TW201945844A - 硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物,及電子零件 - Google Patents

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Abstract

提供顯像性優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性優良的硬化性樹脂組成物、具有由該組成物所得到之樹脂層的乾膜、該組成物或該乾膜之樹脂層的硬化物,及具有該硬化物之電子零件。一種硬化性樹脂組成物等,其係含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合起始劑、(C)具有乙烯性不飽和基之化合物,與(D)熱硬化性樹脂之硬化性樹脂組成物,其特徵為含有(D-1)包含下述式(d-1-1)~(d-1-4)表示之構造中任1者以上,且數平均分子量為1000以下之熱硬化性樹脂,及(D-2)數平均分子量為1000~3000且2官能之熱硬化性樹脂,作為前述(D)熱硬化性樹脂。
Figure TW201945844A_A0001

(式(d-1-4)中,R分別獨立地表示氫原子或甲基。惟,R全部為氫原子之情況除外)。

Description

硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物,及電子零件
本發明係關於硬化性樹脂組成物、乾膜、硬化物,及電子零件。
作為印刷配線板等之配線基板,係有於在稱為芯材的玻璃等之纖維中含浸環氧樹脂等者貼附銅等之金屬箔,以蝕刻法形成電路者,或藉由進一步將絕緣性樹脂組成物塗覆或層合薄片狀之絕緣性樹脂組成物來形成絕緣層後,形成電路者等。作為多層印刷配線板之製造方法,自以往已知有將形成有電路之複數個電路板,隔著作為接著絕緣層之預浸體進行層合壓製,藉由貫通孔而連接各層電路間之方法。相對於此,作為多層印刷配線板之製造方法,於內層電路板之導體層上交互堆疊層間絕緣材與導體層的增層方式之製造技術受到注目(例如參照專利文獻1、2)。

[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]:日本特開2006-182991號公報(申請專利範圍等)
[專利文獻2]:日本特開2013-36042號公報(申請專利範圍等)
[發明所欲解決之課題]
於晶圓上進行封裝後切出晶片的晶圓等級封裝所用之層間絕緣材中,就生產效率之觀點,為了一舉形成微細的圖型,能夠以光微影術形成圖型之鹼顯像型的感光性層間絕緣材之要求增高。
又,伴隨電子零件之小型化,對於層間絕緣材係有配線之高密度化的要求,為了確保配線或零件連接部之信賴性,對於印刷配線板之材料係要求高的耐熱性。藉由使用具有剛性且對稱性優良的骨架之硬化性樹脂,可提高材料之耐熱性,但該方法中會產生材料變硬而脆,龜裂耐性降低之問題。因而,為了賦予優良的龜裂耐性,係要求將柔軟性進一步提高。但是,為了提高柔軟性,例如使用分子量大的硬化性樹脂時,顯像性變差,在維持顯像性的同時,為了賦予優良龜裂耐性而提高柔軟性係困難的。又,就信賴性之觀點,亦要求高的耐熱性及與配線之密合性。
因而,本發明之目的為提供顯像性優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性優良的硬化性樹脂組成物、具有由該組成物所得到之樹脂層的乾膜、該組成物或該乾膜之樹脂層的硬化物,及具有該硬化物之電子零件。
本發明者等人為了解決上述課題而深入探討的結果,發現藉由摻合特定2種熱硬化性樹脂作為熱硬化性樹脂,可解決上述課題,而完成本發明。
亦即,本發明之硬化性樹脂組成物,為含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合起始劑、(C)具有乙烯性不飽和基之化合物,與(D)熱硬化性樹脂之硬化性樹脂組成物,其特徵為含有(D-1)包含下述式(d-1-1)~(d-1-4)表示之構造中任1者以上,且數平均分子量為1000以下之熱硬化性樹脂,及(D-2)數平均分子量為1000~3000且2官能之熱硬化性樹脂,作為前述(D)熱硬化性樹脂。

(式(d-1-4)中,R分別獨立地表示氫原子或甲基。惟,R全部為氫原子之情況除外)。
本發明之硬化性樹脂組成物,前述(A)鹼可溶性樹脂,較佳含有具有下述式(1)及(2)表示之至少一方之構造與鹼可溶性官能基的醯胺醯亞胺樹脂。
本發明之乾膜,其特徵為具有將前述硬化性樹脂組成物塗佈於薄膜上並乾燥而得到之樹脂層。
本發明之硬化物,其特徵為將前述硬化性樹脂組成物或前述乾膜之樹脂層硬化而成。
本發明之電子零件,其特徵為具備前述硬化物而成。

[發明之效果]
依照本發明,可提供顯像性優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性優良的硬化性樹脂組成物、具有由該組成物所得到之樹脂層的乾膜、該組成物或該乾膜之樹脂層的硬化物,及具有該硬化物之電子零件。又,藉由提高硬化物之柔軟性,可對硬化物賦予優良的龜裂耐性。
本發明者等人發現藉由摻合分子量大之熱硬化性樹脂,會提高柔軟性,但可能起因於分子量的大小,係為顯像性不良者。又,係密合性及耐熱性亦不良者。因而,得知藉由摻合使分子量為特定範圍,且2官能之熱硬化性樹脂(亦即上述(D-2)),且進一步合併使用具有特定環狀骨架,且低分子量之熱硬化性樹脂(亦即上述(D-1)),可得到顯像性優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性優良的硬化性樹脂組成物。又,藉由提高硬化物之柔軟性,可對硬化物賦予優良的龜裂耐性。
以下詳述本發明之硬化性樹脂組成物所含有之成分。
[(A)鹼可溶性樹脂]
本發明之硬化性樹脂組成物,含有鹼可溶性樹脂。鹼可溶性樹脂例如可列舉具有2個以上酚性羥基之化合物、含有羧基之樹脂、具有酚性羥基及羧基之化合物、具有2個以上硫醇基之化合物。其中,尤以鹼可溶性樹脂為含有羧基之樹脂或酚樹脂時,由於與基底之密合性提高故較佳。特別是由於顯像性優良,故鹼可溶性樹脂更佳為含有羧基之樹脂。鹼可溶性樹脂可為具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂、亦可為不具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂。
含有羧基之樹脂之具體例子,可列舉如以下所列舉之化合物(寡聚物及聚合物均可)。再者,本說明書中,(甲基)丙烯酸酯,係總稱丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯及該等的混合物之用語,其他類似表述亦相同。
(1)藉由(甲基)丙烯酸等之不飽和羧酸,與苯乙烯、α-甲基苯乙烯、低級烷基(甲基)丙烯酸酯、異丁烯等之含有不飽和基之化合物的共聚合所得之含有羧基之樹脂。
(2)藉由脂肪族二異氰酸酯、分支脂肪族二異氰酸酯、脂環式二異氰酸酯、芳香族二異氰酸酯等之二異氰酸酯,與二羥甲基丙酸、二羥甲基丁酸等之含有羧基之二醇化合物及聚碳酸酯系多元醇、聚醚系多元醇、聚酯系多元醇、聚烯烴系多元醇、丙烯酸系多元醇、雙酚A系環氧烷加成體二醇、具有酚性羥基及醇性羥基之化合物等之二醇化合物的加成聚合反應而得之含有羧基之胺基甲酸酯樹脂。
(3)對藉由脂肪族二異氰酸酯、分支脂肪族二異氰酸酯、脂環式二異氰酸酯、芳香族二異氰酸酯等之二異氰酸酯化合物,與聚碳酸酯系多元醇、聚醚系多元醇、聚酯系多元醇、聚烯烴系多元醇、丙烯酸系多元醇、雙酚A系環氧烷加成體二醇、具有酚性羥基及醇性羥基之化合物等之二醇化合物的加成聚合反應而得之胺基甲酸酯樹脂的末端使酸酐反應而成之末端含有羧基之胺基甲酸酯樹脂。
(4)藉由二異氰酸酯,與雙酚A型環氧樹脂、氫化雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、聯二甲酚型環氧樹脂、聯酚型環氧樹脂等之2官能環氧樹脂之(甲基)丙烯酸酯或其部分酸酐改質物、含有羧基之二醇化合物及二醇化合物之加成聚合反應而得之含有羧基之胺基甲酸酯樹脂。
(5)於上述(2)或(4)之樹脂之合成中,添加(甲基)丙烯酸羥基烷酯等之分子中具有1個羥基與1個以上之(甲基)丙烯醯基的化合物,而末端(甲基)丙烯醯化之含有羧基之胺基甲酸酯樹脂。
(6)於上述(2)或(4)之樹脂之合成中,添加異佛酮二異氰酸酯與季戊四醇三丙烯酸酯之等莫耳反應物等分子中具有1個異氰酸酯基與1個以上之(甲基)丙烯醯基的化合物,而末端(甲基)丙烯醯化之含有羧基之胺基甲酸酯樹脂。
(7)使(甲基)丙烯酸與多官能環氧樹脂反應,對側鏈所存在之羥基加成鄰苯二甲酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐等之2元酸酐而得之含有羧基之樹脂。
(8)使(甲基)丙烯酸與將2官能環氧樹脂之羥基進一步以表氯醇環氧化而得之多官能環氧樹脂反應,對所生成之羥基加成2元酸酐而得之含有羧基之樹脂。
(9)使二羧酸與多官能氧雜環丁烷樹脂反應,對所生成之1級羥基加成2元酸酐而得之含有羧基之聚酯樹脂。
(10)對使1分子中具有複數個酚性羥基之化合物與環氧乙烷、環氧丙烷等之環氧烷反應而得之反應生成物使含有不飽和基之單羧酸進行反應,再對所得之反應生成物使多元酸酐進行反應而得之含有羧基之樹脂。
(11)對使1分子中具有複數個酚性羥基之化合物與碳酸伸乙酯、碳酸伸丙酯等之環狀碳酸酯化合物反應而得之反應生成物使含有不飽和基之單羧酸進行反應,再對所得之反應生成物使多元酸酐進行反應而得之含有羧基之樹脂。
(12)使p-羥基苯乙醇等之1分子中具有至少1個醇性羥基與1個酚性羥基的化合物,與(甲基)丙烯酸等之含有不飽和基之單羧酸與1分子中具有複數個環氧基之環氧化合物反應,對所得之反應生成物之醇性羥基,使馬來酸酐、四氫鄰苯二甲酸酐、偏苯三甲酸酐、苯均四酸酐、己二酸酐等之多元酸酐進行反應而得之含有羧基之樹脂。
(13)對上述(1)~(12)等記載的含有羧基之樹脂進一步加成(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸α-甲基縮水甘油酯等之分子中具有1個環氧基與1個以上之(甲基)丙烯醯基的化合物而成之含有羧基之樹脂。
上述含有羧基之樹脂當中,較佳含有上述(7)、(8)、(10)、(11)、(13)記載的含有羧基之樹脂之至少任1種。就絕緣信賴性更加提高的觀點,較佳含有上述(10)、(11)記載的含有羧基之樹脂。
具有酚性羥基之化合物,例如可列舉具有聯苯基骨架或伸苯基骨架或其雙方骨架之化合物,或使用酚、鄰甲酚、對甲酚、間甲酚、2,3-二甲酚、2,4-二甲酚、2,5-二甲酚、2,6-二甲酚、3,4-二甲酚、3,5-二甲酚、兒茶酚、間苯二酚、氫醌、甲基氫醌、2,6-二甲基氫醌、三甲基氫醌、五倍子酚、間苯三酚等所合成的具有各種骨架之酚樹脂。
又,具有酚性羥基之化合物,例如可列舉酚酚醛清漆樹脂、烷基酚酚醛清漆樹脂、雙酚A酚醛清漆樹脂、二環戊二烯型酚樹脂、Xylok型酚樹脂、萜烯改質酚樹脂、聚乙烯基酚類、雙酚F、雙酚S型酚樹脂、聚-p-羥基苯乙烯、萘酚與醛類之縮合物、二羥基萘與醛類之縮合物等之公知慣用之酚樹脂。
酚樹脂之市售品,例如可列舉HF1H60(明和化成公司製)、Phenolite TD-2090、Phenolite TD-2131(大日本印刷公司製)、Besmol CZ-256-A(DIC公司製)、Shonol BRG-555、Shonol BRG-556(昭和電工公司製)、CGR-951(丸善石油公司製)、聚乙烯基酚之CST70、CST90、S-1P、S-2P(丸善石油公司製)。
又,鹼可溶性樹脂,亦可適合地使用具有下述式(1)或(2)

表示之至少一方之構造,與鹼可溶性官能基的醯胺醯亞胺樹脂。藉由含有具有直接鍵結於環己烷環或苯環之醯亞胺鍵的樹脂,可得到強韌性及耐熱性優良的硬化物。特別是具有(1)表示之構造的醯胺醯亞胺樹脂,由於光的透過性優良,因此可提高解像性。前述醯胺醯亞胺樹脂,較佳為具有透明性,例如於前述醯胺醯亞胺樹脂之乾燥塗膜25μm,波長365nm之光的透過率較佳為70%以上。
前述醯胺醯亞胺樹脂中。式(1)及(2)之構造的含量,較佳為10~70質量%。藉由使用該樹脂,可得到溶劑溶解性優良,且耐熱性、拉伸強度或伸度等之物性及尺寸安定性優良的硬化物。較佳為10~60質量%、更佳為20~50質量%。
具有式(1)表示之構造的醯胺醯亞胺樹脂,特別是具有式(3A)或(3B)

(式(3A)及(3B)中,各自地,R為1價有機基,較佳為H、CF3 或CH3 ,X為直接鍵結或2價有機基,較佳為直接鍵結、CH2 或C(CH3 )2 等之伸烷基)表示之構造的樹脂,由於拉伸強度或伸度等之物性及尺寸安定性優良故較佳。就溶解性或機械物性之觀點,前述醯胺醯亞胺樹脂,可適合地使用具有式(3A)及(3B)之構造10~100質量%的樹脂。更佳為20~80質量%。
前述醯胺醯亞胺樹脂,就溶解性或機械物性之觀點,較佳可使用含有式(3A)及(3B)之構造5~100莫耳%的醯胺醯亞胺樹脂。更佳為5~98莫耳%、又更佳為10~98莫耳%、特佳為20~80莫耳%。
又,具有式(2)表示之構造的醯胺醯亞胺樹脂,特別是具有式(4A)或(4B)


(式(4A)及(4B)中,各自地,R為1價有機基,較佳為H、CF3 或CH3 ,X為直接鍵結或2價有機基,較佳為直接鍵結、CH2 或C(CH3 )2 等之伸烷基)表示之構造的樹脂,由於可得到拉伸強度或伸度等之機械物性優良的硬化物故較佳。就溶解性或機械物性之觀點,前述醯胺醯亞胺樹脂,可適合地使用具有式(4A)及(4B)之構造10~100質量%的樹脂。更佳為20~80質量%。
前述醯胺醯亞胺樹脂,就展現良好機械物性之理由,亦佳可使用含有式(4A)及(4B)之構造2~95莫耳%的醯胺醯亞胺樹脂。更佳為10~80莫耳%。
前述醯胺醯亞胺樹脂,可藉由公知之方法得到。具有(1)之構造的醯胺醯亞胺樹脂,例如可使用具有聯苯基骨架之二異氰酸酯化合物,與環己烷多羧酸酐來得到。
具有聯苯基骨架之二異氰酸酯化合物,可列舉4,4’-二異氰酸酯-3,3’-二甲基-1,1’-聯苯、4,4’-二異氰酸酯-3,3’-二乙基-1,1’-聯苯、4,4’-二異氰酸酯-2,2’-二甲基-1,1’-聯苯、4,4’-二異氰酸酯-2,2’-二乙基-1,1’-聯苯、4,4’-二異氰酸酯-3,3’-二-三氟甲基-1,1’-聯苯、4,4’-二異氰酸酯-2,2’-二-三氟甲基-1,1’-聯苯等。其他,亦可使用二苯基甲烷二異氰酸酯等之芳香族聚異氰酸酯化合物等。
環己烷多羧酸酐,可列舉環己烷三羧酸酐、環己烷四羧酸酐等。
又,具有(2)之構造的醯胺醯亞胺樹脂,例如可使用上述具有聯苯基骨架之二異氰酸酯化合物,與具有2個酸酐基之多羧酸酐來得到。
具有2個酸酐基之多羧酸酐,可列舉苯均四酸二酐、二苯甲酮-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、二苯基醚-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、苯-1,2,3,4-四羧酸二酐、聯苯-3,3’,4,4’-四羧酸二酐、聯苯-2,2’,3,3’-四羧酸二酐、雙(2,3-二羧基苯基)甲烷二酐、雙(3,4-二羧基苯基)甲烷二酐、1,1-雙(2,3-二羧基苯基)乙烷二酐、1,1-雙(3,4-二羧基苯基)乙烷二酐、2,2-雙(2,3-二羧基苯基)丙烷二酐、2,3-雙(3,4-二羧基苯基)丙烷二酐、雙(3,4-二羧基苯基)碸二酐、雙(3,4-二羧基苯基)醚二酐、乙二醇雙脫水偏苯三甲酸酯等之烷二醇雙脫水偏苯三甲酸酯等。
前述醯胺醯亞胺樹脂,於上述式(1)、(2)之構造以外,進一步具有鹼可溶性之官能基。藉由具有鹼可溶性之官能基,會成為可鹼顯像之樹脂組成物。作為鹼可溶性之官能基,係含有羧基、酚系羥基、磺基等者,較佳為含有羧基者。
再者,前述醯胺醯亞胺樹脂之具體例子,可列舉DIC公司製Unidic V-8000系列、Nippon 高度紙工業公司製SOXR-U。
鹼可溶性樹脂之酸價,較佳為20~120mgKOH/g之範圍、更佳為30~100mgKOH/g之範圍。藉由使鹼可溶性樹脂之酸價成為上述範圍,可良好地進行鹼顯像,可形成正常的硬化物之圖型。鹼可溶性樹脂之重量平均分子量,雖依樹脂骨架而異,但一般而言較佳為2,000~150,000。重量平均分子量為2,000以上時,乾燥塗膜之不黏著(tack-free)性、曝光後之塗膜的耐濕性、解像性為良好。另一方面,重量平均分子量為150,000以下時,顯像性與儲存安定性良好。更佳為5,000~100,000。
鹼可溶性樹脂可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。使用前述醯胺醯亞胺樹脂作為鹼可溶性樹脂時,藉由得到樹脂層與基材之密合性良好之乾膜,乾膜之作業性優良,因此較佳為合併使用其他鹼可溶性樹脂(亦即,不含式(1)及(2)之構造的鹼可溶性樹脂),其他鹼可溶性樹脂,較佳為以環氧樹脂為起始原料之含有羧基之樹脂、具有胺基甲酸酯骨架之含有羧基之樹脂(亦稱為含有羧基之胺基甲酸酯樹脂)、具有不飽和羧酸之共聚合構造的含有羧基之樹脂、以酚化合物為起始原料之含有羧基之樹脂,及對該等含有羧基之樹脂加成分子中具有1個環氧基與1個以上之(甲基)丙烯醯基的化合物而成之含有羧基之樹脂之至少任一者。
前述醯胺醯亞胺樹脂與前述其他鹼可溶性樹脂之摻合比例,相對於前述醯胺醯亞胺樹脂與前述其他鹼可溶性樹脂之合計量而言,前述醯胺醯亞胺樹脂之比例較佳為30~95質量%、更佳為40~85質量%。藉由成為上述之範圍,可得到具有良好之強韌性與耐熱性的硬化物。
[(B)光聚合起始劑]
本發明之硬化性樹脂組成物,含有光聚合起始劑。光聚合起始劑,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
光聚合起始劑,較佳含有選自由包含通式(I)表示之構造之肟酯系、包含通式(II)表示之構造之α-胺基苯乙酮系、包含通式(III)表示之構造之醯基膦氧化物系,及包含通式(IV)表示之構造之二茂鈦系所成之群的1種或2種以上。
通式(I)中,R1 表示氫原子、苯基、烷基、環烷基、烷醯基或苯甲醯基。R2 表示苯基、烷基、環烷基、烷醯基或苯甲醯基。
R1 及R2 表示之苯基,亦可具有取代基,取代基例如可列舉碳數1~6之烷基、苯基、鹵素原子等。
R1 及R2 表示之烷基,較佳為碳數1~20之烷基,烷基鏈中亦可包含1個以上之氧原子。又,亦可經1個以上之羥基取代。R1 及R2 表示之環烷基,較佳為碳數5~8之環烷基。R1 及R2 表示之烷醯基,較佳為碳數2~20之烷醯基。R1 及R2 表示之苯甲醯基,亦可具有取代基,取代基例如可列舉碳數1~6之烷基、苯基等。
通式(II)中,R3 及R4 係各自獨立地表示碳數1~12之烷基或芳基烷基,R5 及R6 係各自獨立地表示氫原子,或碳數1~6之烷基,或者2者亦可鍵結而形成環狀烷基醚基。
通式(III)中,R7 及R8 係各自獨立地表示碳數1~10之烷基、環己基、環戊基、芳基,或經鹵素原子、烷基或烷氧基取代之芳基,或碳數1~20之羰基(惟,雙方為碳數1~20之羰基的情況除外)。
通式(IV)中,R9 及R10 係各自獨立地表示鹵素原子、芳基、鹵化芳基、雜環含有鹵化芳基。
肟酯系光聚合起始劑之具體例子,可列舉1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲醯基肟)]、乙酮,1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-,1-(O-乙醯基肟)等。市售品可列舉BASF Japan公司製之CGI-325、Irgacure OXE01、Irgacure OXE02、ADEKA公司製N-1919、NCI-831等。亦可適合地使用分子內具有2個肟酯基之光聚合起始劑或具有咔唑構造之光聚合起始劑。具體而言,可列舉下述通式(V)表示之肟酯化合物。

(通式(V)中,X表示氫原子、碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、苯基、苯基(經碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、胺基、具備碳數1~8之烷基的烷基胺基或二烷基胺基取代)、萘基(經碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、胺基、具備碳數1~8之烷基的烷基胺基或二烷基胺基取代),Y、Z分別表示氫原子、碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、鹵基、苯基、苯基(經碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、胺基、具備碳數1~8之烷基的烷基胺基或二烷基胺基取代)、萘基(經碳數1~17之烷基、碳數1~8之烷氧基、胺基、具備碳數1~8之烷基的烷基胺基或二烷基胺基取代)、蒽基、吡啶基、苯并呋喃基、苯并噻吩基,Ar係表示鍵結,或碳數1~10之伸烷基、伸乙烯基、伸苯基、伸聯苯基、伸吡啶基、伸萘基、噻吩、伸蒽基、伸噻吩基、伸呋喃基、2,5-吡咯-二基、4,4’-二苯乙烯-二基、4,2’-苯乙烯-二基,n為0或1之整數)。
特別地,通式(V)中,係以X、Y分別為甲基或乙基,Z為甲基或苯基,n為0,Ar為鍵結,或伸苯基、伸萘基、噻吩或伸噻吩基為佳。
又,較佳的咔唑肟酯化合物,亦可列舉能夠以下述通式(VI)表示之化合物。

(通式(VI)中,R1 表示碳原子數1~4之烷基,或可經硝基、鹵素原子或碳原子數1~4之烷基取代之苯基。R2 表示碳原子數1~4之烷基、碳原子數1~4之烷氧基,或可經碳原子數1~4之烷基或烷氧基取代之苯基。R3 表示可經氧原子或硫原子連結,且可經苯基取代之碳原子數1~20之烷基、可經碳原子數1~4之烷氧基取代之苯甲基。R4 表示硝基,或X-C(=O)-表示之醯基。X表示可經碳原子數1~4之烷基取代之芳基、噻吩基、嗎啉基、硫苯基,或下述式(VII)表示之構造)
α-胺基苯乙酮系光聚合起始劑之具體例子,可使用(4-嗎啉基苯甲醯基)-1-苯甲基-1-二甲基胺基丙烷(Omnirad 369、IGM Resins公司製)、4-(甲硫基苯甲醯基)-1-甲基-1-嗎啉基乙烷(Omnirad 907、IGM Resins公司製)、2-(二甲基胺基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮(Omnirad 379、IGM Resins公司製)等之市售化合物或其溶液。
醯基膦氧化物系光聚合起始劑之具體例子,可列舉2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基膦氧化物、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基膦氧化物、雙(2,6-二甲氧基苯甲醯基)-2,4,4-三甲基-戊基膦氧化物等。市售品可列舉IGM Resins公司製之Omnirad TPO、Omnirad 819等。
二茂鈦系光聚合起始劑,可列舉雙(η5-2、4-環戊二烯-1-基)-雙(2、6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)-苯基)鈦。市售品可列舉IGMResins公司製之Omnirad 784等。
其他光聚合起始劑,例如可列舉苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙基醚等之苯偶姻與苯偶姻烷基醚類;苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮等之苯乙酮類;2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-t-丁基蒽醌、1-氯蒽醌、2-戊基蒽醌等之蒽醌類;2,4-二甲基噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、2-氯噻噸酮、2,4-二異丙基噻噸酮等之噻噸酮類;苯乙酮二甲基縮酮、苯甲基二甲基縮酮等之縮酮類;二苯甲酮等之二苯甲酮類;氧雜蒽酮(xanthone)類;3,3’4,4’-四-(tert-丁基過氧基羰基)二苯甲酮等各種過氧化物類;1,7-雙(9-吖啶基)庚烷等。
上述光聚合起始劑以外,亦能夠與N,N-二甲基胺基苯甲酸乙酯、N,N-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸戊基-4-二甲基胺酯、三乙胺、三乙醇胺等之三級胺類般的公知慣用之光增感劑的1種或2種以上組合來使用。進一步地,要求更深的光硬化深度時,可依需要組合使用3-取代香豆素色素、無色染料(leuco dye)等作為硬化助劑。
光聚合起始劑之摻合量,相對於鹼可溶性樹脂100質量份而言,較佳為0.05~30質量份、更佳為0.1~20質量份、又更佳為0.1~15質量份。藉由使光聚合起始劑之摻合量成為上述範圍,可充分產生反應所必要的自由基,又,可使光透過至深部,因此可避免硬化物變脆等之問題。
[(C)具有乙烯性不飽和基之化合物]
本發明之硬化性樹脂組成物,亦可含有具有乙烯性不飽和基之化合物。具有乙烯性不飽和基之化合物,可藉由活性能量線之照射而光硬化,使樹脂層之照射部對鹼水溶液不溶化,或幫助不溶化。具有乙烯性不飽和基之化合物,可使用公知慣用之感光性單體的光聚合性寡聚物、光聚合性乙烯基單體等。具有乙烯性不飽和基之化合物,可使用感光性(甲基)丙烯酸酯化合物。具有乙烯性不飽基之化合物,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。再者,本案說明書中,「具有乙烯性不飽和基之化合物」,係不包含具有乙烯性不飽和基之鹼可溶性樹脂。
具有乙烯性不飽和基之化合物,可使用慣用公知之聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚醚(甲基)丙烯酸酯、胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯、碳酸酯(甲基)丙烯酸酯、環氧基(甲基)丙烯酸酯、胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯,具體而言,可列舉丙烯酸2-羥基乙酯、丙烯酸2-羥基丙酯等之丙烯酸羥基烷酯類;乙二醇、甲氧基四乙二醇、聚乙二醇、丙二醇等之二醇之二丙烯酸酯類;N,N-二甲基丙烯醯胺、N-羥甲基丙烯醯胺、N,N-二甲基胺基丙基丙烯醯胺等之丙烯醯胺類;丙烯酸N,N-二甲基胺基乙酯、丙烯酸N,N-二甲基胺基丙酯等之丙烯酸胺基烷酯類;己二醇、三羥甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、參-羥基乙基異三聚氰酸酯等之多元醇或此等之環氧乙烷加成體、環氧丙烷加成體,或ε-己內酯加成體等之多元丙烯酸酯類;苯氧基丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯,及此等之酚類之環氧乙烷加成體或環氧丙烷加成體等之多元丙烯酸酯類;甘油二縮水甘油基醚、甘油三縮水甘油基醚、三羥甲基丙烷三縮水甘油基醚、異三聚氰酸三縮水甘油酯等之縮水甘油基醚之多元丙烯酸酯類;不限於上述,亦可列舉將聚醚多元醇、聚碳酸酯二醇、羥基末端聚丁二烯、聚酯多元醇等之多元醇予以直接丙烯酸酯化,或透過二異氰酸酯予以胺基甲酸酯丙烯酸酯化而得的丙烯酸酯類及三聚氰胺丙烯酸酯,及對應於上述丙烯酸酯之各甲基丙烯酸酯類之至少任1種等。
進一步地,可列舉使丙烯酸與甲酚酚醛清漆型環氧樹脂等之多官能環氧樹脂反應而得之環氧基丙烯酸酯樹脂,或進一步對該環氧基丙烯酸酯樹脂之羥基,使季戊四醇三丙烯酸酯等之羥基丙烯酸酯與異佛酮二異氰酸酯等之二異氰酸酯之半胺基甲酸酯化合物進行反應而得之環氧基胺基甲酸酯丙烯酸酯化合物等。如此的環氧基丙烯酸酯系樹脂,可在不使指觸乾燥性降低之下,提高光硬化性。
具有乙烯性不飽和基之化合物之摻合量,相對於鹼可溶性樹脂100質量份而言,較佳為1~60質量份、更佳為5~55質量份、又更佳為10~50質量份。藉由使(D)成分之摻合量成為上述範圍,可得到良好的光反應性,且一併具備耐熱性。
[(D)熱硬化性樹脂]
本發明之硬化性樹脂組成物,含有(D-1)包含下述式(d-1-1)~(d-1-4)表示之構造中任1者以上,且數平均分子量1000以下之熱硬化性樹脂,及(D-2)數平均分子量1000~3000且2官能之熱硬化性樹脂,作為(D)熱硬化性樹脂。

(式(d-1-4)中,R分別獨立地表示氫原子或甲基。惟,R全部為氫原子之情況除外)。
前述(D-1)及(D-2)中之熱硬化性樹脂,可列舉多官能環氧化合物、多官能氧雜環丁烷化合物、環硫樹脂等之分子中具有2個以上之環狀醚基及/或環狀硫醚基的化合物、聚異氰酸酯化合物、封端異氰酸酯化合物等1分子內具有2個以上之異氰酸酯基,或封端化異氰酸酯基的化合物、三聚氰胺樹脂、苯并胍胺樹脂等之胺樹脂及其衍生物、雙馬來醯亞胺、噁嗪、環碳酸酯化合物、碳二醯亞胺樹脂等之公知的熱硬化性樹脂。其中尤以多官能環氧化合物為佳。多官能環氧化合物,可使用1分子中具有至少2個環氧基的公知慣用之多官能環氧樹脂。惟,前述(D-2)之熱硬化性樹脂中為2官能。
前述(D-1)之熱硬化性樹脂,只要包含上述特定之環狀構造,亦即,式(d-1-1)之萘構造、式(d-1-2)之二環戊二烯構造、式(d-1-3)之聯苯構造,及式(d-1-4)之具有甲基之聯苯構造的任1者以上,且數平均分子量為1000以下,則無特殊限定。例如,可列舉DIC公司製HP-4032(萘型環氧樹脂)、DIC公司製HP-7200L(二環戊二烯型環氧樹脂)、日本化藥公司製NC-3000L(聯苯型環氧樹脂)、三菱化學公司製YX-4000(具有甲基之聯苯型環氧樹脂)、DIC公司製HP4710(萘型環氧樹脂)等。前述(D-1)之熱硬化性樹脂,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
前述(D-1)之熱硬化性樹脂之中,就解像性之觀點,尤以具有脂環式骨架之二環戊二烯型環氧樹脂為佳。
前述(D-2)之熱硬化性樹脂,只要係數平均分子量1000~3000且為2官能之熱硬化性樹脂則無特殊限定。例如可列舉三菱化學公司製jER1002、jER1003、jER1055、jER1004、jER1007等。前述(D-2)之熱硬化性樹脂,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
前述(D-1)及(D-2)之熱硬化性樹脂之數平均分子量,為經凝膠滲透層析(GPC)測定的標準聚苯乙烯換算之值。
前述(D-1)及(D-2)之熱硬化性樹脂之摻合量,相對於鹼可溶性樹脂100質量份而言,合計較佳為30~200質量份、更佳為40~160質量份、又更佳為50~140質量份。
前述(D-1)及(D-2)之熱硬化性樹脂之摻合比例,相對於前述(D-1)及(D-2)之熱硬化性樹脂之合計量而言,(D-1)之比例較佳為40~95質量%、更佳為50~90質量%。藉由成為上述之範圍,可得到顯像性更優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性更優良的硬化物。
((E)熱硬化促進劑)
本發明之硬化性樹脂組成物,亦可含有熱硬化促進劑。熱硬化促進劑,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
熱硬化促進劑,可列舉咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、2-乙基-4-甲基咪唑、2-苯基咪唑、4-苯基咪唑、1-氰基乙基-2-苯基咪唑、1-(2-氰基乙基)-2-乙基-4-甲基咪唑等之咪唑衍生物;二氰二胺、苯甲基二甲胺、4-(二甲基胺基)-N,N-二甲基苯甲胺、4-甲氧基-N,N-二甲基苯甲胺、4-甲基-N,N-二甲基苯甲胺等之胺化合物;己二酸二醯肼、癸二酸二醯肼等之肼化合物;三苯基膦等之磷化合物等。又,此等以外,亦可使用胍胺、乙醯胍胺、苯并胍胺、三聚氰胺、2,4-二胺基-6-甲基丙烯醯氧基乙基-S-三嗪、2-乙烯基-2,4-二胺基-S-三嗪、2-乙烯基-4,6-二胺基-S-三嗪/異三聚氰酸加成物、2,4-二胺基-6-甲基丙烯醯氧基乙基-S-三嗪/異三聚氰酸加成物等之S-三嗪衍生物。
市售之熱硬化促進劑,例如可列舉四國化成工業公司製之2MZ-A、2MZ-OK、2PHZ、2P4BHZ、2P4MHZ(均為咪唑系化合物之商品名)、San-Apro公司製之U-CAT3503N、U-CAT3502T(均為二甲胺之封端異氰酸酯化合物之商品名)、DBU、DBN、U-CATSA102、U-CAT5002(均為二環式脒化合物及其鹽)等。
熱硬化促進劑之摻合量,相對於鹼可溶性樹脂100質量份而言,較佳為0.1~10質量份、更佳為0.1~5.0質量份。0.1質量份以上時硬化物之耐熱性成為良好,10質量份以下時保存安定性成為良好。
((F)有機溶劑)
為了樹脂組成物之調製,或為了調整用以對基板或載體薄膜塗佈之黏度,本發明之硬化性樹脂組成物中,可使用有機溶劑。如此的有機溶劑,可列舉酮類、芳香族烴類、二醇醚類、二醇醚乙酸酯類、酯類、醇類、脂肪族烴、石油系溶劑等。更具體而言,係甲基乙基酮、環己酮等之酮類;甲苯、二甲苯、四甲苯等之芳香族烴類;賽珞蘇、甲基賽珞蘇、丁基賽珞蘇、卡必醇、甲基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇二乙基醚、三乙二醇單乙基醚等之二醇醚類;乙酸乙酯、乙酸丁酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯等之酯類;乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇等之醇類;辛烷、癸烷等之脂肪族烴;石油醚、石油腦、氫化石油腦、溶劑石油腦等之石油系溶劑等。有機溶劑,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
(無機填充劑)
本發明之硬化性樹脂組成物,亦可含有無機填充劑。無機填充劑例如可使用二氧化矽、硫酸鋇、滑石、黏土、碳酸鎂、碳酸鈣、氧化鋁、氫氧化鋁、水鋁石、雲母粉、水滑石、Sillitin、Sillikolloid等之公知慣用之無機填充劑。此等之中,尤可適合使用線膨脹係數小的二氧化矽。無機填充劑,可1種單獨使用、亦可組合2種以上使用。
無機填充劑之摻合量,相對於鹼可溶性樹脂100質量份而言,較佳為150質量份以下、更佳為120質量份以下。藉由摻合無機填充劑,可充分得到線膨脹係數之減低效果。為150質量份以下時,本發明之硬化性樹脂組成物的硬化物之柔軟性成為良好。
(硬化劑)
本發明之硬化性樹脂組成物可含有硬化劑。硬化劑可列舉酚樹脂、多羧酸及其酸酐、氰酸酯樹脂、活性酯樹脂、馬來醯亞胺化合物、脂環式烯烴聚合物等。硬化劑可1種單獨或組合2種以上使用。
(其他任意成分)
本發明之硬化性樹脂組成物中,亦可摻合電子材料之領域中所公知慣用的其他添加劑。其他添加劑可列舉熱聚合抑制劑、紫外線吸收劑、偶合劑、可塑劑、難燃劑、抗靜電劑、抗老化劑、抗菌/防黴劑、消泡劑、調平劑、增黏劑、密合性賦予劑、搖變性賦予劑、著色劑、光起始助劑、增感劑、熱可塑性樹脂、有機填充劑、脫模劑、表面處理劑、分散劑、分散助劑、表面改質劑、安定劑、螢光體等。
又,本發明之硬化性樹脂組成物,在不損及本發明之效果的範圍,亦可含有前述(D-1)及(D-2)以外之熱硬化性樹脂。
本發明之硬化性樹脂組成物,適合作為印刷配線板之絕緣性硬化被膜的形成用,更適合作為絕緣性永久被膜的形成用,又更適合作為包覆層(cover lay)、防焊劑、層間絕緣材的形成用,特別適合作為層間絕緣材之形成用。又,適於形成要求高度信賴性的印刷配線板,例如封裝基板,特別是FC-BGA用之永久被膜(特別是層間絕緣材)。再者,本發明之硬化性樹脂組成物,亦可使用於形成焊料壩等。作為電子零件,亦可為印刷配線板以外的用途,例如電感器等被動零件。本發明之硬化性樹脂組成物可為液狀型、亦可為使液狀型樹脂組成物乾燥而得之乾膜型。就保存安定性之觀點,液狀型樹脂組成物亦可為2液型等,但亦可為1液型。又,較佳為負型。
[乾膜]
本發明之乾膜,為具有將本發明之硬化性樹脂組成物塗佈於薄膜(以下亦稱為「載體薄膜」)上,之後乾燥而得的樹脂層者。本發明之乾膜,可將本發明之硬化性樹脂組成物以有機溶劑稀釋而調整為適切的黏度,並以缺角輪塗佈器、刮刀塗佈器、唇口塗佈器、棒式塗佈器、擠壓式塗佈器、逆輥塗佈器、轉送輥塗佈器、凹版塗佈器、噴霧塗佈器等於載體薄膜上塗佈為均勻厚度,通常以50~120℃之溫度乾燥1~30分鐘而得到。塗佈膜厚並無特殊限制,一般而言,以乾燥後之膜厚計,係以5~150μm、較佳為10~60μm之範圍適當設定即可。薄膜不限於載體薄膜,亦可為覆蓋膜。
載體薄膜可適合地使用塑膠薄膜,較佳使用聚對苯二甲酸乙二酯等之聚酯薄膜、聚醯亞胺薄膜、聚醯胺醯亞胺薄膜、聚丙烯薄膜、聚苯乙烯薄膜等之塑膠薄膜。載體薄膜之厚度並無特殊限制,一般而言係於10~150μm之範圍適當選擇。
於載體薄膜上塗佈本發明之硬化性樹脂組成物後,進一步地亦能夠以防止於塗膜表面附著灰塵等為目的,於膜的表面層合可剝離之覆蓋膜。可剝離之覆蓋膜,例如可使用聚乙烯薄膜、聚四氟乙烯薄膜、聚丙烯薄膜、經表面處理的紙等,只要剝離覆蓋膜時,膜與覆蓋膜之接著力較膜與載體薄膜之接著力更小者即可。
將本發明之硬化性樹脂組成物塗佈於載體薄膜上後所進行的揮發乾燥,可使用熱風循環式乾燥爐、IR爐、加熱板、對流烘箱等(使用具備以蒸氣之空氣加熱方式的熱源者,使乾燥機內之熱風逆流接觸之方法及由噴嘴對支持體吹送的方式)來進行。
[硬化物]
本發明之硬化物,為使本發明之硬化性樹脂組成物硬化而成者,及使本發明之乾膜之樹脂層硬化而成者。
依照本發明之硬化性樹脂組成物,可得到柔軟性優良的硬化物,因此亦可適合地使用於形成膜厚薄的硬化物,例如膜厚10μm以下之硬化物。
[電子零件]
本發明之電子零件,為具備本發明之硬化物者。本發明之電子零件,可藉由將本發明之硬化性樹脂組成物直接塗佈之方法,與使用本發明之乾膜的方法而得到。以下,作為電子零件,以製造印刷配線板的情況為例來說明,但本發明不限定於此。
以直接塗佈之方法來製造印刷配線板時,係於形成有電路的印刷配線板上直接塗佈本發明之硬化性樹脂組成物,形成樹脂組成物之塗膜後,將雷射光等之活性能量線直接依圖型照射,或通過形成有圖型之光罩選擇性地照射活性能量線藉以曝光,將未曝光部以稀鹼水溶液顯像而形成阻劑圖型。進一步地,藉由對阻劑圖型例如以100~2000mJ/cm2 照射活性能量線,例如加熱至約140~200℃之溫度使其硬化,來製造具有硬化物之圖型的印刷配線板。再者,活性能量線對阻劑圖型的照射,係以使形成阻劑圖型之影像時的曝光中未反應之(C)成分等幾乎完全地硬化反應為目的來進行。
使用乾膜時,係於形成有電路的印刷配線板上貼合本發明之乾膜,來層合樹脂層後,與上述同樣地進行曝光後,剝離載體薄膜,進行顯像。之後,藉由對樹脂層照射活性能量線,例如加熱至約140~200℃之溫度使其硬化,來製造具有硬化物之圖型的印刷配線板。再者,硬化被膜之圖型形成,可藉由光微影術法形成、亦可藉由網版印刷法等來形成。
活性能量線之照射所用的曝光機,只要係搭載高壓水銀燈、超高壓水銀燈、金屬鹵化物燈、水銀短弧燈等,且可於350~450nm之範圍照射紫外線的裝置即可,進而亦可使用例如藉由來自電腦之CAD數據而直接以活性能量線描繪影像之直接成像裝置般的直接描繪裝置。直接描繪裝置的光源,只要使用水銀短弧燈、LED、最大波長350~450nm之範圍的雷射光,則氣體雷射、固體雷射均可。用於阻劑圖型之影像形成的曝光量雖依膜厚等而異,但一般而言可為20~1500mJ/cm2 、較佳為20~1200mJ/cm2 之範圍內。
顯像方法可採用浸漬法、淋洗法、噴霧法、毛刷法等,顯像液可使用氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、碳酸鉀、磷酸鈉、矽酸鈉、氨、胺類等之鹼水溶液。

[實施例]
以下,顯示出本發明之實施例及比較例,以具體說明本發明,但本發明當然不限定於下述實施例。再者,以下記載有「份」及「%」者,只要無特別指明,均為質量基準。
<鹼可溶性樹脂1之合成例(合成例1)>
對二乙二醇單乙基醚乙酸酯600g給入鄰甲酚酚醛清漆型環氧樹脂〔DIC公司製EPICLON N-695、軟化點95℃、環氧當量214、平均官能基數7.6〕1070g(縮水甘油基數(芳香環總數):5.0莫耳)、丙烯酸360g(5.0莫耳),及氫醌1.5g,於100℃加熱攪拌,均勻溶解。接著,給入三苯基膦4.3g,加熱至110℃反應2小時後,昇溫至120℃進一步進行12小時反應。對所得之反應液給入芳香族系烴(SOLVESSO 150)415g、甲基-5-降莰烯-2,3-二羧酸酐534g(3.0莫耳),於110℃進行4小時反應,冷卻後,得到固體成分酸價89mgKOH/g、固體成分65%之甲酚酚醛清漆型含有羧基之樹脂溶液。凝膠滲透層析(GPC)之測定結果,重量平均分子量係8000。
<鹼可溶性樹脂2之合成例(合成例2)>
對附有攪拌裝置、溫度計及冷凝器之燒瓶,給入GBL(γ-丁內酯)848.8g、MDI(二苯基甲烷二異氰酸酯)57.5g(0.23莫耳)、DMBPDI(4,4’-二異氰酸酯-3,3’-二甲基-1,1’-聯苯)59.4g(0.225莫耳)、TMA(偏苯三甲酸酐)67.2g(0.35莫耳)與TMA-H(環己烷-1,3,4-三羧酸-3,4-酐)29.7g(0.15莫耳),一邊進行攪拌一邊注意發熱之下昇溫到80℃,於該溫度下花費1小時溶解、反應,進一步花費2小時昇溫至160℃後,於該溫度下反應5小時。反應係在碳酸氣的發泡下進行,系統內變為棕色的透明液體。如此方式地,得到於25℃之黏度為7Pa・s之固體成分17%且溶液酸價5.3(KOHmg/g)的含有羧基之醯胺醯亞胺樹脂之溶液(樹脂溶解於γ-丁內酯之樹脂組成物、固體成分17%)。該樹脂為具有上述式(1)與式(2)之構造的含有羧基之醯胺醯亞胺樹脂。再者,樹脂之固體成分酸價為31.2(KOHmg/g)、重量平均分子量為34,000。
<硬化性樹脂組成物之調製>
遵照下述表1、2中所示之配方,將各成分摻合、攪拌,以3輥分散,分別調製樹脂組成物。再者,表中之摻合量表示質量份。
<柔軟性(斷裂延伸)之評估>
於厚度38μm之PET薄膜,以間隙30μm之塗抹器塗佈各樹脂組成物,以熱風循環式乾燥爐80℃乾燥20分鐘,得到具有各組成物之樹脂層的乾膜。之後,對厚度18μm之銅箔,以真空層合機在90℃、壓力0.4MPa之條件壓接60秒,層合各組成物之樹脂層。接著,對所得之評估基板,使用搭載高壓水銀燈之曝光裝置以400mJ/cm2 進行曝光,剝離PET薄膜,將30℃之1質量%碳酸鈉水溶液以噴霧壓0.2MPa之條件顯像120秒。顯像後於UV輸送帶爐以累積曝光量1000mJ/cm2 之條件進行紫外線照射後,於180℃加熱60分鐘使其硬化,剝離銅箔而得到硬化膜之樣品。將所製作之硬化塗膜的樣品切割為3mm寬×30mm長。將該試驗片使用TA Instruments公司製RSA-G2,以夾頭間10mm,1mm/min之速度進行拉伸試驗。
評估基準如以下所示。
○:延伸10%以上
△:延伸5%以上、未達10%
×:延伸未達5%
<密合性之評估>
(步驟1)
對厚度38μm之PET薄膜,以間隙30μm之塗抹器塗佈各樹脂組成物,以熱風循環式乾燥爐80℃乾燥20分鐘,製作形成有各組成物之樹脂層的薄膜。

(步驟2)
於對厚度1.6mm之FR-4覆銅層合板以使用氯化鐵(III)之蝕刻法將銅完全去除後之板(以下僅稱為「蝕刻去除(etch out)板」),將4邊較該第1蝕刻去除板稍小的18μm厚之電解銅箔的4邊以耐藥品性黏著膠帶進行固定。該狀態下,貼有膠帶的部位以外係為電解銅箔露出之狀態。接著,以MEC公司製etchBOND CZ-8101將所貼附之電解銅箔化學研磨,製作附銅箔之基板。

(步驟3)
將前述步驟1所製作之薄膜的樹脂層面,以真空層合機,以90℃、壓力0.4MPa之條件60秒壓接於前述步驟2所製作之附銅箔之基板的銅箔面,將各組成物之樹脂層予以層合。接著,對所得之評估基板,使用搭載高壓水銀燈之曝光裝置,以400mJ/cm2 曝光,剝離PET薄膜,將30℃之1質量%碳酸鈉水溶液以噴霧壓0.2MPa之條件顯像120秒。顯像後於UV輸送帶爐以累積曝光量1000mJ/cm2 之條件進行紫外線照射後,於180℃加熱60分鐘使其硬化,製作於附銅箔之基板的銅箔上形成有各組成物之硬化膜的試驗片。

(步驟4)
於步驟3所製作之試驗片的硬化膜面,將4邊較試驗片之銅箔稍小的第2蝕刻去除板以2液性環氧系接著劑(Araldite Standard)進行接著,於60℃硬化4小時。硬化後以切割器切出所接著之第2蝕刻去除板的大小,自第1蝕刻去除板脫離,將正反面翻轉,製作第2蝕刻去除板所接著之各組成物的硬化膜上形成有經化學研磨之銅箔的剝離強度測定用樣品。
(測定)
將所製作之剝離強度測定用樣品切出1cm寬、長7cm以上,使用島津製作所製小型桌上試驗機EZ-SX,使用90°印刷剝離治具,求出於90度之角度的密合強度。
評估基準如以下所示。
○:密合性5N/cm以上
△:密合性4N/cm以上、未達5N/cm
×:密合性未達3N/cm
<顯像性之評估>
於厚度38μm之PET薄膜,以間隙30μm之塗抹器塗佈各樹脂組成物,以熱風循環式乾燥爐80℃乾燥20分鐘,製作形成有各組成物之樹脂層的薄膜。將所製作之薄膜的樹脂層面,以真空層合機以90℃、壓力0.4MPa之條件60秒壓接於厚度1.6mm之FR-4覆銅層合板前述步驟,層合各組成物之樹脂層,剝離PET薄膜。接著,對所得之評估基板,將30℃之1質量%碳酸鈉水溶液以噴霧壓0.2MPa之條件進行顯像。將於10分鐘以下即可顯像的樣品作為能夠顯像。將即使以10分鐘以上之顯像亦無法顯像之樣品作為無法顯像。
評估基準如以下所示。
○:能夠顯像
×:無法顯像
<耐熱性(玻璃轉移點)之評估>
於厚度38μm之PET薄膜,以間隙30μm之塗抹器塗佈各樹脂組成物,以熱風循環式乾燥爐80℃乾燥20分鐘,得到具有各組成物之樹脂層的乾膜。之後,對厚度18μm之銅箔,以真空層合機在90℃、壓力0.4MPa之條件壓接60秒,層合各組成物之樹脂層。接著,對所得之評估基板,使用搭載高壓水銀燈之曝光裝置以400mJ/cm2 進行曝光,將30℃之1質量%碳酸鈉水溶液以噴霧壓0.2MPa之條件顯像120秒,剝離PET薄膜。顯像後於UV輸送帶爐以累積曝光量1000mJ/cm2 之條件進行紫外線照射後,於180℃加熱60分鐘使其硬化,剝離銅箔而得到硬化膜之樣品。將所製作之硬化塗膜的樣品切割為3mm寬×30mm長。將該試驗片使用TA Instruments公司製TMA(Thermomechanical Analysis)Q400,以拉伸模式,以夾頭間16mm、荷重50mN、氮環境下,以5℃/分鐘由20℃昇溫至300℃,接著,以10℃/分鐘由300℃降溫至-40℃,進一步以5℃/分鐘由-40℃昇溫至300℃來測定。由以5℃/分鐘由-40℃昇溫至300℃時的反曲點得到玻璃轉移點(Tg)。
評估基準如以下所示。
◎:Tg 170℃以上
〇:Tg 160℃以上、未達170℃
△:Tg 150℃以上、未達160℃
×:Tg 150℃以下
鹼可溶性樹脂1:上述所合成之甲酚酚醛清漆型含有羧基之樹脂,表中之量為塗漆(varnish)量(固體成分65%)
鹼可溶性樹脂2:上述所合成之具有式(1)與式(2)之構造的含有羧基之醯胺醯亞胺樹脂,表中之量為塗漆量(固體成分17%)
光聚合起始劑:Omnirad TPO,IGM Resins公司製
具有乙烯性不飽和基之化合物1:二季戊四醇六丙烯酸酯
具有乙烯性不飽和基之化合物2:二環戊二烯二丙烯酸酯
熱硬化性樹脂1:萘型環氧樹脂HP-4032(數平均分子量:237)DIC公司製
熱硬化性樹脂2:二環戊二烯型環氧樹脂HP-7200L(數平均分子量:347)DIC公司製
熱硬化性樹脂3:聯苯型環氧樹脂NC-3000L(數平均分子量:700)日本化藥公司製
熱硬化性樹脂4:聯苯型環氧樹脂YX-4000(數平均分子量:265)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂5:雙酚A型環氧樹脂jER1002(2官能、數平均分子量:1200)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂6:雙酚A型環氧樹脂jER1004(2官能、數平均分子量:1650)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂7:雙酚A型環氧樹脂jER1007(2官能、數平均分子量:2900)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂8:雙酚A型環氧樹脂jER1001(數平均分子量:900)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂9:雙酚A型環氧樹脂jER1009(數平均分子量:3800、軟化點:144℃)三菱化學公司製
熱硬化性樹脂10:酚酚醛清漆型環氧樹脂N-775(數平均分子量:670)DIC公司製
熱硬化促進劑:1B2PZ 四國化成工業公司製
溶劑:丙二醇單甲基醚乙酸酯
由上表所示之結果,可知實施例之硬化性樹脂組成物,顯像性優良,且硬化物之柔軟性、密合性及耐熱性優良。

Claims (5)

  1. 一種硬化性樹脂組成物,其係含有(A)鹼可溶性樹脂、(B)光聚合起始劑、(C)具有乙烯性不飽和基之化合物,與(D)熱硬化性樹脂之硬化性樹脂組成物,其特徵為 含有(D-1)包含下述式(d-1-1)~(d-1-4)表示之構造中任1者以上,且數平均分子量為1000以下之熱硬化性樹脂,及(D-2)數平均分子量為1000~3000且2官能之熱硬化性樹脂,作為前述(D)熱硬化性樹脂; (式(d-1-4)中,R分別獨立地表示氫原子或甲基;惟,R全部為氫原子之情況除外)。
  2. 如請求項1之硬化性樹脂組成物,其中前述(A)鹼可溶性樹脂,含有具有下述式(1)及(2)表示之至少一方之構造與鹼可溶性官能基的醯胺醯亞胺樹脂;
  3. 一種乾膜,其特徵為具有將如請求項1之硬化性樹脂組成物塗佈於薄膜上並乾燥而得到之樹脂層。
  4. 一種硬化物,其特徵為將如請求項1或2之硬化性樹脂組成物或如請求項3之乾膜之樹脂層硬化而成。
  5. 一種電子零件,其特徵為具備如請求項4之硬化物而成。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7251449B2 (ja) * 2019-11-08 2023-04-04 Dic株式会社 エポキシ(メタ)アクリレート樹脂組成物、硬化性樹脂組成物、硬化物及び物品

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55105627A (en) * 1978-12-29 1980-08-13 Gen Electric Diaryliodonium salt and hardening composition
JP4687224B2 (ja) * 2004-04-23 2011-05-25 東レ株式会社 エポキシ樹脂組成物、プリプレグおよび繊維強化複合材料
JP2006182991A (ja) 2004-12-28 2006-07-13 Hitachi Chem Co Ltd プリント配線板用樹脂組成物、それを用いた樹脂ワニス、プリプレグおよび積層板
JP5256645B2 (ja) * 2006-05-31 2013-08-07 三菱化学株式会社 保護膜用熱硬化性組成物、硬化物、及び液晶表示装置
JP2008007640A (ja) * 2006-06-29 2008-01-17 Mitsubishi Chemicals Corp シロキサン樹脂、熱硬化性組成物、硬化物、tftアクティブマトリックス基板、カラーフィルタ基板及び液晶表示装置
JP5332183B2 (ja) * 2006-11-14 2013-11-06 日立化成株式会社 接着剤組成物、フィルム状接着剤、接着シート及び半導体装置
KR102142753B1 (ko) * 2009-03-27 2020-09-14 히타치가세이가부시끼가이샤 열경화성 수지 조성물, 및 이를 이용한 프리프레그, 지지체 부착 절연 필름, 적층판 및 인쇄 배선판
CN105947997B (zh) * 2011-11-29 2018-12-21 三菱化学株式会社 氮化硼凝聚粒子、含有该粒子的组合物、及具有包含该组合物的层的三维集成电路
JP6205193B2 (ja) * 2012-07-30 2017-09-27 富士フイルム株式会社 着色硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ
JP6061576B2 (ja) * 2012-09-10 2017-01-18 株式会社タムラ製作所 感光性樹脂組成物及び感光性樹脂組成物の硬化被膜を有するプリント配線板
JP5632887B2 (ja) 2012-09-18 2014-11-26 太陽ホールディングス株式会社 多層プリント配線板の層間絶縁材用熱硬化性樹脂組成物
JP5615415B2 (ja) * 2012-09-28 2014-10-29 太陽インキ製造株式会社 硬化性樹脂組成物、ソルダーレジスト形成用組成物、ドライフィルムおよびプリント配線板、並びに積層構造体及びその製造方法
JP6122308B2 (ja) * 2013-02-22 2017-04-26 旭化成株式会社 感光性樹脂組成物、感光性樹脂積層体、及びレジストパターンの製造方法
CN104049457B (zh) * 2013-03-11 2016-01-27 太阳油墨制造株式会社 光固化性树脂组合物、其干膜和固化物、以及具有使用它们形成的固化皮膜的印刷电路板
KR20160019474A (ko) * 2013-06-13 2016-02-19 도레이 카부시키가이샤 수지 조성물, 수지 시트 및 반도체 장치의 제조 방법
JP5660690B2 (ja) * 2013-08-02 2015-01-28 太陽ホールディングス株式会社 感光性樹脂組成物及びその硬化物
KR101619614B1 (ko) * 2013-09-27 2016-05-10 다이요 잉키 세이조 가부시키가이샤 경화성 수지 조성물, 드라이 필름, 경화물 및 디스플레이 부재
JP5722484B2 (ja) * 2013-09-27 2015-05-20 太陽インキ製造株式会社 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびディスプレイ部材
CN104808436B (zh) * 2014-01-27 2017-11-24 太阳油墨(苏州)有限公司 碱显影型感光性树脂组合物、干膜和固化物、以及印刷电路板
CN106662813B (zh) * 2014-06-12 2021-02-26 太阳油墨制造株式会社 固化性树脂组合物、干膜、固化物及印刷电路板
CN105278241B (zh) * 2014-07-04 2020-08-11 太阳油墨制造株式会社 感光性热固性树脂组合物、干膜以及印刷电路板
CN105462306A (zh) * 2014-09-30 2016-04-06 太阳油墨制造株式会社 固化性树脂组合物、干膜、固化物以及印刷电路板
JP6626275B2 (ja) * 2014-09-30 2019-12-25 太陽インキ製造株式会社 硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物及びプリント配線板
CN107406590B (zh) * 2015-01-27 2020-08-04 东丽株式会社 树脂、感光性树脂组合物及使用了它们的电子部件、显示装置
JP6709020B2 (ja) * 2015-02-20 2020-06-10 太陽ホールディングス株式会社 光硬化性熱硬化性樹脂組成物、その硬化物およびプリント配線板
CN105412306A (zh) * 2015-12-15 2016-03-23 肖永来 一种治疗阳虚郁滞型慢性胆囊炎中药组合物及其制备方法
JP2017165820A (ja) * 2016-03-14 2017-09-21 東洋インキScホールディングス株式会社 カラーフィルタ用顔料組成物、着色組成物、カラーフィルタおよびカラーフィルタ用顔料組成物の製造方法
KR101952865B1 (ko) * 2016-10-10 2019-02-27 삼성전기주식회사 팬-아웃 반도체 패키지 및 감광성 수지 조성물

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