9 8來傳達至液體容器8 1。 又,在基底構件9 4安裝有供以令頭部構件8 2昇降 之氣缸1 ◦ 4。此外,在頭部構件8 2安裝有延伸於其側 方之支持構件1 0 1,並且該支持構件1 0 1將與氣缸 1 04的活塞1 0 5連接。又,於支持構件1 0 1的前端 設有滑動構件1 0 2,且該滑動構件1 0 2將可移動地安 裝於引導構件10 3 (從基底構件9 4向上垂直延伸)。 因此,將可令氣缸1 0 4的活塞1 0 5進出退避,而得以 令頭部構件8 2能夠昇降作動。 圖6係表示本發明之一實施例的除氣裝置之控制系統 〇 首先1如圖所示,控制器1 0 6係根據來自感應器 92的訊號來控制閥87 |泵89 ,91 ,馬達99及活 塞 1 0 5。 --^---·---{装-- {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) ,1Τ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(2丨0X297公釐} -15- 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 4 256 0 3 A7 B7 五、發明説明(13 > 其次,在控制器1 0 6的控制之下,將進行以下所述 之動作(參照圖7 )。 首先,在頭部構件8 2上昇的狀態下(步驟7 0 1 ) ,對應於各處理單元的處理液將經由液體供給管8 6及頭 部構件8 2的液體導入管8 3而被供給至液體容器8 1內 (步驟702)。然後,當液體容器81內的液體L的液 面到達預定位置時,將關閉閥8 7,而停止液體的供給。 其次,在此狀態下,亦即在頭部構件8 2上昇而離開 液體容器8 1的狀態下,驅動馬達9 9而來使液體容器 81旋轉(步驟703)。此刻的旋轉速度爲100〜 3000 r pm左右。亦即,藉由液體容器的旋轉,而得 以利用離心力來將比重較小的氣體集中於中央部,因而使 得液體容器81內的外側部分及下部的液體中幾乎不會含 有氣體。 接著,於此狀態下停止液體容器8 1的旋轉,並使頭 部構件82下降(步驟704),且令密封構件93介在 於頭部構件8 2與液體容器8 1之間,而形成容許來自通 氣孔的氣體導入之半密閉狀態。然後,藉由真空泵91的 作動,而使得能夠經由氣體排出路8 4及排出管9 0來排 出集中於液體L的中央部之氣體及含有氣體之液體(步驟 7 0 5 )° 又,在利用吸引裝置(真空泵)來吸引氣體及含有氣 體的液體之後,使泵8 9作動,而經由液體送出管8 5來 送出液體(經除去液體容器8 1內的氣體後的液體)(步 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -16- {#先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 装.
•1T 經濟部中央標率局員4消费合作杜印製 • 4256 0 3 at B7 五、發明説明(14) 驟 7 0 6 )。 藉此,由於可在將氣體集中於容器中央部的狀態下, 利用液體容器81的旋轉來吸引氣體及含有氣體的液體, 因此能夠高效率地來進行除氣處理》又,由於所殘留的液 體中幾乎不含有氣體,因此可以充分地除去液體中所存在 的氣體。 又,由於可在隔離液體容器8 1與頭部構件8 2的狀 態下,利用液體容器8 1的旋轉來將液體中的氣體集中於 液體容器8 1的中央部,然後在使頭部構件8 2接觸於液 體容器81的狀態下來吸引液體容器81內的氣體及含有 氣體的液體,因此其裝置極爲單純,且不需複雜的操作-此刻,由於可藉密封構件9 3來予以密封,而形成只容許 來自通氣孔的氣體進入之半密閉狀態,因而能夠有效地來 進行氣體及含氣體之液體的吸引。 又,由於液體容器8 1形成圓錐形,利用容器的旋轉 來將氣體集中於中央部時,將可容易地集中於容器內上部 ,而且能夠更爲有效率地來吸引氣體。 又,本發明並非只被限定於上述之實施形態,也可適 用於種種的變形。 例如,如圖8所示一般,也可旋轉接合液體容器8 1 與頭部構件8 2,而來同時進行需要除氣之處理液的供給 與除氣後之處理液的送出。圖8所示之除氣裝置中,係經 由軸承1 0 7及唇形密封構件1 0 8來接合液體容器8 1 與頭部構件8 2。此情況,不需要使頭部構件8 2上下作 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )Α4規格(210X297公釐) -17- (諳先聞讀背面之注意事項再填荇本頁) 笨_
*1T 425603 A7 _B7 五、發明説明(15 ) 動之機構。又’此情況,可不必要將液體導入管8 3 ,液 體送出管8 5及排氣配管9 0等設於同軸上= {讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又,雖然在上述實施形態中,是將本發明之除氣裝置 利用於塗佈•顯像裝置,但並非只被限定於此,也可適用 於其他的處理。 又,雖然在上述實施形態中的被處理基板爲L C D基 板,但並非只被限定於此,也可爲半導體晶圓等之其他的 被處理基板。 又,除氣裝置的位置也並非只被限定於上述之實施形 態,也可設於其他種種的位置。 又,並非只是限定於處理液體,只要液體本身必須進 行除氣處理等之用途上皆可適用。 綜上所陳,若利用本發明,則由於可利用液體容器的 旋轉來將液體中的氣體集中於中央部,而至少能夠將其氣 體予以吸引而除去*因此將可提高其除去效率,且能夠充 分地除去含於液體中的氣體。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 又,由於能夠將頭部構件設置成可接離於上述液體容 器,而在隔離液體容器與頭部構件的狀態下,利用液體容 器的旋轉來·將液體中的氣體集中於液體容器的中央部,而 使得能夠至少吸引其液體中的氣體,因此不但可以充分地 除去含於液體中的氣體,而且還能夠使其裝置單純化,且 不需複雜的操作。 又,可在充分地自處理液中除去氣體的狀態下,將處 理液供應給被處理基板。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 425603 A7 ___B7___ 五、發明説明(16 ) (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 換言之,可使用裝置構成極爲單純的除氣裝置,且不 需複雜的操作的情況下來充分地自處理液中除去氣體,而 將處理液供應給被處理基板。 又,可將送出管***於頭部構件的送出部,而自液體 容器中送出液體,藉此而使得能夠極爲簡便地送出液體。 又,可將密封構件設置於液體容器與頭部構件之間, 藉此而使得能夠在高效率下進行藉由吸引裝置所執行之氣 體的吸引。 又,由於可將氣體排出管與液體送出管,或氣體排出 管與液體送出管與液體導入管配置於同軸上,因此而能夠 縮小裝置的體積,亦即可以達成輕巧化" 又,由於液體容器形成圓錐形,因此在利用容器的旋 轉而來使密度較小的氣體集中於中央部時,易於集中在容 器內上部,進而能夠更爲提高吸引氣體的效率。 【圖面之簡單的說明】 經濟部中央撐準局貝工消费合作社印製 第1圖係表示本發明之一實施例的塗佈•顯像裝置之 立體圖。 第2圖係表示第1圖的平面圖。 第3圖係表示組裝有本發明的除氣裝置之光阻劑塗佈 單元的光阻劑及溶劑之供給系統圖· 第4圖係表示組裝有本發明的除氣裝置之顯像單元的 顯像液之供給系統圖》 第5圖係表示本發明之一實施例的除氣裝置之剖面圖 本紙張尺度通用中國國家標準{ CNS ) A4坑格(210X297公釐) -19- 425603 A7 B7 茨年(/月小丨: 五、發明說明(17
MM 第6圖係表示本發明之一實施例的除氣裝置之控制系 統: 第7圖係表示本發明之一實施例的除氣裝置之控制流 程圖。 第8圖係表示本發明之另一實施例的除氣裝置之剖面 圖。 圖號之說明 (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 2 3 4 6 7 8 2 2 3 5 9 1 2 3 4 3 5,7 4 6 · · * 塗佈•顯像裝置 卡厘 主臂 輔助臂 外置部 緩衝單元 中繼部 供給系統 顯像處理單元 旋轉夾頭 噴嘴支持具 光阻劑噴嘴 溶劑噴嘴 罩杯 蓋體 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 * 297公釐) -20- 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 4 2 5 6 0 3 A7 _B7_五、發明說明(18 ) 4 0......光阻劑供給系統 4 1......光阻劑供給配管 4 2......光阻劑容器 4 3......隔膜泵 4 4......步進馬達 4 5......球栓 46,54,69過濾器 4 7,5 5,6 7 _ * ·除氣裝置 48......氣體操作閥 4 9......回袋閥 5 0......溶劑供給系統 5 1......溶劑供給配管 5 2......溶劑容器 5 3,6 3 · · ·氣瓶 6 0......顯像液供給系統 6 1......顯像液容器 5 6-6 4-6 5 ......配管 6 6......中間容器 6 6a.....限位感應器 6 6b.....空間感應器 68a ,68b *流量計 69a ,69b_ * _ *過濾器 70a,70b ·水箱 71......氣體操作閥 ,,修正 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -21 - 4256 0 3
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五、發明說明(19 煃濟部智慧財產局員工消费合作社印數 7 2 .噴 嘴 7 3 • * .夾 頭 8 1 •液 體 容 器 8 1 a ΐ * •開 P 部 8 2 .頭 部 構 件 8 3 •液 驗 體 導 入 管 8 4 *每 體 排出 管 8 5 *液 體 送 出 管 8 6 •液 體 供 給 管 8 7 •閥 8 9 .泵 9 0 •排 氣 配 管 9 1 .真 空 泵 9 2 •液 面 感 應 器 9 3 .密 封 構 件 9 4 .基 底 構 件 9 5 0 7 · •軸 承 9 6 .突 出 部 9 7 * 0 0 · .皮 W 輪 9 8 * .皮 帶 9 9 * .馬 達 1 0 1 •支 持 構 件 1 0 2 •滑 動 構 件 1 0 3 » _ • _ •引 導 構 件 ί · I--I I--I--裝-------—訂--- ----線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) zz - 425603 A7 五、發明說明(20)
10 4.....氣缸 1 0 5.....活塞 10 6.....控制器 10 8.....唇形密封構件 I / F.....介面部 A.......第1處理單元群 B.......第2處理單元群 G.......基板 SCR.....洗淨單元 D E V.....顯像處理單元 HP......熱處理單元 U V......紫外光烘烤(UV)處理單元 COT.....塗佈處理單元 A D......粘著處理單元 C 0 L.....冷卻處理單元 C / S.....卡匣站 P......泵 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -23-
Claims (1)
- A8B8 425603 C8 D8 lf ί!Ι ιΈ 六、申請專利範圍 丨”.,. 々丨fu _T1--一…? 一. * —If Ιί 社印製 第87 1 00870號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國89年5月修正 1 . i一種除氣裝置,係屬供以除去液體中的氣體之除 氣裝置,其特徵係具備有: 一可旋轉的液體容器1該液體容器係具在頂部備有開 口部之圓錐形外觀,可旋轉在大約垂直之軸周圍;及 一旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 :及 一頭部構件,該頭部構件係可接離地設於上述開口部 :及 ••液體導入管,該液體導入管係貫穿上述頭部構件, 並供以將液體導入至上述液體容器中;及 -氣體排出管,該氣體排出管係貫穿上述頭部構件, 並供以將氣體含有物自上述液體容器內排出;及 -液體送出管,該液體送出管係貫穿上述頭部構件, 並供以浸入於上述液體容器內之液體;及 一泵,該泵係連接於上述液體送出管;及 一密封構件|該密封構件係設置於上述液體容器與上 述頭部構件:及 一昇降裝置,該昇降裝置係供以昇降上述頭部構件。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載之除氣裝置,其中 上述液體導入管,上述氣體排出管,及上述液體送出管係 以同軸方式而配置。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4256 0 3 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 如申請專利範圍第1項所記載之除氣裝置,其中 在上述頭部構件配置一液面感應器。 4 · 一種除氣裝置,係屬供以除去液體中的氣體之除 氣裝置,其特徵係具備有: 一可旋轉的液體容器,該液體容器係具在頂部備有開 Q部之圓錐形外觀,可旋轉在大約垂直之軸周圍;及 一旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 :及 -_ ·頭部構件,該頭部構件係可接離地設於上述開口部 1且與上述液體容器一起可旋轉:及 一液體導入管,該液體導入管係貫穿上述頭部構件之 中心,並洪以將液體導入至上述液體容器中;及 -氣體排出管,該氣體排出管係與上述液體導入管同 軸方式地貫穿上述頭部構件,並供以將氣體含有物自上述 液體容器內排出;及 -液體送出管,該液體送出管係與上述液體導入管及 上述氣體排出管同軸方式地貫穿上述頭部構件,並供以浸 入於上述液體容器內之液體;及 一泵,該泵係連接於上述液體送出管;及 --軸承及唇形密封構件,該軸承及唇形密封構件係設 置於上述液體容器與上述頭部構件。 5 .如申請專利範圍第4項所記載之除氣裝置,其中 在上述頭部構件配置一液面感應器。 6 · —種處理裝置,係屬將液體供應給被處理基板而 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝丨III —--訂--I ------線( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -2- f 4256 03 A8 R8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制取 ~、申請專利範圍 來進行予定的處理之處理裝置,其特徵係具備有: 一處理液供給噴嘴,該處理液供給噴嘴係供以將處理 液供應給上述被處理基板;及 •處理液送出裝置,該處理液送出裝置係供以將處理 液送至上述處理液供給噴嘴:及 一處理液配管,該處理液配管係設於上述處理液送出 裝置與上述處理液供給噴嘴之間;及 一除氣裝置,該除氣裝置係設於上述處理液配管的途 中,而供以除去處理液中之氣體; 上述除氣裝置係具備有: 一可旋轉的液體容器,該液體容器係具在頂部備有開 Π部之圓錐形外觀,可旋轉在大約垂直之軸周圍;及 旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 :及 一頭部構件,該頭部構件係可接離地設於上述開口部 ;及 一液體導入管,該液體導入管係貫穿上述頭部構件, 並供以將液體導入至上述液體容器中;及 -氣體排出管,該氣體排出管係貫穿上述頭部構件, 並供以將氣體含有物自上述液體容器內排出:及 -液體送出管,該液體送出管係貫穿上述頭部構件, 並供以浸人於上述液體容器內之液體;及 --泵,該泵係連接於上述液體送出管;及 -一密封構件,該密封構件係設置於上述液體容器與上 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 -----— —訂 --- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) -3 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 r 42ob ϋ d &8 C8 --4-^ 5 B Q 3--_ 六、申請專利範圍 述頭部構件··及 --昇降裝置,該昇降裝置係供以昇降上述頭部構件。 7 _如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其中 上述液體導入管,上述氣體排出管,及上述液體送出管係 以同軸方式而配置。 8 .如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其中 在上述頭部構件配置一液面感應器- 9 .如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其中 上述液體容器係具有作爲緩衝槽之功能。 1 〇 .如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其 中上述處理液供給噴嘴係配置於接近被處理基板的表面。 1 1 如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其 中上述處理液供給噴嘴爲具有單獨一個供以噴出處理液的 液體噴出口之單流噴嘴。 1 2 .如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其 中上述處理液供給噴嘴爲具有複數個供以噴出處理液的液 體噴出口之複流噴嘴。 1 3 .如申請專利範圍第6項所記載之處理裝置,其 中上述處理液供給噴嘴係沿著被處理基板的一邊方向而移 動。 1 4 . 一種處理裝置,係屬將液體供應給被處理基板 而來進行予定的處理之處理裝置,其特徵係具備有: 一—'·處理液供給噴嘴,該處理液供給噴嘴係供以將處理 液供應給上述被處理基板:及 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐〉-4 - --- ^---\--I---」爽· —---— 訂---------線( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A8 R8 C8 D8 425603 ~、申請專利範圍 --處理液送出裝置,該處理液送出裝置係供以將處理 液送至上述處理液供給噴嘴:及 •處理液配管,該處理液配管係設於上述處理液送出 裝置與上述處理液供給噴嘴之間:及 一除氣裝置1該除氣裝置係設於上述處理液配管的途 中,而供以除去處理液中之氣體; 上述除氣裝置,係屬供以除去液體中的氣體之除氣裝 置,具備有: 一可旋轉的液體容器,該液體容器係具在頂部備有開 口部之圓錐形外觀,可旋轉在大約垂直之軸周圍:及 -旋轉裝置,該旋轉裝置係供以令上述液體容器旋轉 ;及 一頭部構件,該頭部構件係可接離地設於上述開口部 ,且與上述液體容器一起可旋轉;及 一液體導入管,該液體導入管係貫穿上述頭部構件之 屮心,並供以將液體導入至上述液體容器中;及 -氣體排出管,該氣體排出管係與上述液體導入管同 軸方式地貫穿上述頭部構件,並供以將氣體含有物自上述 液體容器内排出;及 -液體送出管,該液體送出管係與上述液體導入管及 上述氣體排出管同軸方式地貫穿上述頭部構件,並供以浸 入於上述液體容器內之液體;及 一泵,該泵係連接於上述液體送出管;及 一軸承及唇形密封構件,該軸承及唇形密封構件係設 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210x297公堃) ---5---;------u^i-----訂--I---I--線( (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 425603 g D8 s、申請專利範圍 置於上述液體容器與上述頭部構件。 1 5 .如申請專利範圍第1 4項所記載之處理裝置, 其中在上述頭部構件配置一液面感應器。 1 6 .如申請專利範圍第1 4項所記載之處理裝置, 其中上述處理液供給噴嘴係配置於接近被處理基板的表面 〇 1 7 ·如申請專利範圍第1 4項所記載之處理裝置, 其中上述處理液供給噴嘴爲具有單獨一個供以噴出處理液 的液體噴出口之單流噴嘴。 1 8 .如申請專利範圍第1 4項所記載之處理裝置, 其中上述處理液供給噴嘴爲具有複數個供以噴出處理液的 液體噴出口之複流噴嘴。 1 9 如申請專利範圍第1 4項所記載之處理裝置, 其中上述處理液供給噴嘴係沿著被處理基板的一邊方向而 移動。 2 0 ·—種除氣方法,係屬供以除去液體中的氣體之 除氣方法,其特徵係具備有以下之工程: (a )供以將可接離地設於液體容器之開口部之頭部 構件予以搬離上述開口部之工程;及 (b )供以將上述液體導入至上述液體容器內之工程 :及 (c )供以令上述液體容器旋轉之工程;及 (d )供以將上述開口部以上述頭部構件進行加蓋之 丄程;及 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規袼(210 X 297公釐) -6 - ----·---;--I I--^ --I I----訂--I ------ f* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 425603 頜 C8 D8 六、申請專利範圍 (e )供以至少能夠吸引上述液體容器內的氣體,而 予以排出至上述液體容器外之工程。 2 1 .如申請專利範圍第2 0項所記載之除氣方法, 其中上述液體容器係在頂部具備開口部之圓錐形容器;上 述(a )工程之上述頭部構件之搬離係上昇上述頭部構件 之丄程;上述(c )工程係將上述液體容器旋轉在大約垂 直之軸周圍之工程;將上述(d )工程之上述開口部以上 述頭部構件進行加蓋之工程係下降上述頭部構件之工程。 2 2 .如申請專利範圍第2 0項所記載之除氣方法, 其中上述(c )工程係以1 0 0至3〇〇〇 ' r p m進行旋轉 之X程。 -I.--^---1 I----kk--I----—訂---------I Λ f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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