TW201522182A - 用於潔淨環境之大體積輸送機輸送 - Google Patents

Abstract

本發明揭示一種分段、皮帶驅動之輸送機系統，其用於潔淨環境。透過各具有共同旋轉之驅動輪之皮帶驅動輸送機的分段來致能工件載體之高速度、高密度、無碰撞的生產能力。該等驅動輪具有一圓柱形輪廓。可藉由一馬達控制器，採用預界定之加速/減速輪廓以跨該各自驅動分段來影響工件載體速度的最佳變化。一周邊凹槽經形成於一驅動分段內之惰輪中。在該凹槽中安置一柔軟、易彎材料之環。該環凸出略微超出各輪之***。當卸載時，則該驅動皮帶保持與該環接觸，且當通過該易彎環之壓縮裝載時，與該輪周邊表面本身接觸。藉由減少該皮帶及該等輪之間的間歇接觸來減少集塵。

Description

用於潔淨環境之大體積輸送機輸送

眾多製造工廠環境由與經沿著一線性地配置之組裝線定位之循序工具相反之經空間地分佈之處理工具組成。對於其中程序中之工作或一「工作實體」藉由另一工具或該等工具處理後其重進入一工具之製造環境，此係尤其真實。重進入至相同工具中避免工具複製，其在高工具資本成本之環境中係特別重要。

一半導體製造環境係其中歸因於高工具成本一工作實體多次進入一給定工具或工具類型之一環境之一實例。一半導體製造環境中之處理工具典型地根據功能空間地分佈於工廠中。因此，工作流類似該工作實體之一混亂移動。隨著同時在多種工具之上操作多種工作實體且多種工作實體在多種工具之間移動，交叉各自工作流。

在現代工廠中，藉由輸送網路通過高數量製造步驟及相關聯之工具啟用多種工作實體之進程。有必要最大化工廠工具之使用及最大化產品輸出之複數個工作實體之同時處理引起高度複雜之物流。因此需要工作實體移動中之高效率及高協調。在沒有能夠快速、即時回應之一有效輸送網路之情況下，可開發進入或脫離一些程序工具之工作流中之瓶頸，同時其他程序工具缺乏工作。因此，此一有效輸送網路必須具有高傳遞容量、高速度及藉由其工作載體可獨立於彼此移動之異步容量。輸送基礎結構係針對此有效物流之啟用技術。

諸如一半導體製造環境內之一遞迴程序流環境中，多達幾百之個別程序工具之同時利用需要能夠在正確時間傳遞正確工作實體至該等工具之各一者之一物流網路。各處理工具之越高利用，工廠輸出越高，其同時地轉化至增加之商業資本效率。

輸送機系統係使用於當代工廠環境中之一特定類型之輸送系統。一輸送機網路可由同時地派遣至各種工具之數百種移動工作載體共享。傳遞容量將取決於流密度及輸送機速度。然而，針對輸送機系統內之工作實體之間之碰撞，流密度及速度藉由零容限之額外需要限制。因此，以上需要之間出現一衝突。

一輸送機網路典型地具有交叉點、節點及至一工廠中之多種位置之分支。工作處理位置處之開口運輸機端係針對該輸送機輸送領域之輸入埠及輸出埠。在此等埠處，工作實體進入及離開該輸送機領域。在先前技術中，當一工作實體需要自此等埠之一者行進至另一者時，針對該輸送需要清理一路徑以滿足碰撞避免之需要。通常地，外部或集中派遣軟體藉由同時地控制將以其他方式干擾討論中之工作實體之全部其他工作實體之移動為此一輸送配置。歸因於之前所述之生產量需要，此派遣軟體係複雜的。需要彼此同時地且以無碰撞之最大速率移動該等工作實體。

除密集製造環境中之高度地複雜控制之挑戰外，藉由輸送機系統之微粒產生在潔淨室環境中極受關注。因此，必須對污染機會衡量此等環境中之輸送系統之效率。

傳統滾筒輸送機已達成極低微粒產生。然而，此等配置已不能自一停止之條件達成在其上所輸送之物品及載體(本文中一般地簡稱為「載體」)之高加速。此非歸因於缺乏可用於驅動滾筒之轉矩但相反歸因於當應用高啟動轉矩時，該等滾筒輪可滑動及發出尖銳聲之事實。此類似於當自一停止加速太快時汽車輪胎發出尖銳聲。

在某些實施例中，取決於實施例已結合同步或步進馬達驅動之滾筒或輪利用一磁滯離合器以消除此滑動。磁滯離合器啟用用於獨立於彼此移動載體且以一平穩形式啟動及停止該等載體之一程序之異步軟緩衝。然而，當成功阻止滑動時，磁滯離合器可難以達成包含多個g範圍中之高加速率。需要非常快速之加速及減速以便增加生產量及因此行進於其中載體必須從不碰撞之軟緩衝輸送機上之載體之密度。因為該等載體異步地移動，它們需要快速停止且不足與一下游載體碰撞以達成一輸送機環境中之增加之密度以及快速啟動以便最小化與上游載體之干擾。

物理學原理指示在一表面上移動一物體所需要之摩擦力取決於材料之正交力及摩擦係數。換言之，其獨立於接觸之區域。然而，使用壓縮材料藉由選擇性地增加表面接觸可達成更高摩擦力。此實現之一結果係針對載體輸送之皮帶而非具有與載體接觸之一橡膠驅動表面之輪之增加之利用。表面區域接觸之此增加實際上增加驅動表面與被驅動表面之間之摩擦係數。

不幸地，在(特別關於來源於所驅動輪及惰輪之單獨使用之)微粒產生方面，在一各自輪組上僅安置一驅動皮帶係非潔淨。皮帶之集塵主要來源於皮帶與該皮帶下面之輪(亦即，用於支撐一載體之重量)之互動。微粒產生之來源之先前調查判定在許多情況下，歸因於輪、各自軸及/或支撐該等輪之軌道中之加工容限，該皮帶未與其下之輪持續、全接觸。例如，一些支撐惰輪經發現與上覆皮帶恆定接觸且因此與該皮帶一致轉動同時其他支撐惰輪取決於何時該皮帶碰觸它們而啟動及停止。後者之接觸係偶然的，其引起支撐惰輪之經摩擦地引發之自旋向上及停止。此效應有時候取決於一載體是否在皮帶傳動輸送機之各自部分上方。

為了在包含該等惰輪之一各自輸送機區段中之皮帶與全部輪之 間賦予連續接觸，提議將該皮帶編織於諸如在兩個惰輪之上及接著在下一個下面之輪之間之一蛇形路徑中。儘管成功維持該皮帶及全部各自輪之間之接觸，此引起一增加之馬達轉矩的需求，其亦需要增加的電流及因此操作成本。

始終存在致使高密度、快速、靈活及異步工作實體輸送、高傳遞容量、工作實體碰撞之避免及低集塵(特別用於潔淨室環境中)之一最佳化之輸送解決方案的需求。

為解決針對高速工件輸送之需要及工件碰撞之避免之間的內在衝突，且為增加生產能力，如目前所揭示之輸送機基礎結構被劃分至分段，各具有實質上等效於一工作實體或工件載體之長度之一長度。若一輸送機分段已由另一工件載體佔據，則阻止一工件載體進入該分段。此碰撞避免係自發的，其嵌入該輸送機本身中，允許所派遣工件載體之一自然、獨立流，係與在先前技術中所實踐之集中控制模型不同之一方法。藉由將先前技術之較長輸送機運行劃分至離散分段中，且藉由致能輸送於分段之間之工件載體的智能、局部控制，針對所派遣之工作載體，避免了保存整個輸送機線運行的容量限制程序。

具有高流密度之工件載體可自發地自埠發送至埠。隨著局部化、基於分段之感測及輸送機控制的使用，載體可佔據鄰近分段(若所需要)，且可在一先到先做或「自然」基礎上穿過節點。

於連續輸送機分段上之工件載體可如何緊密(稱為「堆疊」之一概念)部分取決於工件載體行進速度，亦即，輸送機速度。在先前技術中，對一工件載體進入已由另一工件載體佔據之一區域中的禁止要求行進載體的大量間隔以確保足夠停止距離，以避免碰撞。速度越高，停止距離越大，其引起較少流密度。先前技術中之停止(或啟動)距離上之限制係使用滾筒驅動一輸送機上之工件載體之一結果。又此 等滾筒先前被認為達成潔淨、無微粒移動的唯一方式。在追求潔淨輸送中，當有必要突然停止以避免與一下游、固定工件載體碰撞時，滾筒輸送機利用適中輸送速度以避免滾筒上之工件載體的滑動。因此，工件載體與驅動輸送機滾筒之間之限制的接觸表面的物理現象需要此等適中速度。

使用彈性表面接觸件，摩擦力隨著增加之表面接觸而增加。因此，為增加輸送機驅動與工件載體之間之驅動表面接觸，目前所揭示之系統及方法中之一輸送機之輪或滾筒補充有高摩擦係數之皮帶。然而，當改良工件載體與經分段之輸送機之間之摩擦接合時，皮帶之引入可引入新微粒源，特別對於惰輪，如上所述。通過本文中所述之開發克服此等困難允許於潔淨製造環境中提供工件載體高加速及減速率之高速、皮帶傳動、局部地控制、分段之輸送機之引入。因此產生在高速度下之高流密度。

當速度係高且停止距離及啟動距離必須短時，工件載體之加速及減速率必須經限制以避免皮帶上之滑動、可產生污染微粒之一條件。通過結合輸送機分段驅動輪或滾筒使用一磁滯離合器，通過限制之加速及減速率達成集塵之先前控制。當一高速度馬達之突然啟動加速或快速停止將以其他方式引起輸送機與工件載體之間之摩擦力超過時，離合器作為驅動滾筒轉矩上之一限制裝置且可設定以脫離。當未超過慣性之一最大值時，此一離合器之應用允許工件載體之質量及速度可變化(例如，一全工件載體對一空工件載體之間之重量區別)。

然而，經發現，一驅動輸送機皮帶與一工件載體之間之彈性表面接觸件之使用提供經改良之摩擦接合，因此消除用於限制摩擦力之基於離合器之技術之需要。可採用經程式化至局部分段控制器中之較高加速及減速率，因此改良生產量同意避免碰撞。可通過伺服作用或藉由預界定及限制開口環步進馬達加速或減速率達成此馬達控制。因 此，在一無微粒潔淨製造環境中，具有藉由具有控制之高加速及減速率之開口環步進馬達或伺服馬達驅動之皮帶之分段之輸送機引起高密度及高速度處之工作載體之一無碰撞流，其引起增加之輸送機生產量。

在一特定實施例中，為達成一驅動皮帶與一各自輸送機區段內之輪(及尤其惰輪)之間之經改良之接觸，皮帶下面所安置之各輪中形成一周邊凹槽。接著，材料之一柔軟、易彎環安置於該凹槽中。該環凸出略微超過該惰輪之***。

當驅動皮帶穿過各自惰輪之上時，該易彎環之略微凸出引起與驅動皮帶之經改良之接觸。惰輪一直與驅動皮帶協調轉動。因此，顯著地減少集塵且與先前所描述之蛇形皮帶實施例相比亦較少驅動馬達轉矩需要。

該易彎環經組態以當藉由一載體卸載時，達成與上覆皮帶之持續接觸。當一載體或其他經輸送之物品鄰近一各自輪或在一各自輪之上方時，壓縮該易彎環且皮帶與相對堅硬輪***或周邊本身接觸，其增加皮帶與輪之間之接觸區域。因此，選定該易彎環材料及輪***上方之凸出延伸區以當卸載時達成易彎環與皮帶之間之一高程度皮帶接觸，及當裝載時達成輪***及皮帶之間之直接接觸。使用一相對低程度之所需要之轉矩及使用經最小化之集塵來達成載體之快速加速及減速。

10‧‧‧惰輪輪轂/輪

11‧‧‧前邊緣

12‧‧‧狹槽

13‧‧‧後邊緣

14‧‧‧易彎材料之環/易彎環

16‧‧‧軸承總成

18‧‧‧軸

20‧‧‧支撐軌道框架/驅動軌道

22‧‧‧皮帶

24‧‧‧對稱軸

26‧‧‧返回惰輪/一對返回輪

28‧‧‧驅動棒/驅動軸件

30‧‧‧對齊中心輪

32‧‧‧中間惰輪

40‧‧‧突出

42‧‧‧突出

50‧‧‧驅動輪

52‧‧‧狹槽

54‧‧‧主軸

56‧‧‧馬達

58‧‧‧局部控制器

60‧‧‧感測器

62‧‧‧記憶體

圖1係自一支撐軌道框架安置之根據本發明之一輪之一剖視圖；圖2係圖1之輪之一詳細圖；圖3係圖1之輪之一剖視圖，其進一步繪示該輪中之一易彎環頂部上之一驅動皮帶的位置。

圖4係圖3之輪之一詳細圖。

圖5係根據本發明之其中繪示一驅動皮帶、至少一驅動輪及複數個惰輪之一輸送機驅動分段之一透視圖；圖6係處於裝載情況下之圖3之輪之一詳細圖；圖7係顯示於圖5中之在對立端上具有平面突出之一驅動軸件之一端之一平面圖；及圖8係根據本發明之一實施例之一驅動輪之一側透視圖。

圖1繪示與一支撐軌道框架20相關之所安置之一惰輪輪轂10。本文中亦簡稱為「該輪」之該輪輪轂可係由耐受諸如聚氨酯之集塵之一堅硬、彈性材料所形成。輪10之一較佳實施例採用75 Shore D鑄件靜電放電(ESD)聚氨酯棒，其在鑄造後，經加工至所要之形狀及大小。或者是，諸如ESTANE(俄亥俄州克里夫蘭市Lubrizol Advanced Materials,Inc.之商標)58137 TPU之一67D聚酯型熱塑性聚氨酯(TPU)。所繪示實施例中之該輪實質上係圓柱形，但，如圖2中可更清楚地所見，其具有相對於於各自軸18內對齊中心之一對稱軸24傾斜之一外周邊。特定言之，一前邊緣11或一後邊緣13處之輪的半徑小於較接近輪之中間之所量測的半徑。半徑之此區別可係線性或彎曲，後者在圖中繪示。

輪10係安置於習知設計及組態之一軸承總成16之上。圍繞自一驅動軌道20突出之一軸18來安置該軸承總成16。該軸在圖中顯示為螺紋式，且可與驅動軌道中之一互補螺紋孔匹配。然而，該軸可以任何習知方式相對於驅動軌道機械地匹配。該驅動軌道在圖1中顯示為L型，但其可以各種形狀提供。

圍繞輪外周邊表面安置一狹槽12。如圖2中所顯示，該狹槽持續圍繞輪之周邊以形成其中提供易彎材料之一環14之一環型或圓形狹槽。在一第一所繪示之實施例中，易彎材料之該狹槽及該環之橫截面 係矩形，但在其他實施例中可利用不同幾何圖形。例如，在另一實施例中，該易彎環可具有一圓形或一卵形橫截面，同時該狹槽具有一互補半圓或半卵形橫截面。易彎環經較佳地組態以具有於輪之徑向方向中量測之一最大厚度，其略微大於該狹槽之最大深度。因此，通常地該易彎環延伸超過該輪本身之近表面一距離x。在一第一實施例中，該易彎環具有聚氨酯，但可使用其他柔軟、可壓縮、非易碎材料。此等其他材料可包含聚矽氧及橡膠。在一較佳實施例中，伸展該易彎環且強制該易彎環於輪外周邊上方且至該狹槽中。靜止之易彎環之直徑可小於狹槽之直徑使得在一實施例中通過摩擦配合保持該易彎環於原位。在其他實施例中，通過一黏劑結合或通過機械方式(包括易彎環之側壁與狹槽之側壁之間之摩擦配合(未顯示))保持該易彎環於原位。

在圖3中，跨易彎環14之頂部所安置之一驅動皮帶22以橫截面顯示。此亦於圖4中較詳細地描繪。當各自輪上或接近各自輪無輸送之載體或其他物品時，皮帶下表面至少與易彎環14之上表面或外表面保持接觸，藉此各自輪可立即且在無滑動之情況下回應皮帶之移動。萬一一輪在其之一外延伸區中具有一缺陷或若一軸18係彎曲或以其他方式非垂直於一驅動軌道，則皮帶有時亦可與該輪本身之外表面接觸。然而，易彎環旨在確保皮帶一直與各自輪直接地或間接地接觸以便避免來源於皮帶與輪之間之間歇接觸之集塵。

針對驅動皮帶22之材料之選取部分取決於硬度計及導電率之所要值。Pyrathane 83ASD及Stat-Rite S-1107係典型皮帶材料。Pyrathane之一皮帶係有點較軟且更有彈性，但同時地係較不導電。Stat-Rite之一皮帶較堅硬且較無彈性，但同時地係較導電。較佳地，伸展彈性皮帶至該等輪上且通過與全部惰輪及驅動輪之互動用以直接地輸送上覆工件載體。

一旦一載體(未顯示)係於一特定輪10之上方或接近該特定輪10之 皮帶22上，載體之重量足以壓縮易彎環14使得皮帶22下表面與輪外表面之相對堅硬表面直接接觸，如圖6中所顯示。當載體之重量穿過各輪且相反針對該載體提供一水平、平穩輸送時，輪之硬度確保皮帶不下沈。此外，與皮帶較低延伸區與易彎環周邊之間之接觸面積相比，皮帶較低延伸區與輪周邊之間之所增加之接觸面積確保足夠摩擦力以達成皮帶與輪之間之精確旋轉循軌。

在圖5中，可見一驅動分段之一實施例之一透視圖。藉由其包括之許多驅動分段來判定一輸送機分段之長度。一驅動分段經界定為一工件載體之長度加上自由空間之一些邊界。因此，取決於該實施例，一輸送機分段可經組態以保持一個、兩個或更多個驅動分段。使用此模組方法，接著一輸送機應用之設計者使用各保持整數數量之驅動分段之長度之標準、預製作之模組構造輸送機布局。此方法學允許簡單輸送機網路設計及組裝。

在圖中，相對於一驅動軌道20提供輪10之一線性陣列。在所繪示之實施例中，該陣列之各此輪10具有一周邊地安置之易彎環14以改良該等輪與一上覆、持續皮帶22之間之旋轉接觸之程度。在此所繪示之實施例中，跨輸送機分段之線性陣列中之輪10之各者係惰輪。換言之，線性陣列之輪之各者未經供能且通過與上覆皮帶之持續接觸而旋轉。注意在其他、較經簡化之實施例中，惰輪***，如圖1及圖2中所顯示，但其等不具有一狹槽12或一易彎環14。進一步又在又其他實施例中，一些或全部惰輪具有與軸18平行之一平整外表面，一各自皮帶22在其上滾動。

在線性陣列之對立端處，皮帶22圍繞各自端輪10在朝向兩個較低返回惰輪26之實質上對立方向中略微小於180度延伸。該皮帶圍繞此等返回輪且因此圍繞一驅動棒28之上表面大約90度延伸。在一替代實施例中，返回輪26及驅動棒28之各者亦可具有一各自易彎環14，同 時在其他實施例中，一個或兩個不具有一各自易彎環。

在此所繪示之實施例中，根據此項技術中之熟知技術，藉由一馬達56(圖8)選擇性地旋轉該驅動棒28。藉由馬達之操作藉由旋轉該驅動棒之一端，輸送機分段上之對立側上之協作皮帶一致旋轉，因此引起安置於兩個皮帶之一上表面上之一載體之線性、平坦輸送。一實施例中之驅動軸件係允許輸送機軌道之兩側之間之某種程度未對準之軸件及萬向聯結器之一組合。例如，相對於圖7，驅動軸件28在各端上具有一平整突出，在垂直於對立、遠端上之突出42之圖式中之近端上具有突出40。驅動軸件之一端上之平整突出配合於安裝於一軌道框架20(未顯示於圖8中)之一各自驅動輪50之中心之一狹槽52中且藉由一主軸54至之一馬達56，如圖8中所顯示，同時該對立平整突出配合於其他平行軌道框架上之一各自從屬輪之中心之一各自狹槽。該從屬輪可通過此項技術中之所熟知之軸承方式圍繞一各自主軸旋轉。

通過使用一常用驅動軸件，輸送機分段之兩側上之輸送機皮帶係同步的，以相同速度運行，因此當皮帶跨輸送機分段行進時，避免皮帶之頂部上之工件載體之纏繞。如圖8中所顯示，驅動軸件之對立端上之驅動輪50及從屬驅動輪具有相同圓柱形形狀。重要地，各驅動輪之半徑R係相同的。此確保以相同速度驅動左皮帶及右皮帶，儘管皮帶至各者之正常趨向藉由在惰輪之***之最高點上定位其等來尋求其本身之最高張力。

歸因於材料變動、輸送機裝載加速、摩擦係數區別、皮帶大小及主要地輪軸件對準中之不完全使得非全部輪旋轉軸與彼此完全平行，左皮帶及右皮帶通常地將以其他方式以略微地不同速度運行。此將在其中此速度差異可導致摩擦及集塵之潔淨環境中係有疑問的。圓柱形形狀之驅動輪抵消此趨向且均衡兩側上之皮帶速度。

在一替代方法中，輸送機皮帶係具有朝向在其上游進之工件載 體之向上呈現之一平整表面之一定時皮帶。驅動皮帶之內表面具有與惰輪之外周邊上之互補機械特徵協作之機械特徵。特定言之，在此一定時皮帶之一第一實施例中，皮帶之內表面具有諸如錐形或截頭錐形之突出之突出之一線性及持續陣列且惰輪具有互補形狀之孔徑之一線性陣列，各經組態以當皮帶突出穿過惰輪之上時接收各自皮帶突出。 在一第二實施例中，圍繞惰輪之外周邊之一線性帶中形成諸如錐形或類似錐形突出之突出，同時皮帶具有經調適以當皮帶行進於惰輪之上方時接收惰輪突出之互補形狀及經間隔之孔徑。在此第二實施例中，皮帶孔徑可延伸通過皮帶至工件載體接觸表面或若皮帶具有足夠厚度，則可僅部分地延伸通過該皮帶。然而，在任何此實施例中，該定時皮帶確保惰輪與上覆皮帶同步持續旋轉且通過避免間歇皮帶/輪接觸來避免微粒。

在所繪示之實施例中，提供對齊中心輪30以於皮帶上將載體對齊中心。在驅動棒28之放置引起線性陣列中之鄰近惰輪10之間之一間隙處亦可採用一或多個中間惰輪32。如所揭示，此等中間惰輪可或可不具有易彎環。

在其他實施例中，與所顯示之驅動棒相反，線性陣列之任一端處之輪10之一者可經供能或返回輪26之一者可經供能。然而，此將需要諸如輸送機分段之對立側上之馬達之驅動元件。根據啟動或停止時間及旋轉速度保持兩個此等馬達完全地同步可係一技術挑戰。

替代地，驅動棒28可代替諸如輪之線性陣列之一端處之輸送機分段之對立側上之多對輪10或一對返回輪26。接著，如圖5中所描繪之驅動棒將由輸送機分段之對立側上之惰輪代替。進一步又可採用複數個驅動棒，儘管此又將需要與各此驅動棒相關聯之驅動元件之精確同步。

在所繪示之實施例中，為避免一工件載體與皮帶之間之滑動， 未結合馬達56採用一磁滯離合器。此外，各驅動分段具有用於偵測該輸送機分段內之一或多個工件載體之存在之至少一感測器60且較佳地至少兩個感測器。在至少兩個感測器之情況下，一個感測器可提供於接近各自驅動分段之各端使得各自控制器可得知一工件載體是否佔據該驅動分段。此等感測器具有習知設計且可包含光學、磁性、無源共振電路、重量、機械干擾及導電感測器之使用。

與一輸送機驅動分段相關聯之一或多個感測器較佳地與關聯於各自輸送機分段驅動馬達56之一局部控制器58通信。該控制器較佳地具有一通信界面且諸如經由習知設計及組態之一通信匯流排與其上之任一側上之至少一輸送機分段之各自控制器通信。在一實施例中，該匯流排係一工業控制器區域網路(CAN)匯流排。顯然地，若該輸送機分段係一埠，諸如至一處理工具之一界面，則該各自控制器將僅與一個鄰近輸送機分段控制器通信。

多種特定分段控制器與一各自更高位準控制器通信。此較高位準控制器具有針對其負責之輸送機分段之一映射，且經程式化以能夠指引如何投送此輸送機領域內之各載體。使用此資訊以控制個別特定分段控制器之回應。取決於整個輸送機系統之複雜性及大小，可採用更高階控制器之多種為準。

因此，針對各驅動分段之控制器能夠偵測一鄰近驅動分段中之一工件載體之存在且可諸如藉由減速該工件載體且促使其至一停止以避免與一下游載體之一碰撞而對一新工件載體之接收反應。該控制器亦能夠偵測一鄰近驅動分段中之一先前固定工件載體之移動且可自一停止之條件藉由減速包含於各自分段內之一工件載體來回應或可繼續輸送該工件載體通過該驅動分段至下一個驅動分段。

較佳地將加速及減速輪廓儲存於與局部輸送機分段控制器相關聯之一記憶體62中。此等輪廓可係用於改變工件載體速度之標準輪廓 或可係最大值，藉此該控制器經程式化以在根據各自輸送機驅動分段內及/或鄰近輸送機驅動分段內之載體之存在或缺乏調整工件載體速度中具有靈活性。

如上所定義之驅動分段具有約與一工件載體相同之長度，加上自由空間之一小量測。因此，就一發現於半導體製造環境中之300mm晶圓載體來說，一驅動分段之長度係0.5米。一半導體製造環境中之一典型載體具有約8.5kg之一質量且可以每秒約1米之速度行進。必須選定一減速輪廓以在此質量進入一下游、經佔據之驅動分段之前使其能夠減速至一停止。在一第一實施例中，此減速輪廓大體上係線性。

然而，在一進一步實施例中亦預想使用一指數減速輪廓，其中起初速度改變率係緩慢但在接近停止點之結尾處其係較快。此利用步進馬達之速度轉矩特性；大體上，步進馬達中之馬達轉矩在低速度處較高。

儘管在前述中已談論減速輪廓，可針對加速採用類似輪廓以在無滑動之情況下達成最大加速。此控制器加速及減速輪廓使工件載體在無碰撞之可能性之情況下在非常密集流環境中以高速度行進。

儘管在前述中僅鄰近驅動分段及/或輸送機分段經描述為互相通信，一較大範圍之鄰近驅動或輸送機分段之控制器可互相通信以能夠較快回應於分段佔據變化且能夠預測回應。

鑒於含於上文中之教示，可由該等熟習此項技術者做出本文中所描述及所繪示之細節、材料及部件與步驟之配置中之眾多變化。因此，經瞭解，任何以下申請項範圍未限制於本文中所揭示之實施例且可包含非特定地描述之實務且將在法律允許下盡可能廣泛解釋。

10‧‧‧惰輪輪轂/輪/惰輪

14‧‧‧易彎環

20‧‧‧支撐軌道框架/驅動軌道

22‧‧‧驅動皮帶

24‧‧‧對稱軸

26‧‧‧返回惰輪

28‧‧‧驅動棒

30‧‧‧對齊中心輪

32‧‧‧中間惰輪

Claims (8)

1. 一種輪，其用於支撐一皮帶傳動輸送機系統中之一驅動皮帶，該輪包括：一實質上圓柱形輪輪轂，其具有一徑向地延伸外周邊，該外周邊具有一前邊緣及一後邊緣；一狹槽，其經形成於該前邊緣與該後邊緣之間之該輪輪轂外周邊；及易彎材料之一環，其經安置於該狹槽內；其中在該徑向方向中量測之易彎材料之該環的最大厚度大於在該徑向方向中量測之該狹槽的最大深度。
2. 如請求項1之輪，其中該狹槽具有一矩形橫截面。
3. 如請求項1之輪，其中易彎材料之該環具有一矩形橫截面。
4. 如請求項1之輪，其中該輪輪轂具有大於易彎材料之該環之一硬度之一硬度。
5. 如請求項1之輪，其中易彎材料之該環係摩擦配合於該狹槽內。
6. 如請求項1之輪，其中該輪輪轂之該外周邊的直徑自該前邊緣及該後邊緣朝向該周邊的中心增加。
7. 如請求項1之輪，進一步包括一軸承總成。
8. 一種輸送機分段，其包括：一驅動軌道；複數個惰輪，其等自該驅動軌道以一線性陣列安置；一驅動輪，其自該驅動軌道安置；及一持續皮帶，其經安置於該複數個惰輪之上方且圍繞該驅動輪之至少一部分；其中該複數個惰輪之各者包括一周邊地形成之狹槽及經安置 於該狹槽內且自此突出之易彎材料之一環，易彎材料之該環與該皮帶之一下側接觸，該等輪具有大於易彎材料之該環之硬度之一材料硬度。