SU1366709A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение позвол ет повысить степень сжати  насоса. Лопатки 2 и 3 соответственно статорных и роторных дисков в меридиональном сечении наклонены к оси корпуса 1. Повышение степени сждти  обусловлено сближением боковых граней межлопаточного канала вследствие наклона лопаток к оси корпуса. Этот фактор  вл етс  более Существенным, чем уменьшение окружной скорости в результате по влени  изгибающих усилий при обеспечении одинакового запаса прочности. 1 ил.

Description

(Л

со а а VI

со

Изобретение относитс  к вауумной технике, а именно к конструкци м турбомолекул рных вакуумных насосов.

Целью изобретени   вл етс  повьше- ние степени сжати  насоса.

На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.

Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ,по оси статорные и роторные диски с лопатками 2 и 3 соответственно, в меридиональном сечении наклоненными к оси корпуса 1.

Насос работает следующим образом.

Молекулы откачиваемого газа, попада  в насос на стороне всасывани , взаимодействуют с поверхност ми лопаток 2 и 3 и перенос тс - на сторо- ну нагнетани .

Повышение степени сжати  обусловлено сближением боковых граней межлопаточного канала вследствие наклона лопаток 2 и 3 к оси корпуса 1, причем этот фактор  вл етс  более существеннь1м, чем уменьшение окружной скорости в результате по влени  ч изгибающих усилий при обеспечении одинакового запаса прочности.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Турбомолекул рный вакуумный насос, содержащий корпус и расположенные в нем по оси статорные и роторные диски с лопатками, образующими межлопаточные каналы, отличающий- с   тем, что, с целью повьпаени  степени сжати , лопатки в меридиональном сечении наклонены к оси корпуса.