SU981697A1 - Вакуумный агрегат - Google Patents

Description

С 5) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

Изобретение относитс  к вакуум;ной технике. Известен вакуумный агрегат, содержащий соединенные последовательно турбомолекул рный насос и (}юрвакуумный механический насос 1. Недостатком известного агрегата  вл етс  ограниченна  скорость вращени  ротора турбомолекул рного насоса вследствие использовани  в качестве привода электродвигател , что обуславливает невысокую быстроту действи  и степень сжати  насоса. Известен также вакуумный агрегат содержащий форва.куумный  асос и турбомолекул рный насос с приводом от газовой турбиныС23. Наличие привода от газовой турбин дает возможность варьировани  скорое . ти вращени  ротора турбомолекул рного насоса в широких пределах, однако использование в качестве рабочей сре ды, турбины сжатого воздуха ведет к о носительно низкой экономичности аг-j регата. Целью изобретени   вл етс  повышение экономичности. Указанна  цель достигаетс  тем, что вход турбины сообщен с атмос(|)ерой посредством регулирующего элемента , а выход - со входом форвакуумного насоса. На чертеже представлена схема предлагаемого агрегата. Вакуумный агрегат содержит форвакуумный насос 1 и турбомолекул рный насос 2 с приводом от Газовой турбины 3 причем вход турбины 3 сообщен с атмосферой посредством регулирующего элемента 4, а выход - со входоА форвакуумного насоса 1. На форвакуумных магистрал х установлены регулирующие элементй 5,6 и 7. Агрегат работает следующим образом . Перед запуском турбомолекул рного насоса 2 его полость откачиваетс  до

Claims (1)

1. Формула изобретения »0 Вакуумный агрегат, содержащий форвакуумный насос и турбомолекулярный насос с приводом от газовой турбины, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности, вход турбины сообщен с атмосферой посредством регулирующего элемента, а выход - со входом форвакуумного насоса.