TW201436996A - 拉伸薄膜的製造方法及薄膜拉伸設備 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種不在薄膜上引發擦傷或波紋板狀的褶皺而向傳送方向拉伸之拉伸薄膜的製造方法及薄膜的拉伸設備。藉由低速輥組和高速輥組的輥圓周速度差向傳送方向拉伸薄膜。在預熱室中利用加熱風噴吹拉伸前的薄膜，以對薄膜進行預熱。與以往的藉由預熱輥向薄膜導熱之直接加熱相比，由於藉由加熱風來對薄膜進行加熱，因此不產生由熱膨脹引起之波紋板狀的褶皺。由於不產生褶皺，因此擦傷的產生得到抑制。

Description

拉伸薄膜的製造方法及薄膜拉伸設備

本發明係有關一種藉由一對輥的圓周速度差向傳送方向拉伸薄膜之拉伸薄膜的製造方法及薄膜拉伸設備。

通常，熱塑性樹脂薄膜的製造方法被大致分為溶液製膜法和熔融製膜法。溶液製膜法中，使溶劑中溶解有熱塑性樹脂之濃液(dope)從模具流延到支撐體例如冷卻滾筒或乾燥帶上，之後進行剝離以作為熱塑性樹脂。並且，熔融製膜法利用擠出機熔融熱塑性樹脂之後，從模具向支撐體例如冷卻滾筒上擠出，之後進行剝離以作為熱塑性樹脂。

藉由該些方法製膜之熱塑性樹脂薄膜例如纖維素醯化物薄膜，例如日本專利公表平6-501040號公報、日本專利公開2001-42130號公報所記載，通常沿縱向(傳送方向)、橫向(寬度方向)拉伸，藉此顯現出面內延遲(Re)、厚度方向的延遲(Rth)。藉此，當用作液晶顯示裝置的相位差薄膜時，能夠擴大視角。

縱向拉伸熱塑性樹脂薄膜時，利用複數根預熱輥對熱塑性樹脂薄膜進行預熱之後，藉由一對拉伸輥的圓周速度差進行縱向拉伸加工。此時，熱塑性樹脂薄膜接觸到複數根預熱輥，從而存在薄膜表面產生擦傷或產生褶皺之問題。因此，在日本專利公開2008-213332號公報的拉伸薄膜的製造方法中，依據熱塑性樹脂薄膜接觸各輥前後的溫度變化，使複數根預熱輥和拉伸輥的圓周速度隨著朝向下游而逐漸加速，而向各預熱輥之間賦予適當的張力來抑制擦傷和褶皺的產生。具體而言，藉由熱塑性樹脂薄膜接觸預熱輥前後的溫差△T乘以一定係數來求出下游側的預熱輥相對於上游側的預熱輥增加之速度量。並且，將熱塑性樹脂薄膜接觸各預熱輥之時間設在0.5秒以上10以下的範圍。

然而，最近越來越要求液晶顯示裝置的輕質化、薄型化及高品質，對於所使用之熱塑性樹脂薄膜亦要求薄至例如25μm~100μm左右的高品質的薄膜。當藉由縱向拉伸來製造該種薄型熱塑性樹脂薄膜時，採用如日本專利公開2008-213332號公報的藉由預熱輥進行預熱之方法時存在局限性，會在薄膜表面產生擦傷或產生褶皺，因此要求對其進行改善。

本發明的目的為提供一種能夠與熱塑性樹脂薄膜的薄型化對應，且不在熱塑性樹脂薄膜上引發擦傷或褶皺的拉伸薄膜的製造方法及薄膜拉伸設備。

本發明的拉伸薄膜的製造方法具備拉伸步驟(步驟A)及預熱步驟(步驟B)，向傳送方向拉伸由玻璃化轉變溫度為Tg之熱塑性樹脂構成之帶狀薄膜來製造拉伸薄膜。步驟A中，藉由在傳送方向上分開配置之低速輥和以高於低速輥的圓周速度旋轉之高速輥來向傳送方向拉伸薄膜。低速輥與薄膜接觸而將薄膜加熱至Tg℃以上(Tg+20)℃以下範圍內的拉伸溫度Te。步驟B中，在步驟A之前向預熱室內部供給加熱風來將薄膜預熱至(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內。

藉由高速輥將經由低速輥之薄膜冷卻至(Tg-100)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內為較佳。

預熱室內的薄膜的張力在20N/m以上200N/m以下的範圍內為較佳。

預熱室在傳送方向上被劃分為複數個預熱區域，預熱溫度從被劃分為複數個預熱區域的上游側朝下游側上升，相鄰之下游側預熱區域與上游側預熱區域的溫差為50℃以下為較佳。

步驟B中的薄膜掛繞於改變傳送方向之複數個傳送方向變更構件上為較佳。

傳送方向變更構件為自由輥或轉向桿為較佳。

傳送方向變更構件在傳送方向上被劃分為複數個組，溫度從每一組的上游側開始逐漸向下游側上升為較佳。

相鄰之下游側的組和上游側的組的傳送方向變更構件的溫差為50℃以下為較佳。

本發明的薄膜拉伸設備具備縱向拉伸部、低速輥、高速輥及預熱部，並藉由向傳送方向拉伸由玻璃化轉變溫度為Tg之熱塑性樹脂構成之帶狀薄膜來製造拉伸薄膜。縱向拉伸部向傳送方向拉伸薄膜。低速輥存在於縱向拉伸部，且藉由與薄膜接觸來將薄膜加熱至Tg℃以上(Tg+20)℃以下的拉伸溫度Te。高速輥以高於低速輥的圓周速度旋轉，從而向傳送方向拉伸薄膜。高速輥在傳送方向上與低速輥分開配置於縱向拉伸部。預熱部向預熱室內部供給加熱風來將薄膜預熱至(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下。預熱部配置於縱向拉伸部的上游。

不同於如同以往藉由與預熱輥接觸來加熱熱塑性樹脂薄膜之方法，依本發明，不產生擦傷或因預熱輥上的薄膜膨脹引起之波紋板狀的褶皺，且能夠與熱塑性樹脂薄膜的薄壁化對應。

10‧‧‧薄膜拉伸設備

11、51、63、71‧‧‧預熱部

12‧‧‧縱向拉伸部

13‧‧‧前期製程裝置

14‧‧‧後期製程裝置

15‧‧‧薄膜

16‧‧‧張力調節部

17a、17b‧‧‧自由輥

18‧‧‧張力輥

19‧‧‧位移機構

20、50、60、74‧‧‧預熱室

25、61‧‧‧自由輥

31‧‧‧供氣噴嘴

32‧‧‧排氣噴嘴

33‧‧‧導管

34、72‧‧‧送風機

35、73‧‧‧溫度調節器

36‧‧‧加熱風

41‧‧‧低速輥組

41a‧‧‧低速輥

41b、42b‧‧‧夾持輥

42‧‧‧高速輥組

42a‧‧‧高速輥

43‧‧‧冷卻輥

49‧‧‧隔板

50a、50b、50c‧‧‧預熱區域

62a、62b、62c‧‧‧調溫機構

70‧‧‧轉向桿

圖1係表示本發明的薄膜拉伸設備的一例之概要側視圖。

圖2係表示將預熱室劃分為複數個之其他實施形態的薄膜拉伸設備的一例之概要側視圖。

圖3係表示對預熱室內的自由輥進行調溫之其他實施形態的預熱室之概要側視圖。

圖4係表示利用轉向桿之其他實施形態的預熱室之概要側視圖。

圖5係表示拉伸溫度Te與預熱溫度Tp的適當範圍之曲線圖。

如圖1所示，本發明的薄膜拉伸設備10具備預熱部11及縱向拉伸部12。薄膜拉伸設備10的入口側連接有前期製程裝置13，出口側連接有後期製程裝置14。作為前期製程裝置13，有未圖示的製膜設備、薄膜送出裝置等。作為製膜設備使用眾所周知的溶液製膜設備、熔融製膜設備等。不同於直接從製膜設備送出薄膜15時，薄膜送出裝置從製膜之後捲取成卷狀之輥薄膜牽引薄膜15來供給薄膜15。作為後期製程裝置14，有在縱向拉伸之後進行橫向拉伸時使用之夾子拉幅機和薄膜捲取裝置等。繼縱向拉伸之後緊接著進行橫向拉伸時，省略夾子拉幅機，薄膜15被薄膜捲取裝置捲取成卷狀。

拉伸之薄膜15只要是熱塑性樹脂薄膜即可，例如適宜用於相位差薄膜等的光學薄膜之纖維素醯化物或降冰片烯樹脂、丙烯酸、聚碳酸酯製薄膜15為較佳。

前期製程裝置13與薄膜拉伸設備10之間設置有張力調節部16。張力調節部16藉由位移機構19使自由輥17a與自由輥17b之間的張力輥18進行升降，以將預熱部11內的薄膜15的張力恆定維持。預熱部11內的薄膜張力在20N/m以上200N/m以下的範圍內為較佳。若為20N/m以上，則不會產生自由輥25的旋轉不良，薄膜15上的擦傷得到抑制。並且，若為200N/m以下，則預熱部11內不會產生縱向拉伸，且在縱向拉伸部12上進行適當的縱向拉伸。另外，上述薄膜張力(單位：N/m)為每1m寬的張力(單位：N)。

預熱部11具備預熱室20。預熱室20內沿上下方向分開配置有複數個自由輥(傳送方向變更構件)25。薄膜15交替捲繞在該些自由輥25上，藉此薄膜15在各自由輥25之間沿上向方向傳送，預熱室20內的薄膜路徑(通道)設定得較長。

預熱室20的薄膜通道長度還取決於預熱溫度Tp和薄膜15的傳送速度，但例如在5m以上50m以下的範圍為較佳。自由輥25，例如直徑為80mm，且因薄膜15的掛繞，使得薄膜15與自由輥25之間的接觸面積變小。自由輥25的直徑在40mm以上150mm以下的範圍為較佳。若為40mm以上，則不會在自由輥25上產生撓曲，且由撓曲引起之旋轉不均和瑕疵得到抑制。並且，若為150mm以下，則與自由輥25之間的接觸時間處於適當的範圍內，除褶皺得到抑制之外，由自由輥25的旋轉不良引起之薄膜的擦傷亦會得到抑制。自由輥25的外周面被鍍上硬鉻為較佳。藉由實施鍍硬鉻，與薄膜15的黏附性得到提高，且薄膜15變得不易打滑。

預熱部11內，例如在上側配置有供氣噴嘴31、下側配置有排氣噴嘴32。供氣噴嘴31及排氣噴嘴32上經由導管33連接有送風機34及溫度調節器35。溫度調節器35將作為加熱介質的例如空氣加熱至所希望的溫度。送風機34經由導管33將溫度被溫度調節器35調節之空氣送到供氣噴嘴31。從供氣噴嘴31送出加熱空氣，並藉由該加熱風36將預熱部11內的薄膜15預熱至一定溫度。加熱風36在預熱室20內從薄膜15的側方 開始迂迴進入，並對薄膜15的整個上表面及下表面進行預熱。

需要將藉由加熱風36預熱之預熱溫度Tp設為低於能夠拉伸之溫度(拉伸溫度)Te的溫度。為此，將薄膜15的玻璃化轉變溫度設為Tg時，向預熱部11內部供給加熱風36來將薄膜15預熱至(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內的一定溫度。拉伸溫度Te在Tg℃以上(Tg+20)℃以下的範圍內。並且，從供氣噴嘴31吹出之加熱風的速度在2m/sec以上15m/sec以下的範圍內為較佳。若為2m/sec以上，則能夠均勻地保持預熱室20的溫度，且不產生拉伸不均。並且，若為15m/sce以下，則不會產生由薄膜15的擺動引起之擦傷。

經預熱部11被預熱至一定溫度之薄膜15被送往縱向拉伸部12。縱向拉伸部12具備低速輥組41、高速輥組42及冷卻輥43。低速輥組41具有低速輥41a和夾持輥41b。高速輥組42具有高速輥42a和夾持輥42b。從調溫介質循環部分別向低速輥41a、高速輥42a及冷卻輥43供給調溫介質例如油和加壓蒸汽。藉由該調溫介質的循環供給，低速輥41a、高速輥42a及冷卻輥43被設定成所希望的表面溫度。例如低速輥41a的溫度在Tg℃以上(Tg+20)℃以下的範圍內，高速輥42a的溫度在(Tg-100)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內，冷卻輥43的溫度在20℃以上(Tg-100)℃以下的範圍內。薄膜15與該些低速輥41a、高速輥42a及冷卻輥43接觸，藉此薄膜15被加熱或冷卻至與低速輥41a、高速輥42a及冷卻輥43的表面溫度相同的溫度。

雖然省略了圖示，但低速輥41a、高速輥42a及冷卻輥43上分別連接有馬達，並能夠以所希望的轉速旋轉。並且，藉由低速輥41a與高速輥42a之間的圓周速度差，薄膜15向傳送方向拉長而被縱向拉伸。低速輥41a和高速輥42a的“低速”、“高速”分別係指速度相對較低、相對較高。亦即，高速輥42a的圓周速度高於低速輥41a的圓周速度。低速輥41a和高速輥42a的圓周速度差依據縱向拉伸倍率得到適當變更，且將低速輥41a的圓周速度設定為例如20m/min以上80m/min以下的範圍內為較佳。藉由設成20m/min以上從而不降低製造效率。並且，藉由設成80m/min以下能夠確保薄膜15與低速輥41a的接觸時間，且可靠地進行加熱。

進行縱向拉伸時，縱向拉伸倍率在大於1.0且小於等於1.5 的範圍為較佳。當縱向拉伸倍率在大於1.0且小於等於1.5以下的範圍時，能夠抑制厚度不均，並能夠抑制所顯現出之延遲的變動。

預熱部11中，藉由將薄膜15預熱至(Te-40)℃以上，從而不會使利用縱向拉伸部12的低速輥41a對薄膜15進行加熱時的溫度上升量變得過大，且低速輥41a上的波紋板狀褶皺的產生得到抑制。並且，在預熱部11將薄膜15預熱至(Tg-5)℃以下，能夠不在預熱部11內拉伸薄膜15，而在縱向拉伸部12中均勻地拉伸。

在縱向拉伸部12中被縱向拉伸之薄膜15被後期製程裝置14的例如薄膜捲取機捲取成薄膜卷。

本實施形態中，向預熱室20送入加熱風36，並藉由加熱風36進行加熱，因此不同於以往的藉由預熱輥來導熱而進行之加熱，不會使薄膜15在預熱輥上因熱膨脹而成為波紋板狀，且褶皺和擦傷的產生得到抑制。尤其，如下薄膜的褶皺和擦傷得到抑制為較佳，亦即薄膜15被拉伸前的厚度在25μm以上100μm以下的範圍內，在25μm以上60μm以下的範圍內。

另外，若以相同溫度對一個預熱室20進行預熱，則自由輥25的溫度亦能夠變成接近預熱室50的室溫的溫度。因此，進入到預熱室50之薄膜15與升高至預熱室50的出口溫度之入口側的自由輥25接觸，因此可能出現因薄膜15熱膨脹而成為向薄膜寬度方向重複凹凸之波紋板狀的褶皺的現象。為防止該現象，必須抑制由自由輥25的導熱進行之加熱，盡可能縮小自由輥25的直徑，並縮小其包角。因此當薄膜傳送速度為40m/min時，將自由輥25的直徑設在40mm以上150mm以下的範圍內，以便即使藉由加熱風36加熱的自由輥25接觸薄膜15亦不會因熱膨脹而引起變形。實際上，有時自由輥25的溫度因藉由與連續送來之薄膜15(溫度低於預熱室20的溫度)接觸而變得低於預熱室20內的溫度，因此不會產生因薄膜接觸自由輥25而引起之熱變形。

上述實施形態中，以1個預熱室20對薄膜15進行加熱，但如圖2所示，亦可以由具有藉由隔板49將預熱室50向薄膜傳送方向劃分為複數個之預熱區域50a~50c之預熱部51進行加熱。另外，圖2中，對與上述實施形態相同的結構構件標註相同的元件符號。該第2實施形態中， 在各預熱區域50a~50c設置供氣噴嘴31、排氣噴嘴32、導管33、送風機34及溫度調節器35，並將各預熱區域50a~50c內的溫度設定成在薄膜傳送方向上逐漸升高。相鄰之預熱區域50a~50c之間的溫差例如在20℃以上50℃以下的範圍內。該溫差為20℃以上時，能夠將劃分個數減少至適當範圍來提高設備效率。並且，為50℃以下時，不會在相鄰之預熱區域50a~50c之間產生由空氣的交換引起之溫度不均，且不會有拉伸不均。

各預熱區域50a~50c的劃分個數依據預熱溫度Tp進行增減。例如，若以相同溫度對1個預熱室50進行預熱，則進入到預熱室50之薄膜15會與升高至預熱室50的出口溫度之入口側的自由輥25接觸，因此可能出現因薄膜15熱膨脹而成為向薄膜寬度方向重複凹凸之波紋板狀的褶皺的現象。為防止該現象，將各預熱區域50a~50c的預熱溫度Tp設定得較小，小至即使藉由加熱風36加熱之自由輥25與薄膜15接觸亦不產生因熱膨脹而變形之程度。並且，階段性地進行預熱，直至能夠藉由複數個預熱區域50a~50c進行縱向拉伸之溫度。

並且，可以採用圖3的預熱部63來代替將預熱室50劃分成複數個。預熱部63在1個預熱室60中，藉由調溫機構62a~62c向各自由輥61供給調溫介質，以調節每一組的自由輥61的表面溫度。此時，從入口側依次調高每一組的自由輥61的表面溫度。將各自由輥61的表面溫度設定為，不會因接觸薄膜15而產生由熱膨脹引起之波紋板狀的褶皺之溫度。另外，除對每一組進行調溫之外，可以對每個自由輥61進行調溫。此外，如圖2所示，對被劃分之預熱室50內的自由輥25同樣可以進行調溫。相鄰之下游側的組和上游側的組的自由輥61的溫差為50℃以下，最上游的組的自由輥61的溫度相對於預熱室50的外部室溫在+20℃以上50℃以下的範圍內。

上述各實施形態中，利用自由輥25、61將預熱室20、50、60內的薄膜通道長度設長。然而，如圖4所示，亦可以採用利用轉向桿70之預熱部71來代替自由輥25、61。此時，在轉向桿70上連接送風機72及溫度調節器73來向轉向桿70供給懸浮空氣。可以將懸浮空氣設定為與預熱室74的預熱溫度Tp相同，或設定成低於預熱溫度Tp。另外，圖3及圖4中，預熱室60、74具備圖1所示之送風機34及溫度調節器35，但省略 了圖示。並且，與圖2的實施形態相同，可以藉由將預熱室60、74劃分為複數個來形成預熱區域，並在該些各預熱室60、74的預熱區域設置送風機34及溫度調節器35，對每個預熱區域設定預熱溫度Tp，並將預熱溫度Tp設成從入口側逐漸向出口側升高。並且，與圖3的實施形態的自由輥61相同，可以對各轉向桿70或每一組進行來自各轉向桿70的懸浮空氣的溫度的變更，以設成從預熱室74的入口逐漸向出口升高。

上述實施形態中，作為縱向拉伸部12使用低速輥組41及高速輥組42，但不限於夾持式，亦可以將槽紋加工輥等高保持力輥用作低速輥及高速輥。並且，作為縱向拉伸部12採用利用上游側低速輥組41和下游側高速輥組42進行之1級縱向拉伸，但亦可以採用複數級縱向拉伸。

[實施例]

作為薄膜15使用厚度為55μm、寬度為600mm、Tg為145℃的纖維素醯化物薄膜，並進行了預熱、縱向拉伸及冷卻。縱向拉伸部12中，進行了利用上游側低速輥組41和下游側高速輥組42進行之1級縱向拉伸。作為前期製程裝置13使用薄膜送出機，從薄膜卷牽引薄膜15來向預熱部11送出。作為後期製程裝置14使用薄膜捲取機，捲取薄膜15來作 為薄膜卷。預熱部11中，在預熱室20內配設直徑為60mm的自由輥25，在該些自由輥上掛繞薄膜15，並將預熱室20內的薄膜通道長度設為20m。並且，供給加熱風36以進行預熱，直至達到所希望的薄膜溫度。將縱向拉伸倍率設為1.3倍、拉伸長度Le(參閱圖1)設為300mm、冷卻溫度設為100℃、並將薄膜傳送速度設為40m/min，如上述表1所示，改變預熱溫度Tp及拉伸溫度Te來進行實驗1~實驗17。另外，實驗1~實驗16中進行利用加熱室供給加熱風之預熱，實驗17中，藉由與預熱輥接觸而進行預熱。

針對所獲拉伸薄膜進行了擦傷、褶皺及拉伸不均等評價。藉由顯微鏡觀察擦傷，藉由目視觀察褶皺，藉此進行評價。當沒有擦傷及褶皺時作為優“A”，當擦傷及褶皺為能夠允許之等級時作為良“B”，當擦傷及褶皺不在允許範圍內時作為不合格“C”。關於拉伸不均，當5m長的樣片的長邊方向的最大厚度與最小厚度之差為3μm以下時作為優“A”，當超過3μm小於等於5μm時作為能夠允許之等級的良“B”，當超過5μm時作為不合格“C”。據實驗結果可知，在藉由加熱風進行預熱之實驗1~實驗16中，關於預熱溫度Tp，小於(拉伸溫度Te-40)℃及超過(Tg-5)℃時，評價出擦傷、褶皺及拉伸不均均為不合格“C”。藉此可知，預熱溫度Tp適宜在(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內。並且，可知拉伸溫度Te小於Tg及超過(Tg+20)℃時，評價出擦傷、褶皺及拉伸不均均為不合格“C”。藉此可知，拉伸溫度Te適宜在Tg℃以上(Tg+20)℃以下的範圍內。並且，藉由使薄膜接觸預熱輥來進行預熱之實驗17中雖未出現拉伸不均，但擦傷及褶皺都評價為不良“C”。

圖5係將上述合理範圍繪製成曲線圖之圖，用陰影表示之區域為本申請發明的合理條件範圍。縱軸為預熱溫度Tp(單位為℃)，以與Tg之差表示。例如“-10”係指(Tg-10)℃，“5”係指(Tg+5)℃。另外，與Tg之差為0(零)時記為“Tg”。橫軸為拉伸溫度Te(單位為℃)，以與Tg之差表示。例如“-5”係指(Tg-5)℃，“15”係指(Tg+15)℃。另外，與Tg之差為0(零)時記為“Tg”。如此，可知為進行均勻的拉伸，需要使拉伸溫度Te處於Tg℃以上(Tg+20)℃以下的範圍內，且需要將預熱溫度Tp設為(Tg-5)℃以下。並且可知，為了避免褶皺和擦傷的產生，預熱溫度Tp需要為(Te-40)℃以上。

10‧‧‧薄膜拉伸設備

11‧‧‧預熱部

12‧‧‧縱向拉伸部

13‧‧‧前期製程裝置

14‧‧‧後期製程裝置

15‧‧‧薄膜

16‧‧‧張力調節部

17a、17b‧‧‧自由輥

18‧‧‧張力輥

19‧‧‧位移機構

20‧‧‧預熱室

25‧‧‧自由輥

31‧‧‧供氣噴嘴

32‧‧‧排氣噴嘴

33‧‧‧導管

34‧‧‧送風機

35‧‧‧溫度調節器

36‧‧‧加熱風

41‧‧‧低速輥組

41a‧‧‧低速輥

41b‧‧‧夾持輥

42‧‧‧高速輥組

42a‧‧‧高速輥

42b‧‧‧夾持輥

43‧‧‧冷卻輥

Claims (10)

1. 一種拉伸薄膜的製造方法，其藉由向傳送方向拉伸由玻璃化轉變溫度為Tg之熱塑性樹脂構成之帶狀薄膜來製造拉伸薄膜，該拉伸薄膜的製造方法具備如下步驟：(A)藉由在前述傳送方向上分開配置之低速輥和以高於前述低速輥的圓周速度旋轉之高速輥向前述傳送方向拉伸前述薄膜之步驟，前述低速輥與前述薄膜接觸以將前述薄膜加熱至Tg℃以上(Tg+20)℃以下範圍內的拉伸溫度Te；及(B)在前述步驟A之前，向預熱室內部供給加熱風以將前述薄膜預熱至(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下範圍內之步驟。
2. 如申請專利範圍第1項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，藉由前述高速輥將經由前述低速輥之薄膜冷卻至(Tg-100)℃以上(Tg-5)℃以下的範圍內。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述預熱室內的前述薄膜的張力在20N/m以上200N/m以下的範圍內。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述預熱室在前述傳送方向上被劃分為複數個預熱區域，預熱溫度從被劃分為前述複數個預熱區域的上游側向下游側上升，相鄰之下游側預熱區域與上游側預熱區域的溫差為50℃以下。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述步驟B中的前述薄膜掛繞於改變前述傳送方向之複數個傳送方向變更構件上。
6. 如申請專利範圍第5項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述傳送方向變更構件為自由輥。
7. 如申請專利範圍第5項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述傳送方向變更構件為轉向桿。
8. 如申請專利範圍第5項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，前述傳送方向變更構件在前述傳送方向上被劃分為複數個組，溫度從每一組的上游側逐漸向下游側上升。
9. 如申請專利範圍第8項所述之拉伸薄膜的製造方法，其中，相鄰之下游側的前述組和上游側的前述組的前述傳送方向變更構件的溫差為50℃以下。
10. 一種薄膜拉伸設備，其藉由向傳送方向拉伸由玻璃化轉變溫度為Tg之熱塑性樹脂構成之帶狀薄膜來製造拉伸薄膜，該拉伸薄膜設備具備：縱向拉伸部，向前述傳送方向拉伸前述薄膜；低速輥，存在於前述縱向拉伸部且藉由與前述薄膜接觸來將前述薄膜加熱至Tg℃以上(Tg+20)℃以下的拉伸溫度Te；高速輥，以高於前述低速輥的圓周速度旋轉，從而向前述傳送方向拉伸前述薄膜，前述高速輥在前述傳送方向上與前述低速輥分開配置於前述縱向拉伸部；及預熱部，向預熱室內部供給加熱風來將前述薄膜預熱至(Te-40)℃以上(Tg-5)℃以下，前述預熱部配置於前述縱向拉伸部的上游。