TW219906B - Laser machining apparatus and method - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 219906 A6 _B6 五、發明説明（3 ) 發明夕赀景 太發明節圍 本發明傜論及一種雷射加工機，詳言之，其偽論及一 種可用來對焦、和進行切削故障之偵測等的光感測器。 生存抟Μ 註細説明 就以電射光束來切削工件的雷射加工機而言，工件之 切削狀態，務必要能不斷地受到監控，以便能夠減少在切 削起始點所進行之穿孔時間、能夠防止穿孔期間可能之破 裂、以及能夠防止某種之切削故障，譬如，半圓槽孔、燒 燬、或浮渣黏著等。就此一目的而言，在切削期間，有必 要以某種裝置，來偵測並監控在工件切削表面上所産生之 光束。 第2 9圔偽顯示所舉日本專利公報第Η Ε I 4 9 1 8 8 0號，或 日本專利公報第Η Ε I 4 1 0 5 7 8 0號中，所掲示之一種傳統式雷 射加工機屮所使用之可見光偵測裝置。在此簡圖中，數字 1偽表示使用某種光電裝置或攝影裝置的光感測器、數字 2偽表示切削透鏡、數字3偽表示切削刀頭、數字4傺表示 … ~…--. '，- . - , .. 噴嘴、數字5傺表示可將來自切削表面之光束反射至該光 感測器所在之方向上的面鏡、數字6傜表示該切削刀頭2上 面所設之窗口、數字7傜表示可依據該光感測器測得之光 波，來判斷穿孔完成和切削故障等的偵測區段、數字8傜 表示雷射光束、數字9偽表示來自工件之光波、數字10傜 表示NC裝置、數字11係表示轉向面鏡、數字12偽表示雷射 振盪器、而數字W則偽表示工件。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297 H ) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝· ，1Τ. 丨4/·'· 319906 A6 B6 經濟部中央標毕局8工消费合作社印製 五、發明説明（4 ) 在依上述方式所構成之傳統式雷射加工機中，當工件 W受雷射光束8之照射時，其切削表面由於照射點之熔融等 所致之部份光波，會被面鏡5反射而為上述之光感測器1所 接受。此光波在強度上之變化，會受到光感測器1之偵測， 其穿孔完成之時間、或切削故障之發生，會為上述之偵 測區段7所偵測，而此一資訊則會傳送至上述之N C裝置1 0， 以便控制上述之雷射加工機。 在上述之傳統式雷射加工機中，上述裝配在該切削刀 頭上面而靠近該工件之面鏡和光感測器，可能會干擾到上 述雷射加工機之運作，以及在切削期間，可能會受到工件 所生之煙氣及（或）焊濺物的污染，或者會受到上述雷射光 束之散射光波的傷害。此等影響使得該雷射加工機，很難 長時間穩定蓮作。而且，由於上述之面鏡必須放置在不會 被該雷射光束照射到的地方，其通常是在頂部，切削區域 使無法由此方向之透視角度觀察到。就其他之觀察位置而 言，上述光波之強度可能不夠，其結果將會使得偵測靈敏 度降低、切削點之實際影像獲取困難、以及運作數據之量 不夠充份。此外，如果上述切削刀頭傜包含該光感測器， 則上述切削蓮作屮所可能使用之所有切削刀頭，都必須要 配備有某種光感測器機構，因而會造成其成本過高之結果 〇 因此，為克服傳統設計之上述諸缺點，本發明之目的 旨在提供一種低成本之雷射加工機，它能夠允許長時間執 行穩定蓮轉、獲取切削點之實際影像、以及偵測靈敏度之 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲<1规格（210 X 297公牮、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（5 ) 提高、而上述之裝置則僅需要一個光感測器機構。 本發明夕概要 本發明一些雷射加工機之實施例，允許部份出自該工 件切削表面上所産生之光波而沿上述光束導引路徑折返的 光波，能與上述之雷射光束分開，而能自該雷射振盪器之 共振器取得並加以偵測。 就本發明之其他特徵而言，上述分開測得之光波，可 得到幾項有用的結果。 本發明之雷射加工機裝置，能夠偵測到其光學偽統之 焦點位置。 本發明之雷射加工機裝置，至少能夠偵測到穿孔之完 成或穿孔期間之故障。 本發明之雷射加工機装置，能夠偵測到上述工件之加 工點的加工狀態。 本發明之雷射加工機裝置，允許其加工條件，能夠依 焦點之位置、穿孔之完成或穿孔期間之故障，以及工件之 加工點的加工狀態而定。 本發明之雷射加工機裝置，允許沿其加工路徑之回授 控制，在蓮用上能夠依上述測得之資訊而定。 本發明之雷射加工機裝置，可使相對於上述雷射光束 之切削刀頭噴嘴孔，以及其聚光器糸統之欠對準，能夠得 到補償。 本發明之雷射加工機裝置，允許其共振器面鏡和光波 導引路徑面鏡之任何傾斜角度，能夠加以改變，以便能夠 本紙張尺度適用中國S家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297 ） (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -裝- -1T· .r 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印焚 五、發明説明（6 ) 補償光束軸線之任何偏差值。 本發明之雷射加工機裝置，允許上述之聚光器，能夠 沿上述光束軸線移動，以便能夠改變該聚光器之焦距。 本發明之雷射加工機裝置，能夠偵測到切削透鏡至工 件表面間之距離。 本發明之雷射加工機裝置，可使得任何用以調整該等 共振器面鏡之活動支撑機構，能夠受到控制，以便能夠補 償光束模態中的任何誤差。 本發明之雷射加工機方法，能夠在該雷射振盪器之振 盪狀況、切削氣體之狀態、焦點之位置、以該焦點位置為 基礎之饋送速率和噴嘴狀態、穿孔之完成，穿孔之故障、 或工件加工點之切削狀態中間，至少就其中之一加以自動 控制。 本發明之雷射加工機方法，能夠依據自該加工點所測 得之資訊，沿上述切削路徑蓮用某種自動回授之控制。 本發明之雷射加工機方法，可使上述之噴嘴孔和聚光 器条統相對於該雷射光束之欠對準，能夠自動地受到補償 Ο 本發明之雷射加工機方法，允許其共振器面鏡和光波 導引路徑面鏡之傾斜角度，能夠加以改變，以便能夠自動 補償光束軸線之偏差值。 圖式^簡塱説明 第1圖傜例示一依本發明之第一較佳實施例所製之雷 射加工機； 本紙張尺度適用中國a家標準（CNS)甲.1規格（210 X 297) 8 - " -----------------一-------裝------ίτ------# — (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 第2圖偽顯示一依本發明之第二較佳實施例所製之雷 射加工機； 第3圖傜第2圔中所示感測器之光偵測靈敏度的一個特 性曲線圖； 第4圖傜顯示一依本發明之第三較佳實施例所製之雷 射加工機的特徵； 第5圖傜一依本發明之第四較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置圖； 第6圔偽顯示一依本發明之第五較佳實施例所製之雷 射加工機； 第7圔傜一依本發明之第六較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置圖； 第8圔傜例示一依本發明之第七較佳實施例所製之另 一雷射加工機； 第9圖傜一依本發明之第八較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置圖； 第1 0圖偽一依本發明之第九較佳實施例所製之雷射力Π 工機的佈置圖； 第1 1圔偽一依本發明之第十較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置_ ; 第1 2圖係一依本發明之第十一較佳實施例所製之雷射 加工機的佈置圖； 第1 3圖偽本發明之雷射加工機在第十二賁施例所用之 較佳結構下的佈置阃； 本纸張尺度適用中囤a家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297公；!i ) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印?;, 五、發明説明（8 ) 第1 4圖偽例示第1 3圖中所示之雷射加工機中，一切SU 透鏡之位置與一光感測器I偵測信號之處理輸出間的關係； 第15圖偽一可顯示第13圖中所示之雷射加工機中，在 穿孔期間一切削點之偵測狀態的示意圖； 第1 6圖傜例示上述光感測器偵測信號之處理輸出，在 上述穿孔之完成前後的變化； 第1 7圖偽上述光感測器偵測信號之處理輸出，在上述 之穿孔期間發生破裂之時刻的一個波形圖； 第1 8圔偽一可顯示切削期間，一切削點之偵測狀態的 示意圖； 第1 9圖傜上述光感測器偵測信號之處理輸出，在上述 之切削期間發生切削故障之時刻的一個波形圖； 苐20圖傜一切削故障自動改進處理之流程圖； 第21圖傺上述之雷射加工機，在其第十三實施例之較 佳形式下的一個佈置圖； 第22圔傺一可顯示上述第十三實施例之雷射加工機中 ,一切削表面在切削路徑劃界線偵測蓮作中之偵測狀態的 示意_ ; 第2 3圖偽本發明第十四較佳實施例之雷射加工機的佈 置圖； 第24圖傜一可顯示本發明第十四實施例之雷射加工機 中，一切削表面在欠對準補償偵測運作中之偵測狀態的示 示意圖； 第2 5圖傜本發明第十五較佳實施例之雷射加工機的佈 本紙張尺度適用中國a家標準（CNS)甲.1规格（210 X 297公if ) 8 ' (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 經濟部中夾標準局员工消f合作社印製 五、發明説明（9 ) 置圖； 第2 6圖偽本發明第十六較佳實施例之雷射加工機的佈 置圖； 第2 7圖偽本發明第十七較佳實施例之雷射加工機的佈 置圖； 第2 8 _偽本發明第十八較佳實施例之雷射加工機的佈 置圖；以及 第2 9圖偽例示一習見於傳統技藝中之雷射加工機。 較佳窨旆例詳細説明 窖旃例1 第1 _傺一例示本發明之第一實施例的佈置圖，其中， 數字1偽表示光感測器、數字2偽表示包括一噴嘴4和一切 削透鏡3之切削刀頭、數字δ偽表示雷射光束、數字9係表 示工件W之切削表面上所生而自其折返之光波、數字1 0偽 表示可控制一驅動台23而使上述待切削之工件y與上述之 雷射光束8—起移動之NC裝置、數字11偽表示可佈置在某 一光波導引路徑上的轉向面鏡、數字12係表示可藉電極 1 5間所形成之放電，使分子受激感應而傳送，以提供上述 雷射光束之電射振盪器、數字1 3偽表示可做為上述雷射振 盪器之共振器面鏡而可移出部份之上述雷射光束的透射面 鏡、而數字1 4則偽表示可做為上述雷射振盪器之共振器面 鏡之背部面鏡。此所用之面鏡1 4在製作上，偽以Z n S e (硒 化鋅）等塗敷成多層薄膜，以確保其反射偽數，對上述之 雷射光束而言約為1 0 0欠，以及對其他光波（待別是可見光 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲丨规格（2丨0 X 297公牮） 9 _ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -裝， .1T. 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、發明説明（1 0) )而言約為數十個百分比。因此，該切削表面上所産生而 沿上述之光波導引路徑折反進入該雷射振盪器内之部份光 波9,能夠被取出至該共振器之外部。數字16偽表示波長 選擇濾波器，例如一有色玻璃，它能夠裝在上述之光感測 器1内，以便能自上述通過該背部面鏡1 4的光波9 ,完全移 去雷射光束之成分，藉以能夠防止該光感測器1受到破壞， 以及能夠選擇使位在高偵測靈敏度之波長區域内的光波通 過。數字9’係表示該工件W之切削表面上所産生而折返之 光波9,業已通過該波長選擇濾波器16後，已除去其雷射 光束之成分的光波。上述所採用之光感測器1 ,係相對於 上述自該波長選擇濾波器1 6輸出之光波9 ’的波長區域，而 具有高的偵測靈敏度，以及其可為一類似S ί發光二極體之 單一光接收裝置，或為一類似其光接收裝置可整合形成一 陣列之C C D的攝影裝置。上述之單一裝置，能夠偵測到上 述切削點之發射強度上的變化，而上述之攝影裝置，除了 能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化外，尚能夠自 該切削點之實際影像中，偵測出其發射強度之分佈或色彩 (波長）上的變化。 在上述之設計屮，該光感測器1以及將光波導至該光 感測器1之面鏡，在佈置上不須緊鄰上述之工件，譬如上 述之切削刀頭内，因而，由於雷射光束之散射光波所致之 傷害，以及由於光波量不足所致之低靈敏度等習見之缺點 ,均能夠得到解決，其整個裝置之製作輕便，以及其偵測 機構之可靠度得以增進。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲‘1规格（210 X 297 m ) 1 〇 _ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) .裝. -IT_ 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消费合作社印奴 五、發明説明（η) 啻旃例2 第2圖偽可顯示依本發明之第二較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字1 7 a、 1 7 b、和1 8係表示用 以界定上述雷射振盪器内之共振光束軸線的面鏡。此等面 鏡之中，面鏡18偽分光器，其正像上述之背部面鏡14 一樣 ，對上述之雷射光束而言，約具有100处的反射偽數，以 及對其他光波（特別是可見光）而言，則具有數十個百分比 的反射傜數，以及其在製作上，舉例而言，係以Z n S e (硒 化鋅）等塗敷成多層薄膜，以及其在功能上可利用由於極 化所致反射傜數之差異，使得上述輸出之雷射光束線性極 化。數字1 9傜表示雷射光感測器，亦即一類似熱電堆之熱 電轉換裝置，或是類似HgCdTe之光電轉換裝置，其偽用以 偵測一些通過該背部面鏡1 4之雷射光束8。上述已返回該 雷射振盪器之光波9,傜經由該波長選擇濾波器16,完全 將其雷射光束之成分除去，並且係受到上述類似S i發光二 極體之光感測器1的偵測。第3圖係顯示上述光感測器1和 上述雷射光感測器1 9之光偵測靈敏度，以及上述波長選擇 濾波器1 6之透射特性的一値範例，其中，如果該光感測器 1之靈敏度中心，偽在可見光之區域内、該雷射光感測器 19之靈敏度，偽在紅外線光波之區域内、以及該波長選擇 濾波器1 6 ,係屬於透射之型式時，則上述光波之偵測，便 不會受到感測器靈敏度之平擾。上述之光感測器1 ,可為 一類似S i發光二極體之單一光接收裝置，或為一類似其光 接收裝置可整合形成一陣列之C C D的攝影裝置。上述之單 本紙張尺度適用中國圃家桴準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297公辁） 1 1 — ' ' ---------------- 訂^' (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 經濟部中央標準4員工消費合作社印製 五、發明説明（12) 一裝置，能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化，而 上述之攝影裝置，除了能夠偵測到上述切削點之發射強度 上的變化外，尚能夠自該切削點之實際影像中，偵測出其 發射強度之分佈或色彩（波長）上的變化。以上之佈置方式 ,不但能夠對上述之雷射光束加以偵測，以便能監控該雷 射之輸出，同時尚且能夠偵測出上述切削點所生而返至該 雷射振盪器之其他光束，並加以導引。 若不使用此實施例中被界定為分光器之面鏡18,也可 使用17a或17b做為上述之分光器，而將該波長選擇濾波器 1 6和該光感測器1置於其後，以産生相同的效果。 窖施例3 第4圖傜可顯示依本發明之第三較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字20傜表示分光器，其偽佈 置在該雷射加工機之雷射振盪器内的共振器面鏡之間。此 分光器在製造上，傜使用某種材料，譬如G a A s ( 5Φ化鎵）， 以便使大約1 0 0知左右之雷射光束通過，而使大約1 0 0 %左 右之其他光波反射，以及其在佈置上可使上述雷射光束之 入射角為布魯斯待角（Brewster angle),以便上述之雷射 光束8能夠線性極化。 上述在該切削表面上所産生而折返進入該雷射振盪器 内之光波9,會被上述之分光器20反射，並通過該波長選 擇濾波器1 6，而為該光感測器1所偵測。上述通過該分光 器2 0之雷射光束8 ,會有些許通過該背部面鏡1 4，而為該 雷射光波感測器1 9所偵測。此不但能夠對上述之雷射光束 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲.1规格（210 X 297公ii ) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) -裝- '1T. 219906 A6 B6 經濟部中央標準荀K工消f合作社印製 五、發明説明（1 3) 加以偵測，以便能夠監控該雷射之輸出，同時能夠偵測上 述切削點所生而返至該雷射振盪器之其他光束。上述之光 感測器1 ,可為類似S i發光二極體之單一光接收裝置，或 為類似其光接收裝置可整合形成陣列之C C D的攝影裝置。 上述之單一装置，能夠偵測到上述切削點之發射強度的變 化，而上述之攝影裝置，除了能夠偵測到上述切削點之發 射強度上的變化外，尚能夠自該切削點之實際影像中，偵 測出其發射強度之分佈或色彩（波長）上的變化。 窖施例4 . 第5圖偽可顯示依本發明之第四較佳實施例所製雷射 加工機之雷射振盪器的佈置阃，其中，數字21偽表示一透 光面鏡，其傜佈置在上述雷射振盪器之共振器面鏡中間， 以及其中央有一大至足以令上述之雷射光束8通過的孔。 上述在該切削表面上所産生而折返進入該雷射振盪器内之 光波9,會被上述之透光器21反射，通過該波長選擇濾波 器1 6 ,而為該光感測器1所偵測。上述之波長選擇濾波器 16,可以具有聚光器之功能，以便能將上述切削點之影像 ,形成於該光感測器1之光接收表面上。由於上述透光器 2 1之該孔傜較該雷射光束8之直徑為大，上述之雷射光束 8 ,可以振盪於該部份透射面鏡1 3與該背部面鏡1 4之間， 而不致受到上述透光器2 1之阻礙，以及其有一部份可通過 該背部面鏡1 4 ,而為該雷射光感測器1 9所偵測。此不但能 夠對上述之雷射光束加以偵測，以便能監控該雷射之輸出 .同時尚且能夠偵測上述切削點所生而返至該雷射振盪器 本紙張尺度適用中囤國家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297公;!> : (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 裝. ,11. 219906 A6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B6_ 五、發明説明（1 4) 之其他光束。上述之光感測器1,可為一類似Si發光二極 體之單一光接收裝置，或為一類似其光接收裝置可整合形 成一陣列之C C D的攝影裝置。上述之單一裝置，能夠偵測 到上述切削點之發射強度上的變化，而上述之攝影裝置， 除了能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化外，尚能 夠自&切削點之實際影像中，偵測出其發射強度之分佈或 色彩（波長）上的變化。 審旆例5 第6圖偽可顯示依本發明第五較佳實施例所製之雷射 加工機的佈置圖，其中，數字32偽表示一分光器，其在製 作上，舉例而言，傜以Z n S e (硒化鋅）等塗敷成多層薄膜， 它能夠將通過該背部面鏡1 4之雷射光束δ ,與上述在該切 削表面上産生而折返進入該雷射振盪器内之光波9分開。 數字1 9係表示可用以偵測該雷射光束8之雷射光感測器， 而數字1傜表示光感測器，它可用以偵測上述自該光波9通 過該波長選擇濾波器16而已完全除去雷射光束之成分的光 波9 ’。以上之設計，不但能夠對上述之雷射光束加以偵測 ，以便監控該雷射之輸出，同時尚且能夠偵測上述切削點 所生而返至該雷射振盪器之其他光束。上述之光感測器1 , 可為一類似S i發光二極體之單一光接收裝置，或為一類似 其光接收裝置可整合形成一陣列之CCD的攝影裝置。上述 之單一裝置，能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化 ,而上述之攝影裝置，除了能夠偵測到#述切削點之發射 強度上的變化外，尚且能夠自該切削點之實際影像中，偵 本纸張尺度適用中SS家標準（CNS)甲.1規恪（2!0 X 297 ) 1 . — ' -----------------------裝---------訂------^ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 經濟部中央標準局3工消費合作社印¾ 五、發明説明（1 5) 測出其發射強度之分佈或色彩（波長）上的變化。 此實施例中所採用，可使該雷射光束8反射以及可使 其他光波9通過的分光器，如果將該雷射光感測器1 9與該 光感測器1之位置調換，就可以用某種材料，譬如G a A s (砷 化鎵），所製之分光器代替，以使上述之雷射光束通過， 以及使其他光波反射，而具有相同的效果。 審旆例 第7 _偽例示依本發明第六較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置圖，其中，數字33偽表示積分球體，它可使自 該背部面鏡1 4取得之部份雷射光束8均勻熄滅。數字1 9偽 表示一雷射光感測器，它能夠自業已被上述積分球體33減 弱、積分、及（或）平均的光波屮，偵測出其雷射光束之成 分，以期能夠偵測出上述雷射光束振盪器之輸出值。此種 積分球體在市面上，可購自New London, New Hampshire 之Labsphere Corporation。上述除該雷射光束外，在該 切削點産生，返至該雷射振盪器内，通過該背部面鏡1 4 , 並且被導引至該積分球體3 3的光波9 ,可以透過該濾波器 1 6 ,而為上述之光感測器1所偵測。該光感測器1在佈置上 ,傜使其偵測段朝向該積分球體33之内表面。此種佈置方 式，不但能夠利用該雷射光感測器1 9 ,來偵測上述之雷射 光束，以便能夠監空上述雷射之輸出，同時也能夠利用該 光感測器1 ,來偵測上述出自該切削點之光波。此外，在 此種佈置方式中，上述取代分光器之積分球體，和各裝配 在此積分球體之感測器，可以提供一種成本低而輕便的裝 本紙張尺度適用中國[f家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公牮、 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝- •έτ1 .腎. 219906 A6 經濟部中失標準局S工消費合作社印製 _B6_ 五、發明説明（1 6) 置。 奮旃例7 第8圖傜例示依本發明第七較佳實施例所製之雷射加 工機的佈置圖，其中之光感測器1 ,傜與該雷射光感測器 19,以及該波長選擇濾波器16 —體成形。此種設計亦可産 生與實施例6同樣的效果。 宮旃例8 第9圖傜可顯示依本發明第八較佳實施例所製之雷射 加工機的佈置圖，其中，數字3 4偽表示面鏡（分光器），其 在製造上係使用某種材料，譬如G a A s ( δφ化鎵），以便能夠 使上述之雷射光束8通過，以及使其他光波9反射，籍以使 該雷射光束8和該其他光波9分開，以及該面鏡係佈置在該 積分球體33内。上述通過該積分球體33之雷射光束成分， 可受到該積分球體3 3之處理，而為該雷射光感測器1 9所偵 測。上述在該切削點産生，返回該雷射振盪器内，並且自 該背部面鏡1 4出來，除雷射光束外的光波9 ,會被面鏡3 4 反射，而通過上述之波長選擇濾波器16和聚光器35,並被 導引至該光感測器1内，而為其所偵測。此一光感測器1 , 可為一類似S i發光二極體之單一光接收裝置，或為一類似 其光接收裝置可整合形成一陣列之CCD的攝影裝置。上述 之單一裝置，能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化 ，而上述之攝影裝置，除了能夠偵測到上述切削點之發射 強度上的變化外，尚能夠自該切削點之實際影像中，偵測 出其發射強度之分佈或色彩（波長）上的變化。此種佈置方 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297公垃： 1 Q - (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 裝. .ίτ. 4. 219906 a6 B6 五、發明説明（1 7) 光光 射該 雷 用 之利 述夠 上能 測也 偵時 。 來同波 , , 光 器出之 測輸點 感之削 光射切 射雷述 雷述上 該上自 用控出 利監ipj 夠夠偵 能能來 但便 ， 不以器 > , 損 式束感 射某 雷 以 之傺 製其 所 - 例器 施波 實濾 佳示 較表 九傜 第 3 明 字 發數 本 ， 依中 示 其 顯 ， 可圖 偽置 圖佈 8 J 1 的 第機 Η 加 ΐ ί /—-V Θ S 反 Z 束 似光 類射 種 雷 鋅 化 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 2 ο 光 10射 約雷 大該 使使 可以 它藉 的過 成通 製波 料光 材他 之其 丨使 並 域 區 的 部 内 3 3 體 球 分 積 該 朝 面 其 而 開 分 3 9 體 波球 光分 他積 其該 該 與 和傜 面 部 背 該 自 ο 度 彎 的 樣 同 成 形 面 表 内 之 體 球 分 積 9 該 波在 光8、 他束 M、光 其 ί 口 务 ί. * 8 雷 束之 光述 射 上 雷 〇 的内 來33 出體 4 1 球 鏡分 積 之 述 上 至 引 導 被 均 被 會 内 -裝. 波器 光波 他濾 其擇 , 選 散長 擴波 並該 射 由 反經 體 球 分 積 該 過 通 會 則 器 光 聚 該 和 可 且 並 述 上 至 引 導 被 而 '1T. 内 置 裝 收 接 光 器 一 測單 感之 光體 之極 器 測 感 光 之 述 上 二 成 光形 發 合 S 整 似可 類置 一 裝 為收 可接 , 光 1其 似 類 或 化 變 的 度 強 射 發 之 C 點 之削 列切 陣述 一 上 置 裝 影 攝 的 UU 0 WUMJ 偵 穸 能 置 装 一 單 之 述 上 了 除 置 裝 影 攝 之 述 上 而 ^: 經濟部中夾標準局員工消費合作钍印製 自彩 夠色 能或 尚佈 , 分 外之 化度 變強 的射 上發 度其 強出 射?|,| 發偵 之 ， 點 中 削像 切影 述際 上實 到之 iSS 點 偵削 夠切 能該 感 光 的 面 上 3 3 體 球 分 積 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利 夠 會 也 時 同 出 厶S 波 光 之 ?ί 削 切 該 自 出 述 上 測 偵 來 本纸張尺度適用中囤國家楞準（CNS)甲.彳规格（210 X 297公贷） 219906 AG B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印5衣 五、發明説明（） 18 奮旃例1 0 第11圖偽可顯示依本發明第十較佳實施例所製之雷射 加工機的佈置圖，其中，數字37偽表示雙凸透鏡或一平凸 透鏡，其在製造上偽使用某種材料，譬如G a A s ( δφ化鎵）， 以期能夠使上述之雷射光束8反射，以及使其他光波通過， 亦即，實施例9中所示之3 6 ,偽被修改成一透鏡之形狀， 以便能夠提供影像資訊之功能。由於其面朝該積分球體 33之内部的區域，偽具有外凸之球形表面，上述在該切削 點産生，進而返至該雷射振盪器内，以及通過該背部面鏡 14,並且被導引至該積分球體33之光波屮的雷射光束成分 ,會被反射並擴散，而其他光束則會收斂，並且通過上述 之波長選擇濾波器16,而被導引至上述之光感測器1内。 此一設計能夠提供上述切削點之實際影像，而不必使用第 1 0圖屮所探用之聚光器3 5 ,以及該雷射光感測器1 9 ,在佈 置上能夠使得上述雷射之輸出，在偵測上具有與實施例9 中同樣的效果。上述之光感測器1 ,可為一類似S i發光二 極體之單一光接收裝置，或為一類似其光接收裝置可整合 形成一陣列之C C D的攝影裝置。上述之單一裝置，能夠偵 測到上述切削點之發射強度上的變化，而上述之攝影裝置 ,除了能夠偵測到上述切削點之發射強度上的變化外，尚 能夠自該切削點之實際影像中，偵測出其發射強度之分佈 或色彩（波長）的變化。 審旃例1 1 第1 2圖偽例示依本發明第十一較佳實施例所製之雷射 本紙張又度適用中國國家標準（CN'S)甲4規格（210 X 297公if ) - - 18 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) —裝- '1T. .線， 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

五、發明説明（i 9) 加工機，其中，實施例1 0中所示之透鏡3 7 ,偽佈置在該積 分球體3 3内之某一選擇位置。此在佈置上如所示之透鏡 3 7 ,可以從該切削點所産生，進而返至該雷射振盪器内， 以及通過該背部面鏡1 4 ,並且在該積分球體3 3内擴散並平 均化的光波中，將除雷射光束外的其他光波集中，藉以使 更多的光波，能夠被導引至上述之光感測器1内。而且， 上述所設之雷射光感測器1 9 ,不但能夠偵測上述之雷射光 束，以便能夠監控上述雷射之輸出，同時也能夠利用上述 之光感測器1 ,對上述出自該切削點之光波進行偵測。 審旃例1 2 第1 3圖係可例示依本發明第十二較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字2 2偽表示主動齒輪，其包 括有一位置编碼器，它可沿某一光束軸線（垂直）方向，移 動一聚光器条統，譬如一切削透鏡3 ,以及它不但能夠驅 動該切削透鏡，而且能夠驅動與該切削透鏡合併在一起的 整個切削刀頭。數字26偽表示一從動噴嘴，它能夠改變該 工件與該噴嘴間之距離，以及該噴嘴之形狀。數字23偽表 示可以移動上述工件W之驅動台，數字24傜表示一切削氣 體調節器，它可調節切削氣體之狀態，譬如，切削氣體之 壓力、流速、型式、和組成分等，數字10像表示NC裝置， 其包括有伺服電路，它能夠控制上述之主動齒輪22、驅動 台2 3、和從動噴嘴2 6 ,以及具有能夠産生命令信號給上述 之切削氣體調節器2 4和上述雷射振盪器1 2的功能，而數字 27則偽表示雷射振盪器控制電路，它能夠將上述雷射光感 本紙張瓦度適用中國國家標準（CNS)甲·1规格（2〗0 X 297 乂轻） 1 Q ------------------------裝------，玎------# (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局S工消費合作社印製 219906 A6 B6 五、發明説明（2 0) 測器1 9之偵測信號，轉換成振盪之雷射輸出，以執行上述 之回授控制，而使該雷射輸出，能夠與一來自該NC裝置 1 0之雷射輸出命令值相匹配。數字2 5係表示光感測器偵測 信號處理電路，它可依據實施例1至11中述之任一方法， 由某一信號找出在上述切削點所生而為該光感測器1所偵 測之輸出在切削點發射強度上的變化。就此點而言，如果 該光感測器1偽單一装置，則上述之變化，可經由該光波 導引路徑和該雷射振盪器1 2而加以決定。反之，如果該光 感測器1偽一攝影裝置，則可經由其影像處理，決定該切 削點發射強度在分佈上或色彩（波長）上的變化。上述之處 理電路2 5 ,也可用以執行波峰之偵測或比較等蓮作，以便 能夠産生一信號給上述之NC裝置10。數字28偽表示一遠端 顯示裝置，它可在有裝置之故障等事件發生時，對遠離該 雷射加工機之操作員提出警告。 今將詳細說明其運作方式，正當該工件W受該驅動台 23之驅動而在一水平方向上移動之際，該工件W會受到大 約1 0 0 W而使用某種類似氮氣等無作用切削氣體之弱雷射光 束的照射。當該切削透鏡3上下移動時，該發射火焰將發 生於上述之照射點處。當該切削透鏡之焦點恰巧在該工件 之表面上時，則會有亮度特別高的藍色發射（藍色火焰）産 生。 第14圖偽以一範例來顯示，當該照射點之發射火焰為 該光感測器1所偵測，而業已經過該光感測器偵測信號處 理電路2 5處理過後，所提供之光感測器偵測信號處理之輸 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS>甲.1規格（210 X 297 X釐： 20 經濟部中央標準局員工消f合作社印- 219906 A6 _B6_ 五、發明説明（2 1) 出值。該照射點之發射強度，會相對於該切削透鏡在該光 束軸線（垂直）方向上之運動而改變。當該光感測器1為單 一裝置時，所偵測的是整個照射點之發射強度的變化，因 而所提供的是.輸出A。當該光感測器1為一攝影裝置時，所 偵測的是其發射強度之分佈，因而，就上述強度分佈中之 高亮度點而言，所提供的是輸出B ,以及就上述有藍色火 焰時所産生之光束波長（色彩）的亮度變化而言，所提供的 則是輸出C。在A、 B、和C任一之輸出中，在該切削透鏡之 垂直蓮動期間，其最大輸出之位置，係對應於上述切削透 鏡之焦點與該工件表面相重合的狀態。因此，就A、B、和 C任一之光感測器偵測信號處理輸出值而言，當該光感測 器偵測信號理電路25之輸出值為最大時，便會有焦點偵測 信號自其送至該NC裝置，並且將該主動齒輪22内之位置編 碼器當時之值儲存起來，如此，當該工件表面與該切削透 鏡之焦點重合時，該切削透鏡之位置，將被確認而自動執 行上述之對焦工作。當上述之聚光器条統傺屬反射之型式 ,譬如抛物面鏡時，也可以進行同樣之蓮作。 第1 5 a _和第1 5 b圖傜以一範例來例示，正在雷射切削 起始點進行穿孔之切削動作，為上述攝影裝置之光感測器 1所偵測，而經過上述光感測器偵測信號處理電路2 5完成 影像處理的狀態。自一噴嘴孔2 9看去之切削點，在完成穿 •孔前，將如（a )中所示，整値切削點均會發射光波，但在 完成其穿孔後，則將會如（b )中所示，僅有已穿孔之外緣 會發射光波。 本紙張又度適用中围國家標準（CNS)甲4规恪（210 X 297公縫） ^ ^ - ----------------1-------裝------1T-----. ' ^ (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印s 219906 A6 B6 五、發明説明（2 2) 第16圖係以一範例來顯示，該切削點在穿孔期間所生 之光波，為該光感測器1所偵測，並經過上述之光感測器 偵測信號處理電路25處理過之時，所提供之光感測器偵測 信號處理輸出值。不論該光感測器1傜單一裝置或傺攝影 裝置，上述之輸出值是一樣的。由於完成穿孔後，該光波 之強度會減弱，上述之輸出位準會降低。該穿孔之完成在 偵測上，可由上述之輸出準位是否業已低於某一預先指定 之位準A來決定，而上述之位準A係經過實驗認定其能夠指 示出上述穿孔之完成。因此，如果上述對應於該切削點之 光波強度的光感測器偵測信號處理輸出值，藉著上述之光 感測器偵測信號處理電路2 5内所設之比較電路，與上述之 待定位準A比較時，一旦上述之輸出值降至低於該待定位 準A ,該光感測器偵測信號處理電路2 5 ,便會送出穿孔完 成信號給上述之N C裝置。此外，如果該N C裝置1 0於收到該 信號而開始次一運作時，該工件便可以順序切削，而不須 預先設定好工件由其初始溫度所致穿孔時間之變化，故能 縮短其切削時間。而且，由於上述照射點外緣之溫度，在 穿孔期間於破裂發生前，會立即昇高，由於熱輻射所致， 上述之發射區域將會擴張，以及該切削點所發出而為該光 感測器1所偵測之光波強度也會增加。 第1 7圖係顯示上述狀態之一個範例。由於該光感測器 偵測信號處理輸出值，會鎏應上述光波強度之增加而昇高 ,一特定位準B被預定為破裂發生之臨界值。如果將上述 之光波強度的光感測器偵測信號處理輸出值，與上述之特 本紙張尺廑適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公》) 2 2 ， -----------------;-------裝------1T----->4 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 219906 A6 B6 五、 發明説明 (23) 定 位 準 B進行比較， 當該輸出值業已超過該持定位準B 時 9 該 光 感 測 器 偵 測 信 號 處 理 電 路 25 < 便 送 出 一 破 裂 防 止 信 號 給 上 述 之 NC 裝 置 10 t 該 N C 裝 置 1 0於 接 收 到 上 述 之 信 號 時 t 便 即 開 始 控 制 該 雷 射 振 盪 器 之 振 盪 條 件 9 譬 如 9 該 輸 出 值 頻 率 和 X 作 週 期 或 切 削 氣 體 之 壓 力 等 0 因 而 能 夠 防 止 上 述 穿 孔 由 於 破 裂 所 可 能 導 致 之 故 障 0 而 且 f 如 果 能 對 應 於 發 生 破 裂 時 之 光 感 測 器 偵 測 信 號 處 理 輸 出 值 t 而 設 定 — 待 定 位 準 C 時 t 則 由 於 在 上 述 方 法 中 無 法 避 免 之 穿 孔 故 障 所 致 而 發 生 之 破 裂 便 能 夠 被 偵 測 到 而 如 果 將 其 資 訊 送 至 該 NC 裝 置 10 内 » 則 就 能 夠 令 其 蓮 作 停 止 > 並 且 能 夠 透 過 該 遠 丄山 m 顯 示 裝 置 28 t 提 出 警 告 而 將 此 一 故 障 告 知 操 作 員 0 誠 如 以 上 所 述 1 當 上 述 之 切 削 點 能 夠 由 其 頂 部 而 被 觀 察 到 時 ) 則 該 切 削 點 之 發 射 強 度 將 十 分 清 楚 1 以 及 其 S/ N 比 值 也 得 到 改 進 9 因 而 > 比 起 上 述 傳 統 式 之 裝 置 > 籃 色 火 焰 之 發 生 、 穿 孔 之 兀 成 和 破. 裂 發 生 之 號 誌 ) 均 能 夠 精 確 地 被 偵 測 到 > 以 及 焦 點 偵 測 之 信 號 處 理 穿 孔 兀 成 之 偵 測 和 破 裂 之 防 止 9 也 均 能 夠 輕 易 地 被 執 行 〇 第 1 8 圖 傜 以 簡 圖 來 例 示 一 範 例 > 以 說 明 該 雷 射 切 削 期 間 切 削 點 之 狀 態 t 其 僳 由 上 述 攝 影 裝 置 之 光 感 測 器 1 所 偵 測 f 以 及 其 偵 測 之 輸 出 值 9 傜 業 已 被 上 述 之 光 感 測 器 偵 測 信 號 處 理 電 路 25 處 理 過 0 除 該 雷 射 昭 射 點 之 發 射 外 > 切 削 所 産 生 之 溝 槽 ) 可 以 由 雷 射 光 束 前 進 方 向 之 對 側 觀 察 到 9 以 及 向 下 流 入 上 述 溝 槽 内 之 熔 融 金 屬 之 熱 輻 射 所 致 之 發 射 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297公ίΐ ) 2 3 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 . - - -------------------------裝------’玎------線-------------------------- (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 變 表提器當其理信則測述到有模 、等上將作速上時能 有 削所測 C 起處測 ，偵上收間束速等進 ，工授在同故 態 切述感的比號偵較被至接期光流狀改況和回存的 ， 狀 、上 光同 ，信器比化送 ，削 ， 、形能狀率 、儲測目 削 孔 ，之相度測測行變被28切如力嘴故之頻置先偵項 切 槽時述傜強偵感進何 訊置在譬壓噴 ，生 、位事之整 之 圓生上值射器光DE任資裝果 ，之和態發值點 ，態調 述 。半發論出發測該 Μ 的該示如件體 、狀障出焦目狀之 上變似障不輸之感果準外果顯 ，條氣度常故輸 、項點述 當改類故 。之點光如位以如端言之削高正等 、式整削上 , 會有削值等削而 ，定圍 。遠而盪切嘴至此態型調切整 間也 當切 出彼切 ，此 特範生 該般振 、噴 復據模 、的述調 期態 ，等輸 ，述化因之 之發過一整期 、恢依束速等上 ， 削狀示著理置上變 。定間障透 ，調週率作果光流狀在下 切射顯黏處装 ，地變確ΟΕ故能且度作速蓮如 ， 、形夠令 在發來渣號影時則改先 Μ 削便而適工授削 ，如力嘴能命 。 之例浮信攝生規地預準切員 。 ，和回切以譬壓噴便之 到點範或測偽發不應與位有作告時率 、之所 ，之和 ’10 Θ 察削以 、偵或障會對 ，定定 操警生 頻置述 。件體 、内置 (2觀切傜燬器置故將會值特認 -的發 、位上障條氣度10裝 明被述圔燒測裝削 ，也出等可10生 障值點使故之削高置NC 説夠上19、感一切態 ，輸此便置發故出焦夠之盪切嘴裝述 Μ 能 ，第傷光單類狀值理有 ，裝障之輸 、能削振 、噴NC上 、 也時 損之傜此常出處果時NC故述 、式便切述期 、之在 五 ，化 面供 1 有正輸號如到之該上態型 ，述上 週率述 ， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（2]0 X 297么、發） 219906 A6 B6 經濟部中夾標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（2 5) 自動改進上述切削之故障。 第2 0圖傜切削故障自動改進處理之流程圖。當該光感 測器1傜攝影裝置，以及其輸出值係經過上述之光感測器 偵測信號處理電路2 5做過影像處理時，則切削點之發射強 度分佈的變化，更能夠被確認。因此，上述切削條件在監 控上會較僅偵測光波強度之變化更為詳盡。而且，由於該 切削點之溫度等能夠被確認，上述切削外的其他處理蓮作 ,譬如，硬化和熔接，均能在同樣的方式下加以自動化。 當該切削點所生而返回該雷射振盪器之光束，被該光 感測器1偵測到時（步驟1 0 1 ),所得之偵測輸出復經過信號 處理（步驟1 0 2 )。如果其光波傜落於某一上下特定位準（分 別為D和E )之範圍内時，所進行的便傜正常之切削；而如 果逾越上述之位準範圍，則可確定有切削故障發生（步驟 1 0 3 )。由上述之範例可見，如果上述雷射加工機在控制上 ,偽依據上述處理之結果時，則對焦、穿孔完成之偵測、 破裂之偵測、切削故障之偵測、和切削故障之改進，切削 蓮作之自動化，以及無人化運作之執行等均得以完成（步 驟 1 0 4 )。 審旃例1 3 第2 1圖偽依本發明之第十三較佳實施例所製上述之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字40係表示發光裝置，其所 生之光波可因透鏡42而成平行狀，以及可被分光器42導引 至上述之雷射振盪器12内，進而可通過該雷射振盪器12、 上述之波導引路徑、該切削透鏡3 、和該噴嘴孔2 9 ,並且 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297 H ) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝· -1T. 丨線- 219906 A6 B6 經濟部中央標準局3工消f合作社印製 五、發明説明（2 6> 照射到上述工件W之切削表面。受到上述發光裝置40之光 波照射之切削表面，係在實施例1至5和實施例8至1 0中之 任一方法下，經由上述之噴嘴孔29,而受到上述使用一攝 影裝置之光感測器的偵測，而其輸出值則係經由上述之光 感測器偵測信號處理電路2 5做影像處理，以便能夠偵測一 切削路徑之劃界線4 3 ,是否等於該工件W之表面上一條預 先設定的切削路徑。 第2 2圖偽顯示上述切削之一個範例。其中，相對於該 噴嘴孔2 9之噴嘴中心4 4 ,可由上述之影像中看到 ，以及 有一驅動命令自該N C裝置1 0送至該驅動台2 3 ,以便能夠將 該噴嘴中心4 4，定位在該切削路徑之劃界線4 3上面，而進 行上述拷貝之蓮作及沿該切削路徑劃界線4 3上之定位，如 此，不必事先將寫好切削路徑之形狀程式輸入該N C裝置1 0 ,便能切削出其之形狀。 在上述工件W受到該雷射光束8之照射與切削的同時， 可以執行上述切削路徑劃界線43之偵測和其拷貝之運作， 或者可以僅以該拷貝蓮作先進行教導蓮作，繼而再依據此 所生之教導數據，進行工件之切削。 此外，當所用之驅動台2 3，偽具有除水平行程外之一 旋轉軸的三維切削台時，則在一三維實體上預先設定之切 削路徑劃界線4 3的拷貝蓮作，便能夠加以執行，以及上述 用手完成之教導工作，便能夠自動地進行，其工作時間因 而可大幅降低。可以瞭解到的是，上述光波導引路徑中的 轉向面鏡1 1 ,可以用做一分光器，以使上述之雷射光束反 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297 i'il·、 2 6 " ------------------------裝------'玎------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印52 219906 A6 _B6_ 五、發明説明（2 7) 射，而使其他之光束通過，並將上述之發光裝置40,佈置 在可以照射到該工件W之位置，藉以産生相同的效果。而 且，在實施例1 2中，加入上述之發光裝置，可於切削期間 ,照亮上述之切削點，而有利於其之偵測。 實旆例1 4 第2 3圖傜可顯示依本發明另一較佳實施例所製之雷射 加工機的佈置圖，其中，該切削表面係由一類似實施例1 3 中之工件W發光機構所照射，以及可在實施例1 - 1 0中之任 一偵測方法下，為上述攝影裝置之光感測器1所偵測，而 其輸出值則偽經過上述之光感測器偵測信號處理電路25做 影像處理，以便能確認該噴嘴孔2 9與該雷射光束所照射切 削點45之位置間的關傜。 第24圖偽顯示上述之一範例。由上述之影像中，可以 看到上述相對於該噴嘴孔2 9之噴嘴中心4 4 ,可偵測到上述 切削點45相對於此噴嘴屮心44之偏差值，有一用以修正此 偏差值之補償值，將會輸入至一欠對準補僂器4 6内，以及 上述之噴嘴4或切削透鏡3會移動，以便使該噴嘴中心44與 該切削點45能夠重合，藉以補償該噴嘴和該切削透鏡相對 於該雷射光束之欠對準，其在以往傜以手操縱，如今則可 在很短的時間内自動執行。而且，由於整個噴嘴孔能夠被 觀察到，該噴嘴孔之變形和阻塞，均能夠被偵測到。 實施例1 5 第25圖傜可顯示依本發明第十五較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字47係表示可産生某種可見 本紙張又度適用中國國家標:¥ (CNS)甲4规格（210 X 297公辁： 2 7 ' (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局S工消費合作社印製 219906 A6 B6 五、發明説明（2 8) 光雷射光束，譬如HeNE (氦氖）雷射，的雷射振盪器。此振 盪而成之HeNE雷射光束，會被上述之分光器42反射，而導 入上述與該雷射輸出光束同軸之雷射振盪器1 2内，並且進 一步經由上述之光束導引路徑，加於該工件W上面。所加 之HeNE雷射光束，會在該工件W之表面上反射，再次通過 該光波導引路徑，而反至該雷射振盪器12内，並且進一步 通過該雷射振盪器内之背部面鏡14和該分光器42,而返回 該光感測器1内，此折返之光波，可以在實施例1 - 1 0中之 任一偵測方法下加以偵測，而其輸出值，則傜經過上述之 光感測器偵測信號處理電路2 5做影像處理，以便能夠提供 上述光波導引路徑屮之轉向面鏡11和共振器面鏡17a, 17b 等之傾斜角所致光束軸線偏差值的資訊。依據此等資訊， 對上述光波導引路徑中之轉向面鏡1 1和共振器面鏡1 7 a , 1 7 b等之傾斜角加以修正，便能夠修正上述光束軸線的偏 差值。上述以該光感測器偵測信號處理電路25所輸出之光 束軸線偏差值做為基礎的資訊，將輸入至一面鏡傾斜角修 正電路4 8 ,並且有一修正值命令，自此面鏡傾斜角修正電 路4 8 ,送至一傾斜角修正器4 9 ,其可以電力修正上述光波 導引路徑中之轉向面鏡1 1和共振器面鏡1 7 a、 1 7 b等所提供 之面鏡的傾斜角，以便能夠自動補償由於面鏡之傾斜角所 致光束軸線的偏差值。 審旆例1 R 第26圖偽可顯示依本發明之另一較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置两，其中，數字5 1係表示聚光器，其係在 本紙張尺度適用中國阐家標準（CNS)甲4規格（210 X 297 ) 2 8 ' (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) —裝. -1T. 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 五、發明説明（2 9) 實施例1至5和實施例8至1 0中之任一方法下，緊接佈置在 光感測器1之前，並且能夠藉一透鏡驅動齒輸5 0 ,在上述 光束軸線之方向上移動，以便能夠改變其焦距。藉箸所置 之一類似實施例1 3中的發光機構，上述由照射物體反射而 自該雷射振盪器内部之背部面鏡14出來的光束，會通過上 述之分光器51,並被導入上述攝影裝置之光感測器1内。 利用該透鏡驅動齒輪5 0來移動該分光器5 1 ,上述之焦點位 置得以改變，而使該工件W至發切削透鏡3間、該轉向面鏡 1 1與該雷射振盪器内之共振器面鏡1 3、 1 7 a、 1 7 b間的距離 適當，因而可利用上述之光感測器1 ,觀到上述表面之狀 態。利用上述之光感測器偵測信號處理電路2 5，將其輸出 值做影像處理，則類似切削透鏡、轉向面鏡、和共振器面 鏡等之光學零件的污染與損壞，均能夠被偵測到，因而， 上述之雷射加工機實具有自我診斷之功能。 審施例1 7 _ 第2 7圖傜可顯示依本發明第十七較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字5 2偽表示距離感測器，其 傜由一感測器與一雷射、超聲波、或紅外線等之産生器整 合而成，它能夠測量出自該背部面鏡1 4 ,經由該雷射振盪 器和該光波導引路徑，至上述工件表面間的距離。此容許 該切削透鏡至該工件表面間之距離，能在高速下加以精確 偵測，而在切削期間，使得該切削透鏡之焦點位置，能夠 精確地跟隨該工件表面因其不平之表面和厚度上之變化所 致之變化而改變，因而能夠確保有精確而穩定的切削運作 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲.1规格（210 X 297公垃） 9 Q - ' ^ (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) .裝， -1T. %- 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員4消費合作社印製 五、發明説明（30) 0 審旆例1 8 第28圖偽可顯示依本發明最後之較佳實施例所製之雷 射加工機的佈置圖，其中，數字53偽表示將適當輸出之雷 射光束加至上述切削表面，而在該切削表面上産生光波之 亮度分佈。此亮度分佈5 3 ,可在實施例1 - 1 0中之任一方法 下，為該攝影裝置之光感測器1所偵測，其輸出值則係經 由上述之光感測器偵測信號處理電路25做影像處理。上述 之亮度分佈5 3 ,幾乎相當於該切削點處之雷射光束横斷面 的能量強度分佈。因此，由上述所設雷射光束之能量強度 分佈，可以判斷其光束之模態。正當傳送至上述NC裝置 10之高度分佈53被核對之際，上述雷射振盪器12之共振器 面鏡傺受到校準，而能維持其最佳之光束模態。或者，利 用一些由多數値装配在該等共振器面鏡1 3、 1 7 a、 1 7 b、和 1 4上面之致動器所構成而可對該等共振器面鏡之角度做微 調的活動式支撑體5 5和一控制器5 6 ,也能夠完成上述之校 準動作，而維持其最佳之光束模態。 同時，所述雷射加工機之上述實施例，並非有限制之 意，其可應用於任何可以雷射光束撞擊準備照射之物體而 産生同樣效果的裝置中。 由於本發明在結構上傺如上所述，其所産生之效果如 下： 該工件上之切削點所生，而折返至該雷射振盪器，除 雷射光束之波長外之其他波長的光束，偽得自於上述供雷 本紙張'度適用中國國家標準（CNS)肀4规格（210 X 297公釐） 3 0 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝- .線， 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（3 〇 射共振使用之共振器的背部面鏡，或是其他任何在該共振 器外部.的共振器面鏡，而所得之光束則傷受到該光感測器 之偵測，因而，該光感測器和該等面鏡，在佈置上不須緊 鄰上述之切削刀頭，故不會干擾到其之運作。而且，構成 上述偵測条統之感測器、面鏡、或透鏡，可免於受到焊淺 物或煙氣的污染，或受到強雷射光束的加熱，以致有較長 的壽命。而且，由於其切削區域，可以由頂部看見，故能 提供充份之光波量，其偵測靈敏度得以提高，以及可以得 到大量的資訊。此外，上述之感測器裝置，在佈置上可以 不必依切削蓮作而更換切削刀頭，因而上述裝置之成本得 以降低。 而且，上述使雷射光束通過而使其他光束反射的分光 器，傜佈置在上述多數可供雷射共振使用之任一共振器面 鏡中間，上述返至該雷射振盪器，除雷射光束之波長外之 其他波長的光束，傜得自於該共振器之外部，以及上述之 光束傜由該光感測器加以偵測，因而，該感測器裝置，可 以佈置在該雷射振盪器之内部，以便縮小整個裝置之尺寸 Ο 而且，上述具有大至足以令該雷射光束通過之中心孔 的透光面鏡，傺佈置在上述多數可供雷射共振使用之任一 共振器面鏡中間，上述返至該雷射振盪器除雷射光束之波 長外之其他波長的光束，偽得自於該共振器之外部，以及 上述之光束偽由該光感測器偵測，因而，上述返回之光束 ,在偵測上不會使上述雷射光束之強度與模態，受到不良 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公;1J：) (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝- 219906 A6 經濟部中央標準局员工消費合作社印製 B6_ 五、發明説明（3 2) 的影轡，以及該感測器裝置，可以佈置在該雷射振盪器之 内部，以便縮小整個裝置之尺寸。 而且，除以上之設計外，當該雷射振盪器内所生之部 份雷射光束，係得自於上述可供雷射共振使用之背部面鏡 ,以及設有上述可偵測所得雷射光束之雷射光感測器時， 上述雷射之輸出值，也能夠受到監控。 而且，上述返至該雷射振盪器，除雷射光束之波長外 之其他波長的光束，和該雷射振盪器内所生之部份雷射光 束，傺在該共振器之外部，得自於上述可供雷射共振使用 之背部面鏡，以及該積分球體可使上述之光束均勻擴散與 熄滅，並且設有可以偵測上述熄滅之雷射光束的雷射光感 測器，和可以偵測雷射光束外之其他光束的感測器，因而 .上述雷射之輸出值的監控，與自該切削點返回之光束的 偵測，能夠同時進行，故其機器之成本與尺寸，均能夠降 低。 而且，設置有可以自傳送至上述積分球體之光束中， 將雷射光束之成分與其他光束分開的分光器，並且設置有 上述之雷射光感測器，以便能對上述被該分光器分開，繼 而在該積分球體内擴散並熄滅之雷射光束加以偵測，以及 設置有上述之光感測器，以便能夠偵測上述被該分光器分 開，除雷射光束外的其他光束，因而，除雷射光束外的其 他光束，可以有效地導引至上述之光感測器内，而不致干 擾到該積分球體内之雷射光束的均勻性，並且能夠觀察到 上述切削點處之實際影像。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲<1规格（210 X 297公發 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 32 219906 A6 B6 五、發明説明（3 3) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 該其，器測夠 點變確 點強降 點狀防 、，以置振 至使上光偵能 削之精 削的幅 削削以 度路及設射 送及面分夠， 切長夠 切束大 切切可 強電以擇雷 傳以表該能而 該波能 該光可 該等則 的的，選該 述 ，内過便因 測或便 測之間 測化， 束置路少在 上散之 通以， 偵、， 偵障時 偵硬時 光位電至， 自擴體測 ，束 來佈焦 來故削 來和化 之點的 ，下 出並球偵器光 用分對 用與切 用 、變 測焦障中制 使射分夠測射 偽度的 係作其 偽接之 偵述故路控 , 反積能感雷 ，強件 ，完則 ，熔長 器上與電的 面分該便光的 上 、工 上孔， 上 、波 測測成的號 表成在以射理 計度該 計穿時 計削或 感偵完件信 内束置 ，雷處 。設強於 設點化 設切、 光來之條之 其光設器之到果在束對 在始變 在似佈 該 ，孔削路 以射偽測述受效 器光相 器起之 器類分 。用化穿切電 可雷 ，感上並的測之統 測削長 測削度生利變述之該 上的器光有散同感點条 感切波 感切強發述之上述在 計束光之置擴相光焦器。光述或 光射 、之上長測上且 設光分述設内計該其光行該上 、 該雷度障據波偵測並 在之的上及體設當測分執當測佈 當測強故依或來偵 ， ,内過有以球述 ，偵該被 ，偵分 ，偵的削 ， 、據來一 且體通置 ，分前且 以則地 且以度 且以束 切且佈依據之 而球束設束積與而用 >易而用強 而用光述而分一依中 分光且光該生 可時輕 可、。 可之上 度同一其 積他並 之在産 處化而 處度低 處態止 強 以同有 . „ | 爲 ------------------------裝-------1T------^ (請先閲讀背面之注意事'?再塡寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS)甲4规格（2丨0 X 297 'A'ii 33 219906 A6 B6 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（3 4) 盪器之振盪條件、切削氣體之狀態、焦點之位置、回授速 率、和噴嘴狀態中，至少有其中之一偽到控制，因而，其 切削之運作能夠自動化，以及其在運作上能夠完成無人化 Ο 而且，該切削表面，係自該雷射振盪器之背部面鏡， 經由該光波導引路徑，而加以照射，其反射光波偽在該雷 射振盪器後面，由該光感測器加以偵測，以及其影像偽經 過處理，因而，不須事先輸入切削形狀之程式，便能夠謓 取上述預先設定在該工件上之切削路徑的資訊，沿著該路 徑執行上述拷貝之運作，以及完成上述形狀之切削。 而且，設置有可依據該光感測器所測之光束，與該切 削刀頭前端之噴嘴孔間位置的關偽，來偵測該雷射光束之 光束軸線偏差值的電路，以及可在此電路之信號的控制下 ,使該噴嘴與該聚光器条統相對於該雷射光束之欠對準， 能夠受到補償的補償裝置，因而能夠使得該雷射光束之軸 線，相對於該切削刀頭内之噴嘴孔的位置，自動受到調整 Ο 而且，上述之可見光雷射光束，傜自該雷射振盪器之 背部面鏡加入，以及該可見光雷射光束，為該工件反射之 位置，偽受到偵測，因而，由於上述光波導引路徑之面鏡 與該等共振器面鏡的傾斜角所致光束軸線之偏差值，能夠 受到偵測，因而能使上述光波導引路徑之面鏡與該等共振 器面鏡的傾斜角，自動受到調整。 而且，上述具有可變焦點之聚光器、該光感測器、和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 3 4 (請先閲讀背面之注意事項'再塡寫本頁) •裝， *π, 219906 A6 B6 五、發明説明（35) 鏡轉均 非能能進 ，感以 面之， 述均 ，增 佈光， 部中壞上 ，離而 分之測 背徑損 有離距 ， 度後偵 之路與 設距之能 亮背到 内引染 。，之 間性 的鏡受 器導污斷面面面削 束面夠 盪波的診背表表切 光部能 振光件我的削件之 射背態 射述零自鏡切工佳 雷之模 雷上 學做面 述該最 之内之 C 該 、光夠部上與供 面器束質 在頭等能背至鏡提 表盪光品 置刀鏡置之 遠透持 削振射束 設削面裝器及削保 切射雷光 偽切 器其盪以切夠 該雷該的 , 似振及振 ，該能 至該 ，高 器類共以射器 ，致 加在而持 波 ，等 ，雷測而以 述置因維 濾而該測該感因 ， 。上佈 ，並 擇 因和偵 ，離 ，整能 ，述 S5 制 0 , 、以 且距量調性外上偵控 長面鏡加而型測到削此到的夠 波背面夠 觸到受切 受器能 該的向能 接受夠其 傺測致 - 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Claims (1)

1. 219906 A7 B7 C7 D7_ 六、申請專利範園 1 . 一種雷射加工機，具有可將雷射振盪器所生用以照射 一工件之雷射光束加以整形的光學糸統，以及可以該 雷射光束在其加工點對該工件加工，上述之加工可在 該加工點産生第二光波，以及上述之雷射振盪器，具 有由多數面鏡構成的共振器，上述之雷射加工機包括 有： 可將上述之第二光波導至該共振器内，以便應用 至少該等面鏡中之一面鏡的第一裝置； 可將上述之第二光波，自該共振器之内部的某一 位置，導至該共振器外之某一位置的第二光波導引裝 置； 以及 可偵測該第二導引裝置所導引之第二光波的第二 光感測器。 2 .如申請專利範圍第1項所申請之雷射加工機，其中尚 包括有： 可將至少一部份該雷射振盪器内所生之雷射光束， 自該共振器内部之某一位置，導引至該共振器外部之 某一位置的雷射光束導引裝置；以及 可偵測該雷射光束導引裝置所導引之雷射光束的 雷射光感測器。 3 .如申請專利範圍第1項之雷射加工機，其中之第二光 波導引裝置，包括至少該等多數面鏡中之一面鏡，此 面鏡至少具有（I )能夠使該雷射光束通過，而使該第二 表紙張尺度通用中國國家樣準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 3 6 (請先閏讀背面之注意事頊再塡寫本頁) .丨裝. 、ΤΓ. 蛵濟部中夫標準局B工消費合作社印繁 A7 B7 219906_^_ 六、申請專利範圍 光波反射，以及（π )能夠使第二光波通過，而使該雷 射光束反射，中之一種蓮作方式。 4 .如申請專利範圍第2項雷射加工機，其中之第二光波 導引裝置，包括一分光器，此分光器至少具（I)有能夠 使該雷射光束通過，而使該第二光波反射，以及（I ) 能夠使該第二光波通過，而使該雷射光束反射，中之 一種蓮作方式。 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 第 圍 範 利 專 請 申 如 5 括 包 置 裝 引 導 波 光光 二 透 第此 之’ 中鏡 其面 , 光 機透 工的 D —U 力孑 射小 雷 一 之有 項具 第 該 使 而 過 通 束 光 4J 雷 該 使 夠 能 有 \--, Ti /(- 具 少 至 鏡 面 該 使 而 過 通 波 光 〇 二 式 第方 該作 使運 夠種 能 一 }之 I ί 中 及 -以 射 , 反 射束 反光 波射 光雷 光共 二 之 第少 該至 , 由 中偽 其 ， , 置 機 裝 Η 引 加 導 射束 ^Η 之 射 項 雷 2 該 第 和 圍 ， 範 置 利裝 專 弓 請 導 申波 6 器 盪 振 該 : 至 有行 括述 包上 尚 少 置至 裝將 之可 述有 上 具 及它 以 -, 0 的球 成分 構積 鏡 一 面 用 擴 勻 均 以 加 項 i 的 中 波 光 二 第 及 和以 束 光面 射表 雷 内 份的 部理 之處 部並 外 散 -裝. 訂. 經濟部中央標準局8工消費合作钍印轚 在 雷 等之 彼過 311 , 理 器處 測體 感球 C 波分測 光積偵 二 該 以 第過加 和經個 器等 一 測該的 感對中 光夠波 4J 匕匕 UU 雷別 二 一 分第 少 ，和 至 上束 作光 蓮射 另 開 積分 該波 在光 中 二 其第 , 該 機與 工束 Π 力 夭 身 身 雷 雷 之該 項使 6 可 第有 圍括 範包 利尚 。 專 ，器 請内光 申體分 如球的 本紙张尺度適用中B國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 219906 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範圍 有其 括以 包可 尚它 中 ， 其器 , 光 機分 Η 的 加成 射構 雷所 之分 項部 6 一 第某 圍之 範體 利球 專分 請積 申 該 如由 8 光 〇 雷球 之該 部過 内通 體 波 球光 分 二 積第 該之 至述 送上 傳 使 份及 部以 少 ， 至散 使擴 , 並 面射 表反 内束 有 、 括佈 包分 尚度 中強 其 、 , 度 機強 Η 之 加波 ί t 雷 測 之所 項器 1 測 第感 圍波 範光 利 二 專第 請該 申以 如可 9 糸 學 光 述 上 定 決 來 礎 基 為 1 之 〇 少置 至裝 中的 化置 變位 的點 長 焦 波之 或統 有佈 括分 包度 尚強 中 、 其度 - 強 機之 Η 波 加光 射 測 雷 所 之器 項測 1 感 第波 圍光 範 二 利第 專該 請以 申可 如 一 孔 穿 述 上 定 決 來 礎 〇 基置 為裝 一 的 之 一 少之 至少 中至 化中 變障 的故 長 與 波成 或完 、 之 有 、 括佈 包分 尚度 中強 其 .、 , 度 機強 Η 之 加波 射光 雷 測 之所 項器 1 測 第感 圍波 範光 利 二 專 第 請該 申以 如可 態 狀 削 切 定 決 來 礎 基 為 1 之 少 至 中 化 〇 變置 的裝 長測 波偵 或的 光二 第 。 之成 中構 其所 , 鏡 機面 Η 部 加背 射 之 雷 器 之振 項共 1 該 第由 圍偽 範 ， 利置 專裝 請引 申 導 如波 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) -裝- 訂. 經濟部中央律苹局βχ消費合作社印製 第 圍 範 一 利生 專 産 請可 Φ 如 該 與 有 括置 包裝 尚光 中發 其的 ， 波 機光 Η 之 加 軸 射同 雷 束 之光 項射 1 雷 射器 反光 面分 表的 工開 加分 之波 件光 Η 二 該第 自該 而與 生 ， 所波 置光 裝射 光反 發的 該束 使光 可射 雷 之 偵 的 面 表 Η JD 該 測 偵 而 器 測 感 波 光二 第 該及 應以 鎏 ； 可置 裝 測 本紙ik又度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 垤濟部中央標準局8工消費合作il印ΐ 219906 六、·申請專利範圍 可響應該 制的控制裝置 1 4 .如申請專利範 括具有噴嘴孔 可依據該 刀頭之噴嘴孔 光束之光束軸 可響應該 相對於該雷射 1 5 .如申請專利範 可自該背 可見光雷射光 可使被該 盪器内之可見 A7 B7 C7 D7 偵測裝置而實行沿該加工路徑之拷貝控 圍第1項之雷射 與前端的切削刀 第二光波感測器 和前端間的位置 線偏差值的偵測 偵測裝置，而使 光束之欠對準得 圍第1 2項之雷射 部面鏡背後，産 束的可見光雷射 工件之加工表面 光雷射光束，與 加工機，其 頭以及其尚 所測之光束 關偽，來偵 裝置；以及 該噴嘴孔與 到補償的補 加工機，其 生與該雷射 振盪器； 反射，並返 中之裝置包 包括有： ，與該切削 測上述雷射 該光學糸統 償器裝置。 中尚包括有 光束同軸之 回該雷射振 光波分開的分光 器； 光用的 ， / 之 有 射一鏡 角 § 器 括 雷或面 斜B測 光鏡徑 傾 1 感 尚 見面路 之。Φ波 可器引 鏡置 t 光 其 之振導 面裝 二 收共波及等償纟第 接該光以該補該 所 、之.，變的 D 利 器值件 置改值ίί以 測差工裝而差II, 感 偏該測 ，偏'一形 波線至偵置之2：整 光軸引的裝線II波及 射束導一測軸第光以 雷光 束之偵 束圍二 .， 該該光少該光範第器 應測射至 應該利該光 響 偵 雷中響 償專將聚 可而該 角可補 請可的 , 將斜 便申 測 束以傾 以如 偵 ‘紙张尺Λϋ用中國0家樣準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） ------------------i-----¾------ΤΓ------線- (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) A7 性濟部中央標準局R工消費合作·社印Ϊ B7 C7 D7_ 六、申請專利範圍 可沿某一光束軸線移動該聚光器，而提供可變之 焦點的驅動装置。 17. 如申請專利範圍第12項之雷射加工機，其中尚包括有： 佈置在共振器之背部面鏡背後，而可偵測遠至一 加工表面之距離的距離感測器；以及 可依據該距離感測器所測之距離，來驅動一聚光 器元件，以便使該雷射光束集中的驅動齒輪。 18. 如申請專利範圍第1項之雷射加工機，其中前包括有： 可敗據該第二光波感測器之偵測信號，來偵測該 雷射光束之光束模態的偵測装置； 可調整該等共振器面鏡之角度的活動式支撑機構； 以及 ’ 可欣據該偵測裝置之偵測結果，來控制該等活動 式支撑機構，以便對該光束模態提供補償的控制裝置 C 1 9 . 一種可用於上述雷射加工機之雷射加工方法，其包括 之步驟有： 在該雷射振盪器内，産生一雷射光束，並且將此 光束導引至一工件之表面上，而供其加工之用，上述 加工則會産生第二光波； 在該雷射振鹽器内，接收上述之第二光波； 將該第二光波，自該振盪器内部，導引至該雷射 振盪器外部之某一位置；以及 使用該第二光波，來控制上述之加工。 衣紙張又度通用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 4 0 219906 (請先《讀背面之注恚事項再塡寫本頁) -裝. •11. 219906 A7 B7 Cl D7 六、申請專利範圍 之 用 所 中 其 法 方Η 加 射 雷： 之一 項之 9 U ^―I 歹 第下 圍括 範包 利少 專至 請’ 申驟 如步 ο 2 置 位 焦 ； 之成 統完 条之 學孔 光穿 射述 雷 上 測測 偵 偵 及 以 障 態 故狀 之之 孔工 穿加 測測 偵 偵 \J/ \ly c d 申 如 請 之 用 所 中 其 法 方Η 4J 身 雷 之 項 9 1X 第 圍 範 利 專 之 列 下 括 包 少 至 驟 步 件 條 盪 振 之 器 盪 振 射 雷 述 上 制 置 位 點 焦 及 之以 束 光率 射速 雷 之 述授 上 回 Mu nu 芾 $ 控控 態 狀 之 嘴 噴 制 控 步 之 用 所 中 其 法 方Η 加 射 雷 項 9 第 圍 範 利 專 ： 請 括 申 包 如驟 2 2 之 用 所 中 其 ο > 動法 移方 的工 徑加 路射 工 ϋ田 加之 一 項 之19 件第 工 圍 該範 沿利： 制專括 控請包 申驟 如步 3 2 噴 頭 刀 削 切 測 偵 來 號 信 出 輸 之 器 測 感 光 用 使 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) —裝. .^. 絰濟部中夹標準局R工消費合作钍印轚 之 少及 至以 中 統值 条差 學 偏 光的 與線 嘴軸 束 光 之 束 光 4UJ 雷 該 於 對 目 之 少 至 中 統 条 學 光 與 嘴 噴 頭 刀 削 切 述 上 對 償 補 以 加 值 差 偏 的 線 軸 束 光 之 束 光 4MJ 雷 該 於 對 目 之 用 所 中 其 法 方Η 加 射 柄田 之 項 9 f I 第 圍 範 禾 ： 專括 請 包 申 驟 如 步 4 2 M氏張尺度通用中®國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 219906 A7 B7 C7 D7 六、申請專利範圍 鏡 面 器 振 共 測 偵 來 號 信 出 之 器 測 感 光 用 使 及 以 角 斜 傾 的一 之 少 至 中 鏡 面 徑 路 引 導 波 光 與 至 中 鏡 面 徑 路 引 導 波 光 與 鏡 面 器 振 共 述 上 變 改 值 差 偏 之 線 軸 束 光 述 上 對 夠 能 便 以 角 斜 傾 的一 之 少 之 用 所 中 其 法 方 Η 加 身 雷 之 項 9 1Χ 第 圍 範 〇 利 償 專 補 請 以申 πμ D 力 女 括 包 驟 步 光 射 雷 述 上 測 偵 來 號 信 出 輸 之 器 測 感 光 用 使 及 以 態 模 束 光 之 束 上 對 夠 能 便 以 構 機 撑 支 式 一·-Β,Μ 33 舌 Ν VI 値 一 少 至 制 控 償 補- 以 加 態 模 束 光 之 述 (請先閱讀背面之注意事項再壜寫本頁) —裝. -線. 蛵濟部中央律準局Mrx消費合作社印製 木紙张疋度迷》1中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐）