JP6322087B2 - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
検査装置及び検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6322087B2 JP6322087B2 JP2014172193A JP2014172193A JP6322087B2 JP 6322087 B2 JP6322087 B2 JP 6322087B2 JP 2014172193 A JP2014172193 A JP 2014172193A JP 2014172193 A JP2014172193 A JP 2014172193A JP 6322087 B2 JP6322087 B2 JP 6322087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- image
- illuminator
- illuminated
- camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
(h+T2)/x=sinθ ・・・(1)
が成り立つ。
△ABCにおいて、
L/x=sin (π―2θ) ・・・(2)
が成り立つ。
(1)式より
x=(h+T2)/sinθ ・・・(3)
(2)式より
L=x・{sin(π−2θ)}
=x・(2sinθ・cosθ) ・・・(4)
(4)式に(3)式を代入して、
L={(h+T2)/sinθ}・(2sinθ・cosθ)
=h・2cosθ+2・T2cosθ ・・・(5)
(5)式において、カバーガラス12の厚さT2と照明の方向(θ)は既知であり、一定とすると、ずれ量Lは、接着剤13の層の厚さhの変化によって変動することがわかる。
そこで、本実施の形態では、センサパネル11に規則的に形成された複数個のセンサ素子111を順次用いてこのずれ量Lを取得することで、接着剤の層の厚さ変動を評価するようにしている。つまり、貼り合わせ面に沿って接着剤13の厚みが均一である限り、センサパネルアッセンブリ10におけるラインセンサカメラ50の走査方向に沿って同じ量のずれ量Lが検出される。接着剤13の層の厚さhが均一でない場合、このずれ量Lも均一でなくなる。すなわち、接着剤13の層の厚さhが厚くなる箇所のずれ量Lは大きくなり、薄くなる箇所のずれ量Lは少なくなる。このずれ量Lの変化をみることにより、接着剤13の均一性を容易に評価することができる。ずれ量Lの変化は、表示ユニット71に表示される撮影画像から目視で確認してもよいし、具体的にずれ量Lの数値を計測し、それぞれの位置でのずれ量Lの数値の変化を確認してもよい。あるいは、それぞれの位置でのずれ量Lの数値の変化が予め設定した閾値を超えていないかを判断してセンサパネルアッセンブリの良否判断を行うようにしてもよい。
ずれ量Lを用いた接着剤13の層の厚さhは、たとえば次のようにして求めることができる。
11 センサパネル
12 カバーガラス
13、15 接着剤
20 液晶パネルアッセンブリ
50 ラインセンサカメラ
50a ラインセンサ
51 照明ユニット
52 反射板
60 移動機構
70 処理ユニット
71 表示ユニット
72 操作ユニット
111 センサ素子
121 影
Claims (7)
- 部材片が設けられて透光性を有する第1板状体の当該部材片が設けられた面に透光性を有する接着剤によって透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査装置であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、
該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、
前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記第1板状体を介して前記照明器により照明される前記部材片に対応した第1画像部分と、照明される前記部材片の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて、前記接着剤の層の厚さまたは厚さ変動を求める処理ユニットとを有する検査装置。 - 前記カメラは、ラインセンサを備えたラインセンサカメラであって、
前記ラインセンサカメラと前記照明器との相対位置を保持しつつ、前記ラインセンサカメラと前記貼り合わせ板状体とを前記ラインセンサの延びる方向を横切る方向に相対移動させる移動機構を有する請求項1記載の検査装置。 - 部材片が設けられて透光性を有する第1板状体の当該部材片の設けられた面に透光性を有する接着剤によって透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査方法であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材とを用い、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得ステップと、
該撮影画像取得ステップにて取得された撮影画像上での、前記第1板状体を介して前記照明器により照明される前記部材片に対応した第1画像部分と、照明される前記部材片の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得ステップと、
該画像ずれ量取得ステップにて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて、前記接着剤の層の厚さまたは厚さ変動を求めるステップとを有する検査方法。 - 回路素子が配列形成されたセンサパネルの当該回路素子の形成された面に透光性を有する接着剤にてカバーガラスを貼り付けてなるセンサパネルアッセンブリの検査装置であって、
前記センサパネルの表面を斜め上方から照明する照明器と、
該照明器により照明される前記センサパネルアッセンブリを撮影するカメラと、
前記カバーガラスを透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記センサパネルの表面が照明される状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記センサパネルを介して前記照明器により照明される前記回路素子に対応した第1画像部分と、照明される前記回路素子の影が前記接着剤の層及び前記カバーガラスを介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて前記接着剤の層の厚さまたは厚さ変動を求める処理ユニットとを有する検査装置。 - 前記カメラは、ラインセンサを備えたラインセンサカメラであって、
前記ラインセンサカメラと前記照明器との相対位置を保持しつつ、前記ラインセンサカメラと前記センサパネルアッセンブリとを前記ラインセンサの延びる方向を横切る方向に相対移動させる移動機構を有する請求項4記載の検査装置。 - 回路素子が配列形成されたセンサパネルの当該回路素子の形成された面に透光性を有する接着剤にてカバーガラスを貼り付けてなるセンサパネルアッセンブリの検査方法であって、
前記センサパネルの表面を斜め上方から照明する照明器と、該照明器により照明される前記センサパネルアッセンブリを撮影するカメラと、前記カバーガラスを透過する光を反射する反射部材とを用い、
前記照明器により前記センサパネルの表面が照明される状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得ステップと、
該撮影画像取得ステップにて取得された撮影画像上での、前記センサパネルを介して前記照明器により照明される前記回路素子に対応した第1画像部分と、照明される前記回路素子の影が前記接着剤の層及び前記カバーガラスを介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得ステップと、
該画像ずれ量取得ステップにて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて前記接着剤の層の厚さまたは厚さ変動を求めるステップとを有する検査方法。 - 透光性を有する接着剤によって透光性を有する第1板状体と透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査装置であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、
前記第1板状体と前記照明器との間に固定配置され、規則的に形成された目印が設けられた基準板状体と、
該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、
前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記照明器により照明される前記目印の第1の影に対応した第1画像部分と、照明される前記目印の前記第1の影の影である第2の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該第2の影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて前記接着剤の層の厚さまたは厚さ変動を求める処理ユニットとを有する検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014172193A JP6322087B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014172193A JP6322087B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016045180A JP2016045180A (ja) | 2016-04-04 |
JP2016045180A5 JP2016045180A5 (ja) | 2017-03-23 |
JP6322087B2 true JP6322087B2 (ja) | 2018-05-09 |
Family
ID=55635861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014172193A Active JP6322087B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6322087B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI128443B (en) | 2018-12-21 | 2020-05-15 | Valmet Automation Oy | Contactless thickness measurement |
CN115128102B (zh) * | 2022-06-30 | 2022-12-16 | 江阴瑞兴塑料玻璃制品有限公司 | 非熔化法玻璃结合鉴定平台及方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE509846C2 (sv) * | 1996-12-17 | 1999-03-15 | Toolex Alpha Ab | Förfarande för optisk tjockleksmätning av ett limskikt jämte optisk skiva och dess framställning samt limmedel och dess användning |
JP5959104B2 (ja) * | 2011-09-27 | 2016-08-02 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 貼り合せ板状体検査装置及び方法 |
-
2014
- 2014-08-27 JP JP2014172193A patent/JP6322087B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016045180A (ja) | 2016-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8736677B2 (en) | Inspection system | |
US7855843B2 (en) | Optical finger navigation device with a folded air lens | |
TWI571769B (zh) | 非接觸輸入裝置及方法 | |
JP2017527045A (ja) | 画像取得装置、端末装置、及び画像取得方法 | |
TW200424497A (en) | Optical film tester | |
TW200419149A (en) | Device and method for evaluating optical distortion of transparent plate body | |
KR101577119B1 (ko) | 패턴 검사 장치 및 패턴 검사 방법 | |
TWI499770B (zh) | Closure plate body inspection apparatus and method | |
TW201221901A (en) | Method and device for evaluating surface shape | |
TWI432778B (zh) | 雙光路系統交互校正方法及使用該方法之光學系統 | |
TW201443424A (zh) | 透明板狀體表面檢查用攝像系統 | |
JP6322087B2 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2022153463A (ja) | 表面検査のための撮像システム | |
US20110043484A1 (en) | Apparatus for detecting a touching position on a flat panel display and a method thereof | |
TWI485358B (zh) | Closure plate body inspection apparatus and method | |
TWI449877B (zh) | Closure plate body inspection apparatus and method | |
KR102663684B1 (ko) | 표면 검사를 위한 이미징 시스템 | |
TWM477571U (zh) | 一種用以擷取一物件影像的擷取裝置以及影像檢測裝置 | |
CN111723621B (zh) | 图像采集装置及电子设备 | |
JP2016045180A5 (ja) | ||
JP2018179508A (ja) | 表面形状測定方法および表面形状測定システム | |
JP5140260B2 (ja) | 画像測定機用校正スケール | |
TWM491841U (zh) | 大視野量測系統 | |
CN111209785A (zh) | 指纹采集装置及其制作方法 | |
CN202167000U (zh) | 光学式触摸屏、显示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170213 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171115 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180403 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6322087 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |