SU1222898A1 - Колесо турбомолекул рного вакуумного насоса - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к конструкци м турбомо- лекул рных вакуумных насосов.

Цель изобретени  - улучшение откач- ных характеристик колеса турбомолекул р- ного вакуумного насоса.

На фиг.1 представлено колесо, общий вид; на фиг.2 - сечение А-А на фиг.1.

Колесо турбомолекул рного вакуумного насоса содержит диск 1 с лопатками 2, образующими межлопаточные каналы 3 и 4, которые в окружном направлении имеют поочередно посто нную и переменную щирину.

При работе насоса колесо устанавливаетс  на валу турбомолекул рного насоса, образу  вместе с ним ротор. При вращении ротора молекулы откачиваемого газа взаимодействуют с боковыми стенками лопаток 2 и проход т по межлопаточным каналам как в направлении откачки, так и в обратном направлении. При этом величина потока мо

лекул в направлении откачки превыщает величину потока в обратном направлении, что обусловливает эффект откачки газа, причем соотношение этих потоков и их разность характеризуют степень сжати  и быстроту действи  колеса как одной ступени Турбо- молекул рного вакуумного насоса, т. е. от- качные характеристики колеса. Быстрота действи  и степень сжати  завис т от отношени  ширины канала к его длине, причем с повышением этого соотношени  степень сжати  уменьшаетс , а быстрота действи  сначала растет, а затем падает, т. е. имеет место максимум быстроты действи  при некотором отношении ширины канала к его длине. Поэтому применение в одном колесе каналов с переменной шириной, возрастающей по радиусу, и посто нной шириной позвол ет получить большие значени  быстроты действи  и степени сжати , т. е. улуч- щить откачные характеристики колеса.

/

Срс/г.2

Claims (1)

1. КОЛЕСО ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА, содержащее диск с лопатками, образующими межлопаточные каналы, отличающееся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, межлопаточные каналы в окружном направлении имеют поочередно постоянную и переменную ширину.

   ю ю ю QO СО □О