JPH0323092A - レーザ加工機の焦点位置測定方法 - Google Patents
レーザ加工機の焦点位置測定方法Info
- Publication number
- JPH0323092A JPH0323092A JP1155729A JP15572989A JPH0323092A JP H0323092 A JPH0323092 A JP H0323092A JP 1155729 A JP1155729 A JP 1155729A JP 15572989 A JP15572989 A JP 15572989A JP H0323092 A JPH0323092 A JP H0323092A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- focal position
- work
- reflected light
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 206010064127 Solar lentigo Diseases 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は加工ヘッドに設けられたレンズの焦点位置を
測定するためのレーザ加工機の焦点位置測定方法に関す
る。
測定するためのレーザ加工機の焦点位置測定方法に関す
る。
従来レーザ加工機はレーザ発振器により発生されたレー
ザビームを光学系により加工ヘッドへ導き、加工ヘッド
内に設けられたレンズによりこの・レーザビームをワー
ク上へ集光して、ワークの加工に供するようになってお
り、ワークを効率よく加工するためには上記レンズの黒
点をワークの所定位置に正確に合せる必要がある。
ザビームを光学系により加工ヘッドへ導き、加工ヘッド
内に設けられたレンズによりこの・レーザビームをワー
ク上へ集光して、ワークの加工に供するようになってお
り、ワークを効率よく加工するためには上記レンズの黒
点をワークの所定位置に正確に合せる必要がある。
このため、従来では加工ヘッド内に組込まれたレンズの
焦点位置を知るため、アクリル板aを使用してレンズb
の位置を第6図に示すように変えながらレーザビームC
を走査し、アクリル板a上に形成される第7図に示すよ
うな溝dのもっとも狭い部分を走査したときのレンズb
の位置を焦点として設定していた。
焦点位置を知るため、アクリル板aを使用してレンズb
の位置を第6図に示すように変えながらレーザビームC
を走査し、アクリル板a上に形成される第7図に示すよ
うな溝dのもっとも狭い部分を走査したときのレンズb
の位置を焦点として設定していた。
しかしこの方法では、焦点位置を測定するための操作が
煩雑で、NC制御されるレーザ加工機の場合、NCのプ
ログラムに関する知識を必要として一般の作業者では測
定や調整が難しいと共に、アクリル板aに形成される溝
dの満幅は焦点位置付近で最小となるが、その前後の満
幅の変化は僅かなため、目視による判断・では個人差が
でて正確な焦点位置の測定ができないなどの不具合があ
った。
煩雑で、NC制御されるレーザ加工機の場合、NCのプ
ログラムに関する知識を必要として一般の作業者では測
定や調整が難しいと共に、アクリル板aに形成される溝
dの満幅は焦点位置付近で最小となるが、その前後の満
幅の変化は僅かなため、目視による判断・では個人差が
でて正確な焦点位置の測定ができないなどの不具合があ
った。
この発明は上記不具合を改善する目的でなされたもので
、操作が容易でかつ正確に黒点位置の測定が行えるレー
ザ加工機の焦点位置測定方法を提供しようとするもので
ある。
、操作が容易でかつ正確に黒点位置の測定が行えるレー
ザ加工機の焦点位置測定方法を提供しようとするもので
ある。
〔課題を解決するための手段及び作用〕この発明は上記
目的を達成するために、加工ヘッドよりワークへ向けて
レーザビームを照射しながら加工ヘッドをワーク方向へ
移動させ、かつワークより反射する反射光を検出して、
反射光の最大値より加工ヘッド内に設けられたレンズの
焦点位置を測定することにより、レンズの焦点位置が数
値で表示できるようにして、測定の容易化と精度の゛向
上を図ったレーザ加工機の焦点位1 i1JJ定方法を
提供するものである。
目的を達成するために、加工ヘッドよりワークへ向けて
レーザビームを照射しながら加工ヘッドをワーク方向へ
移動させ、かつワークより反射する反射光を検出して、
反射光の最大値より加工ヘッド内に設けられたレンズの
焦点位置を測定することにより、レンズの焦点位置が数
値で表示できるようにして、測定の容易化と精度の゛向
上を図ったレーザ加工機の焦点位1 i1JJ定方法を
提供するものである。
この発明方法の一実施例を図面を参照して詳述すると、
図において1はレーザ加工機に設けられた加工ヘッドで
、図示しないレーザ発振器により発生されたレーザビー
ム2は複数のミラ−(図示せず)及びビームスブリッタ
3よりなる光学系により上記加工へッド1へ導かれ、加
工ヘッド1内に設けられたレンズ4によりワーク5上に
集光されてワーク5の切断に供せられるようになってい
る。
図において1はレーザ加工機に設けられた加工ヘッドで
、図示しないレーザ発振器により発生されたレーザビー
ム2は複数のミラ−(図示せず)及びビームスブリッタ
3よりなる光学系により上記加工へッド1へ導かれ、加
工ヘッド1内に設けられたレンズ4によりワーク5上に
集光されてワーク5の切断に供せられるようになってい
る。
上記ビームスブリッタ3はワーク5より反射するレーザ
ビーム2の反射光2′の0.5%程度を透過するように
構成されていて、このビームスブリッタ3を透過した反
対光はビームスブリッタ3の後方に設けられたガイド部
材6に案内されてバワセンサ7へ入光するようになって
おり、パワセンサ7に入光された反射光2′は電気信号
に変換された後増幅され、パワーメタなどの表示装置8
に表示されるようになっている。
ビーム2の反射光2′の0.5%程度を透過するように
構成されていて、このビームスブリッタ3を透過した反
対光はビームスブリッタ3の後方に設けられたガイド部
材6に案内されてバワセンサ7へ入光するようになって
おり、パワセンサ7に入光された反射光2′は電気信号
に変換された後増幅され、パワーメタなどの表示装置8
に表示されるようになっている。
次に加工ヘッド1に設けられたレンズ4の焦点位置の測
定方法を説明すると、まず加工ヘッド1を上死点から例
えばアルミニウムのような高反射材料よりなるワーク5
に向けて下降させる。
定方法を説明すると、まず加工ヘッド1を上死点から例
えばアルミニウムのような高反射材料よりなるワーク5
に向けて下降させる。
このときレンズ4の焦点位置が第2図に示すようにワー
ク5の上面より上方にあるときには、ワーク5上面で反
射した反射光2′は拡散されてその一部しかレンズ4へ
戻らず、その結果バワセンサが検出する反射光量は少な
いため、第5図に示すように焦点位置より高い程バワメ
ータなどの表示装置8に表示される値は少ない。
ク5の上面より上方にあるときには、ワーク5上面で反
射した反射光2′は拡散されてその一部しかレンズ4へ
戻らず、その結果バワセンサが検出する反射光量は少な
いため、第5図に示すように焦点位置より高い程バワメ
ータなどの表示装置8に表示される値は少ない。
その後第3図に示すようにレンズ4の焦点位置がワーク
5の上面に達すると、ワーク5へ照射されたレーザビー
ム2のほとんどが反射光2′としてレンズ4へ戻るため
、バワセンサ7により検出される出力は最大となり、表
示装置8にも最大値が第5図に示すように表示される。
5の上面に達すると、ワーク5へ照射されたレーザビー
ム2のほとんどが反射光2′としてレンズ4へ戻るため
、バワセンサ7により検出される出力は最大となり、表
示装置8にも最大値が第5図に示すように表示される。
さらに加工ヘッド1が下降されて第4図に示すようにレ
ンズ4の焦点位置がワーク5上面より下方になると、再
びワーク5からの反射光2′は拡散されてバワセンサ7
への入光量が少なくなり、表示装置8に表示される値も
第5図に示すように減少する。
ンズ4の焦点位置がワーク5上面より下方になると、再
びワーク5からの反射光2′は拡散されてバワセンサ7
への入光量が少なくなり、表示装置8に表示される値も
第5図に示すように減少する。
以上のことから表示装置8に表示される値が最大となっ
たところをレンズ4の焦点位置とすることにより、レン
ズ4の焦点位置を容易かつ正確に測定することができる
ようになる。
たところをレンズ4の焦点位置とすることにより、レン
ズ4の焦点位置を容易かつ正確に測定することができる
ようになる。
この発明は以上詳述したように、ワークからの反射光を
バワメータなどの検出手段で検出し、その値が最大とな
ったところをレンズの焦点位置としたことから、従来の
満幅を目視で測定する測定方法に比べて測定操作が容易
で、かつ個人差にも影響されることがないため精度の高
い測定が可能である。
バワメータなどの検出手段で検出し、その値が最大とな
ったところをレンズの焦点位置としたことから、従来の
満幅を目視で測定する測定方法に比べて測定操作が容易
で、かつ個人差にも影響されることがないため精度の高
い測定が可能である。
またNCプログラムなどの知識がなくとも表示装置.に
表示される値を見ながら、この値が最大となるようにレ
ンズの調整を行えばよいため、熟練者でなくとも簡単に
焦点位置の測定や黒点位置の調整が行えるようになる。
表示される値を見ながら、この値が最大となるようにレ
ンズの調整を行えばよいため、熟練者でなくとも簡単に
焦点位置の測定や黒点位置の調整が行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、第1図は加工ヘッド
の構成図、第2図ないし第5図は作用説明図、第6図及
び第7図は従来の測定方法を示す説明図である。 1 は加工ヘツ ド、 2はレーザビーム、 4はレ ンズ、 5はワーク。
の構成図、第2図ないし第5図は作用説明図、第6図及
び第7図は従来の測定方法を示す説明図である。 1 は加工ヘツ ド、 2はレーザビーム、 4はレ ンズ、 5はワーク。
Claims (1)
- 加工ヘッド1よりワーク5へ向けてレーザビーム2を照
射しながら加工ヘッド1をワーク5方向へ移動させ、か
つワーク5より反射する反射光2′を検出して、反射光
2′の最大値より加工ヘッド1内に設けられたレンズ4
の焦点位置を測定することを特徴とするレーザ加工機の
焦点位置測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1155729A JPH0323092A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | レーザ加工機の焦点位置測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1155729A JPH0323092A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | レーザ加工機の焦点位置測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0323092A true JPH0323092A (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=15612186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1155729A Pending JPH0323092A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | レーザ加工機の焦点位置測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0323092A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5463202A (en) * | 1992-12-28 | 1995-10-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and method |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP1155729A patent/JPH0323092A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5463202A (en) * | 1992-12-28 | 1995-10-31 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser machining apparatus and method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4564765A (en) | Optoelectronic method and apparatus for measuring the bending angle of materials | |
US4924063A (en) | Method and apparatus for determining the position of a weld groove for laser welding | |
ATE19311T1 (de) | Vorrichtung zum feststellen von defekten mittels eines aussermittigen lichtstrahles. | |
JPH0323092A (ja) | レーザ加工機の焦点位置測定方法 | |
JPS59174221A (ja) | 折曲げ機の曲げ角度検出装置 | |
JPH11190616A (ja) | 表面形状測定装置 | |
US4732486A (en) | Contact-free optical linear measurement device | |
JPH0760468A (ja) | レーザ加工機の焦点位置検出方法およびその装置 | |
JPH0226164B2 (ja) | ||
JPS5616806A (en) | Surface roughness measuring unit | |
JPS57132009A (en) | Measuring method for roll gap of work roll of rolling mill | |
JP2911283B2 (ja) | 非接触段差測定方法及びその装置 | |
JPS62248591A (ja) | レ−ザ加工機 | |
JPS62115315A (ja) | レ−ザ変位計 | |
JPS5766303A (en) | Configuration sensing device | |
JPH06281418A (ja) | 凹凸を有する板状透明体の光学的厚さ測定方法 | |
JPH08166212A (ja) | 位置または長さの測定装置 | |
JP2527028B2 (ja) | 厚さ計 | |
JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS5832103A (ja) | 非接触測定装置 | |
JPH02272514A (ja) | 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法 | |
JPH02173509A (ja) | 表面粗さ測定装置 | |
JP3149570B2 (ja) | 非接触式形状測定装置 | |
JPS60174920A (ja) | 光スポツトの強度分布測定装置 | |
JP2631322B2 (ja) | 板端測定装置 |