TW201233993A - Method and system for measuring defect in glass ribbon - Google Patents

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TW201233993A
TW201233993A TW100145663A TW100145663A TW201233993A TW 201233993 A TW201233993 A TW 201233993A TW 100145663 A TW100145663 A TW 100145663A TW 100145663 A TW100145663 A TW 100145663A TW 201233993 A TW201233993 A TW 201233993A
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TW100145663A
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Shinji Fujii
Makoto Kurumisawa
Makoto Yoshikawa
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Asahi Glass Co Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

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Description

201233993 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種進行與玻璃帶内之缺陷相關之測定的 玻璃帶内缺陷測定方法及玻璃帶内缺陷測定系統,尤其關 於一種測定玻璃帶中之缺陷之高度方向位置等的破璃帶内 缺陷測定方法及玻璃帶内缺陷測定系統。 【先前技術】 提出有各種測定玻璃帶内之缺陷之高度方向位置等之方 法。 作為測定玻璃帶内之缺陷之高度方向位置之一般方法, 有於拍攝缺陷時調節相機之焦點而測定缺陷之高度方向位 置之方法。為方便起見將該方法稱作第!測定方法。圖i〇A 係模式性地表示第1測定方法之說明圖。第丨測定方法中, 如圖10A所示,於使光通過玻璃帶82之狀態下搬送玻璃帶 82而且,利用線陣相機Gine camera)8 1拍攝所搬送之玻 璃帶82之内部。若於玻璃帶82之内部存在缺陷以,則缺陷 83被拍攝。圖10B表示所拍攝之缺陷之圖像之例。圖i〇a 中,將缺陷83模式性地以長方形表示,Wl〇B中亦將玻璃 帶之圖像内出現之缺陷之像86以長方形表示,但缺陷之形 &並不限於長方形。其中,以下所示之圖nA、圖nB、 圖UA、圖12β、圖13、及圖14中亦將缺陷模式性地以長 方形表不。再者,圖1〇B所示之箭頭為玻璃帶Μ之搬送方 向。於利用線陣相機81拍攝玻璃帶82之内部時,調節相機 之焦點,使缺陷之存在位置與相機之焦點一致,測定自線 160767.doc 201233993 陣相機8 1至缺陷為止之絕 > 絕對距離’根據該距離計算缺陷之 局度方向位置。作為調節相 々凋郎相機之焦點而使缺陷之存在位置 與相機之焦點-致之方法,有_(以帥—F。㈣對 焦深度)法等。又,關於缺陷之尺寸,對所拍攝之圖像進 行圖像處理而測定缺陷之尺寸。 調節相機之焦點而測定社 一 州疋缺陷之尚度方向位置之方法及裝 置揭示於例如專利文獻1〜3等中。 广’作為測定玻璃帶内之缺陷之高度方向位置之其他一 般方法,有如下方法:利用入射至玻璃帶之光之反射光, 於2個位置拍攝到同—缺陷,根據其結果所得之2個像之位 置關係収缺陷之高度方向位置。為方便起見將該方法記 乍第/則定方法。圖1 i A係模式性地表示第2測定方法之說 明圓。第2測定方法中’例如圖11A所示,於玻璃帶82中, 使光於與線陣相機81同-側入射,其反射光到達線陣相機 81。而且,搬送玻璃帶82,利用線陣相機。拍攝玻璃帶μ 之内部。關於玻璃帶内之光之路徑,之後參照圓13之上段 所不之側視圖進行敍述。缺陷83隨著玻璃帶82之搬送而移 動,與反射前之光之路徑重疊時及與反射後之光之路徑重 疊時,分別於線陣相機81中作為像而被捕捉。其結果為, 即便缺陷83為1個,於所拍攝之圖像中亦映出2個像。圖 11B係第2測定方法中所拍攝之圖像之例。如圖i ΐβ所示, 對於同一缺陷映出2個像84、85。於第2測定方法中,根據 圖11B所例示之圖像中之2個像之位置關係,計算缺陷以之 高度方向位置。又,關於缺陷之尺寸,對所拍攝之圖像進 160767.doc 201233993 行圖像處理而測定缺陷之尺寸。再者,圖丨丨B所示之箭頭 為玻璃帶82之搬送方向。 利用入射至透明基板等之光之反射光,於2個位置拍攝 到同一缺陷,根據2個像之位置關係測定缺陷之高度方向 位置的方法及裝置揭示於例如專利文獻4〜6、8等中。 又’有如下方法:於玻璃帶之兩面,與第2測定方法同 樣地拍攝圖像,根據於玻璃帶之各個面所拍攝之圖像内之 像之位置關係測定缺陷之高度方向位置。為方便起見將該 方法記作第3測定方法。圖12A係模式性地表示第3測定方 法之說明圖。第3測定方法中,例如圖12A所示,於玻璃帶 82中,使光於與第1線陣相機8丨a同一側入射,其反射光到 達第1線陣相機81a 〇同樣地,使光於與第2線陣相機8“同 一側入射,其反射光到達第2線陣相機811> ^而且,搬送玻 璃帶82,利用第1線陣相機及第2線陣相機8ib分別拍攝 玻璃帶82之内部。於是,於第1線陣相機813中,與第2測 定方法之情形同樣地捕捉到2個像。又,於第2線陣相機 8U中亦捕捉到2個像。圖12B係第3測定方法中所拍攝之圖 像之例。第3測定方法中,如圖12B所示,獲得一線陣相機 自玻璃帶之上側所拍攝之圖像、及另—線陣相機自玻璃帶 之下側所拍攝之圖像。於各圖像中,分別映出2個像。第3 測定方法中,根據自玻璃帶之上側及下側所拍攝之各圖像 中之像之位置關係,計算缺陷83之高度方向位置。再者, 圖12B中,例示自上側所拍攝之圖像中像重疊之情形。 又’關於缺陷之尺寸,對所拍狀圖像進行圖像處理而測 160767.doc 201233993 定缺陷之尺寸。再者,圖丨2B所示之箭頭為玻璃帶82之搬 送方向。 自透明基板等之兩側拍攝圖像而求出缺陷之高度方向位 置之方法揭示於例如專利文獻7中。 第2 J丨疋方法及第3測疋方法中’以同一缺陷之像於圖像 内不重疊為條件’計算缺陷之高度方向位置。再者,第3 測定方法中,於如圖12Β所例示般在一圖像中像重疊之情 形時’利用另一圖像計算缺陷之高度方向位置即可。 以下,示出根據第2測定方法中所拍攝之圖像内之2個像 之位置關係,測定缺陷之高度方向位置之具體例。圖13係 表示所搬送之玻璃帶内之缺陷被線陣相機拍攝時之位置之 說明圖。圖13之上段所示之圖為玻璃帶之側視圖,圖^之 下段左側所示之圖為對應於圖13之上段所示之側視圖之俯 視圖又圖13之下段右側所示之圖表示拍攝所搬送之玻 璃帶82内之1個缺陷83時所獲得之圖像。
在2個。
而,入射之光到達玻璃帶82中之與入 到達線陣相機8 1之光自破 搬送之玻璃帶82入射。繼 與入射侧為相反側之界面 160767.doc
S 201233993 時,於該界面反射,通過入射側之界面而到達線 :卜到達線陣相機81之光之入射角_存於線陣相機81: 設置位置。藉由固定線陣相機81之設置 八射角α你 為固定值被決定。又’光之折射角Ρ依存於光之人射 玻璃帶82之折射率„而定。此處,人㈣α及折射 知’從而折射角β亦作為固定值被決^。關於折射率打、入 射角α及折射角β,式〇)之關係成立。 n=sina/sinp 式(1) 因此,若入射角a及折射率n為已知,則藉由關於β來解 開式(1)而求出折射角β。 又,圖13所示之例中,自玻璃帶82中之與線陣相機"為 相反側之面至缺陷83為止之高度方向位置d為測定對象。 線陣相機81持續拍攝玻璃帶82之内部。缺陷以與玻璃帶 82—併沿搬送方向移動。而且,若缺陷趵移動至與入射至 玻璃帶82並於界面反射後到達線陣相機8丨之光之路徑的最 初之交又位置91,則線陣相機81拍攝第丨個像(以下記作第 1像)作為缺陷83之像。進而,若缺陷83移動至與光之路徑 之第2次之交又位置92,則線陣相機81拍攝第2個像(以下 記作第2像)作為缺陷83之像。其結果,如圖13之下段右側 所示’所拍攝之圖像中出現第1像98及第2像99。 再者,於缺陷83為透光性之情形時,穿透缺陷83之光到 達線陣相機8 1而作為像被捕捉。於缺陷8 3為遮光性之缺陷 之情形時’缺陷83作為黑色之像映於圖像上。缺陷83無論 疋否為遮光性’於移動至位置91、92時均作為像被捕捉。 160767.doc 201233993 又,如圖13所不’將自第1像之拍攝位置91至第2像之拍 攝位置92為止之缺陷83之移動距離設為〜。又,將線陣相 機81之正面方向之拍攝位置之連線稱作中央線%。更具體 而吕,將線陣相機81之正面方向之拍攝位置之連線正投影 於玻璃帶82之界面而獲得之真料中央線%。根據於所拍 攝之圖像(參照圖13之下段右側)中,將第丨像卯及第2像99 正投影於相當於中央線95之圖像内之線96時的像98、99之 距離,可測定yd。 若根據圖像’已測定出yd之值,則利用折射角P,藉由 計算以下所示之式(2),可求出缺陷83之高度方向位置d。 d=yd/(2-tanp) 式(2) 又,將自線陣相機81朝向第丨像之拍攝位置91之直線正 投影於玻璃帶之界面之直線與t央線95所成之角設為θ。 此時,於所拍攝之圖像(參照圖13之下段右側)中,通過第1 像98及第2像99之各中心、之直線與線96所成之角亦為θ。再 者,此時,可以如下方式算出。以下,對圖13之下段 左側之俯視圖所示之yc進行說明後,對tane之計算進行說 明。 〇 圖13中,表示缺陷83自線陣相機81之正面偏移之情形。 於如圖14所示,假定缺陷83存在於線陣相機^之正面之情 形時’將第2像被拍攝之位置92正投影於玻璃㈣之界面 之位置與線陣相機81之透鏡部分正投影於玻璃帶82之界面 之位置的距離稱作拍攝距離ye。#中’拍攝距離^根據缺 陷83之高度方向位η而變化。鸱最大時,拍攝距離為最 I60767.doc 201233993 小值y〗,d為最小時,拍攝距離yc為最大值^(參照圖14之 上段所示之側視圖)。即,yi$yc^y2。如上所述,嚴格而 言yc依存於d,但7。亦可例如於yisycgy2i範圍内預先決 定。即便yc為不正確之值,只要為yiSyc$y22範圍之 值,則tan0僅包含可忽視之誤差。 又’將缺陷83自線陣相機之正面方向之偏移量記作 xcc(參照圖13之下段左側)。^。可根據於所拍攝之圖像(參 照圖13之下段右側)中自相當於中央線95之線96至第2像99 為止之距離而特定。即,於圖像内,對相當於自線96至第 2像99為止之距離之像素數進行計數。由於線陣相機8丨之 位置為固定,故而每1像素之實際空間中之距離亦作為固 定值被決定。藉由相當於自線96至第2像99為止之距離之 像素數乘以每1像素之實際空間中之距離,可算出、之長 度。 此處,tan0可利用yc&Xcc,如以下之式(3)所示,由近似 式表示。即,tane可利用yc及Xce且藉由式(3)之計算而求 出。 [數1] tan Θ —-—— « yd+yc y〇 式(3) 又,專利文獻8中,揭示有一面使玻璃板移動„面使光 入射至玻璃板,以該入射光及反射光檢測缺陷,且對缺陷 之兩度方向位置進行運算之方法。專利文獻8所揭示之方 法中,於檢測缺陷之圖案之情形時,在玻璃板之移動方向 160767.doc 201233993 上無大致同一大小之圖案時,即,在玻璃板之背面附近存 在缺陷時或缺陷較大時,將該缺陷之高度方向位置判定為 0。因此’專利文獻8所揭示之方法中,於上述情形時無法 正確地求出缺陷之高度方向之位置。 先前技術文獻 專利文獻 專利文獻1:曰本專利特開2001-305072號公報 專利文獻2 :日本專利特開2004-361384號公報 專利文獻3 :曰本專利特開2008-76071號公報 專利文獻4:曰本專利第2920056號公報 專利文獻5 :曰本專利特開平9-61139號公報 專利文獻6:曰本專利特表2003-508786號公報 專利文獻7 :國際公開第2006/057 125號 專利文獻8:曰本專利特開2〇1〇_8177號公報 【發明内容】 發明所欲解決之問題 上述第1測定方法中,藉由調節相機之焦點,算出自相 機至缺陷為止之絕對距離,而求出玻璃帶内之缺陷之高度 方向位置。然而’玻璃帶有時於搬送中上下振動。因此, 第1測疋方法中,存在因玻璃帶之上下振動而缺陷之高度 方向位置之測定結果易產生誤差之問題。 第2測定方法及第3測定方法中,以所拍攝之圖像内2個 像不重疊為條件,計算缺陷之高度方向位置。因此,若如 圖11B所示,圖像内2個像84、85不重疊,則可計算缺陷之 160767.doc 201233993 面度方向位置。然而’於缺 愔幵”姐w 、缺陷存在於破螭帶之界面附近之 個:;Γ之情形時’同-缺陷之2個像會重疊。若2 像重邊’則於第2測定方法及第3測定 缺陷之高度方向位置。 ‘…凌Τ异 再者’第3測Μ法中’於缺陷存在於玻璃帶之界面附 近:情形時,如圖12Β所示’由與該界面為相反側之線陣 ㈣㈣攝之圖像中2個像重疊’而由存在缺陷之側之線 陣相機所拍攝之圖像中2個圖像未重叠。於該情形時,根 據2個圖像中像未重疊之圓像,可計算缺陷之高度方向位 置。 然而’即便於第3敎方法中,在缺陷較大之情形時, 亦有時由2個線陣相機81a、81b(參照圖12Α)所拍攝之各圖 像令均發生2個像重4 4該情料,無法計算缺陷之高 度方向位置。 因此,本發明之目的在於提供一種即便於玻璃帶之界面 附近存在缺陷之情形或缺陷較大之情形時,亦可測定玻璃 帶内之缺陷之高度方向位置的玻璃帶内缺陷測定方法及玻 璃帶内缺陷測定系統。 解決問題之技術手段 本發明之玻璃帶内缺陷測定方法之特徵在於包括:拍攝 步驟’其係自光源(例如為光源2)對所搬送之玻璃帶(例如 為玻璃帶5)照射光,藉由配置於以玻璃帶反射之光所到達 之位置上的拍攝機構(例如為線陣相機3)拍攝玻璃帶;及運 算步驟’其係根據由拍攝機構所拍攝之圖像内之起因於玻 160767.doc 201233993 璃帶之同一缺陷之2個重疊的像且該缺陷之種類所固有之 形狀之2個像的位置關係,算出玻璃帶内之缺陷之高度方 向位置。 亦可為如下方法:於運算步驟中,計算自起因於同一缺 陷之2個重疊之像(例如為像21、22)中之一個像的拍攝位置 至另個像之拍攝位置為止之缺陷的移動距離(例如為 y<〇,藉由計算出之移動距離、及玻璃帶内之光之折射角, 而算出破璃帶内之缺陷之高度方向位置。 亦可為如下方法:於運算步驟中,藉由自起因於同一缺 陷之2個重疊之像(例如為像21、22)之外接矩形中的與相當 於^帶之搬送方向之方向平行之邊的像素數所對應之實 際空間中之長度(例如為h)中,減去與搬送方向平行之缺陷 直拴之長度(例如為s),而算出移動距離。 亦可為如下方法:於運算步驟卜根據起因於同一缺陷 之2個重疊之像之位置關係,利用包含玻璃帶之寬度方向 之像之位置作為變數(例如為變數u)的預先決定之算式 ^如為式(4)或式(5)),算出缺陷之特徵值(例如為s或^, 利用該特徵值,算出移動距離。 阶、可為如下方法··特徵值為與玻璃帶之搬送方向平行之 矩^徑之長度(例如為…藉由自2個重疊之像之外接 矩形中的與相營切4 + , Μ ' ' 。之方向平行之邊的像素數所對 應之實際空間中之 動距離。 X 減去该直徑之長度,而算出移 亦可為如下方法 特徵值為缺陷之2個直徑之比(例如為 160767.doc
S 12- 201233993 r),藉由相當於拍攝機構之正面方向之拍攝位置的圖像内 =線與通過2個像之各中心之線所成之角、及上述比,而 异出移動距離。 又本發明之玻璃帶内缺陷測定系統之特徵在於包含: 搬送機構(例如為搬送輥1),其搬送缺陷之高度方向位置成 為測定對象之玻璃帶;光源(例如為光源2),其對玻璃帶照 射光;拍攝機構(例如為線陣相機3),其配置於以玻璃帶反 射之光所到達之位置上’拍攝玻璃帶;及運算機構(例如 為運算裝置4),其根據由拍攝機構所拍攝之圖像内之起因 於玻璃帶之同一缺陷之2個重疊的像且缺陷之種類所固有 之形狀之2個像的位置關係,算出玻璃帶内之缺陷之高度 方向位置。 亦可為如下構成:運算機構計算自起因於同一缺陷之2 個重疊之像中之-個像的拍攝位置至另—個像之拍攝位置 為止之缺陷的移動距離(例如為…),藉由計算出之移動距 離、及玻璃帶内之光之折射角,巾算出玻璃帶内之缺陷之 兩度方向位置。 亦可為如下構成:運算機構藉由自起因於同一缺陷之2 個重疊之像之外接矩形中的與相當於玻璃帶之搬送方向之 方向平行之邊的像素數所對應之實際空間中之長度(例如 為h)中,減去與搬送方向平行之缺陷之直徑之長度(例如為 S)’而算出移動距離。 亦可為如下構成:運算機構根據起因於同—缺陷之2個 重疊之像之位置關係,利用包含玻璃帶之寬度方向上之像 I60767.doc 13 201233993 之位置作為變數(例如為變數U)的預先決定之算式(例如為 5弋())算出缺陷之特徵值(例如為s或r),利用該 特徵值,算出移動距離。 發明之效果 根據本發明,即便於玻璃帶之界面附近存在缺陷之情形 或缺陷較大之情形時,亦可測定玻璃帶内之缺陷之高度方· 向位置β - 【實施方式】 以下,參照圖式對本發明之實施形態進行說明。本發明 中’成為測定玻璃帶内之高度方向位置之對象之缺陷的種 類為已知。又’拍攝該缺陷而獲得之圖像内之像設為包含 特徵性之點(以下記作特徵點)之一定形狀之像。換言之, 本申請案中之成為高度方向位置之測量對象之缺陷為滿足 作為包含特徵點之一定形狀之像被拍攝之條件的缺陷。作 為如上所述之缺陷之例,可舉出玻璃帶内之氣泡。氣泡於 玻璃帶内為橢圓體。而且’氣泡作為中心為白色之橢圓形 之像而映於圖像上,可將中心之白色部分作為特徵點而使 用以下之實施形態中,以缺陷為氣泡之情形為例進行說 明。 .
[實施形態1] . 圖1係表示本發明之玻璃帶内缺陷測定系統之構成例之 模式圖。本發明之玻璃帶内缺陷測定系統包含搬送輥i、 光源2、線陣相機3、及運算裝置4。 搬送輥1支持玻璃帶5,且沿固定方向以固定速度搬送玻 160767.doc ·14·
S 201233993 璃帶5。再者,作為玻璃帶5之製造方法,可舉出例如浮式 法。玻璃帶5沿製造時之主要之延伸方向由搬送輥1搬送。 玻璃帶之主要之延伸方向並非指利用導引構件之向玻璃帶 之寬度方向之延伸,而是指沿玻璃帶之行進方向之延伸之 方向。以f,將玻璃帶之主要之延伸方向僅記作玻璃帶之 I伸方向又,本發明中,測定自玻璃帶5中之搬送輥丨側 之表面至缺陷(氣泡)為止之高度方向位置(距離)。 光源2配置於玻璃帶5之兩面中之一面之側,且朝向玻璃 帶5照射光。該光自界面8入射至玻璃帶5,通過玻璃帶 内’於與人射側為相反側之界面9反射^反射之光通過入 射側之界面8而到達線陣相機3。再者,圖i中將光之路徑 簡化而表示,但如圖13之上段之側視圖所示,光之路徑於 光入射至界面8時及於界面9反射後通過界面叫分別會進 行折射。 線陣相機3配置於自光源2照射並於玻璃^反射之光所 到達之位置上。具體而言’以玻璃帶5為基準,配置於與 光源2同一側。又’例如線陣相機3以光源2為基準,配置 於玻璃帶5之搬送方向上。而且’線陣相機3拍攝玻璃帶5 之内部,且生成圖像作為拍攝結果。 由於光源2及線陣相機3之配置位置已決定,而於光之路 徑上入射角參照圖13之上段)亦作為固定值被決定。進 而,玻璃帶5之折射率η亦為已知,藉由解出式⑴,而自光 源2至線陣相機3為止之光之路徑中之折射角β之值亦作為 固定值被決定。 ρ^ f ^ 160767.doc •15- 201233993 玻璃帶5被搬送,且線陣相機3於固定位置上持續進行玻 璃帶5之拍攝。因此’隨著時間經過,玻璃帶5中被拍攝之 部位發生變化。於是,將線陣相機3之正面方向之拍攝位 置之連線在正投影於玻璃帶5之界面8時表示為直線。將該 直線稱作中央線。圖2A係表示中央線之說明圖,圖叫系 表不圖像内之相當於中央線之線之說明圖。㈣係玻璃帶 5之俯視圖。隨著玻璃帶5之搬送’線陣相機3之正面之拍 攝位置發生變化,將其連線向界面之正投影圖示為中央線 …又,圖2B表示藉由線陣相機3所拍攝之圓像。於圖像 内,由單點劃線表示相當於中央線95之線%。該線%可稱 為與線陣相機3之正面方向之拍攝位置對應之像素的連 線。又,中央線95與玻璃帶5之搬送方向平行,從而可稱 為相當於中央線95之圖像内之線96表示圖像内之相當於玻 璃帶5之搬送方向之方向。將相當於中央線95之圖像内之 線96記作搬送方向線。再者’圖㈣,為進行說明而圖示 有搬送方向線96,但實際夕杯媒固 1一頁u之拍攝圖像中,搬送方向線96並 不會映於圊像内。 於玻璃帶5内存在缺陷(本例中為氣泡)之情形時,起因 於1個缺陷,在線陣相機3所拍攝之圖像内出現2個該缺陷 之像。又,本例中,由於缺陷為氣泡,故而圖像内出現之 像為橢圓形,其中心部為白色。 運算裝置4參照藉由線陣相機3所拍攝之圖像,測定缺陷 之高度方向位置。該缺陷之高度方向位置為圓13之上段之 側視圖中表示為「d」之長度。_,玻璃帶5中,自與光源 160767.doc
S -16 - 201233993 2為相反側之界面9至缺陷為止之距離。運算裝置4於拍攝 共同之缺陷而獲得之成對之像重疊之情形時,根據缺陷之 種類(本例中為氣泡)所固有之形狀之像(即,橢圓形之像) 的位置關係,算出玻璃帶5内中之缺陷之高度方向位置。 具體而έ ’運算裝置4計算下述值:自圖像内2個重疊之像 之外接矩形中的與相當於玻璃帶之搬送方向之方向平行之 邊的像素數所對應之實際空間中之距離中,減去缺陷(氣 泡)之直徑中與搬送方向平行之直徑之長度。再者,於圖 像内,與相當於玻璃帶之搬送方向之方向平行係指與搬送 方向線96(參照圖2Β)平行。運算裝置4藉由以上述減法運 算所求出之值、及玻璃帶5中之折射角β,而算出缺陷之高 度方向位置。關於該計算,之後參照圖5進行敍述。 又,玻璃帶内之氣泡之長軸與搬送輥丨之搬送方向(換言 之為玻璃帶5之延伸方向)大致平行。如圖3所示,氣泡之 長軸72之方向與利用搬送輥!之玻璃帶5之搬送方向71的偏 移量最大為10。。如上所述,由於氣泡之長軸72與搬送輥1 之搬送方向71為大致平行,故而於線陣相機3所拍攝之圖 像中,表現為橢圓形之缺陷之像之長軸與搬送方向線 96(參照圖2B)亦大致平行。以下’以所拍攝之圖像中缺陷 之像之長軸與搬送方向線96平行之情形為例進行說明。 再者’於成對之像不f疊之情形時,運算裝置4藉由公 知之方法而算出缺陷之高度方向位置即可。 又,線陣相機3之配置位置被固定。因此,與線陣相機3 所拍攝之圖像中之m素對應之實際空間中的距離亦作為 160767.doc 201233993 固定值被決定。設為對應於圖像中之丨像素之實際空間中 的距離為已知。 其次,對動作進行說明。圖4係表示本實施形態中之玻 璃帶内缺陷測定系統之處理過程之例的流程圖。 首先,光源2對玻璃帶5開始光之照射(步驟$ 1)。 繼而,搬送輥1沿固定方向搬送配置於搬送輥丨上之玻璃 帶5,線陣相機3持續拍攝所搬送之玻璃帶$之内部。而 且,線陣相機3生成圖像作為拍攝結果(步輝S2)。線陣相 機3將藉由拍攝所獲得之圖像發送至運算裝置4。 於玻璃帶5之内部存在缺陷之情形時,在步驟“中所獲 得之圖像中包含缺陷之像。本例中,由於缺陷為氣泡故 而於圖像内映出橢圓形之像。又,如圖13中所說明,於缺 陷移動至與反射前之光之路徑重疊之位置(圖13之上段之 側視圖所示之位置91)時、及缺陷移動至與反射後之光之 路徑重疊之位置(圖1 3之上段之側視圖所示之位置92)時, 分別作為像被映於圖像上。因此,於存在1個缺陷之情形 時,圖像上映出2個像》又,於缺陷較大之情形或缺陷存 在於玻璃帶5之界面9(參照圖1)之附近之情形時,該2個像 發生重疊。 運算裝置4若接收步驟S2中所生成之圖像,則自圖像中 檢測2個重疊之像之外接矩形之區域。而且,對該外接矩 形之邊中之於圖像内與相當於玻璃帶之搬送方向之方向平 行之邊(即,與圖像内之搬送方向線平行之邊)的像素數進 行計數。繼而,運算裝置4藉由將該邊之像素數乘以每1像 I60767.doc .18- 201233993 素之實際空間中之距離,而算出對應於該邊之像素數之實 際空間中之長度(步驟S3)。 圖5係表示2個重疊之像之外接矩形之區域的說明圖。如 圖5所示,作為重疊之2個像21、22之外接矩形,決定為圖 5所示之外接矩形23。像21、22為橢圓,且可看作全等。 圖5所示之例中’設為外接矩形23之長邊與搬送方向線(參 照圖2B)平行。於該情形時,運算裝置4對像21、22之外接 矩形23之長邊24之像素數進行計數,將該像素數乘以每j 像素之實際空間中之距離。將對應於該長邊24之實際空間 中之長度以「h」表示。h之單位例如為μπι。 又於缺陷為氣泡之情形時,像21之中心部2 1 a於圖像 上為白色。該中心部21a為像21之特徵點。運算裝置4對自 一個像21之中心部21a至外接矩形23之短邊中距其較近一 方之短邊為止之像素數進行計數。即,對圖5中符號A所示 之部分之像素數進行計數。運算裝置4將該像素數乘以每】 像素之實際空間中之距離。該乘法運算結果為相當於圖5 所示之A之部分所對應之實際空間中之長度,具體而言, 為與搬送方向平行之缺陷之直徑(缺陷之直徑中與搬送方 向平行之直徑)之1/2長度所示之例中,該直徑為缺陷 之長轴•運算裝置4藉由將上述乘法運算結果乘以2,而算 出與搬送方向平行之缺陷之直徑之長度(步驟S4)。將該缺 陷之直徑之長度設為s。s之單位例如為。與實際空間中 之s/2之長度對應之圖像内之部位為圖5中符號a所示之部 分。又’由於2個像21、22可看作全等,故而圖^,可看 160767.doc 201233993 作 a=a'。 /再者,此處以利用像21之令心部2“計算s之情形 订說明,但亦可利用像22之中心部計算s。 又’圖5中’以缺陷之像之絲與搬送方向線平行之 形為例進行說明,但亦有缺陷之像之長抽與搬送方向線不月 完全平行之情形。然而’玻璃帶内之氣泡之長抽與玻璃帶 之搬送方向之偏移量最大僅為1〇。(參照圖3)。因此,即便 缺陷之像之長轴與搬送方向線不完全平行’亦可看作兩者 平行,且與上述步驟S3、84同樣地計算h' s。即,求^ 時’只要對重叠之2個像之外接矩形之長邊之像素數進行 計數,將該像素數乘以每丨像素之實際空間中之距離即 可。又,求s時,只要對自一個像之中心部至外接矩形之 短邊中距其較近-方之短邊為止之像素數進行特,將該 像素數乘以每1像素之實際空間中之距離,且將該乘法運 算結果乘以2即可。即便缺陷之像之長軸與搬送方向線不 完全平行,如上述般計算h、s,且利用該h、s計算缺陷之 冋度方向位置時亦僅包含可忽視之程度之誤差。 其-人,運算裝置4自步驟S3中所算出之h中減去步驟§4中 所算出之s(步驟S5)。將該減法運算結果設為…。%為自第 1個像被拍攝之位置至第2個像被拍攝之位置為止之缺陷之 移動距離。即,步驟S5中所算出之yd為缺陷之像被拍攝之 2點間之距離。再者,對應於實際空間中之之長度的圖 像内之部位為圖5中符號B所示之部分。 運算裝置4利用步驟S5中所算出之yd、及預先決定之折 160767.doc 201233993 射角β,進行式⑺之計算,而言十算缺陷之高度方向位置“ 即,計算yd/(2.t_),將其計算結果作為d(步驟%)。缺陷 之高度方向位置d為自玻璃帶5之界面9(參照圖至缺陷 止之距離。 ㈢ 根據本實施形態,即便起因於同一缺陷之2個像重疊, 亦可測定該缺陷之高度方向位置。因&,即便於玻璃帶之 界面附近存在缺陷之情形或缺陷較大之情形時,亦可測定 玻璃帶内之缺陷之高度方向位置。 又,步驟S4中所算出之s為缺陷之長軸之長度。又,即 便於缺陷之像之長軸與搬送方向線不完全平行之情形時, 將步驟S4中所算出之s看作缺陷之長軸之長度時亦僅包含 可忽視之程度之誤差。因此,亦可算出缺陷之大小(長轴 之長度)。 又,根據本實施形態,於玻璃帶5之單側配置光源2及線 陣相機3即可。因此,與第3測定方法(參照圖12A)相比’ 可減少光源2及線陣相機3之設置數,從而可降低測定所需 之成本》 [實施形態2] 本發明之第2實施形態與第1實施形態同樣地包含搬送輥 1、光源2、線陣相機3、及運算裝置4(參照圖丨)。光源2及 線陣相機3相對於玻璃帶5之位置關係與第1實施形態相 同,而省略說明。第2實施形態中,利用運算裝置4之缺陷 之高度方向位置之測定方法與第1實施形態不同。 第2實施形態中,運算裝置4算出玻璃帶$内之缺陷之特 160767.doc 201233993 徵值。繼而’運算裝置4利用該特徵值,計算下述值:自 重疊之2個像之外接矩形中的與相當於玻璃帶之搬送方向 之方向平行之邊的像素數所對應之實際空間中之長度中, 減去與玻璃帶之搬送方向平行之缺陷之直徑(缺陷之直徑 中與搬送方向平行之直徑)之長度。又,運算裝置4於 上述特徵值時,根據重疊之2個像之位置關係,使用預先 決定之算式計算特徵值。 又,第2實施形態中,作為特徵值,計算與玻璃帶之搬 送方向平行之缺陷之直徑的長度。 用以算出上述特徵值之式作為下述函數被預先決定,該 函數將以玻璃帶之端部為基準之像之特徵點所對應之位置 的座標、第1實施形態中所說明之h、及2個重疊之像之面 積設為變數。用以決定該特徵值(缺陷之直徑中與搬送方 向平行之直徑)之算式能夠以例如以下之式(4)表示。 ssay+ay+ay+aeh+ashp+awp+ayu+ash+agp+a]。 式⑷ 式(4)中,「u」為以玻璃帶之端部為基準之像之特徵點 所對應之位置的座標,具體而言,為自與搬送方向平行之 玻璃帶之侧面至缺陷之中心為止之距離。此處,u之單位 設為mm e「h」為根據拍攝到缺陷之圖像,藉由與第丨實施 形態中之步驟S3相同之計算而獲得之值。此處,h之單位 設為μπι。p為拍攝到缺陷之圖像中2個像所佔區域(2個像之 區域之並集)之面積,具體而言,以圖像内之像素數表 示式(4)中之ai〜aio為係數。又,式(4)中之s為與玻璃帶 之搬送方向平行之缺陷之直徑。由於成為特徵值之直徑s 160767.doc
S •22- 201233993 易於受玻璃帶之寬度方向之缺陷之位置所影響,故而將包 含上述變數U之算式(例如為上述式(4))用於s之計算。 又’於所拍攝之圖像中,缺陷之像之長軸與搬送方向線 平行之情形時,上述s相當於缺陷之長軸。但是,於圖像 中’缺陷之像之長軸與搬送方向線不完全平行之情形時, 亦由於兩者大致平行,故而上述特徵值s可看作缺陷之長 軸。即便如上所述看作缺陷之長軸’亦僅包含可忽視之程 度之誤差’不影響缺陷之高度方向位置之算出。 式(4)中之係數係藉由最小平方法而預先求出。具 體而S,利用成為樣本之缺陷,實際測量s、u。又對於 包含成為樣本之缺陷之玻璃帶,進行與第i實施形態中所 說明之步驟S1〜S3相同之處理而獲得he又,自當時步驟S2 中所獲得之圖像中’對2個像之並集之區域之像素數p進行 計數。準備複數個成為樣本之缺陷,對於料各缺陷,以 上述方式獲得s、u、h、卜若獲得複數組s、u、h、p之 組,則自該等S、U、h、p之組中,藉由最小平方法而求出 式(4)中之係數a,〜a1〇即可。 s與u、h、p之間存在關聯,藉 稽由竑小平方法,可求出式 (4)中之各係數。 運算裝置4根據藉由拍攝缺 μ A 陷之同度方向位置成為測 對象之玻璃帶而獲得之圖像, 令 ^ 衣出u、h、P,並代入式( 中,藉此算出s。繼而,運算举 裝置4s十算h-s(=yd),利用 計算結果及折射角β,算出缺 度方向位置。 其次,對第2實施形態之動 作進灯說明。圖6係表示| 160767.doc •23· 201233993 實施形態中之玻璃帶内缺陷測定系統之處理過程之例的流 程圖。對於與圖4所示之處理相同之處理,標註與圖4相同 之符號且省略說明。 至步驟S3中算出h為止之動作與第1實施形態相同。 圖7係表示圖像内所映出之玻璃帶之例之說明圖。於存 在缺陷之情形時,圖像内亦映出缺陷之像21、22。又,圖 7所示之例中’作為像之特徵點之各像21、22之中心部分 2 U ' 22a亦作為白色之區域而出現於圖像内。再者,雖圖 示有像21、22之外接矩形23,但外接矩形23並不會映於圖 像内。 於步驟S3之後,運算裝置4對自圖像内之玻璃帶之端部 3 1至像之特徵點為止之像素數進行計數。即,對圖7中符 號c所不之部分之像素數進行計數。繼而,運算裝置4將該 像素數乘以每1像素之實際空間中之距離(步驟su)。該乘 法運算結果相當於自實際空間中之玻璃帶之端部(側面)至 缺陷為止之距離u。即,於步驟S11中算出u。 其中’於上述步驟S11之說明中,.為易於說明’以破璃 帶之端部3 1映於圖像内之情形為例進行說明。於玻璃帶之 端部3 1未映於圖像内之情形時,以下述方式計算距離u即 可。由於線陣相機3之設置位置為固定,故而可預先求出 自玻璃帶之端部至藉由線陣相機3所拍攝之圖像内之破璃 帶端部側之端為止的實際空間中之距離(設為。繼而, 運算裝置4計算自所拍攝之圖像中之該端之部分至像之特 徵點為止之距離。於該計算中,例如只要對自圖像中之該 160767.doc
S -24- 201233993 端之部分至特徵點為止之像素數進行計數,並將該像素數 采以母1像素之貫際空間中之距離即可。運算裝置4只要科 由將該距離加上利用線陣相機設置位置決定之u〇,而算出 自實際空間中之玻璃帶之端部(側面)至缺陷為止之距離u即 可。 再者,圖7所示之例中,以使用像21之中心部分2U作為 特徵點而求出自圖像内之玻璃帶之端部31至中心部分 為止之距離的情形為例。作為特徵點,亦可使用另一個像 22之中心部分22a。無論使用哪個中心部分作為特徵點, 均可求出自實際空間中之玻璃帶之端部(側面)至缺陷為止 之距離u。根據使用中心部分21a、22a中之哪一個作為特徵 點,像素數之計數結果有所不同,但其差異微小,距離u 僅包含可,t、視之誤差4,作為特徵點,亦可使用外接矩 形23内之特徵性之點(例如,外接矩形23之任一頂點)。於 該情形時,距離u亦僅包含可忽視之誤差。 於步驟sii之後,作為重疊之2個像21、22所佔區域⑺固 像之區域之並集)之面積,運算裝置4對該區域内之像素數 P進行計數(步驟S12)。 繼而,運算裝置4藉由將步驟S3、su、S12中所求出之 h_、u、p代入式(4)中,而計算缺陷之直徑中與搬送方向平 行^直徑8(步驟S13)e如圖7所示,像之長軸與搬送方向線 平行之情形時,該直徑3為缺陷之長軸。如已說明般,於 拍攝圖像中’即便像之長抽與搬送方向線不完全平行,亦 由於兩者大致平行,故而步驟SI3中計算出之直徑3可看作 160767.doc -25- 201233993 缺陷之長轴。 以後之處理與第1實施形態中之步驟S5、S6相同。即, 運算裝置4藉由自步驟S3中所算出之h中減去步驟S13中所 算出之s,而求出yd(步驟S5)e繼而,運算裝置4利用〜及 折射角β,進行式(2)之計算,而計算缺陷之高度方向位置 d 〇 第2實施形態中亦可獲得與第丨實施形態相同之效果。 又,於第2實施形態中,亦在步驟S13中算出s之值,因此 亦可求出缺陷之大小(長軸)。 [實施形態3] 本發明之第3實施形態與第丨實施形態同樣地包含搬送輥 1、光源2、線陣相機3、及運算裝置4(參照圖丨)。光源2及 線陣相機3相對於玻璃帶5之位置關係與第丨實施形態相 同,而省略說明。 於第3實施形態中,運算裝置4亦算出玻璃帶5内之缺陷 特徵值’利用該特徵值,計算yd。但是,第2實施形態 人算出缺陷之直徑s作為特徵值,而於第3實施形態中, 計算缺陷之2個直徑之比。具體而言,運算裝置4求出缺陷 之直徑中搬送方向之直徑相對於與搬送方向正交之方向之 直徑的比例作為缺陷之特徵值。Μ,若將缺陷之直徑中與 送方向正父之方向之直徑設為ΙΊ、搬送方向之直徑設為 則计算Γ2/Γι作為特徵值。以下,將r2/r丨記作r。 、,再者’於所拍攝之圖像中缺陷之像之長轴與搬送方向線 、丁之隋形時,上述ri相當於缺陷之短軸,r2相當於缺陷 160767.doc
S -26- 201233993 之長軸。即’作為特徵值r,計算「長軸/短軸」。但是,即 便於圖像中缺陷之像之長軸與搬送方向線不完全平行之情 形時’亦由於兩者大致平行’故而可將上述^看作缺陷之 知·轴’將上述!>2看作缺陷之長軸。即,即便於圖像中缺陷 之像之長軸與搬送方向線不完全平行之情形時,亦可將作 為特徵值而計算之r看作缺陷之「長軸/短軸」。即便如上述 般看待,r亦僅包含可忽視之程度之誤差,並不影響缺陷 之兩度方向位置之算出。 運算裝置4算出r作為缺陷之特徵值後,利用該r,求出 yd(自第1個像被拍攝之位置至第2個像被拍攝之位置為止之 缺陷之移動距離)。 又,運算裝置4於計算上述特徵值“夺,根據重疊之2個 像之位置關係’利用預先決定之算式計算特徵值。 用以算出該特徵值ri式作為下述函數被預先決定,該 函數將以玻璃帶之端部為基準之像之特徵點所對應之位置 的座標、第1實施形態中所說明之h、及2個重疊之像之面 積設為變數。用以求出特徵值r之算式能夠以例如以下之 式(5)表示。 r=b 丨 u2+b2h2+b3P2+b4uh+bM^ 式(5) 該函數巾之變數U、h、P與第2實施形態中所示之式⑷ 中之變數u、h、p相同。即,「u」為自與搬送方向平行之 玻璃帶之側面至缺陷之中心為止之距離。「h」為根據拍攝 到缺之圖像,藉由與第j實施形態中之步驟叫目同之計 异而獲4之值。P為於拍攝到缺陷之圖像中,2個像所佔區 160767.doc -27- 201233993 域(2個像之區域之並集)之面積,具體而言,以圖像内之像 素數表不式(5)中之bpb,❶為係數。由於特徵值犷易於受破 帶之寬度方向之缺陷的位置所影響,故而將包含上述變 數11之算式(例如為上述式(5))用於!*之計算。 式(5)中之係數bl〜bi〇係藉由最小平方法而預先求出。具 體而s ’利用成為樣本之缺陷,實際測量犷、u。又,對於 包含成為樣本之缺陷之玻璃帶,進行與第i實施形態中所 說明之步驟S卜S3相同之處理而獲得h。又,根據當時步驟 S2中所獲仔之圖像’對2個像之並集之區域之像素數p進行 «十數。準備複數個成為樣本之缺陷,對於該等各缺陷,以 上述方式獲得r、u、h、P。若獲得複數組r、u、h、p之 組,則根據該等r、u、h、p之組,藉由最小平方法,求出 式(5)中之係數b丨〜b丨0即可。 r與u、h、p之間存在關聯,藉由最小平方法,可求出式 (5)中之各係數。 運算裝置4根據藉由拍攝缺陷之高度方向位置成為測定 對象之玻璃帶而獲得之圖像,求出u、h、p,並代入式 中,藉此算出r。 又,運算裝置4於所拍攝之圖像中將搬送方向線%與通 過2個像之辛心之線所成之角設為^時,求出之值。繼 而’運算裝置4利用h、u、r、tane,計算yd。運算裝置4利 用該yd及折射角β,算出缺陷之高度方向位置。 其次’對第3實施形態之動作進行說明。圖8係表示第3 實施形態中之玻璃帶内缺陷測定系統之處理過程之例的流 I60767.doc •28· 201233993 私圖。對於與第1實施形態及第2實施形態相同之處理,標 s主與圖4及圖6相同之符號且省略說明。 至步驟S12中求出p為止之動作(步驟S1、s2、S3 ' S11、 S1 2)與第2實施形態相同。 於步驟S12之後,運算裝置4藉由將步驟S3、sn ' Sl2中 所求出之h、u、p代入式(5)中,而計算Γ(即,缺陷之直徑 . 中搬送方向之直徑之長度相對於與搬送方向正交之方向之 直徑之長度的比例)(步驟S21)。 圖9係表示圖像内所映出之玻璃帶之例之說明圖。對於 與圖7相同之要素,標註與圖7相同之符號且省略說明。 於步驟S21之後,運算裝置4對2個重疊之像21、22之外 接矩形23之邊中與相當於玻璃帶之搬送方向之方向正交之 邊(換言之,為與圖像中之搬送方向線正交之邊)的像素數 進行計數。即,對圖9中符號D所示之部分之像素數進行計 數。繼而,運算裝置4將該像素數乘以每〗像素之實際空間 中之距離(步驟S22)。將其結果所獲得之長度記作w。即, w為對應於圖9中符號D所示之部分之實際空間中的長度。 又,運算裝置4求出外接矩形之邊中與相當於玻璃帶之 搬送方向之方向平行之邊、與通過2個像21、22之中心部 • 分21a、22a之線所成之角Θ的正切即tan0(步驟S23)。 Θ亦可稱為通過2個像21、22之中心部分2U、22a之線與 搬送方向線所成之角。因此,運算裝置4亦可例如預先決 定yc(參照圖14)之值,利用已說明之方法計算並進行 式(3)之计算’藉此計算tan0。或者,亦可利用其他方法計 160767.doc •29· 201233993 算 tan9。 其次,運算裝置4利用至步驟S23為止之處理中之計算結 果即h、r、w、tane ’算出yd(步驟S24)。具體而言運算 裝置4只要藉由進行以下所示之式(6)之計算而計算&即 可。 yd = (h-r.w)/(l-r.tane) 式(6) 運算裝置4利用上述yd及預先決定之折射角β,進行式(2) 之計算,而計算缺陷之高度方向位置<1(步驟S25)。該計算 與第1實施形態中之步驟S6相同。 再者,亦可於步驟S25中求出缺陷之高度方向位置而作 為處理結束。又,與其他實施形態同樣地,於算出與搬送 方向平行之缺陷之直徑之長度之情形時,運算裝置4只要 藉由自h中減去yd而算出s即可(步驟S26)。 於第3實施形態中亦可獲得與第丨實施形態或第2實施形 態相同之效果。又,第3實施形態中,作為缺陷之特徵 值,亦可獲得缺陷之直徑之比即r。 上述各實施形態中,運算裝置4可藉由例如按照程式進 行動作之電腦而實現。例如,電腦可按照程式,作為運算 裝置4而進行動作。 又上述各實施形態十,以缺陷為氣泡之情形為例,但 本發明中,作為測定對象之缺陷不限定於氣泡,只要為滿 足作為包含特徵點之一定形狀之像被㈣之條件的缺陷即 可。作為如上所述之缺陷,除氣泡以外可舉出異物等。 產業上之可利用性 160767.doc 201233993 本發明可較佳地應用於玻璃帶㈣之缺陷之高度方向位 置等的測定》 已詳細地且參照特定之實施態樣對本申請案進行了說 明’但業者應明白只要不脫離本發明之精神及範圍便可進 行各種變更或修正。 本申清案係基於2010年12月9曰申請之曰本專利申請(日 本專利特願2010-275048)者,且其内容作為參照而併入本 文。 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之玻璃帶内缺陷測定系統之構成例之 模式圖。 圖2A係表示中央線之說明圖。 圖2B係表示圖像内之相當於中央線之線之說明圖。 圖3係表示玻璃帶内之氣泡之長軸之方向與搬送輥1之搬 送方向之關係的說明圖。 圖4係表示第1實施形態中之玻璃帶内缺陷測定系統之處 理過程之例的流程圖。 圖5係表示2個重疊之像之外接矩形之區域的說明圖。 圖6係表示第2實施形態中之玻璃帶内缺陷測定系統之處 理過程之例的流程圖。 圖7係表示圖像内所映出之玻璃帶之例之說明圖。 圖8係表示第3實施形態中之玻璃帶内缺陷測定系統之處 理過程之例的流程圖。 圖9係表示圖像内所映出之玻璃帶之例之說明圖。 160767.doc •31· 201233993 圖10A係模式性地表示第i測定方法之說明圖。 圖10B係表示第1測定方法中所拍攝之缺陷之圖像之例的 說明圖。 圖11A係模式性地表示第2測定方法之說明圖。 圖Π β係表示第2測定方法中所拍攝之缺陷之圖像之例的 說明圖。 圖12 Α係模式性地表示第3測定方法之說明圖。 圖12B係表示第3測定方法中所拍攝之缺陷之圖像之例的 說明圖。 圖13係表示所搬送之玻璃帶内之缺陷被線陣相機拍攝時 之位置的說明圖。 圖14係拍攝距離yc之說明圖。 【主要元件符號說明】 1 搬送輥 2 光源 3 線陣相機 4 運算裝置 5 玻璃帶 8 界面 9 界面 21 像 21a 中心部 22 像 22a 中心部 160767.doc 201233993 23 外接矩形 24 長邊 31 玻璃帶之端部 71 搬送方向 72 氣泡之長軸 81 線陣相機 81a 第1線陣相機 81b 第2線陣相機 82 玻璃帶 83 缺陷 84 像 85 像 86 缺陷之像 91 位置 92 位置 95 中央線 96 搬送方向線 98 第1像 99 第2像 d 高度方向位置 SI 〜S6 步驟 S11-S13 步驟 S21〜S26 步驟 Xcc 偏移量 160767.doc -33- 201233993 yi 最小值 yi . 最大值 yc 拍攝距離 yd 移動距離 a 入射角 β 折射角 160767.doc • 34· s

Claims (1)

  1. 201233993 七、申請專利範圍: 1. 一種玻璃帶内缺陷測定方法,其特徵在於包括: 拍攝步驟’其係自光源對所搬送之玻璃帶照射光,藉 由配置於以上述玻璃帶反射之光所到達之位置上的拍攝 機構拍攝.上述玻璃帶;及 運算步驟,其係根據由上述拍攝機構所拍攝之圖像内 • 之起因於上述玻璃帶之同一缺陷之2個重疊的像且上述 缺陷之種類所固有之形狀之2個像的位置關係,算出上 述玻璃帶内之上述缺陷之高度方向位置。 2·如請求項1之玻璃帶内缺陷測定方法,其中於上述運算 步驟中,計算自上述2個重疊之像中之一個像的拍攝位 置至另一個像之拍攝位置為止之缺陷的移動距離; 藉由計算出之上述移動距離、及上述玻璃帶内之光之 折射角,而算出上述玻璃帶内之上述缺陷之高度方向位 置。 3. 如請求項2之玻璃帶内缺陷測定方法,其中於上述運算 步驟中,藉由自上述2個重疊之像之外接矩形中的與相 當於上述玻璃帶之搬送方向之方向平行之邊的像素數所 ‘ 對應之實際”中之長度中’減去與上述搬送方向平行 之缺陷之直徑之長度,而算出上述移動距離。 4. 如請求項2之玻璃帶内缺陷測定方法,其中於上述運算 步驟中,根據上述2個重疊之像之位置關係,利用包含 上述二璃帶之寬度方向上之像之位置作為變數的預先決 定之算式,算出上述缺陷之特徵值,利用該特徵值,算 160767.doc 201233993 出上述移動距離》 5.如請求項4之玻璃帶内缺陷測定方法,其中上述特徵值 為與上述玻璃帶之搬送方向平行之缺陷之直徑的長度, 藉由自上述2個重疊之像之外接矩形中的與相當於上述 搬送方向之方向平行之邊的像素數所對應之實際空間中 之長度中’減去上述直徑之長度,而算出上述移動距 離。 6_如請求項4之玻璃帶内缺陷測定方法,其中上述特徵值 為上述缺陷之2個直徑之比,藉由相當於上述拍攝機構 之正面方向之拍攝位置的圖像内之線與通過上述2個像 之各中心之線所成的角、及上述比,而算出上述移動距 離。 7· 種玻璃帶内缺陷測定系統,其特徵在於包含: 搬送機構,其搬送缺陷之咼度方向位置成為測定對象 之玻璃帶; 光源’其對上述玻璃帶照射光; 拍攝機構,其配置於以上述玻璃帶反射之光所到達之 位置上’拍攝上述玻璃帶;及 運算機構,其根據由上述拍攝機構所拍攝之圖像内之 起因於上述玻璃帶之同一缺陷之2個重疊的像且上述缺 陷之種類所固有之形狀之2個像的位置關係,算出上述 玻璃帶内之上述缺陷之高度方向位置。 π求項7之玻璃帶内缺陷測定系統,其中運算機構計 算自上述2個重疊之像中之一個像的拍攝位置至另一個 I60767.doc 201233993 像之拍攝位置為止之缺陷的移動距離,且 藉由計算出之上述移動距離、及上述玻璃帶内之光之 折射角,而算出上述玻璃帶内之上述缺陷之高度方向位 置。 9·如請求項7之玻璃帶内缺陷測定系統,其中運算機構藉 由自上述2個重叠之像之外接矩形中的與相當於上述玻 璃帶之搬送方向之方向平行之邊的像素數所對應之實際 空間中之長度中’減去與上述搬送方向平行之缺陷之直 徑之長度,而算出上述移動距離。 10.如請求項7之玻璃帶内缺陷測定系統,其中運算機構根 據上述2個重疊之像之位置關係,利用包含上述玻璃帶 之寬度方向上之像之位置作為變數的預先決定之算式, 算出上述缺陷之特徵值,利用該特徵值,算出上述移動 距離。 160767.doc
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