TW202033967A - 檢查用輔助具支持具、支持具及檢查用輔助具 - Google Patents

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Abstract

一種檢查用輔助具支持具，係具備有：連結軸部，係具有軸側嵌合部且連結於檢查用頭部本體；環狀線圈彈簧，係配置於前述軸側嵌合部的外周；以及基部，係以可朝軸之徑方向及軸旋轉方向位移的方式保持前述連結軸部；前述基部係具有：彈簧保持部，係以容許前述環狀線圈彈簧之往徑擴大方向的變形之方式保持前述環狀線圈彈簧；以及孔側嵌合部，係以與前述軸側嵌合部之間具有間隙的方式與前述軸側嵌合部嵌合。

Description

檢查用輔助具支持具、支持具及檢查用輔助具
本發明係關於一種檢查用輔助具支持具等。
電子機器係搭載有電子電路基板，該基板係搭載有用以與其他基板及/或外部機器等連接用之稱為連接器的連接端子。在電子機器的製造過程當中的檢查步驟之一為對該連接器連接檢查裝置的連接器檢查用輔助具(jig，又稱治具)並實施檢查的步驟。
例如，專利文獻1揭示了一種連接器檢查用輔助具的技術，其係改善當進行具備探針的被檢查側之連接器與輔助側之連接器的位置對合作業時的辨認性，並且使成為消耗品的零件減少。專利文獻2係揭示一種使連接作業容易進行的連接器檢查用輔助具。專利文獻3係揭示一種順從性(compliance)機構，其係使被檢查側的連接器與探針支持具的位置對合容易進行。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2004-273192號公報
專利文獻2：日本特開2005-283218號公報
專利文獻3：日本特開平07-111176號公報
檢查基板時，基板會以預定姿勢固定在預定位置。然而，若以安裝於基板之連接器的一個一個電極位置而言，在檢查時，不一定會嚴密地固定在相同位置。因此，在檢查裝置側會被要求位置偏移的高容許性。
連接器電極的數量或配置間隔，一直在因應電子機器小型化的需求而細微化。因此，以高精密度要求基板檢查時之被檢查側的連接器與檢查用輔助具的位置對合。而且，由於要求檢查所需時間的短縮化，而要求檢查用輔助具對於連接器之連接時間的短縮化。因此，在實現較高位置偏移的容許性的同時，要求對位置偏移之較高的反應性。
根據專利文獻1的技術，可提升位置對合時的辨識性，但專利文獻1沒有揭示提升機構性位置對合精密度其本身的技術。專利文獻2亦尚未揭示提升機構性位置對合精密度其本身的技術。
根據專利文獻3所記載的順從性機構，可實現對於位置偏離某一程度的容許性。但是，不能實現對於位置偏離較高的反應性。在如專利文獻3所記載的順從性機構中，雖然容許了往正交兩方向的位置偏離，惟對該兩方向雙方呈傾斜方向的位置偏離的容許性不足、反應性也不足夠。由於順從性機構的構造上的理由，例如會有所謂的檢查用頭部的探針支持 具對於被檢查側的連接器呈稍微傾斜。若探針支持具傾斜，會使得探針對被檢查測的連接器的電極傾斜地接觸，會有橫向負荷作用於探針。結果，咸認為會有探針壽命縮短的問題。
本發明目的之一例為使接觸時之被接觸側與接觸側的位置偏離的容許性及反應性提升。
本發明的第一態樣為一種檢查用輔助具支持具，其係具備有：連結軸部，係具有軸側嵌合部，且連結於檢查用頭部本體；環狀線圈彈簧，係配置於前述軸側嵌合部之外周；以及基部，係以可朝軸之徑方向及軸旋轉方向位移的方式保持前述連結軸部；前述基部係具有：彈簧保持部，係以容許前述環狀線圈彈簧之往徑擴大方向的變形之方式保持前述環狀線圈彈簧；以及孔側嵌合部，係以與前述軸側嵌合部之間具有間隙的方式與前述軸側嵌合部嵌合。
第二態樣為一種支持具，係具備第一態樣的第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具，前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係配置成使得前述第一檢查用輔助具支持具的前述連結軸部與前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部呈平行，前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係以可在預定的範圍位移的方式支持前述檢查用頭部本體。
第三態樣為一種檢查用輔助具，係具備有：前述檢查用頭部本體；以及第二態樣的支持具，係支持前述檢查用頭部本體。
第四態樣為一種檢查用輔助具，係具備有：前述檢查用頭部本體；以及第二態樣的支持具，係支持前述檢查用頭部本體；前述檢查用頭部本體係使會與被檢查物接觸的複數根探針朝檢查面側突出，且從前述檢查面的相反側的背面拉出前述探針的電線；前述輔助具基體係在中央部支持前述檢查用頭部本體。
第五態樣為一種支持具，係具備有：第一態樣的第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具；於前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部連結前述第一檢查用輔助具支持具的前述基部。
根據本發明的態樣，連結於檢查用頭部本體的連結軸部係可保持對基部往軸的徑方向及軸旋轉方向的位移。並且，連結軸部中，軸側嵌合部係以與孔側嵌合部之間具有間隙的方式嵌合。因此，即便被檢查側的連接器的安裝位置參差不齊，亦使連結軸部對基部往軸之徑方向及徑旋轉方向位移，藉此可使檢查用頭部本體迅速地移動至被檢查側的連接器的適當連接位置。因此，具優越的位置偏離之容許性及反應性。
10、10B、10C‧‧‧連接器檢查用輔助具
20、20B、20C‧‧‧檢查用輔助具支持具
20R‧‧‧第一檢查用輔助具支持具
20L‧‧‧第二檢查用輔助具支持具
30‧‧‧連結軸部
31‧‧‧安裝軸桿
31e‧‧‧第一延設部
32、32C‧‧‧連接軸桿
32e‧‧‧第二延設部
33‧‧‧滑動墊片
34‧‧‧第一摩擦減少環
35‧‧‧第二摩擦減少環
39‧‧‧軸側嵌合部
40、40C‧‧‧基部
41‧‧‧第一元件
41a‧‧‧第一凹部
41b‧‧‧第一圓環狀凹部
41s‧‧‧限制部
42‧‧‧第二元件
42a‧‧‧第二凹部
42b‧‧‧第二圓環狀凹部
42s‧‧‧限制部
43‧‧‧插通孔
46‧‧‧孔側嵌合部
47‧‧‧彈簧保持部
48‧‧‧環狀溝部
49‧‧‧連結螺釘
50‧‧‧環狀線圈彈簧
60‧‧‧輔助具基體
61‧‧‧空間
63、63D‧‧‧支持具
66‧‧‧連接片
67‧‧‧蓋部
70‧‧‧檢查用頭部本體
72‧‧‧導體支持部
73‧‧‧固定銷
74‧‧‧探針支持部
75‧‧‧探針
76‧‧‧探針導引板
77‧‧‧頭部基體
77a‧‧‧插通部
78‧‧‧固定螺絲
79‧‧‧浮動彈簧
80‧‧‧導體部
84‧‧‧輸出連接器
82‧‧‧同軸絕緣器
83‧‧‧同軸導引器
85‧‧‧階式凹部
85s‧‧‧斜面部
88‧‧‧連接元件
F1、F2‧‧‧作用力
θ‧‧‧旋轉(自轉)
第1圖係顯示第一實施型態之連接器檢查用輔助具的構成例的立體外觀圖。
第2圖係顯示第一實施型態之連接器檢查用輔助具的構成例的立體外觀圖。
第3圖係第一實施型態之連接器檢查用輔助具的分解圖。
第4圖係顯示第一實施型態之檢查用輔助具支持具的構成例的立體外觀圖。
第5圖係顯示第一實施型態之檢查用輔助具支持具的構成例的立體外觀圖。
第6圖係第一實施型態之檢查用輔助具支持具的分解圖。
第7圖係第一實施型態之檢查用輔助具支持具的縱剖面圖。
第8圖係第一實施型態之連結軸部的縱剖面圖。
第9圖係第一實施型態之基部的縱剖面圖。
第10圖係針對檢查用輔助具支持具所發揮之作用的說明圖。
第11圖係針對檢查用輔助具支持具所發揮之作用的說明圖。
第12圖係針對由兩個檢查用輔助具支持具實現容許檢查用頭部本體之軸旋轉方向偏離的說明圖。
第13圖係顯示第二實施型態之連接器檢查用輔助具的構成例的立體外觀圖。
第14圖係顯示第二實施型態之連接器檢查用輔助具的構成例的立體外觀圖。
第15圖係第二實施型態之檢查用輔助具支持具的分解圖。
第16圖係第三實施型態之連接器檢查用輔助具的分解圖。
第17圖係顯示第三實施型態之檢查用輔助具支持具的構成例的立體外觀圖。
第18圖係顯示第三實施型態之檢查用輔助具支持具的構成例的立體外觀圖。
第19圖係第三實施型態之檢查用輔助具支持具的縱剖面圖。
第20圖係顯示檢查用輔助具支持具的變形例的立體外觀圖。
第21圖係顯示檢查用輔助具支持具的變形例的縱剖面圖。
對實施型態的一例加以說明，惟本發明可適用的型態不限定為以下的實施型態。
[第一實施型態]
第1圖係顯示第一實施型態之連接器檢查用輔助具10的構成例的立體外觀圖，並為從斜下方往上方觀看時的外觀圖。
第2圖係顯示連接器檢查用輔助具10的構成例的立體外觀圖，並為從斜上方往下方觀看時的外觀圖。
第3圖係連接器檢查用輔助具10的分解圖。
本實施型態之連接器檢查用輔助具10係用以使探針以自第1至3圖所示之Z軸正方向朝Z軸負方向，而從上方下降之方式移動，使探針75與安裝於屬於檢查對象之基板的基板連接器(被檢查側的連接器)連接的輔助具。探針75有信號量測用探針與接地用探針。
連接器檢查用輔助具10係具有：檢查用輔助具支持具20、輔助具基體60、檢查用頭部本體70、及導體部80。連接器檢查用輔助具10係以檢查用輔助具支持具20來支持檢查用頭部本體70。
輔助具基體60係以隔開空間61的方式固定兩個檢查用輔助具支持具20。
檢查用頭部本體70係由兩個檢查用輔助具支持具20所支持的被支持物。檢查用頭部本體70係具有：導體支持部72、探針支持部74、探針75、導電性的探針導引板76、及頭部基體77。
探針支持部74不具導電性，且隔介著探針導引板76並利用固定銷73固定在頭部基體77的中央部的下端。探針支持部74係設置有探針75的插通孔。探針支持部74係於插通孔使探針75的下部插通，以保持各探針75的相對位置。探針75的下端會形成穿過插通孔而朝屬於探針支持部74之下表面(Z軸負方向側之面)的檢查面側突出的狀態。檢查時，探針支持部74係與被檢查側的連接器嵌合，藉此將探針75導向被檢查側的連接器的電極。
探針導引板76係具導電性，且對探針支持部74導引探針75，並且保持探針75彼此的相對位置。探針導引板76係作為頭部基體77延伸的間隔件並發揮功能，調整探針75中之接地用探針的高度。
頭部基體77係以具有間隙的方式使導體支持部72插通於中央的插通部77a內而保持導體支持部72。
導體部80係包覆電性傳導性之芯線的電線，並將檢查用頭部本體70與未圖示的檢查裝置本體電性連接。導體部80係被導體支持部72保持、導引在維持相互的相對位置的狀態，且其下端經由同軸絕緣器82、及同軸導引器83來連接於探針75。導體部80係從探針75的背面側拉出。 探針75的背面側為突出有探針75的下端之檢查面側的相反側。亦可謂沿著探針75的長邊方向拉出導體部80。
同軸絕緣器82係保有阻抗的構件，亦發揮保持探針75與導體部80之同軸性的作用。
頭部基體77為直狀構件，並在中央的插通部77a插通、支持導體支持部72。頭部基體77係在兩端部各自以固定螺絲78來連結於檢查用輔助具支持具20。
兩個檢查用輔助具支持具20係各自隔介著浮動彈簧79連結於頭部基體77的上表面(Z軸正方向側之面)。亦可謂兩個檢查用輔助具支持具20懸掛著頭部基體77。
第4圖係顯示本實施型態之檢查用輔助具支持具20的構成例的立體外觀圖，並為從斜下方往上方觀看時的外觀圖。
第5圖係顯示檢查用輔助具支持具20的構成例的立體外觀圖，並為從斜上方往下方觀看時的外觀圖。
第6圖係檢查用輔助具支持具20的分解圖。
第7圖係檢查用輔助具支持具20的縱剖面圖。
檢查用輔助具支持具20係具有浮動構造的機構部，該浮動構造係在保持被支持物之支持姿勢的狀態下，容許朝往與支持方向(在本實施型態中上下方向係第4至7圖中的Z軸方向)交叉的方向的相對位移者。
檢查用輔助具支持具20係具有：連結軸部30、環狀線圈彈簧50、及基部40，該連結軸部30係與被支持物(在本實施型態中為檢查用頭部本體70)連結，該基部40係內建環狀線圈彈簧50且支持連結軸部30。
第8圖係連結軸部30的縱剖面圖。
連結軸部30係於懸掛著被支持物的軸桿周圍具有複數個凸緣狀之延設部的構造體。連結軸部30係具有：第一摩擦減少環34、第二摩擦減少環35、及軸側嵌合部39。軸側嵌合部39係具有：安裝軸桿31、連接軸桿32、及滑動墊片33。軸側嵌合部39係嵌合於基部40或環狀線圈彈簧50。
安裝軸桿31的下端部、與連接軸桿32的上端部係藉由螺合或壓入等來連結。滑動墊片33係定位成被安裝軸桿31與連接軸桿32夾持。
滑動墊片33係軸側嵌合部39中之凸緣部，例如為一圓環狀的金屬板。滑動墊片33係從軸側嵌合部39的外周面朝徑方向外側突出並與環狀線圈彈簧50的內周面抵接。
本實施型態中，安裝軸桿31係位於相對性上方之軸側嵌合部39的一部分，並於其上端部的外緣具有凸緣狀的第一延設部31e。於第一延設部31e的外緣下表面安裝有第一摩擦減少環34。
第一摩擦減少環34係以相較於安裝軸桿31的第一延設部31e對基部40直接接觸時更可減少摩擦係數的材料所製作。例如，利用合成樹脂或金屬製的墊片來實現。
在本實施型態中，連接軸桿32係位於相對性下方之軸側嵌合部39的一部分，並在上端附近具有凸緣狀的第二延設部32e。在第二延設部32e的外緣上表面安裝有與第一摩擦減少環34相同的第二摩擦減少環35。
第9圖係基部40的縱剖面圖。
基部40係以可朝軸之徑方向及軸旋轉方向位移的方式保持連結軸部30的構件。基部40係以即使連結軸部30的軸部朝軸的交叉方向(徑方向，也就是XY平面方向)移動，在移動前的軸部與移動後的軸部均會維持平行或大致平行狀態的方式，可位移地保持連結軸部30的構件。基部40係以可使連結軸部30軸旋轉的方式，可位移地保持連結軸部30的構件。基部40係具有第一元件41及第二元件42，第一元件41及第二元件42係藉由連結螺釘49以上下對接的方式連結。
第一元件41及第二元件42係於各自的中央部具有孔側嵌合部46，該孔側嵌合部46係供連結軸部30的軸側嵌合部39插通，並以與軸側嵌合部39之間具有間隙的方式嵌合。
第一元件41係於上表面側具有第一凹部41a，該第一凹部41a係從上方觀看時，在與被支持物的支持方向正交的平面(第9圖中的XY平面)以平坦並呈圓形的方式朝向下方凹設。連結軸部30中的第一延設部31e及第一摩擦減少環34係以使第一摩擦減少環34抵接該第一凹部41a的底面的方式以具有間隙的方式被嵌合。第一凹部41a係發揮作為可沿被支持物的支持方向正交的平面(第9圖中的XY平面)滑動移動地支持連結軸部30中的第一延設部31e及第一摩擦減少環34之支持部的功能。
第一凹部41a的俯視觀看半徑係設定為比連結軸部30中之第一延設部31e及第一摩擦減少環34的俯視觀看半徑還大。第一凹部41a的內周側面係作為限制部41s並發揮功能，該限制部41s係當往與嵌合於基部40之連結軸部30的軸部交叉的交叉方向的位移達到預定之容許最大 位移量時，會抵接軸側嵌合部39的外周面(在本實施型態中係第一摩擦減少環34的外周面)。
第二元件42係於下表面側具有第二凹部42a，該第二凹部42a係從下方觀看時，在與被支持物的支持方向正交的平面(第9圖中的XY平面)以平坦並呈圓形的方式朝向上方凹設。連結軸部30中的第二延設部32e及第二摩擦減少環35係以使第二摩擦減少環35抵接該第二凹部42a中位在凹部之頂部的下方側的面部之方式以具有間隙的方式被嵌合。第二凹部42a係發揮作為可沿被支持物的支持方向正交的平面(第9圖中的XY平面)滑動移動地支持連結軸部30中的第二延設部32e及第二摩擦減少環35之支持部的功能。
第二凹部42a的仰視觀看半徑係設定為比連結軸部30中之第二延設部32e及第二摩擦減少環35的半徑還大。第二凹部42a的內周側面係作為限制部42s並發揮功能，該限制部42s係當往與嵌合於基部40之連結軸部30的軸部交叉的交叉方向(=軸部的徑方向)的位移達到預定之容許最大位移量時，會抵接軸側嵌合部39的外周面(在本實施型態中係第二摩擦減少環35的外周面)。
若著眼於連結軸部30與基部40的嵌合關係而言，第一凹部41a的內周面、插通孔43、及第二凹部42a的內周面係形成為與軸側嵌合部39之間具有間隙的方式與軸側嵌合部39嵌合的孔側嵌合部46。
關於第一凹部41a與第二凹部42a，係以第一凹部41a與第二凹部42a的雙方將連結軸部30支持成可朝與XY平面呈平行的方向(徑方向)滑動，並且將連結軸部30限制成不會朝連結軸部30之軸方向位移。 換言之，在基部40中，係於在連結軸部30的兩個延設部之間夾持著孔側嵌合部46，藉此限制連結軸部30之軸方向的移動。
第一元件41係於下表面側具有第一圓環狀凹部41b，該第一圓環狀凹部41b係從下方觀看時，以在中心殘留有供連結軸部30插通之插通孔43的緣部的方式形成圓環狀並朝向上方凹設。第一圓環狀凹部41b的內側面與第一圓環狀凹部41b中之位在凹部之頂面的下方側的面部的連接部係形成比環狀線圈彈簧50外周還大之曲率的曲面及斜面。
第二元件42係於上表面側具有第二圓環狀凹部42b，該第二圓環狀凹部42b係從上方觀看時，以在中心殘留有供連結軸部30插通的插通孔43之緣部的方式形成圓環狀並朝向下方凹設。第二圓環狀凹部42b的內側面與底面的連接部係形成比環狀線圈彈簧50外周還大之曲率的曲面及斜面。
藉由第一元件41與第二元件42的組合，使第一圓環狀凹部41b與第二圓環狀凹部42b對接而設置了空間。該空間係作為彈簧保持部47並發揮功能，該彈簧保持部47係以容許往環之外方向的變形(往徑擴大方向的變形)但限制往復原狀態之環的內方向的變形(往徑縮小方向的變形)的方式保持環狀線圈彈簧50。從另一角度觀看時，彈簧保持部47係以可朝徑擴大方向變形達預定之容許最大變形量為止的方式保持環狀線圈彈簧50。
藉由第一元件41與第二元件42的組合，在彈簧保持部47的內周面設置了環狀溝部48。滑動墊片33(凸緣部)係形成經由該環狀溝部48與環狀線圈彈簧50的內周面抵接。
環狀線圈彈簧50係以線圈彈簧構成為環狀的圓環構件。例如，可折彎拉伸線圈彈簧為圓環狀並連接其兩端來作成。
環狀線圈彈簧50的內徑係設定為與彈簧保持部47空間的內側內面的直徑相符合，且環狀線圈彈簧50之環狀的內面係與彈簧保持部47空間的內側內面接觸。
環狀線圈彈簧50的環狀外徑，係設定為小於彈簧保持部47空間的外側內面的直徑。兩者的間隔(clearance)係設定為比對連結軸部30之基部40的相對位移的容許量還變大。
環狀線圈彈簧50之線圈的外徑(相當於第9圖中之Z軸方向的外徑)係設定為比彈簧保持部47空間內的垂直方向(第9圖中之Z軸方向)的厚度小。
對屬於被支持物未連結於檢查用輔助具支持具20之狀態的環狀線圈彈簧50而言的無負荷重狀態中，環狀線圈彈簧50係沿著彈簧保持部47空間的內側內周面保持在稍微產生張力的狀態。
環狀線圈彈簧50係具有於無負荷重時可使連結軸部30之軸部復位至基準位置的緊壓力。滑動墊片33係與環狀線圈彈簧50之環狀的內周抵接，因此對滑動墊片33的中心軸(與連結軸部30之軸桿的軸部相同)而言，環狀線圈彈簧50之環的中心軸上的位置、或大致中心軸上的位置會形成基準位置。在沒有對環狀線圈彈簧50作用有變形外力的無負荷重時，連結軸部30會經由滑動墊片33作用環狀線圈彈簧50的緊壓力，而復原到基準位置(第7圖的狀態)。
第10圖、第11圖係用以針對檢查用輔助具支持具20所發揮之作用的說明圖。
第10圖係顯示發生連結軸部30從基準位置位移的主要原因的狀態。在此，所謂「位移的主要原因」係在本實施型態中引起被檢查側的連接器、與檢查用輔助具之位置偏離的狀態。該位置偏離的部分，會使得連結軸部30對基部40偏離(位移)而被吸收。
第10圖之例中，連結軸部30係朝第10圖的左方向位移，而環狀線圈彈簧50之環內側面當中第10圖的左側部分會受到滑動墊片33的按壓(第10圖中的作用力F1)，朝第10圖的左方向延伸而變形。而且，構成環狀線圈彈簧50的線圈彈簧直徑係比彈簧保持部47空間的上下方向高度小。因此，會使得環狀線圈彈簧50當中，朝第10圖的左側方向變形的部分以朝第10圖的上側或下側移動的方式變形。第10圖中顯示朝上側移動而與彈簧保持部47空間的上側接觸的狀態。環狀線圈彈簧50受到滑動墊片33按壓，因而亦處在與滑動墊片33接觸的狀態。環狀線圈彈簧50係在彈簧保持部47空間的上側或下側與滑動墊片33接觸的狀態下變形，因此雖在變形的狀態，惟該變形形狀會處在穩定的狀態。該情事，亦使得環狀線圈彈簧50的復原力會穩定地作用。
第11圖係顯示位移的主要原因消除後的態樣；顯示在本實施型態中，檢查結束而檢查用輔助具遠離被檢查側的連接器並解除連接的態樣。當位移的主要原因消除，受到環狀線圈彈簧50的復原力(第11圖中的作用力F2)，滑動墊片33會被往第11圖的右方向彈推，使得連結軸部 30返回至基準位置。當連結軸部30到達至基準位置時，環狀線圈彈簧50就返回到原來的環狀，因此復原力也消失。
支持具63係發揮作用為以可在預定之二維可位移範圍及預訂之可自轉角度範圍內位移的方式支持檢查用頭部本體70。支持具63係具有：第一檢查用輔助具支持具20R、第二檢查用輔助具支持具20L、及輔助具基體60。第一檢查用輔助具支持具20R、與第二檢查用輔助具支持具20L係檢查用輔助具支持具20。第一檢查用輔助具支持具20(20R)及第二檢查用輔助具支持具20(20L)係藉由輔助具基體60配置成使各自的支持方向與連結軸部30的軸部成平行。
依據滑動墊片33與環狀線圈彈簧50的抵接位置關係，會有環狀線圈彈簧50往比第10圖所示之位置更下方退避，而形成環狀線圈彈簧50被壓抵於第二圓環狀凹部42b之底面之狀態的情形。即便在這樣的狀態，復原力會對滑動墊片33進行彈推，因而同樣地可使連結軸部30返回至基準位置。
第12圖係針對由兩個檢查用輔助具支持具20實現容許檢查用頭部本體70之軸旋轉方向的偏離的說明圖。
檢查用頭部本體70的兩端部各自由連結軸部30所支持。因此，當探針支持部74與被檢查側的連接器連接時，即使檢查用頭部本體70產生繞著垂直軸(第12圖中之Z軸)的旋轉θ(若從檢查用頭部本體70觀看為繞著垂直軸的自轉)，兩個連結軸部30亦沿著水平平面(與第12圖中的XY平面成平行的方向)，以彼此繞著垂直軸往相反方向位移，藉此容許旋轉θ的 偏離。當解除檢查用的連接，在兩個檢查用輔助具支持具20會產生使各自的連結軸部30返回至基準位置的作用，所以也會消除旋轉θ的偏離。
如此，本實施型態的連接器檢查用輔助具10的檢查用輔助具支持具20就可在容許連接器檢查用輔助具10與被檢查側的連接器之位置偏離的狀態下，控制隨著位置偏離的容許之雙方的相對姿勢的變化。因此，連接器檢查用輔助具10會在連接至被檢查側的連接器的步驟，以在適當的位置可連接的方式自動地進行位置的調整。若檢查完成並解除連接器彼此的連接，就自動的返回原本之處。
在調整位置偏離的步驟中，連接器檢查用輔助具10的探針支持部74會難以傾斜。因此，搭載於輔助具的探針75對於被檢查側的連接器之電極傾斜地接觸的可能性低，而能夠減少無用的橫向負荷作用於探針75而使探針75的壽命縮短的可能性。
由於位置偏離亦容許繞著垂直軸而朝360度任何的方向，所以對於位置偏離的對應能力優越。
就用以對位移的連結軸部30賦予復原力的要素而言，因為採用了環狀線圈彈簧50，會比採用樹脂性的O型環的情形具優越的位移反應性、並具優越的耐久性。
[第二實施型態]
接著，說明第二實施型態。以下，主要敘述與第一實施型態的差異，就與第一實施型態相同的構成要素而言，標註與第一實施型態相同的符號並省略重複的說明。
第13圖係顯示第二實施型態之連接器檢查用輔助具10B的構成例的立體外觀圖，並為從斜下方往上方觀看時的外觀圖。
第14圖係顯示連接器檢查用輔助具10B的構成例的立體外觀圖，並為從斜上方往下方觀看時的外觀圖。
第15圖係檢查用輔助具支持具20B的分解圖。
比較本實施型態與第一實施型態，其相異處在於：第一實施型態係分別獨立預備兩個檢查用輔助具支持具20並利用輔助具基體60加以連結(參照第1圖~第3圖)，而第二實施型態的連接器檢查用輔助具10B係將兩個檢查用輔助具支持具20B的基部40共通化並一體地構成。
與第一實施型態相異處在於：以利用連接片66將兩個檢查用輔助具支持具20的連結軸部30設為連結狀態，並使兩個連結軸部30成為一體而對基部40相對位移的方式構成。連接器檢查用輔助具10B係具有蓋部67，係覆蓋連接片66。
相異處在於：第一實施型態中，電性連接檢查用頭部本體70與檢查裝置本體的導體係通過兩個檢查用輔助具支持具20中間的構成，而在本實施型態中，係於檢查用頭部本體70的側面設置輸出連接器84，且經由輸出連接器84與檢查裝置本體連接。
[第三實施型態]
接著，說明第三實施型態。以下，主要敘述與第一實施型態的差異，就與第一實施型態相同的構成要素而言，標註與第一實施型態相同的符號並省略重複的說明。
第16圖係本實施型態之連接器檢查用輔助具10C的分解圖。
比較本實施型態與第一實施型態，其相異處在於：本實施型態的連接器檢查用輔助具10C所具備的檢查用輔助具支持具20C係與第一實施型態的檢查用輔助具支持具構成不同。除此以外的要素係與第一實施型態相同。
第17圖係顯示本實施型態之檢查用輔助具支持具20C的構成例的立體外觀圖，並為從斜下方往上方觀看時的外觀圖。
第18圖係顯示檢查用輔助具支持具20C的構成例的立體外觀圖，並為從斜上方往下方觀看時的外觀圖。
第19圖係檢查用輔助具支持具20C的縱剖面圖。
比較本實施型態的檢查用輔助具支持具20C與第一實施型態的檢查用輔助具支持具20，本實施型態的連接軸桿32C係兼任第一實施型態中之基部40的第二元件42、及第一實施型態中之連接軸桿32。
本實施型態的基部40C係以一個相當於第一實施型態之第一元件41的零件所構成，且其下表面具有階式凹部85。
階式凹部85係於插通孔43的周圍具有斜面部85s。在階式凹部85中之位在凹部之頂面地下方側的面部當中，較斜面部85s靠外側並較第二摩擦減少環35內側之面部與被安裝之第二摩擦減少環35的下表面相連達基部40C的外周係呈平坦面。該面係相當於第一實施型態中的第一圓環狀凹部41b。也就是，形成抵接環狀線圈彈簧50之上表面的面部。
本實施型態的連接軸桿32C會與階式凹部85中之位在凹部之頂部的下方側的面部面滑接，故而在該下方側的面部安裝有第二摩擦減少環35。
本實施型態的連接軸桿32C係兼任第一實施型態中之基部40的第二元件42、及第一實施型態中之連接軸桿32，故而在本實施型態的連接軸桿32C的上表面凹設有第二圓環狀凹部42b。
本實施型態的檢查用輔助具支持具20C中，連結軸部30的相對位移的界現係限定在設置於基部40之中央的插通孔43的內周面與連接軸桿32C的間隔。
比較本實施型態的檢查用輔助具支持具20C與第一實施型態的檢查用輔助具支持具，由於可減少零件數量，所以一面達成達成同樣的作用效果，一面也可謀求比第一實施型態更降低成本及小型化。
以上，說明適用本發明的幾個實施型態，惟可適用本發明的型態並不限定為上述型態，可施予適當構成要素的追加、省略、變更。
例如，第一實施型態顯示：連接器檢查用輔助具10具備有支持具63，支持具63具有兩個檢查用輔助具支持具20(第一檢查用輔助具支持具20R、第二檢查用輔助具支持具20L)之例(參照第1圖、第2圖)。然而，支持具63亦可具有三個以上的檢查用輔助具支持具20。
在上述實施型態中，例示兩個檢查用輔助具支持具20(第一檢查用輔助具支持具20R、第二檢查用輔助具支持具20L)係以沿與連結軸部30之軸方向交叉的方式配置複數個的構成，惟兩個檢查用輔助具支持具20(第一檢查用輔助具支持具20R、第二檢查用輔助具支持具20L)的配置 關係不限定於此。例如，第20圖及第21圖所示，亦可將連接元件88固定於兩個檢查用輔助具支持具20(20R、20L)中的一方的第一元件41，且將該連接元件88與其他的連結軸部30的連接軸桿32連接，以設為沿連結軸部30之軸方向整體經多重連接的支持具63D。該支持具63D可與第一實施型態的檢查用輔助具支持具20替換。藉由這樣的替換，會獲得容許更大的位置偏離的優點。
進一步而言，在第20圖及第21圖之例中，複數個檢查用輔助具支持具20(20R、20L)係以連結軸部30之軸方向為相同朝向的方式連接，惟也能夠以連結軸部30之軸方向為不同朝向的方式(例如，正交的方式)連接成一體的支持具63的構成。
在上述實施型態中，係以連接器檢查用輔助具10設為由上方連接檢查對象來說明，惟亦可使用在由下方連接檢查對象的型態，或亦可使用在由側方連接的型態。
以上說明的揭示可總結如下。
本揭示的第一態樣為一種檢查用輔助具支持具，其係具備有：連結軸部，係具有軸側嵌合部，且連結於檢查用頭部本體；環狀線圈彈簧，係配置於前述軸側嵌合部之外周；以及基部，係以可朝軸之徑方向及軸旋轉方向位移的方式保持前述連結軸部；前述基部係具有：彈簧保持部，係以容許前述環狀線圈彈簧之往徑擴大方向的變形之方式保持前述環狀線圈彈簧；以及孔側嵌合部，係以與前述軸側嵌合部之間具有間隙的方式與前述軸側嵌合部嵌合。
根據第一態樣，連結於檢查用頭部本體的連結軸部，係可保持對基部往軸的徑方向及軸旋轉方向的位移。並且，連結軸部中，軸側嵌合部係以與孔側嵌合部之間具有間隙的方式被嵌合。因此，即便被檢查側的連接器的安裝位置參差不齊，亦使連結軸部對基部往軸之徑方向及徑旋轉方向位移，藉此可使檢查用頭部本體迅速地移動至被檢查側之連接器的適當連接位置。因此，具優越的位置偏離之容許性及反應性。
亦可設為：前述環狀線圈彈簧係具有於無負荷重時可使前述連結軸部之軸部復位至基準位置的緊壓力。
在無負荷重時，環狀線圈彈簧的緊壓力會作用，連結軸部會復位至基準位置。
亦可設為：前述軸側嵌合部係具有凸緣部，該凸緣部係從外周面朝徑方向外側突出並與前述環狀線圈彈簧之內周面抵接；前述孔側嵌合部係具有限制部，該限制部係當前述連結軸部之往前述徑方向的位移達預定的容許最大位移量時，抵接前述外周面。
凸緣部係從軸側嵌合部的外周面朝徑方向外側突出並與環狀線圈彈簧的內周面抵接。限制部係當連結軸部之往徑方向的位移達預定之容許最大位移量時，抵接軸側嵌合部的外周面，所以可限制連結軸部的位移。
亦可設為：前述彈簧保持部係以可朝徑擴大方向變形達預定之容許最大變形量的方式保持前述環狀線圈彈簧；前述容許最大位移量係小於前述容許最大變形量。
亦可設為：前述彈簧保持部係具環狀溝部，前述凸緣部係經由前述環狀溝部與前述環狀線圈彈簧的內周面抵接。
亦可設為：前述軸側嵌合部係具有兩個延設部，且在前述兩個延設部之間夾有前述孔側嵌合部。
孔側嵌合部係夾設在連結軸部之兩個延設部之間，藉此基部會限制連結軸部之軸方向的移動。
第二態樣為一種支持具，係具備第一態樣的第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具，前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係配置成使得前述第一檢查用輔助具支持具的前述連結軸部與前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部呈平行，前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係以可在預定的範圍位移的方式支持前述檢查用頭部本體。
根據第二態樣，具優越的位置偏離之容許性及反應性。
亦可設為：更具有支持前述檢查用頭部本體的輔助具基體；前述第一檢查用輔助具支持具係支持前述輔助具基體的一端側；前述第二檢查用輔助具支持具係支持前前述輔助具基體的另一端側。
第三態樣為一種檢查用輔助具，係具備有：前述檢查用頭部本體；以及第二態樣的支持具，係支持前述檢查用頭部本體。
根據第三態樣，具優越的位置偏離之容許性及反應性。
第四態樣為一種檢查用輔助具，係具備有：前述檢查用頭部本體；以及第二態樣的支持具，係支持前述檢查用頭部本體；前述檢查用頭部本體係使會與被檢查物接觸的複數根探針朝檢查面側突出，且從前述 檢查面的相反側的背面拉出前述探針的電線；前述輔助具基體係在中央部支持前述檢查用頭部本體。
根據第四態樣，具優越的位置偏離之容許性及反應性。
第五態樣為一種支持具，係具備有：第一態樣的第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具；於前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部連結有前述第一檢查用輔助具支持具的前述基部。
根據第五態樣，具優越的位置偏離之容許性及反應性。再者，兩個檢查用輔助具支持具係設為一體的支持具之構成，藉此以可在預定地範圍位移的方式支持檢查用頭部本體。
20‧‧‧檢查用輔助具支持具
30‧‧‧連結軸部
31‧‧‧安裝軸桿
32‧‧‧連接軸桿
33‧‧‧滑動墊片
34‧‧‧第一摩擦減少環
35‧‧‧第二摩擦減少環
40‧‧‧基部
41‧‧‧第一元件
41a‧‧‧第一凹部
41b‧‧‧第一圓環狀凹部
41s‧‧‧限制部
42‧‧‧第二元件
42a‧‧‧第二凹部
42b‧‧‧第二圓環狀凹部
42s‧‧‧限制部
47‧‧‧彈簧保持部
49‧‧‧連結螺釘
50‧‧‧環狀線圈彈簧

Claims (11)

  1. 一種檢查用輔助具支持具，係具備有：
    連結軸部，係具有軸側嵌合部，且連結於檢查用頭部本體；
    環狀線圈彈簧，係配置於前述軸側嵌合部之外周；以及
    基部，係以可朝軸之徑方向及軸旋轉方向位移的方式保持前述連結軸部；
    前述基部係具有：
    彈簧保持部，係以容許前述環狀線圈彈簧之往徑擴大方向的變形之方式保持前述環狀線圈彈簧；以及
    孔側嵌合部，係以與前述軸側嵌合部之間具有間隙的方式與前述軸側嵌合部嵌合。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之檢查用輔助具支持具，其中，前述環狀線圈彈簧係具有於無負荷重時可使前述連結軸部之軸部復位至基準位置的緊壓力。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之檢查用輔助具支持具，其中，前述軸側嵌合部係具有凸緣部，該凸緣部係從外周面朝徑方向外側突出並與前述環狀線圈彈簧之內周面抵接；
    前述孔側嵌合部係具有限制部，該限制部係當前述連結軸部之往前述徑方向的位移達預定的容許最大位移量時，抵接前述外周面。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之檢查用輔助具支持具，其中，
    前述彈簧保持部係以可朝徑擴大方向變形達預定之容許最大變形量的方式保持前述環狀線圈彈簧；
    前述容許最大位移量係小於前述容許最大變形量。
  5. 如申請專利範圍第3或4項所述之檢查用輔助具支持具，其中
    前述彈簧保持部係具有環狀溝部，
    前述凸緣部係經由前述環狀溝部與前述環狀線圈彈簧的內周面抵接。
  6. 如申請專利範圍第3至5項中任一項所述之檢查用輔助具支持具，其中
    前述軸側嵌合部係具有兩個延設部，且在前述兩個延設部之間夾有前述孔側嵌合部。
  7. 一種支持具，係具備申請專利範圍第1至6項中任一項所述之第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具，
    前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係配置成使得前述第一檢查用輔助具支持具的前述連結軸部與前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部呈平行，
    前述第一檢查用輔助具支持具及前述第二檢查用輔助具支持具係以可在預定的範圍位移的方式支持前述檢查用頭部本體。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之支持具，更具備有：支持前述檢查用頭部本體的輔助具基體；
    前述第一檢查用輔助具支持具係支持前述輔助具基體的一端側；
    前述第二檢查用輔助具支持具係支持前述輔助具基體的另一端側。
  9. 一種檢查用輔助具，係具備有：
    前述檢查用頭部本體；以及
    申請專利範圍第7或8項所述之支持具，係支持前述檢查用頭部本體。
  10. 一種檢查用輔助具，係具備有：
    前述檢查用頭部本體；以及
    申請專利範圍第8項所述之支持具，係支持前述檢查用頭部本體；
    前述檢查用頭部本體係使會與被檢查物接觸的複數根探針朝檢查面側突出，且從前述檢查面的相反側的背面拉出前述探針的電線，
    前述輔助具基體係在中央部支持前述檢查用頭部本體。
  11. 一種支持具，係具備有：申請專利範圍第1至6項中任一項所述之第一檢查用輔助具支持具及第二檢查用輔助具支持具；
    於前述第二檢查用輔助具支持具的前述連結軸部連結有前述第一檢查用輔助具支持具的前述基部。
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