JP2007266003A - 収差補正器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】その解決に当たって、この発明は構造が類似する二個の矯正ユニットの各一個を二個の静電四重極を備える入力側と出力側とに配置する。この矯正ユニットは軸線について1:1の同じ割合で前後に移動されるもので、二個の矯正ユニットは光軸上に前後に配列してあって、しかも互いに光軸を中心として90°回動してある。
【選択図】図1
Description
− 2個の矯正器ユニットを設け、
− 2個の矯正器ユニットを
− 類似するデザインのものとすること、
− 光軸について一方のユニットと他方のユニットとを前後に配列する
ことと、
− 光軸を中心として90度回転させたことと、
− 各補正器ユニットを
− それぞれ少なくとも3個の四重極で構成した矯正部の1個を備える
ものとし、
− それぞれの入力側と出力側とにさらに2個の四重極を設ける
ことと、
− 軸通路を1:1の同じ割合で前後に移動するようにしてある。
− 第一の矯正ユニットは
− その入力側において、二個の四重極の電場が前後に配列されていて
− 次に重ね合わせた円形レンズ電場を具備する第一の矯正部の3個の四重
極が配列してあり、
− その出力側にもまた二個の四重極の電場が設けてあり、
− 第二のユニットは
− その入力側において、二個の四重極の電場が前後に配列されていて
− 次に重ね合わせた円形レンズ電場を具備する第一の矯正部の3個の四重
極子が配列してあり、
− その出力側にもまた二個の四重極の電場が設けてあり、
第二の矯正ユニットの電場は、このユニットが第一の矯正ユニットの電場に対して光軸を中心として90度の角度回動してある。
この発明の静電矯正器の好ましい態様のものは、いずれの場合も矯正ユニットの中心に矯正部が配置されていて、矯正ユニットの構造と電場とを中心線に対して鏡映対称にし、光軸に対して垂直になるようにしてある。このように鏡映対称にしてあることによって、矯正ユニットの入力側と出力側とも、これまたその構造とその電場とを相互に対称にするものである。同様に、二つの矯正ユニットが類似構造で相互に90度回動して配置されることにより、二個の矯正ユニット電場も対称的に配列されている面について光軸に対して垂直をなすものである。
− 軸方向の光路が矯正部の中心について鏡映対称になる
− 電場通路(軸外通路)が矯正部の中心について対称に伸長する
− 二つの矯正ユニットの間の中心面の軸方向の通路がx/y断面についてその
役割を交換する
− 同じ大きさの電位が二つの矯正ユニットの各々の入力側と出力側とに配置さ
れている(合計4個の)四重極に存在する
− 同じ大きさの電位が矯正ユニットと矯正部の入力側と出力側とにある(合計
4個の)四重極に存在する
− 同じ大きさの電位が矯正部の中心面の両側に存在する四重極に存在する。
2 物体点
3 対物レンズ
4,5 矯正ユニット
6,7 矯正ユニットの中心面
8,9 矯正部
10,10’,11 四重極
12,12’,13 四重極
14,15 四重極
Claims (7)
- 直線光軸上に前後に二個の矯正部を具備するものとし、その一方の矯正部の軸線上の断面に生ずる非点中間像と、前記一方の矯正部の軸線と直角をなす他方の矯正部の軸線上に生ずる非点中間像に、四重極電場と重ね合わせた球レンズを具備し、四重極電場を備える二個の矯正部から成る粒子レンズの色収差を除去し、前記矯正部の一方の部位の軸上の点に生ずる一方の断面の非点収差中間像とを生ずるようにした粒子レンズの色収差を除去する静電矯正器において、
− 二個の矯正ユニットを設けることと、
− 前記二個の矯正ユニットを
− 同一の構成にしたことと、
− 前記直線光軸について相前後に配置したことと、
− 前記光軸を中心として相互に90度回動したことと、
− 前記各矯正ユニットを
− 少なくとも三個の四重極で構成した矯正部を一個ずつ具備するもの
としたことと、
− 前記矯正部の入力側と出力側に、さらに二個の静電四重極を
配置したものとし、
− 前記軸を1:1の同じ割合で前後に移動するようにしたことと
を特徴とする静電矯正器。 - 前記矯正部を前記矯正ユニットの中央に配置し、前記矯正ユニットの構造および/または電場をその中心面について鏡映対称にし、前記矯正部の光軸に対して直角となるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の静電矯正器。
- 前記二個の矯正ユニットの電場を前記二個の矯正ユニットの中間に対称的に配置し、前記光軸について直角にしたことを特徴とする請求項1と2のいずれかの一項に記載の静電矯正器。
- 前記矯正部の中心面に一個の八重極を配置し、これを前記二個の矯正ユニットの間の中心部の平面にあるようにして成る請求項1乃至3のいずれかの一項に記載の静電矯正器。
- 前記八重極の電場を前記矯正部の四重極電場と重ね合わせたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかの一項に記載の静電矯正器。
- 前記電場の重なりを前記矯正部の少なくとも一個の四重極および/または前記矯正部の入力側と出力側とに配置した四重極の少なくとも一個で行うようにしたことを特徴とする請求項5に記載の静電矯正器。
- 一個の同一の多重極によって四重極電場と八重極電場との両電場を発生するようにしたことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかの一項に記載の静電矯正器。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
WO1999027558A1 (en) * | 1997-11-20 | 1999-06-03 | Philips Electron Optics B.V. | Electrostatic device for correcting chromatic aberration in a particle-optical apparatus |
WO1999030343A1 (en) * | 1997-12-11 | 1999-06-17 | Philips Electron Optics B.V. | Correction device for correcting the lens defects in particle-optical apparatus |
WO2000001882A1 (en) * | 1998-07-07 | 2000-01-13 | Ahlstrom Glassfibre Oy | Foam process implementation using fuzzy controllers |
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---|---|---|---|---|
DE69026242T2 (de) * | 1990-04-12 | 1996-10-02 | Philips Electronics Nv | Korrekturvorrichtung für ein teilchengeladenes Strahlgerät |
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---|---|---|---|---|
WO1999027558A1 (en) * | 1997-11-20 | 1999-06-03 | Philips Electron Optics B.V. | Electrostatic device for correcting chromatic aberration in a particle-optical apparatus |
WO1999030343A1 (en) * | 1997-12-11 | 1999-06-17 | Philips Electron Optics B.V. | Correction device for correcting the lens defects in particle-optical apparatus |
WO2000001882A1 (en) * | 1998-07-07 | 2000-01-13 | Ahlstrom Glassfibre Oy | Foam process implementation using fuzzy controllers |
WO2002058101A1 (de) * | 2001-01-20 | 2002-07-25 | Ceos Corrected Electron Optical Systems Gmbh | Elektrostatischer korrektor |
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