TW201721672A - 壓粉磁芯及其製造方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種壓粉磁芯，其使用磁特性優異之非晶質磁性材料，低損耗且可實現較高之機械強度及耐熱穩定性。本發明之壓粉芯之特徵在於：其係含有Fe基含Cr非晶質合金之磁性粉末及無機黏合劑者；上述磁性粉末之表面氧化物層含有Fe及Cr以及Bi及Mo，於求出上述表面氧化物層之組成之深度分佈時，於使用氧含量(單位：原子%)成為最大值Imax之深度D1(單位：nm)及於比深度D1深之位置氧含量成為上述最大值Imax之1/2之深度D2(單位：nm)且藉由下述式定義的上述表面氧化物層之實效厚度D(單位：nm)D＝D1＋(D2－D1)×2中，上述表面氧化物層亦含有Mo；且上述無機黏合劑包括含有Bi及Mo之氧化物材料。

Description

壓粉磁芯及其製造方法
本發明係關於一種壓粉磁芯及其製造方法。
應對電氣、電子設備之小型化，以高頻使用之扼流圏等電子零件較佳為容易小型化及高效率化之磁性材料。與軟磁性鐵氧體相比，對包含包括Fe-Si-B系合金之非晶材料及以金屬玻璃材料為代表之非晶質軟磁性材料的粉末(於本說明書中，將包含軟磁性材料之粉末稱作「磁性粉末」)使用絕緣性黏合材進行壓粉成形而成之壓粉磁芯具有較大之飽和磁通密度，因此有利於小型化。又，磁性粉末彼此經由絕緣性黏合材而接合，因此確保磁性粉末間之絕緣。因此，即便於高頻區域使用，鐵損亦相對較小，壓粉磁芯之溫度上升較少，而適於小型化。此處，構成磁性粉末之非晶質軟磁性材料係藉由實施熱處理而改善磁特性(於壓粉成形時所施加之應變之緩和等)並使用，因此要求絕緣性黏合材可耐該熱處理。於使用鐵粉、SiFe粉、鐵矽鋁合金粉、鎳鐵合金粉等結晶質磁性粉末作為磁性粉末之情形時，存在使用聚矽氧樹脂作為形成壓粉芯時之絕緣性黏合材，並藉由在成形時或成形後進行700℃左右之熱處理，而使成形製造物內之聚矽氧樹脂轉化為SiO2 的情況(專利文獻1)。[先前技術文獻][專利文獻][專利文獻1]日本專利特開2000-30925號公報
[發明所欲解決之問題]藉由使用專利文獻1中所記載之方法，可實現製造具備較高之機械強度及耐熱性之壓粉磁芯，但就減小聚矽氧樹脂之轉化所必需之700℃左右之加熱對磁性粉末之磁特性造成之影響之觀點而言，構成磁性粉末之磁性材料必須為結晶質。因此，於使用磁性能優異之非晶質磁性粉末之情形時，無法應用專利文獻1中所記載之方法。使用非晶質磁性粉末之壓粉磁芯為了避免磁性材料之結晶化，於進行熱處理之情形時上限為450℃左右。因此，於使用樹脂等有機系材料作為絕緣性黏合材之情形時，於加熱處理後之壓粉磁芯內會殘存包含用作絕緣性黏合材之樹脂及/或其改性物之有機系材料(改性有機系材料)。該改性有機系材料與無機系之材料相比機械特性較差，容易發生經時變化，尤其是經加熱時之變化。因此，於使用樹脂等有機系材料作為絕緣性黏合材之情形時，雖基於使用非晶質磁性粉末而獲得低損耗之壓粉磁芯，但由於殘存於壓粉磁芯內之改性有機系材料，壓粉磁芯之耐熱性或機械強度發生下降。本發明之目的在於提供一種壓粉磁芯，其使用磁特性優異之非晶質磁性材料，低損耗且可實現較高之機械強度及耐熱穩定性。[解決問題之技術手段]為瞭解決上述問題而提供之本發明之一態樣係一種壓粉芯，其特徵在於：其係含有Fe基含Cr非晶質合金之磁性粉末及無機黏合劑者；上述磁性粉末之表面氧化物層含有Fe及Cr以及Bi及Mo，於求出上述表面氧化物層之組成之深度分佈時(例如，可藉由一面對形成有表面氧化物層之磁性粉末自表面側進行濺射一面使用歐傑電子能譜裝置等表面分析設備進行測定而求出)，於使用氧含量(單位：原子%)成為最大值Imax 之深度D1(單位：nm)及於比深度D1深之位置氧含量成為上述最大值Imax 之1/2之深度D2(單位：nm)且藉由下述式定義的上述表面氧化物之實效厚度D(單位：nm)D＝D1＋(D2－D1)×2中，上述表面氧化物層亦含有Mo；且上述無機黏合劑包括含有Bi及Mo之氧化物材料。上述無機黏合劑較佳為進而含有B。藉由使磁性粉末之表面氧化物層如上所述適當地含有Mo，而適當地抑制表面氧化物層之內部之氧之擴散。因此，即便壓粉磁芯於使用中經加熱，磁性粉末亦不易變質(具體而言，不易氧化)，從而抑制壓粉磁芯之磁特性之劣化。因此，可藉由使磁性粉末之表面氧化物層如上所述適當地含有Mo，而提高壓粉磁芯之耐熱穩定性。無機黏合劑藉由包括含有Bi、較佳為含有Bi及B之氧化物材料，可成為於低於Fe基含Cr非晶質合金之結晶化溫度之溫度具有玻璃轉移溫度Tg(單位：℃)之材料。因此，上述氧化物材料能夠於熱處理中於磁性粉末之表面潤濕擴散，而適當地發揮作為無機黏合劑之功能。因此，藉由使無機黏合劑包括含有Bi、較佳為含有Bi及B之氧化物材料，可使壓粉磁芯之機械特性提昇。又，藉由使無機黏合劑含有Mo，可自構成無機黏合劑之材料將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層。因此，藉由使無機黏合劑含有Mo，壓粉磁芯之耐熱穩定性容易提高。上述Fe基含Cr非晶質合金亦可含有選自由P、C、B及Si所組成之群中之1種或2種以上作為非晶化元素。本發明之另一態樣係一種壓粉芯之製造方法，其特徵在於：其係上述本發明之一態樣之壓粉芯之製造方法，且其具備：粉末形成步驟，其自Fe基含Cr非晶質合金之熔液形成磁性粉末；混合步驟，其獲得包括含Mo之Bi-B系玻璃及上述磁性粉末之混合粉末體；成形步驟，其將上述混合粉末體加壓成形而獲得成形製造物；及退火步驟，其對上述成形製造物進行退火處理，將上述含Mo之Bi-B系玻璃形成為無機黏合劑，並且將上述含Mo之Bi-B系玻璃所含有之Mo供給至上述磁性粉末之表面氧化物層內。於本說明書中，所謂含Mo之Bi-B系玻璃，係指含有Bi及B，進而含有Mo，且玻璃轉移溫度Tg(單位：℃)經定義之氧化物材料。除玻璃轉移溫度Tg以外，結晶化溫度Tx(單位：℃)亦可被定義。Bi-B系玻璃係低熔點玻璃，能夠高濃度地含有Mo。Mo可能於玻璃內以Mo離子、鉬酸根離子等形態存在。於Bi-B系玻璃中含有Mo之含Mo之Bi-B系玻璃藉由於退火步驟中被加熱至玻璃轉移溫度Tg附近或其以上之溫度，而於磁性粉末之表面潤濕擴散，從而發揮作為使成形製造物所包含之磁性粉末彼此黏合之無機黏合劑之功能。又，藉由使含Mo之Bi-B系玻璃於磁性粉末之表面潤濕擴散，可將玻璃內所包含之Mo供給至氧化物之表面氧化物層內。因此，即便粉末形成步驟中所形成之磁性粉末不含Mo，亦可使磁性粉末之表面氧化物層含有Mo。於上述粉末形成步驟中，亦可藉由霧化法而自上述熔液獲得上述磁性粉末。上述退火處理可具備於氧化性環境下進行加熱之第1退火處理及繼上述第1退火處理之後進行之於非氧化性環境下進行加熱之第2退火處理。藉由如此包含於氧化性環境下進行加熱之處理及於非氧化性環境下進行加熱之處理，可將退火處理分離為以熱氧化反應為主要目的之階段及以產生應變之緩和等熱物理現象為主要目的之階段。具體而言，可於第1退火處理中，以使磁性粉末之表面氧化物層含有Mo為主要目的，於第2退火處理中，以釋放由於成形步驟而累積於磁性粉末內之應變為主要目的。第1退火溫度中之最高達到溫度Ta1(單位：℃)與第2退火處理中之最高達到溫度Ta2(單位：℃)之關係並無限定。可使上述第1退火處理中之最高達到溫度Ta1低於上述第2退火處理之最高達到溫度Ta2。可藉由設為此種溫度設定，而抑制退火處理中熱氧化反應過度進行。存在上述含Mo之Bi-B系玻璃之變形點At(單位：℃)較佳為與上述退火處理中之最高達到溫度Ta(單位：℃)滿足以下關係之情況。Ta≧At藉由滿足上述關係，而於退火處理時玻璃能夠以覆蓋磁性粉末之方式移動，容易將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層。於上述含Mo之Bi-B系玻璃係可定義結晶化溫度Tx之材料之情形時，存在上述結晶化溫度Tx較佳為與上述退火處理中之最高達到溫度Ta滿足以下關係之情況。Tx＞Ta藉由滿足上述關係，可於退火處理中不易產生玻璃之結晶化。若產生玻璃之結晶化，則玻璃內成分之移動容易度下降，可能不易發揮作為無機黏合劑之功能，或不易穩定地將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層。就更穩定地減少產生玻璃之結晶化之可能性之觀點而言，存在較佳為滿足以下關係之情況。Tx≧Ta＋10℃就穩定地將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層之觀點而言，存在上述含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量較佳為10 mol%以上之情況。以用以將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層之熱氧化反應為主要目的之第1退火處理中，存在其最高達到溫度Ta1較佳為與上述含Mo之Bi-B系玻璃之玻璃轉移溫度Tg滿足以下關係之情況。Tg－20℃≦Ta1藉由滿足上述關係，期待於第1退火處理時Mo容易在玻璃內移動，容易將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層。[發明之效果]根據本發明，提供一種壓粉磁芯，其係使用有磁特性優異之非晶質磁性材料者，低損耗且可實現較高之機械強度及耐熱穩定性。並且亦提供該壓粉磁芯之製造方法。
以下，對本發明之實施形態進行詳細說明。本發明之一實施形態之壓粉磁芯含有Fe基含Cr非晶質合金之磁性粉末。於本說明書中，所謂「Fe基含Cr非晶質合金」，係指Fe之含量為50原子%以上之非晶質合金，且係含有Cr作為至少1種添加元素之合金材料。作為用以形成Fe基含Cr非晶質合金之合金組合物的Fe基含Cr合金組合物就提高磁特性、尤其是飽和磁通密度Bs之觀點而言，Fe添加量較佳為70原子%以上，較佳為75原子%以上，更佳為78原子%以上，進而較佳為80原子%以上，特佳為81原子%以上。藉由使Fe基合金組合物含有Cr，而容易於由Fe基含Cr合金組合物形成之Fe基含Cr非晶質合金之磁性粉末形成表面氧化物層。又，亦可使磁性粉末之耐蝕性提昇。因此，Fe基含Cr合金組合物中之Cr之添加量較佳為0.5原子%以上，更佳為1.5原子%以上。就容易良好地維持磁特性之觀點而言，Fe基含Cr合金組合物中之Cr添加量較佳為2.5原子%以下。由Fe基含Cr合金組合物形成之Fe基含Cr非晶質合金含有非晶化元素。非晶化元素之種類並無限定。存在較佳為含有選自由P、C、B及Si所組成之群中之1種或2種以上作為非晶化元素之情況。於Fe基含Cr非晶質合金含有P作為非晶化元素之情形時，就使Fe基含Cr合金組合物之熔點Tm有效地下降之觀點而言，Fe基含Cr合金組合物中之P之添加量較佳為0原子%以上且15原子%以下，更佳為設為8原子%以上且11原子%以下。於Fe基含Cr非晶質合金含有C作為非晶化元素之情形時，就使Fe基含Cr合金組合物之熔點Tm有效地下降之觀點而言，Fe基含Cr合金組合物中之C之添加量較佳為0原子%以上且15原子%以下，更佳為設為5原子%以上且9原子%以下。於Fe基含Cr非晶質合金含有B作為非晶化元素之情形時，就使Fe基含Cr合金組合物之玻璃轉移溫度Tg有效地下降之觀點而言，Fe基含Cr合金組合物中之B之添加量較佳為0原子%以上且9原子%以下，更佳為設為0原子%以上且8原子%以下。於Fe基含Cr非晶質合金含有Si作為非晶化元素之情形時，就使Fe基含Cr合金組合物之玻璃轉移溫度Tg有效地下降之觀點而言，Fe基含Cr合金組合物中之Si之添加量較佳為0原子%以上且7原子%以下，更佳為0原子%以上且6原子%以下。Fe基含Cr非晶質合金除上述元素以外，亦可含有包含選自由Co、Ni、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Re、鉑族元素、Au、Ag、Cu、Zn、In、Sn、As、Sb、Bi、S、Y、N、O及稀土類元素所組成之群中之1種或2種以上之任意元素。作為該等任意元素之具體例，可列舉Ni或Sn。於Fe基含Cr非晶質合金含有Ni之情形時，Fe基含Cr合金組合物中之Ni之添加量較佳為0原子%以上且10原子%以下，更佳為0原子%以上且7原子%以下。於Fe基含Cr非晶質合金含有Sn之情形時，Fe基含Cr合金組合物中之Sn之添加量較佳為0原子%以上且3原子%以下，更佳為0原子%以上且2原子%以下。Fe基含Cr非晶質合金之任意元素亦可含有作為無機黏合劑之成分之Bi及Mo。Fe基含Cr非晶質合金除上述元素以外，亦可包含不可避免之雜質。本發明之一實施形態之壓粉磁芯所含有之磁性粉末之表面氧化物層含有Fe及Cr以及Bi及Mo。如上所述，本發明之一實施形態之壓粉磁芯所含有之磁性粉末含有Fe及Cr作為必需之成分，Fe含量較多，Cr容易形成鈍態氧化物層，因此磁性粉末之表面氧化物層中之Fe及Cr來自構成磁性粉末之Fe基含Cr非晶質合金。磁性粉末之表面氧化物層中之Bi及Mo因提供後述無機黏合劑之氧化物材料含有Bi及Mo，故而包含來自該氧化物材料之成分。於構成磁性粉末之Fe基含Cr非晶質合金含有Bi及Mo之情形時，磁性粉末之表面氧化物層中之Bi及Mo亦可來自構成磁性粉末之Fe基含Cr非晶質合金。磁性粉末之表面氧化物層含有來自提供無機黏合劑之氧化物材料之Bi意味著達成含有Bi之氧化物材料玻璃化且適當地於磁性粉末之表面潤濕擴散。因此，藉由使磁性粉末之表面氧化物層含有Bi，實現氧化物材料適當地發揮作為無機黏合劑之功能，本發明之一實施形態之壓粉磁芯可成為機械特性優異者。藉由使磁性粉末之表面氧化物層適當地含有Mo，可提高壓粉磁芯之耐熱穩定性。其原因並不明確，可能藉由使磁性粉末之表面氧化物層含有Mo而抑制表面氧化物層中之氧擴散，使磁性粉末之表面氧化物層防止氧化之進行。能夠以如下方式確認磁性粉末之表面氧化物層適當地含有Mo。首先，使用歐傑電子能譜裝置、ESCA(Electron Spectroscope for Chemical Analysis，化學分析電子能譜儀)(XPS(X-ray Photoelectron Spectroscope，X射線光電子能譜儀))、SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer，二次離子質譜儀)等表面分析裝置進行深度分析，求出表面氧化物層之組成之深度分佈。深度分佈之具體之求出方法並無限定。亦可一面自磁性粉末之表面側進行濺射一面進行表面分析。使用所求出之深度分佈之中氧含量之深度分佈來定義可認為是表面氧化物層之實質上之深度的實效厚度D(單位：nm)。具體而言，首先，求出氧含量(單位：原子%)成為最大值Imax 之深度D1(單位：nm)。其次，求出於比上述深度D1深(距表面更遠端)之位置上氧含量成為上述最大值Imax 之1/2之深度D2(單位：nm)。使用該等深度D1及深度D2，藉由下述式求出表面氧化物層之實效厚度D(單位：nm)。D＝D1＋(D2－D1)×2表面氧化物層之實效厚度D係藉由將深度D1至深度D2之厚度(D2－D1)加上深度D2而求出。因此，表面氧化物層之實效厚度D定位於假設深度D1以下之氧之含量之深度分佈為線性時氧含量成為0原子%之深度。因此，於深於賦予表面氧化物層之實效厚度D(離表面更遠端)之深度的區域，金屬系之元素表現為金屬之可能性高於表現為氧化物。於本說明書中，假設表面氧化物層之實質上之厚度為上述實效厚度D左右。再者，定義實效厚度D之原因係由於氧含量之深度分佈由於設備分析之技術性之極限而常常拖尾，有在實質上難以認為有氧侵入之深度亦不為零之情況。使用實效厚度D代替拖尾之氧含量進行考察時，容易理解磁性粉末之表面氧化物層之功能。本發明之一實施形態之壓粉磁芯所具備之磁性粉末中，於賦予該表面氧化物層之實效厚度D之深度，亦可見Mo實質上含有於表面氧化物層。即，本發明之一實施形態之壓粉磁芯所具備之磁性粉末中，實質上遍佈表面氧化物層之整個區域均擴散有Mo。藉由如此使Mo擴散於表面氧化物層之整個區域，而使氧不易於表面氧化物層之內部移動，即便將壓粉芯置於加熱環境下而亦對磁性粉末加熱，磁性粉末之表面氧化物層之成長亦可能被適當限制而抑制磁性粉末之磁特性之劣化。於磁性粉末之合金組成中不包含Mo之情形時，Mo之深度分佈成為於深度方向之某程度之位置上Mo之含量成為0原子%之分佈。因此，於在Mo之深度分佈中在10 nm之範圍之整個區域內可見Mo之含量成為0原子%之區域時，可判定深於由該10 nm之範圍構成之區域之表面側之深度一側之所有區域不存在Mo。於考慮到雜訊之情形時，由10 nm之範圍構成之區域中之Mo之含量之平均值為0.1原子%以下時，判定深於由該10 nm之範圍構成之區域之表面側之深度一側之所有區域不存在Mo。於磁性粉末之合金組成中包含Mo之情形時，只要Mo之深度分佈中由10 nm之範圍構成之區域中之Mo之含量之平均值與磁性粉末之合金組成中之Mo之含量同等，則判斷Mo以與磁性粉末之合金組成同程度之含量存在於深於由該10 nm之範圍構成之區域之表面側之深度一側之全部區域即可。本發明之一實施形態之壓粉磁芯具有無機黏合劑。無機黏合劑使磁性粉末彼此黏合，因此即便於置於高溫環境下之情形時，亦可獲得機械強度優異之壓粉磁芯。本發明之一實施形態之壓粉磁芯所含有之無機黏合劑包括含有Bi及Mo之氧化物材料，較佳為進而含有P。含有Bi且較佳為進而含有P之氧化物可形成玻璃轉移溫度Tg相對較低之低熔點玻璃。玻璃轉移溫度Tg較低之玻璃因線膨脹係數之變化率成為最大之變形點At亦較低，故可在相對低溫下進行覆蓋磁性材料之表面之變形。因此，本發明之一實施形態之壓粉磁芯所含有之無機黏合劑使壓粉磁芯彼此黏合之能力較高。因此，本發明之一實施形態之壓粉磁芯之機械特性優異，即便置於高溫環境下亦能夠維持機械特性優異之狀態。又，藉由使提供無機黏合劑之氧化物材料含有Bi，該氧化物材料可容易地含有包含Mo等金屬元素之成分。因提供無機黏合劑之氧化物材料含有Mo，故磁性粉末之表面氧化物層容易含有Mo。因此，藉由使提供無機黏合劑之氧化物材料含有Mo，而容易提高壓粉磁芯之耐熱穩定性。於藉由提供無機黏合劑之氧化物材料所含有之Mo使磁性粉末之表面氧化物層含有Mo之情形時，藉由改變提供無機黏合劑之氧化物材料所包含之Mo含量，可調整磁性粉末之表面氧化物層之Mo含量。但是，根據氧化物材料之種類不同，存在由於含有Mo而使玻璃轉移點發生變動或變得容易產生結晶化之情況。因此，提供無機黏合劑之氧化物材料中之Mo含量應考慮到氧化物材料可適當地發揮作為無機黏合劑之功能而設定。於提供無機黏合劑之氧化物材料含有Bi、B及Mo之情形時，存在Mo之含量相對於總成分以換算為氧化物之值計，即，Mo以MoO3 計較佳為5 mol%以上且80 mol%以下之情況，存在更佳為10 mol%以上且70 mol%以下之情況，存在更佳為30 mol%以上且60 mol%以下之情況。上述本發明之一實施形態之壓粉磁芯亦可含有有機成分。與上述無機黏合劑同樣地，有機成分亦可具有使磁性粉末黏合之功能。根據該目的，有機成分較佳為基於高分子材料之成分。作為此種高分子材料，可例示聚乙烯醇(PVA，polyvinyl alcohol)、丙烯酸系樹脂、聚矽氧樹脂、聚丙烯、氯化聚乙烯、聚乙烯、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物(EPDM，ethylene propylene diene monomer)、氯丁二烯、聚胺基甲酸酯、氯乙烯、飽和聚酯、腈樹脂、環氧樹脂、酚系樹脂、脲樹脂、三聚氰胺樹脂等。於在壓粉磁芯之製造過程中不實施包括加熱之處理之情形時，期待此種高分子材料會直接殘留於壓粉磁芯內而發揮作為有機黏合劑之功能。另一方面，於在壓粉磁芯之製造過程中實施包括加熱之處理之情形時，上述高分子材料由於熱而改性、分解而成為基於高分子材料之成分，殘留於壓粉磁芯內。亦存在基於該高分子材料之成分亦可發揮作為有機黏合劑之功能之情況。上述本發明之一實施形態之壓粉磁芯只要具備上述構成，則不論藉由何種方法製造均可。若採用以下說明之製造方法，則可有效率地製造本發明之一實施形態之壓粉磁芯。本發明之一實施形態之壓粉磁芯之製造方法具備以下說明之粉末形成步驟、混合步驟、成形步驟及退火步驟。於粉末形成步驟中，自Fe基含Cr非晶質合金之熔液形成磁性粉末。磁性粉末之形成方法並無限定。可例示單輥法、雙輥法等急冷薄帶化方法，或氣體霧化法、水霧化法等霧化法。急冷薄帶化法因冷卻速度相對較高，故可容易地製造非晶質合金，但為了獲得磁性粉末，必須進行薄帶之粉碎作業。霧化法於冷卻時進行形狀形成，因此可簡化步驟。亦可對藉由冷卻熔液及進而根據需要進行粉碎而形成之磁性粉末進行分級。於混合步驟中，獲得包含藉由上述粉末形成步驟而獲得之磁性粉末與含Mo之Bi-B系玻璃之混合粉末體。含Mo之Bi-B系玻璃係對使Bi2 O3 、B2 O3 、MoO3 等原材料熔解、冷卻而獲得之玻璃料使用球磨機等粉碎而以適當大小之玻璃粉末之形式準備。玻璃粉末亦可根據需要進行分級。玻璃粉末與磁性粉末之混合只要利用周知之方法進行即可。混合粉末體亦可含有上述有機成分，具體而言亦可含有高分子材料。混合粉末體亦可進而含有潤滑劑、偶合劑、絕緣性之填料、阻燃劑等。於含有潤滑劑之情形時，其種類並無特別限定。可為有機系之潤滑劑，亦可為無機系之潤滑劑。作為有機系之潤滑劑之具體例，可列舉液態石蠟等烴系材料、硬脂酸鋅、硬脂酸鋁等金屬皂系材料、脂肪醯胺、伸烷基脂肪醯胺等脂肪族醯胺系材料等。認為此種有機系之潤滑劑於進行後述退火步驟之情形時氣化，幾乎不殘留於壓粉磁芯。自上述成分獲得混合粉末體之方法並無限定。將水或二甲苯等適當之稀釋介質與各成分混合而漿化，藉由利用行星式攪拌機或研缽攪拌等進行攪拌而使漿料成為均勻之混合體，並將該混合體乾燥即可。此情形之乾燥條件並無限定。作為一例，可列舉於氮氣或氬氣等惰性氣體氛圍下加熱至80℃至170℃左右之範圍而乾燥。混合粉末體中之各成分之含量係考慮到後述成形步驟或所獲得之壓粉磁芯之磁特性而適當設定。若對混合粉末體之組成進行並非加以限定之例示，則可列舉相對於100質量份磁性粉末，將含Mo之Bi-B系玻璃之粉末設為0.5質量份至3.0質量份，並將高分子材料設為0質量份至2.0質量份。於成形步驟中，將藉由上述混合步驟而獲得之混合粉末體加壓成形而獲得成形製造物。加壓成形之條件係考慮到混合粉末體之組成或後述退火步驟之條件、最終獲得之壓粉磁芯之特性等而適當設定。若對加壓成形進行並非加以限定之例示，則可列舉於常溫(25℃)下以0.4 GPa至3 GPa左右之範圍進行加壓。於退火步驟中，對藉由上述成形步驟而獲得之成形製造物進行退火處理，將作為玻璃粉末存在於成形製造物內之含Mo之Bi-B系玻璃形成為無機黏合劑，並且將含Mo之Bi-B系玻璃所含有之Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層內。藉由進行退火處理，成形製造物內之玻璃粉末軟化，並以覆蓋複數個磁性粉末之表面之方式變形，而發揮作為無機黏合劑之功能。由於Bi-B系玻璃之熔點相對較低，故即便含有Mo，玻璃轉移溫度Tg或變形點At亦較低，而容易產生覆蓋磁性粉末之表面之變形。退火處理亦可具備於氧化性環境下進行加熱之第1退火處理及繼上述第1退火處理之後進行之於非氧化性環境下進行加熱之第2退火處理。藉由如此包含於氧化性環境下進行加熱之處理及於非氧化性環境下進行加熱之處理，可將退火處理分離為以熱氧化反應為主要目的之階段及以產生應變之緩和等熱物理現象為主要目的之階段。具體而言，可於第1退火處理中，以使磁性粉末之表面氧化物層含有Mo為主要目的，於第2退火處理中，以釋放由於成形步驟而累積於磁性粉末內之應變為主要目的。第1退火處理及第2退火處理之實施時序並無限定。可於實施第1退火處理後進行第2退火處理，亦可於實施第2退火處理後進行第1退火處理。又，亦可依序進行第1退火處理、第2退火處理、第1退火處理。於此情形時，第1次進行之第1退火處理之處理條件與第2次進行之第1退火處理之處理條件可共通亦可不同。第1退火處理及第2退火處理之處理條件均無限定。處理條件係考慮到藉由混合步驟而獲得之混合粉末體之組成、成形步驟中之加壓成形之條件等而以獲得具有適當之功能之壓粉磁芯之方式適當設定。於第1退火處理中，作為處理條件可列舉氣體氛圍中之氧濃度、最高達到溫度、最高達到溫度下之保持時間、升溫速度、降溫速度等。於第2退火處理，作為處理條件可列舉氣體氛圍(還原性、惰性等)、最高達到溫度、最高達到溫度下之保持時間、升溫速度、降溫速度等。自第1退火處理向第2退火處理之轉換亦可藉由停止向退火爐內供給氧氣而進行。第1退火處理中之最高達到溫度Ta1亦可低於第2退火處理之最高達到溫度Ta2。於藉由成形步驟進行加壓成形時施加至磁性粉末之應變較大之情形時，作為用以緩和應變之退火處理，有要求加熱至450℃左右之情況。然而，若於氧濃度較高之氣體氛圍下進行此種加熱，則存在磁性粉末之氧化過度進行而有壓粉磁芯之磁特性下降或耐熱穩定性下降之虞的情況。於此種情形時，如上所述，使第1退火處理中之最高達到溫度Ta1低於第2退火處理中之最高達到溫度Ta2而抑制因含有氧之氣體氛圍下之退火處理導致磁性粉末之氧化過度進行即可。含Mo之Bi-B系玻璃之變形點At較佳為與退火處理中之最高達到溫度Ta滿足以下關係。Ta≧At藉由滿足上述關係，於退火處理時含Mo之Bi-B系玻璃容易以覆蓋磁性粉末之方式移動，含Mo之Bi-B系玻璃變得容易發揮作為無機黏合劑之功能。就更穩定地實現使含Mo之Bi-B系玻璃容易發揮作為無機黏合劑之功能之觀點而言，退火處理中之最高達到溫度Ta較佳為較含Mo之Bi-B系玻璃之變形點At高10℃以上，更佳為高20℃以上，特佳為高30℃以上。含Mo之Bi-B系玻璃亦可為可定義結晶化溫度Tx之材料。結晶化溫度Tx被定義為示差熱分析(DTA，Differential Thermal Analysis)中賦予基於結晶化之發熱峰之最高點的溫度。作為一般傾向，含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量越增加，結晶化溫度Tx越下降。該結晶化溫度Tx較佳為與退火處理中之最高達到溫度Ta滿足以下關係。Tx＞Ta藉由滿足上述關係，可使退火處理中含有Mo之Bi-B系不易產生玻璃之結晶化。若進行含Mo之Bi-B系玻璃之結晶化，則含Mo之Bi-B系玻璃之流動性下降，不易以覆蓋磁性粉末之方式存在而發揮作為黏合劑之功能。又，因Mo直接參與結晶化，故若產生含Mo之Bi-B系玻璃之結晶化，則含Mo之Bi-B系玻璃中之可移動之Mo量實質上下降，而不易自含Mo之Bi-B系玻璃將Mo供給至磁性粉末之表面氧化物層。因此，如上所述，含Mo之Bi-B系玻璃之結晶化溫度Tx較佳為高於退火處理中之最高達到溫度Ta，更佳為滿足下述關係。Tx≧Ta＋10℃含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量並無限定。含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量係設定為滿足含Mo之Bi-B系玻璃於退火處理中具有適當之流動性以便以覆蓋磁性粉末之方式存在而發揮作為黏合劑之功能，及具有適當之Mo移動性以便發揮作為向磁性粉末之表面氧化物層之Mo供給源之功能。具體之Mo含量係根據與玻璃中之Bi含量、B含量、及進而根據需要而添加之其他元素之含量等的關係而設定。若進行並非加以限定之例示，則存在含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量較佳為以氧化物換算計為10 mol%以上之情況，存在更佳為20 mol%以上之情況，存在特佳為30 mol%以上之情況。於含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量過高之情形時，存在結晶化之影響變強之情況。因此，含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量存在較佳為以氧化物換算計為70 mol%以下之情況，存在更佳為60 mol%以下之情況，存在特佳為50 mol%以下之情況。含Mo之Bi-B系玻璃之玻璃轉移溫度Tg並無限定。含Mo之Bi-B系玻璃之玻璃轉移溫度Tg係設定為滿足含Mo之Bi-B系玻璃於退火處理中具有適當之流動性以便以覆蓋磁性粉末之方式存在而發揮作為黏合劑之功能，及具有適當之Mo移動性以便發揮作為向磁性粉末之表面氧化物層之Mo供給源之功能。含Mo之Bi-B系玻璃之玻璃轉移溫度Tg存在較佳為與第1退火處理中之最高達到溫度Ta1滿足以下關係之情況。Tg－20℃≦Ta1藉由本發明之一實施形態之壓粉磁芯之製造方法而製造之壓粉磁芯之形狀並無限定。將作為藉由本發明之一實施形態之壓粉磁芯之製造方法而製造之壓粉磁芯之一例的環形磁芯1表示於圖1。環形磁芯1之外觀為環狀。環形磁芯1由本發明之一實施形態之壓粉磁芯構成，因此具有優異之磁特性。本發明之一實施形態之電子零件具備藉由上述本發明之一實施形態之壓粉磁芯之製造方法而製造之壓粉磁芯、線圈及連接於該線圈之各端部之連接端子。此處，壓粉磁芯之至少一部分係以位於經由連接端子使電流流入至線圈時由該電流產生之感應磁場內之方式配置。作為此種電子零件之一例，可列舉圖2所示之環形線圈10。環形線圈10具備藉由將被覆導電線2捲繞於環狀之壓粉磁芯即環形磁芯1而形成之線圈2a。可在位於包含經捲繞之被覆導電線2之線圈2a與被覆導電線2之端部2b、2c之間的導電線之部分定義線圈2a之端部2d、2e。如此，本實施形態之電子零件中，構成線圈之構件與構成連接端子之構件亦可由相同之構件構成。本發明之一實施形態之電子零件之另一例具備具有與上述環形磁芯1不同之形狀之壓粉磁芯。作為此種電子零件之具體例，可列舉圖3所示之電感元件20。圖3係對本發明之一實施形態之電感元件20之整體構成進行局部透視而表示之立體圖。於圖3中，以電感元件20之下表面(安裝面)向上之姿勢表示。圖4係表示將圖3所示之電感元件20安裝於安裝基板100上之狀態之局部前視圖。圖4所示之電感元件20係具備壓粉磁芯3、作為嵌入至壓粉磁芯3之內部之線圈的空芯線圈5及作為供藉由熔接而電性連接於空芯線圈5之連接端子的一對端子部4而構成。壓粉磁芯3係具備本發明之一實施形態之Fe基合金組合物之構件之一，具體而言包含壓粉成形體。因此，具有優異之磁特性。空芯線圈5係捲繞經絕緣覆膜之導線而形成者。空芯線圈5係具有捲繞部5a及自捲繞部5a引出之引出端部5b、5b而構成。空芯線圈5之捲數係根據所需之電感而適當設定。如圖3所示，於壓粉磁芯3中，於與安裝基板100相對之安裝面3a形成有用以收納端子部4之一部分之收納凹部30。收納凹部30係形成於安裝面3a之兩側，且係向壓粉磁芯3之側面3b、3c開放而形成。自壓粉磁芯3之側面3b、3c突出之端子部4之一部分向安裝面3a彎折而收納於收納凹部30之內部。端子部4由薄板狀之Cu基材形成。端子部4係具有埋設於壓粉磁芯3之內部並供電性連接於空芯線圈5之引出端部5b的連接端部40、及露出於壓粉磁芯3之外表面並依序自上述壓粉磁芯3之側面3b、3c以至安裝面3a彎折而形成的第1彎折部42a及第2彎折部42b而構成。連接端部40係供熔接於空芯線圈5之熔接部。第1彎折部42a及第2彎折部42b係供焊接於安裝基板100之焊接部。焊接部係指端子部4之中之自壓粉磁芯3露出之部分，且係至少朝向壓粉磁芯3之外側之表面。端子部4之連接端部40與空芯線圈5之引出端部5b係藉由電阻熔接而接合。如圖4所示，電感元件20安裝於安裝基板100上。於安裝基板100之表面形成有與外部電路導通之導體圖案，藉由該導體圖案之一部分而形成用以安裝電感元件20之一對焊墊部110。如圖4所示，於電感元件20中，安裝面3a係朝向安裝基板100側，自壓粉磁芯3露出於外部之第1彎折部42a與第2彎折部42b與安裝基板100之焊墊部110之間係以焊料層120接合。焊接步驟係於焊墊部110藉由印刷步驟塗佈糊狀之焊料後，使第2彎折部42b與焊墊部110相面對而安裝電感元件20，並藉由加熱步驟熔融焊料。如圖3及圖4所示，第2彎折部42b與安裝基板100之焊墊部110相對向，且第1彎折部42a露出於電感元件20之側面3b、3c，因此填角狀之焊料層120固著於焊墊部110，並且充分地擴散且固著於作為焊接部之第2彎折部42b及第1彎折部42a之兩者之表面。本發明之一實施形態之電氣、電子設備係安裝有具備上述本發明之一實施形態之壓粉磁芯之電氣、電子零件者。作為此種電氣、電子設備，可例示具備電源開關電路、升降壓電路、平滑電路等之電源裝置或小型移動通信設備等。以上所說明之實施形態係為了使本發明容易理解而記載者，並非為了限定本發明而記載者。因此，上述實施形態所揭示之各要素旨在亦包含屬於本發明之技術範圍之全部設計變更或等效物。[實施例]以下，藉由實施例等進而具體地說明本發明，但本發明之範圍並不限定於該等實施例等。熔製以下組成之Fe基合金組合物，並藉由氣體霧化法獲得包含粉體之軟磁性材料(磁性粉末)。Fe：77.43原子%Cr：1.96原子%P：9.04原子%C：2.16原子%B：7.54原子%Si：4.87原子%其他不可避免之雜質準備下述表1所示之組成之玻璃，並將其以球磨機粉碎66小時而獲得玻璃粉末。將100質量份上述磁性粉末與2.0質量份該玻璃粉末(於一部分之實施例中未添加玻璃粉末)混合2分鐘，進而添加1.4質量份聚乙烯醇並混合7分鐘，而獲得漿料。再者，對於有關所使用之玻璃之下述物性，彙總表示於表1。α：線熱膨脹率(單位：10-7 /℃)Tg：玻璃轉移溫度(單位：℃)At：變形點(單位：℃)Tx：結晶化溫度(單位：℃)[表1] 將所獲得之漿料以110℃左右之溫度加熱乾燥2小時，對所獲得之塊狀之混合粉末體進行粉碎，並使用篩對粉碎物進行分級，收集粒徑為300 μm至850 μm之大小之顆粒而獲得包含造粒粉之混合粉末體。將所獲得之混合粉末體放入至模腔內，進行將成形壓力設為1.78 GPa之壓粉成形。以此方式獲得具有具備如圖1所示之外觀之環形磁芯(外徑：20 mm、內徑：12.8 mm、厚度：6.8 mm)之形狀的成形製造物。將所獲得之成形製造物投入至惰性氣體烘箱，藉由使大氣混合於供給至爐內之氮氣中而使爐內氣體氛圍之氧濃度維持於3～3.5體積%，並以100℃/分鐘自室溫升溫至360℃。使該狀態維持3.5小時(第1退火處理)。其次，將爐內氣體氛圍設為氮氣氣體氛圍，並以升溫速度100℃/分鐘升溫至440℃，使該狀態維持1小時。其後，直接於氮氣氣體氛圍下關閉加熱器，藉由爐內冷卻而冷卻至室溫(第2退火處理)。以此方式獲得壓粉磁芯。(試驗例1)徑向壓潰強度之測定對實施例中所製作之壓粉磁芯藉由依據JIS Z2507：2000之試驗方法進行測定，求出徑向壓潰強度(單位：MPa)。將所求出之徑向壓潰強度表示於表2。對上述壓粉磁芯進行於300℃之環境中放置200小時之耐熱試驗，與耐熱試驗前之測定同樣地對試驗後之徑向壓潰強度進行測定。將測定結果表示於表2。(試驗例2)磁導率之測定對將被覆銅線捲繞於實施例中所製作之壓粉磁芯34次而獲得之環形線圈使用阻抗分析儀(HP公司製造之「42841A」)，於100 kHz之條件下測定初磁導率μ'。將結果表示於表2。對上述環形線圈進行於300℃之環境中放置200小時之耐熱試驗，與耐熱試驗前之測定同樣地對試驗後之初磁導率μ'進行測定。將初磁導率μ'之耐熱變化率{(試驗後之值－試驗前之值)/試驗前之值}(單位：%)表示於表2。(試驗例3)鐵損之測定對將被覆銅線分別以一次側40次、二次側10次捲繞於實施例中所製作之壓粉磁芯而獲得環形線圈使用BH分析儀(岩崎通信機公司製造之「SY-8218」)，於將有效最大磁通密度Bm設為100 mT之條件下，以測定頻率100 kHz測定鐵損(單位：kW/m3 )。將其結果表示於表2。對上述環形線圈進行於300℃之環境中放置200小時之耐熱試驗，與耐熱試驗前之測定同樣地對試驗後之鐵損進行測定。將鐵損之耐熱變化率{(試驗後之值－試驗前之值)/試驗前之值}(單位：%)表示於表2。(試驗例4)重量變化率之測定測定於實施例中所製作之壓粉磁芯之重量，進行於300℃之環境中放置200小時之耐熱試驗，並測定試驗後之重量。將重量變化率{(試驗後之值－試驗前之值)/試驗前之值}(單位：%)表示於表2。 [表2] (試驗例5)深度分佈之測定對藉由實施例1、實施例6、實施例8、實施例11及實施例12而製作之壓粉磁芯所包含之磁性粉末及耐熱試驗(於300℃之環境中放置200小時)後之壓粉磁芯所包含之磁性粉末，藉由使用歐傑電子能譜裝置(日本電子製造之「JAMP-7830F」)一面自磁性粉末之表面側進行濺射一面進行表面分析，而求出磁性粉末之包含表面氧化物層之區域中之組成之深度分佈。對藉由實施例1、實施例6、實施例8、實施例11及實施例12而製作之壓粉磁芯進行於300℃之環境中放置200小時之耐熱試驗，對試驗後之壓粉磁芯同樣地求出磁性粉末之包含表面氧化物層之區域中之組成之深度分佈。由所獲得之深度分佈求出深度D1及深度D2，進而求出表面氧化物層之實效厚度D及實效厚度D之變化率{(試驗後之值－試驗前之值)/試驗前之值}(單位：%)。圖5係表示耐熱試驗前之O(氧)之含量之深度分佈的曲線圖，圖6係表示耐熱試驗後之O(氧)之含量之深度分佈的曲線圖。於圖5及圖6中，將各實施例之耐熱試驗前(圖5)或耐熱試驗後(圖6)之表面氧化物層之實效厚度D利用線種相同之向上或向下之箭頭進行表示。圖7係表示藉由實施例1而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖8係對圖7所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖9係表示藉由實施例6而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖10係對圖9所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖10中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖11係表示藉由實施例8而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖12係對圖11所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖12中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖13係表示藉由實施例11而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖14係對圖13所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖14中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖15係表示藉由實施例12而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖16係對圖15所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖16中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖17係表示藉由實施例1而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖，圖18係對圖17所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖18中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖19係表示藉由實施例6而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖20係對圖19所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。於實施例6中耐熱試驗後之表面氧化物層之實效厚度D成為大於60 nm之值，因此於圖20中未顯示表示表面氧化物層之實效厚度D之箭頭。圖21係表示藉由實施例8而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖22係對圖21所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖22中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖23係表示藉由實施例11而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖24係對圖23所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖24中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。圖25係表示藉由實施例12而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖，圖26係對圖25所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖26中之向下箭頭表示相當於表面氧化物層之實效厚度D之深度。將由深度分佈求出之深度D1及深度D2以及表面氧化物層之實效厚度D及實效厚度D之變化率表示於表3。[表3] 如表3所示，作為基本傾向，於壓粉磁芯不具有無機黏合劑之情形時，較厚地形成磁性粉末之表面氧化物層，於壓粉磁芯具有無機黏合劑之情形時，表面氧化物層之厚度變薄。於壓粉磁芯具有無機黏合劑之情形時，藉由進行耐熱試驗而表面氧化物層之實效厚度D增加，但於無機黏合劑含有Mo時，表面氧化物層之實效厚度D之增加之程度較小。如圖7及圖8所示，於壓粉磁芯不具有無機黏合劑之情形時(實施例1)，未自表面氧化物層檢測出Mo或Bi。如圖9及圖10所示，於壓粉磁芯具有包含不含Mo之Bi-B系玻璃之無機黏合劑之情形時(實施例6)，自表面氧化物層檢測出Bi，但未檢測出Mo。如圖11至圖16所示，於壓粉磁芯具有包含含有Mo之Bi-B系玻璃之無機黏合劑之情形時(實施例8、實施例11及實施例12)，自表面氧化物層檢測出Mo及Bi。因此，確認藉由令用以形成壓粉磁芯之混合粉末體包含含有Mo之Bi-B系玻璃，並對使混合粉末體成形而獲得之成形製造物進行退火處理，可將Mo供給至表面氧化物層之內部。如圖14及圖16所示，確認：於實施例11及實施例12中，於表面氧化物層之實效厚度D之深度或較該深度距表面更遠端之深度檢測出Mo，可認為Mo存在於表面氧化物層之大致整個區域。與此相對，如圖12所示，確認於實施例8中，於表面氧化物層之實效厚度D之深度完全未檢測出Mo，Mo僅存在於表面氧化物層之一部分，具體而言存在於距表面未達10 nm之極淺之區域。確認如上所述之壓粉磁芯之表面氧化物層之內部中之Mo之分佈對耐熱穩定性產生影響。即，確認可認為Mo存在於表面氧化物層之大致整個區域之實施例11及實施例12之壓粉磁芯與含有不含Mo之Bi-B系玻璃而獲得之壓粉磁芯(實施例6等)相比，耐熱穩定性優異。認為實施例11及實施例12之壓粉磁芯於耐熱試驗後Mo亦存在於表面氧化層之大致整個區域(圖22至圖26)。與此相對，確認：於耐熱試驗前之狀態下Mo僅存在於表面氧化物層之表面側之區域的實施例8之壓粉磁芯於耐熱試驗後，Mo亦偏集存在於表面氧化層之表面側之區域(圖11及圖12以及圖21及圖22)，於此情形時，顯示出與含有不含Mo之Bi-B系玻璃而獲得之壓粉磁芯(實施例6等)同等之耐熱穩定性。[產業上之可利用性]使用有藉由本發明之製造方法而製造之壓粉磁芯的電氣、電子零件可較佳地用作功率電感器、油電混合汽車等之升壓電路、用於發電、變電設備之反應器、變壓器或扼流圏、馬達用之磁芯等。
1‧‧‧環形磁芯(壓粉磁芯之一種)
2‧‧‧被覆導電線
2a‧‧‧線圈
2b‧‧‧被覆導電線2之端部
2c‧‧‧被覆導電線2之端部
2d‧‧‧線圈2a之端部
2e‧‧‧線圈2a之端部
3‧‧‧壓粉磁芯
3a‧‧‧壓粉磁芯3之安裝面
3b‧‧‧壓粉磁芯3之側面
3c‧‧‧壓粉磁芯3之側面
4‧‧‧端子部
5‧‧‧空芯線圈
5a‧‧‧空芯線圈5之捲繞部
5b‧‧‧空芯線圈5之引出端部
10‧‧‧環形線圈
20‧‧‧電感元件
30‧‧‧收納凹部
40‧‧‧連接端部
42a‧‧‧第1彎折部
42b‧‧‧第2彎折部
100‧‧‧安裝基板
110‧‧‧焊墊部
120‧‧‧焊料層
圖1係概念性地表示本發明之一實施形態之壓粉磁芯之形狀的立體圖。圖2係概念性地表示作為具備本發明之一實施形態之壓粉磁芯之電子零件的環形線圈之形狀之立體圖。圖3係對作為具備本發明之另一實施形態之壓粉磁芯之電子零件的電感元件之整體構成進行局部透視而表示之立體圖。圖4係表示將圖4所示之電感元件安裝於安裝基板上之狀態之局部前視圖。圖5係表示耐熱試驗前之O(氧)之含量之深度分佈的曲線圖。圖6係表示耐熱試驗後之O(氧)之含量之深度分佈的曲線圖。圖7係表示藉由實施例1而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖。圖8係對圖7所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖9係表示藉由實施例6而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖。圖10係對圖9所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖11係表示藉由實施例8而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖。圖12係對圖11所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖13係表示藉由實施例11而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖。圖14係對圖13所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖15係表示藉由實施例12而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗前)的曲線圖。圖16係對圖15所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖17係表示藉由實施例1而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖。圖18係對圖17所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖19係表示藉由實施例6而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖。圖20係對圖19所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖21係表示藉由實施例8而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖。圖22係對圖21所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖23係表示藉由實施例11而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖。圖24係對圖23所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。圖25係表示藉由實施例12而製作之壓粉磁芯之磁性粉末中之O(氧)、Fe、Cr、Mo及Bi之含量之深度分佈(耐熱試驗後)的曲線圖。圖26係對圖25所示之深度分佈改變縱軸之範圍而進行放大顯示之曲線圖。

Claims (11)

  1. 一種壓粉芯，其特徵在於：其係含有Fe基含Cr非晶質合金之磁性粉末及無機黏合劑者；上述磁性粉末之表面氧化物層含有Fe及Cr以及Bi及Mo，於求出上述表面氧化物層之組成之深度分佈時，於使用氧含量(單位：原子%)成為最大值Imax 之深度D1(單位：nm)及於比上述深度D1深之位置氧含量成為上述最大值Imax 之1/2之深度D2(單位：nm)且藉由下述式定義的上述表面氧化物層之實效厚度D(單位：nm)D＝D1＋(D2－D1)×2中，上述表面氧化物層亦含有Mo；且上述無機黏合劑包括含有Bi及Mo之氧化物材料。
  2. 如請求項1之壓粉芯，其中上述無機黏合劑進而含有B。
  3. 如請求項1之壓粉芯，其中上述Fe基含Cr非晶質合金含有選自由P、C、B及Si所組成之群中之1種或2種以上作為非晶化元素。
  4. 一種壓粉芯之製造方法，其特徵在於：其係如請求項2或3之壓粉芯之製造方法；且其包括：粉末形成步驟，其自Fe基含Cr非晶質合金之熔液形成磁性粉末；混合步驟，其獲得包括含Mo之Bi-B系玻璃及上述磁性粉末之混合粉末體；成形步驟，其將上述混合粉末體加壓成形而獲得成形製造物；及退火步驟，其對上述成形製造物進行退火處理，將上述含Mo之Bi-B系玻璃形成為無機黏合劑，並且將上述含Mo之Bi-B系玻璃所含有之Mo供給至上述磁性粉末之表面氧化物層內。
  5. 如請求項4之壓粉芯之製造方法，其中於上述粉末形成步驟中，藉由霧化法而自上述熔液獲得上述磁性粉末。
  6. 如請求項4之壓粉芯之製造方法，其中上述退火處理包括於氧化性環境下進行加熱之第1退火處理及繼上述第1退火處理之後進行之於非氧化性環境下進行加熱之第2退火處理。
  7. 如請求項6之壓粉芯之製造方法，其中上述第1退火處理中之最高達到溫度Ta1低於上述第2退火處理中之最高達到溫度Ta2。
  8. 如請求項4之壓粉芯之製造方法，其中上述含Mo之Bi-B系玻璃之變形點At與上述退火處理中之最高達到溫度Ta滿足以下關係：Ta≧At。
  9. 如請求項4之壓粉芯之製造方法，其中上述含Mo之Bi-B系玻璃係可定義結晶化溫度Tx之材料，上述結晶化溫度Tx與上述退火處理中之最高達到溫度Ta滿足以下關係： Tx＞Ta。
  10. 如請求項4之壓粉芯之製造方法，其中上述含Mo之Bi-B系玻璃中之Mo含量為10 mol%以上。
  11. 如請求項6之壓粉芯之製造方法，其中上述含Mo之Bi-B系玻璃之玻璃轉移溫度Tg與上述第1退火處理中之最高達到溫度Ta1滿足以下關係：Tg－20℃≦Ta1。
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