SU1550222A1 - Турбомолекул рный вакуумный насос - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и позвол ет улучшить откачные характеристики насоса. Между входным и выходным участками 8 и 9 ротора (Р) 6 выполнены отверсти  11. На цилиндрическом статоре (С) 5, расположенном внутри Р 6, выполнены винтовые каналы (К) 13. Кроме выходного патрубка (П) 3 насос снабжен дополнительным выходным патрубком (ДП) 10. П 3 и ДП 10 подключаютс  к внешней системе вакуумировани  независимо друг от друга. При работе с газами, имеющими малую молекул рную массу, внешн   откачка производитс  через ДП 10, а при работе с газами, имеющими большую молекул рную массу, внешн   откачка производитс  через П 3. При этом газ проходит через лопаточную ступень на входе насоса, через отверсти  11 попадает в молекул рную ступень, образованную К 13 С 5 и поверхностью Р 6. 2 ил.

Description

Р

Ј

А

ел ел о ю ю

N3

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к конструкци м турбомоле- кул рных вакуумных насосов.

Цель изобретени  - улучшение откач- ных характеристик насоса

При откачке газов с большой молекул рной массой внешнее вакуумирование осуществл ют через патрубок 3. Таким образом, на стороне всасывани  работает лопаточна  ступень, а на стороне нагнетани  - молеНа фиг. 1 изображена схема пред- 5 кул рна , образованна  участком 9 ротора латаемого насоса; на фиг. 2 - разрез А-А 6 и каналами 13 цилиндрического стана фиг. 1.тора 5. Откачиваемый газ попадает в молеНасос содержит корпус 1 с входным 2 кул рную ступень через отверсти  11. и выходным 3 патрубками, размещенныеИсключение обратных по.токов со стороны

на внутренней поверхности корпуса 1 статор- ю фарвакуума каждого из патрубков 3 и 10 ные диски 4, расположенные по оси кор- достигаетс  установкой между ними газодинамического уплотнени  12.

У предлагаемого насоса (по сравнению с известными) улучшить откачные характеристики при работе с любым родом откачи15

ваемого газа.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Турбомолекул рный вакуумный насос,

   пуса 1 цилиндрический статор 5 и охватывающий его ротор 6 с роторными дисками 7, разделенный на входной 8 и выходной 9 участки. Корпус 1 снабжен дополнительным выходным патрубком 10, ротор 6 - сквозными отверсти ми 11, выполненными между входным 8 и выходным 9 участками, и газодинамическим уплотнением 12, расположенным между выходными патрубками 3 и 10, а на внешней поверхности цилиндри- 20 содержащий корпус с входным и выходным ческого статора 5 выполнены винтовые патрубками, размещенные на внутренней каналы 13.поверхности корпуса статорные диски, расположенные по оси корпуса цилиндриНасос работает следующим образом. ческий статор и охватывающий его ротор с

   Патрубки 3 и 10 подсоедин ют к внеш- роторными дисками, разделенный на входной

   ним системам вакуумировани  независимо 25 и ВыХОДной участки, отличающийс  тем, что,

   друг от друга.с целью улучшени  откачных характеристик,

   корпус снабжен дополнительным выходным

   При откачке газов с малой молекул р- патрубком, ротор - сквозными отверсти ми, ной массой внешнее вакуумирование осу- выполненными между его входным и выход- ществл ют через патрубок 10. Таким об- д ным участками, и газодинамическим уплот- разом, в откачке таких| газов принимают нением, расположенным между выход- участие лишь лопасточные ступени насоса, ными патрубками, а на внешней поверхности которые обеспечивают максимальную быст- цилиндрического статора выполнены винто- роту действи .вые каналы.

   А-А

   П

   Риг

   При откачке газов с большой молекул рной массой внешнее вакуумирование осуществл ют через патрубок 3. Таким образом, на стороне всасывани  работает лопаточна  ступень, а на стороне нагнетани  - молекул рна , образованна  участком 9 ротора 6 и каналами 13 цилиндрического статора 5. Откачиваемый газ попадает в молеУ предлага известными) ристики при р

   ваемого газа.

   содержащий к патрубками, поверхности к

   Формула изобретени  Турбомолекул рный вакуумный насос,

   ержащий корпус с входным и выходным рубками, размещенные на внутренней ерхности корпуса статорные диски, рас