SU619984A1 - Магнитна фокусирующа система - Google Patents
Магнитна фокусирующа системаInfo
- Publication number
- SU619984A1 SU619984A1 SU762421552A SU2421552A SU619984A1 SU 619984 A1 SU619984 A1 SU 619984A1 SU 762421552 A SU762421552 A SU 762421552A SU 2421552 A SU2421552 A SU 2421552A SU 619984 A1 SU619984 A1 SU 619984A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- focusing system
- magnetic focusing
- magnetic
- quadrupole
- coils
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
(54) МАГНИТНАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ СИСТЕМА
Изобретение относитс к электронной оптике , в частности к магнитным линзам и системам из них, и может быть использовано дл улучшени качества изображени и повышени интенсивности пучков в приборах и устройствах, использующих электронные и ионные пучки.
Известна конструкци магнитного совмещенного квадрупольно-октупольного элемента , с регулируемой аберрацией третьего пор дка, состо тс из восьми полюсов. Причем два расположенные р дом октупольные полюса используютс одмовре.менно как один квадрупольный полюс 1.
. Однако из-за больших трудностей при изготовлении и настройке такие системы до сих пор не нашли применени в промышленности .
Известна также магнитна фокусируюша система, содержаща , ао крайней мере, одну магнитную квадрупольную линзу, соето шую из рма, четырех иолюсов, расположенных симметрично относительно взаимно перпендикул рны плоскостей, проход щих через оптическх ю ось линзы, с катушкой на каждом полюсе 2.
Недостатком известной системЬ1 вл етс наличие неустранимых геометрических аберраций третьего пор дка и, в первую очередь, сферической. Эти аберрации ухудшают качество изображени , создаваемого электронно-оптической системой, и не дают воз.можности использовать широкие пучки зар женных частиц.
Целью изобретени вл етс повышение эффективности использовани пучка зар женных частиц и улучшение качества создаваемого системой изображени .
Это достигаетс тем, что в предлагаемой систе.ме на рме симметрично относительно взаимно перпендикул рных плоскостей расположены две группы катушек по четыре в каждой, причем катушки первой группы р з 1сщс1Ц11 посередине между полюсуми квадрупольной линзы, а катушки второй группы - между катушками первой, при этом катушки каждой группы соединены согласно, а по отношению к другой группе - встречно.
Кажда катушка второй группi i состоит из двух идентичных секций, си.мметрично расположенных по обе стороны полюса.
Claims (2)
1.Deltrap. Ргос. Ill Jntern. Conl. Rlectron Microscopy Prague, vd A p. 45. I9M.
2.Япор С. Я. «Фокусировка зар женных частиц квадрупольными лиизами. «Атомиздат , М.. 1968. с. 4. 194.
а
HS
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Магнитна фокусирующа система |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Магнитна фокусирующа система |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU619984A1 true SU619984A1 (ru) | 1978-08-15 |
Family
ID=20683409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762421552A SU619984A1 (ru) | 1976-11-19 | 1976-11-19 | Магнитна фокусирующа система |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU619984A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2623578C2 (ru) * | 2015-02-20 | 2017-06-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) | Устройство для поворота электронного пучка для электронно-лучевых технологий |
-
1976
- 1976-11-19 SU SU762421552A patent/SU619984A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2623578C2 (ru) * | 2015-02-20 | 2017-06-28 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения РАН (ИЯФ СО РАН) | Устройство для поворота электронного пучка для электронно-лучевых технологий |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US2919381A (en) | Electron lens | |
| US4389571A (en) | Multiple sextupole system for the correction of third and higher order aberration | |
| JP3207196B2 (ja) | 高解像度荷電粒子線装置用の補正装置 | |
| US5126565A (en) | Energy filter for charged particle beam apparatus | |
| JPH11509972A (ja) | 粒子光学機器のレンズ収差補正用補正装置 | |
| US20040144920A1 (en) | Energy filter and electron microscope | |
| GB1364930A (en) | Microscope employing a beam of chargedparticles | |
| JP2007280966A (ja) | 電子光学レンズ装置 | |
| SU619984A1 (ru) | Магнитна фокусирующа система | |
| US3781732A (en) | Coil arrangement for adjusting the focus and/or correcting the aberration of streams of charged particles by electromagnetic deflection, particularly for sector field lenses in mass spectrometers | |
| JP2007266003A (ja) | 収差補正器 | |
| ES479316A1 (es) | Un canon de electrones perfeccionado. | |
| JPS5894745A (ja) | 多重極レンズ | |
| SU1075329A1 (ru) | Электронна ахроматическа линза | |
| SU408393A1 (ru) | Электростатическая фокусирующая система | |
| SU147261A1 (ru) | Четырехполюсна магнитна линза | |
| SU1048533A1 (ru) | Устройство дл коррекции аберраций | |
| JPS57176647A (en) | In-line-type three-beam electron gun | |
| SU980190A1 (ru) | Электронно-оптическое устройство | |
| US3173005A (en) | Magnetic objective lens for an electron microscope | |
| SU723980A1 (ru) | Призменный магнитный масс-спектрометр | |
| US4763003A (en) | Method and apparatus for correcting high-order abberations in particle beams | |
| SU873307A1 (ru) | Масс-спектрометр | |
| SU790035A1 (ru) | Способ получени изображени в электронно-оптической системе | |
| SU999124A1 (ru) | Электронна астигматична трубчата линза |