JP4465250B2 - 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 - Google Patents
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Description
前記探針部(2)及び前記弾性部材(3)を収納し、かつ前記弾性部材(3)により前記探針部(2)がその先端部(5)を前記被測定物(16)に当接しつつ該探針部(2)の軸方向に移動し得るように支持するプローブ支持部材(13)と、
前記プローブ支持部材(13)の前記探針部(2)先端側に位置し、前記プローブ支持部材(13)に対して前記探針部(2)の軸方向に移動可能に支持されるプローブ先端支持部材(12)と、
前記プローブ支持部材(13)の前記探針部(2)後端側に位置し、前記プローブ先端支持部材(12)と連結部材(21)を介して一体に連結され、前記プローブ支持部材(13)に対して、前記プローブ先端支持部材(12)と共に前記探針部(2)の軸方向に相対的に移動し得るプローブ後端支持部材(15)と、
前記連結部材(21)を介して一体に連結された前記プローブ先端支持部材(12)及び前記プローブ後端支持部材を、前記プローブ先端支持部材が前記プローブ支持部材(13)に対して所定間隔離れた所定位置になるように付勢する付勢手段(20)と、を備え、
前記プローブ支持部材(13)の前記被測定物(16)へ近づく方向の移動に基づき、前記プローブ先端支持部材(12)及び前記探針部(2)先端を前記被測定物(16)に当接し、更なる前記プローブ支持部材の移動による前記プローブ先端支持部材(12)及び前記プローブ後端支持部材(15)との相対移動を前記付勢手段(20)にて吸収すると共に、前記弾性部材(3)により前記探針部(2)を前記被測定物(16)に圧接し、かつ前記プローブ後端支持部材(15)内において前記探針部(2)の後端部と前記配線部材(10)とを電気的に接続(9)してなる、
ことを特徴とする検査ユニット(11)にある。
前記被測定物(16)を、前記検査ユニット(11)の移動方向の移動を許容するように浮動支持(27)し、
前記2個の検査ユニット(11)(11)が相対的に近接する方向に移動して前記プローブ先端支持部材(12)及び前記探針部(2)の先端が前記被測定物(16)に当接することにより、前記被測定物(16)の移動を許容すると共に前記プローブ支持部材(13)と前記プローブ先端支持部材(12)及び前記プローブ後端支持部材(15)とを相対的に移動しつつ、
前記2個の検査ユニット(11)(11)の前記各探針部(2)が前記被測定物(16)の両面に密着する、
ことを特徴とする検査装置にある。
なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲に記載の構成に何等影響を及ぼすものではない。
2 探針部
3 螺旋バネ(弾性部材)
5 接触部(先端部)
9 スリーブ(接続)
10 配線(配線部材)
11 検査ユニット
12 ピン先ガイドボード(プローブ先端支持部材)
13 ピンボード(プローブ支持部材)
15 配線支持ボード(プローブ後端支持部材)
16 ワーク(被測定物)
20 螺旋バネ(付勢手段)
21 連結部材
27 螺旋バネ(浮動支持)
Claims (2)
- 被測定物に当接する探針部と該探針部が被測定物に当接した際の圧力を吸収する弾性部材とを有する検査用プローブを備え、前記探針部及び配線部材を介して前記被測定物の電気的特性の検査をおこなう検査ユニットにおいて、
前記探針部及び前記弾性部材を収納し、かつ前記弾性部材により前記探針部がその先端部を前記被測定物に当接しつつ該探針部の軸方向に移動し得るように支持するプローブ支持部材と、
前記プローブ支持部材の前記探針部先端側に位置し、前記プローブ支持部材に対して前記探針部の軸方向に移動可能に支持されるプローブ先端支持部材と、
前記プローブ支持部材の前記探針部後端側に位置し、前記プローブ先端支持部材と連結部材を介して一体に連結され、前記プローブ支持部材に対して、前記プローブ先端支持部材と共に前記探針部の軸方向に相対的に移動し得るプローブ後端支持部材と、
前記連結部材を介して一体に連結された前記プローブ先端支持部材及び前記プローブ後端支持部材を、前記プローブ先端支持部材が前記プローブ支持部材に対して所定間隔離れた所定位置になるように付勢する付勢手段と、を備え、
前記プローブ支持部材の前記被測定物へ近づく方向の移動に基づき、前記プローブ先端支持部材及び前記探針部先端を前記被測定物に当接し、更なる前記プローブ支持部材の移動による前記プローブ先端支持部材及び前記プローブ後端支持部材との相対移動を前記付勢手段にて吸収すると共に、前記弾性部材により前記探針部を前記被測定物に圧接し、かつ前記プローブ後端支持部材内において前記探針部の後端部と前記配線部材とを電気的に接続してなる、
ことを特徴とする検査ユニット。 - 多数の前記検査用プローブを前記プローブ支持部材に支持した2個の請求項1記載の検査ユニットを、前記被測定物を挟むように配置して、これら検査ユニットの少なくとも一方を、互いに近接又は離間する方向に移動するように駆動し、
前記被測定物を、前記検査ユニットの移動方向の移動を許容するように浮動支持し、
前記2個の検査ユニットが相対的に近接する方向に移動して前記プローブ先端支持部材及び前記探針部の先端が前記被測定物に当接することにより、前記被測定物の移動を許容すると共に前記プローブ支持部材と前記プローブ先端支持部材及び前記プローブ後端支持部材とを相対的に移動しつつ、
前記2個の検査ユニットの前記各探針部が前記被測定物の両面に密着する、
ことを特徴とする検査装置。
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JP2004293060A JP4465250B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 |
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JP2004293060A JP4465250B2 (ja) | 2004-10-05 | 2004-10-05 | 検査ユニット及びそれを用いた検査装置 |
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