JPS5894745A - 多重極レンズ - Google Patents
多重極レンズInfo
- Publication number
- JPS5894745A JPS5894745A JP56192463A JP19246381A JPS5894745A JP S5894745 A JPS5894745 A JP S5894745A JP 56192463 A JP56192463 A JP 56192463A JP 19246381 A JP19246381 A JP 19246381A JP S5894745 A JPS5894745 A JP S5894745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- insulators
- electrodes
- magnetic
- magnetic poles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この尭−は四極子、六礁子、八極子等の鉗１ビーム用多
重他レンズの構造ＩＣ−する。
重他レンズの構造ＩＣ−する。
四憔子、六憾子、へ礁子等はそれらを構成する１極ある
いは磁極に印加する磁圧または電流の極性およびその強
度を制御することによって＃亀ビーム用の集束レンズ、
偏向ａ、非点収値レンズとして利用する（とができる。
いは磁極に印加する磁圧または電流の極性およびその強
度を制御することによって＃亀ビーム用の集束レンズ、
偏向ａ、非点収値レンズとして利用する（とができる。
この嘴Ｍ書ではｊ：紀の作用を行う多を悌レンズと四憔
子質童分析滲用の四極子も含め、多重極レンズとよぶ０
＆！Ｍ４ａ子、八他子等の多重極レンズは逓１１萄鴫ビ
ーム装置で使用されているｔｇｉ転対称形の磁界レンズ
、円筒レンズ、三枚ｇ他しンズ等に比べ多くの％倣をも
っている◎例えば、四極子レンズはＩｌ？１転対称形の
レンズに比べ比較的−い＊起で迩集束レンズ作用が得ら
れること。八極子レンズまたは開口ａｍと組み縫わせる
こと（特公昭５３−３０６２８号公報、特公昭５５−２
８１７９号公報参照）によって回転対称レンズでは不０
７１＠な三次の収差の補正が可能である。八極子や八極
子は非点補正系として利用されている。また八極子は従
来の平行平板臘に比べ、偏向収差の小さい偏向系として
１子ビーム塵光装＃を等では有効である。
子質童分析滲用の四極子も含め、多重極レンズとよぶ０
＆！Ｍ４ａ子、八他子等の多重極レンズは逓１１萄鴫ビ
ーム装置で使用されているｔｇｉ転対称形の磁界レンズ
、円筒レンズ、三枚ｇ他しンズ等に比べ多くの％倣をも
っている◎例えば、四極子レンズはＩｌ？１転対称形の
レンズに比べ比較的−い＊起で迩集束レンズ作用が得ら
れること。八極子レンズまたは開口ａｍと組み縫わせる
こと（特公昭５３−３０６２８号公報、特公昭５５−２
８１７９号公報参照）によって回転対称レンズでは不０
７１＠な三次の収差の補正が可能である。八極子や八極
子は非点補正系として利用されている。また八極子は従
来の平行平板臘に比べ、偏向収差の小さい偏向系として
１子ビーム塵光装＃を等では有効である。
しかし、このような多重極レンズはＩｌｌ造との峙１４
性から＾確度化をはかることか回転対称形のレンズに比
べて一シく、従来、その利用ｌ！囲が限られていた。
性から＾確度化をはかることか回転対称形のレンズに比
べて一シく、従来、その利用ｌ！囲が限られていた。
このような多を憔レンズにおける高Ｉ＃度化を組むもの
は亀憔、ａｔ極等の配置関係を正確番ζ３次元でｔｔｍ
、電通することが峻しい−ことである。
は亀憔、ａｔ極等の配置関係を正確番ζ３次元でｔｔｍ
、電通することが峻しい−ことである。
帛１図〜Ｉｍ３図は四極子レンズとへ憾子レンズの従来
丙を示すものである〇 第１図は靜区型四他子レンズ本体、第２図はレンズを礁
を１ライメントするための治具である。
丙を示すものである〇 第１図は靜区型四他子レンズ本体、第２図はレンズを礁
を１ライメントするための治具である。
図中の１．２，６．４は電極、１１．ｌｊ、１６゜１４
は颯憔を固定するための絶縁物、９は固定用ベースであ
る。ｄ４２−の２１は第１図の電極１゜２．６．４の位
置を颯制するものであり、２２はνの固定ベースに対す
るｔ極配暖を決めるためのピンである。この場合、磁極
の位置決めをする冶具の加工−おいて、正ｉＩｔ位ｌｉ
ｔ決めテーブルを舊するジグポーラ−彎を利用しでも、
穴の／Ｓ：Ｈれを小さくすることが離しい０また電離を
治Ａｌこよって位＃１決めを行い固定した後で、治具と
レンズを分＊ｔ６ため、冶具とｔ憔との嵌縫部の隙間６
ζよってズレを生じることが多い。
は颯憔を固定するための絶縁物、９は固定用ベースであ
る。ｄ４２−の２１は第１図の電極１゜２．６．４の位
置を颯制するものであり、２２はνの固定ベースに対す
るｔ極配暖を決めるためのピンである。この場合、磁極
の位置決めをする冶具の加工−おいて、正ｉＩｔ位ｌｉ
ｔ決めテーブルを舊するジグポーラ−彎を利用しでも、
穴の／Ｓ：Ｈれを小さくすることが離しい０また電離を
治Ａｌこよって位＃１決めを行い固定した後で、治具と
レンズを分＊ｔ６ため、冶具とｔ憔との嵌縫部の隙間６
ζよってズレを生じることが多い。
第３図はｍ具を使用しない構造の静ｌＥｍへ極子レンズ
の従来−りである。この場合、１憔６１，６２゜６６．
６４，６）、６６．６７．６１１はジグポーラ−尋「こ
よって加工された絶縁−６９１こ直接固定されるため第
１図に比べで、鯖差を小さくすることが可能であるｏし
かし、位＊ｍｍをｌＯμｍ以下ｔ以下上うとすると、ジ
グポーラ壷こよる加工および研磨性１げ＃！に正確に一
測定する手段がなり１ことや、亀惚径と絶縁物の亀礁固
定面とのズレ會こよって位置種度の低下をきたすことが
避けられなし１ｏ また、四極子レンズのように多投レ
ンズ系を組み立でる場合では、Ｌ下の四極子間における
１ライメント、すなわらレンズ中心の変位がナク、かつ
１ｇ１転方向のズレ（アジマスエラー）を小さくするこ
とか大変感しｖｌことである〇 この発明はと紀のような問題点を薩去し、円柱または球
形の形状を組み縫わせること壷こよって尚摺度な憂を憶
レンズを夷埃するものである。現在、蚊も藺い摺度の侍
られる加工は円嫡杉や球形といった丸物である０これら
の加工は旋鉦、研削、研＃告の技術の発達ＩＣ伴ってサ
ブミクロン台の摺度を借ることが可峨である。また真円
度、真球度はαＯ１μｍ台の分Ｉｓ能で固定可能である
〇以下・こ、本＠鴫の＊ ＃ｌＩ＋ Ｈｒこよって一顧
醗こ説明する０第４１１ｇは静を臘四礁子レンズの場合
の一夷織岡を示したものである。図中の４１．４２，４
６．４４は屯−、ｂｌ、＝２．ｂｈ、ｓ＜、ｂｓ、ｂｂ
、ｂｚ、ｈａは絶縁物、５ν、６０，６１．６２ｉ［１
ｆｆｉ絶縁物と同じ径−旬用外崎である０ ５−子レニＩズの１＃Ａまたは磁極の理想形状≦；各２
°。
の従来−りである。この場合、１憔６１，６２゜６６．
６４，６）、６６．６７．６１１はジグポーラ−尋「こ
よって加工された絶縁−６９１こ直接固定されるため第
１図に比べで、鯖差を小さくすることが可能であるｏし
かし、位＊ｍｍをｌＯμｍ以下ｔ以下上うとすると、ジ
グポーラ壷こよる加工および研磨性１げ＃！に正確に一
測定する手段がなり１ことや、亀惚径と絶縁物の亀礁固
定面とのズレ會こよって位置種度の低下をきたすことが
避けられなし１ｏ また、四極子レンズのように多投レ
ンズ系を組み立でる場合では、Ｌ下の四極子間における
１ライメント、すなわらレンズ中心の変位がナク、かつ
１ｇ１転方向のズレ（アジマスエラー）を小さくするこ
とか大変感しｖｌことである〇 この発明はと紀のような問題点を薩去し、円柱または球
形の形状を組み縫わせること壷こよって尚摺度な憂を憶
レンズを夷埃するものである。現在、蚊も藺い摺度の侍
られる加工は円嫡杉や球形といった丸物である０これら
の加工は旋鉦、研削、研＃告の技術の発達ＩＣ伴ってサ
ブミクロン台の摺度を借ることが可峨である。また真円
度、真球度はαＯ１μｍ台の分Ｉｓ能で固定可能である
〇以下・こ、本＠鴫の＊ ＃ｌＩ＋ Ｈｒこよって一顧
醗こ説明する０第４１１ｇは静を臘四礁子レンズの場合
の一夷織岡を示したものである。図中の４１．４２，４
６．４４は屯−、ｂｌ、＝２．ｂｈ、ｓ＜、ｂｓ、ｂｂ
、ｂｚ、ｈａは絶縁物、５ν、６０，６１．６２ｉ［１
ｆｆｉ絶縁物と同じ径−旬用外崎である０ ５−子レニＩズの１＃Ａまたは磁極の理想形状≦；各２
°。
−−１：
１做形状であるが、実用約６ζはレンズの開口径１−（
−ボア）のＬ１４５〜Ｌｌｉ陪の径を有する円として近
似することが出来る０いま、レンズのボア半径を息、電
極又は砿瀦の半径をＲ５レンズ固定用外筒の内調の半径
を几、これ暴こ内接するよう奢こ配喧する絶縁物または
非磁性材料の個数をｏｌその半径をＦＬｏ、！−１４と
≠水呑ル、ＲＬ、ＲＤ ト（Ｄｒｋ１６＋ｃｓｌｌｌよ
うな関係が成り立つ。
−ボア）のＬ１４５〜Ｌｌｉ陪の径を有する円として近
似することが出来る０いま、レンズのボア半径を息、電
極又は砿瀦の半径をＲ５レンズ固定用外筒の内調の半径
を几、これ暴こ内接するよう奢こ配喧する絶縁物または
非磁性材料の個数をｏｌその半径をＦＬｏ、！−１４と
≠水呑ル、ＲＬ、ＲＤ ト（Ｄｒｋ１６＋ｃｓｌｌｌよ
うな関係が成り立つ。
ａｏ＝ｔａｎ＃ （Ｒｔ、（ｔａｎ（１＋１ ）＋ｍ＋
ＫＬ” （ｔａｎ ＃＋１ ） ＋２ＲＬａ ｔａ
ｎθ ） −−−−−１１）但し、ｅ＝に７口 几＝恥”” ＊ｉａａ ） ・・・ｅ１
２）１ｇ４図においてＲｔ、＝Ｌ１４６３ｍ＋ことり、
鴫惚半径Ｒｔ、を６ｍａ＋とすると５１〜６２の絶縁−
反びロッドの半径ＲＤを＆７５７ｍｍ、レンズ固定用外
藺の半径Ｒを２８ ｍｍ ｌｃすればよいことがわかる
。
ＫＬ” （ｔａｎ ＃＋１ ） ＋２ＲＬａ ｔａ
ｎθ ） −−−−−１１）但し、ｅ＝に７口 几＝恥”” ＊ｉａａ ） ・・・ｅ１
２）１ｇ４図においてＲｔ、＝Ｌ１４６３ｍ＋ことり、
鴫惚半径Ｒｔ、を６ｍａ＋とすると５１〜６２の絶縁−
反びロッドの半径ＲＤを＆７５７ｍｍ、レンズ固定用外
藺の半径Ｒを２８ ｍｍ ｌｃすればよいことがわかる
。
このように本発１１によれば１ＩＩＣ極や磁極、絶縁物
や非磁性材料等の真円度とその直径を正確に決め、それ
に会わせてレンズ固定用外−の内径を決めることによっ
て、多重極レンズにおける＃Ｌ惚やａ礁の位置決めが高
精度にできるわけである〇縞４崗の５９〜６２は多段レ
ンズ系におけるアジマスエラーを抑えるための％段間の
′通しロツ°ドの役目をはたしているが、これを非磁性
金属で作ること鹸こよって、亀甑間に絶縁物がのぞくこ
とをｔ＜シ、絞り尋による反射ビームや迷いビームによ
るｌＩ！！縁物のチャージアップＩＣよるレンス唾界の
みだれを小さくすることができる。ここでは絶縁物と通
しロッドの１２本がレンズ固定用外１１に内誉するよつ
に配１１＃ニジたが、絶縁物を遡しロッドの役目もはた
させること−こすれば、レンズ固定用外筒身こ内接させ
るようｔこ配置ｔするのは絶域１８本だけＱ ｂ ”Ｊ
ｈａ ｃあることは明らかである０この１合、―込の
よう奢こ反射ビーム、迷いビーム等着こよるチャージγ
ノブの一影響を小さくするため、＾抵抗材料を絶縁物に
蒸着し、絶縁物上の賦界を一様舎こすることはチャージ
アップ防止上有効である。また、第４図の５９″−６２
の遡しロッド以外の５１〜５８の杷−物を球形のものを
使用することも一エ能である。
や非磁性材料等の真円度とその直径を正確に決め、それ
に会わせてレンズ固定用外−の内径を決めることによっ
て、多重極レンズにおける＃Ｌ惚やａ礁の位置決めが高
精度にできるわけである〇縞４崗の５９〜６２は多段レ
ンズ系におけるアジマスエラーを抑えるための％段間の
′通しロツ°ドの役目をはたしているが、これを非磁性
金属で作ること鹸こよって、亀甑間に絶縁物がのぞくこ
とをｔ＜シ、絞り尋による反射ビームや迷いビームによ
るｌＩ！！縁物のチャージアップＩＣよるレンス唾界の
みだれを小さくすることができる。ここでは絶縁物と通
しロッドの１２本がレンズ固定用外１１に内誉するよつ
に配１１＃ニジたが、絶縁物を遡しロッドの役目もはた
させること−こすれば、レンズ固定用外筒身こ内接させ
るようｔこ配置ｔするのは絶域１８本だけＱ ｂ ”Ｊ
ｈａ ｃあることは明らかである０この１合、―込の
よう奢こ反射ビーム、迷いビーム等着こよるチャージγ
ノブの一影響を小さくするため、＾抵抗材料を絶縁物に
蒸着し、絶縁物上の賦界を一様舎こすることはチャージ
アップ防止上有効である。また、第４図の５９″−６２
の遡しロッド以外の５１〜５８の杷−物を球形のものを
使用することも一エ能である。
この図ではレンズの側面−が表示さｔＩＣいないが、６
３−６６のネジの通る部分の絶縁物の径は当然細くしで
ある。
３−６６のネジの通る部分の絶縁物の径は当然細くしで
ある。
第５図と第６図の夷織列はレンズ固定用外筒とτれに内
接させる絶縁物は同一のものを使用して、四憾子と八極
子相互の１ライメントをとるよう着こした靜電臘四憔子
と静電証人惧子である。
接させる絶縁物は同一のものを使用して、四憾子と八極
子相互の１ライメントをとるよう着こした靜電臘四憔子
と静電証人惧子である。
第７１と第８図は磁界型四惜子レンズの実九列をボして
いる０第７ｃｉ！Ｊの７１．７２，７６．７４は磁極、
７６．７６．７７．７δは電磁コイル、７９はヨーク毫
併ねたレンズ固定用外筒である。粥８図は１硫コイルを
レンズ−逆用り間のント、こ出したしのｊ！、ｌ。
いる０第７ｃｉ！Ｊの７１．７２，７６．７４は磁極、
７６．７６．７７．７δは電磁コイル、７９はヨーク毫
併ねたレンズ固定用外筒である。粥８図は１硫コイルを
レンズ−逆用り間のント、こ出したしのｊ！、ｌ。
ｃｉ、２．ｆ１６．ｄ４が奥憾、８コ、ｅｌｓ６．６７
、ｄａはコイル、Ｂ９はＪＦ−ｉ性材料によるレンズ固
定外浦、９０かヨークである。
、ｄａはコイル、Ｂ９はＪＦ−ｉ性材料によるレンズ固
定外浦、９０かヨークである。
以りのよう會こ本発明によって侍りれる高摺度な多直憾
しンスは釘龜ビーム装−尋の性能２同とさせるはη）り
でなく、妬め薯こ記述したような収差補正レンズ糸や電
子ビーム瘍光装置、Ｍｋ横回路儀責装を寺の烏硝度ビー
ムー向姦寺その利用範囲は広い。＃嵐型四懐子レンズ系
の＾摺度比は一界放射型電子枕を反った走査ｍ電子顧鎮
鏡や亀子ビーム露元表＃Ｌ畳の超＾＾仝系では電子光学
系をホー１ヒできること奢こよって大輪な藷性改醤が期
待できる〇また蝋近の尚４ｄＬイオン源の開発奢ζ汗っ
でイオンビーム装置のレンズ糸としてｔ侠である。
しンスは釘龜ビーム装−尋の性能２同とさせるはη）り
でなく、妬め薯こ記述したような収差補正レンズ糸や電
子ビーム瘍光装置、Ｍｋ横回路儀責装を寺の烏硝度ビー
ムー向姦寺その利用範囲は広い。＃嵐型四懐子レンズ系
の＾摺度比は一界放射型電子枕を反った走査ｍ電子顧鎮
鏡や亀子ビーム露元表＃Ｌ畳の超＾＾仝系では電子光学
系をホー１ヒできること奢こよって大輪な藷性改醤が期
待できる〇また蝋近の尚４ｄＬイオン源の開発奢ζ汗っ
でイオンビーム装置のレンズ糸としてｔ侠である。
１！Ｌｉ他子ｊ［−分析器では一般的に四憾子レンズ１
こ比べ配慮が億漏に長く、ミスアライメントが分解能、
感１ｉ１：Ｉこ大きく参書ｒ６ため、本発明１こよる＾
積置化はメリットか大きい。
こ比べ配慮が億漏に長く、ミスアライメントが分解能、
感１ｉ１：Ｉこ大きく参書ｒ６ため、本発明１こよる＾
積置化はメリットか大きい。
一１凶は一一櫨四憔子レンズの従来内を示す図Ｏ１〜４
は１礁、１１−１４は絶縁物、９はレンズ１疋用ベース
である。第２図は第１１の四億子を１ライメントするた
めの治具である０２１は四憔子亀憔を位置決めするため
のらので、２２は固定ペースとｇ憔との位［関詠を決め
るピンである。 弔３図は靜６を型へ惚子レンズの使米丙を示す図でめる
０！ｈ１〜６８はへ極子屯憔、６９は颯憔固定用の杷−
一である。 第４−は本発明暑こよる靜亀麺四憾子の実施的でめる０
４１〜４４は四憔子蝋憔、５１〜コｄは同一径の杷ｗ書
、５９〜６２は杷−物と同一径の１ジマス城制用のロッ
ド、６６〜６６はネジ、６７〜７υは蝋圧目目口用の絶
縁物でめるｏ７１はレンズ固゛定用外尚であるｏｓ１ｇ
５図と第６ｅｌ！Ｊは本発明中こよる四億子とへ極子の
実施例を示すもので同一のレンズ固定用外筒と絶縁物伊
ζよって四富子と八極子相互の１ライメントがとれるよ
う番こしたものでめる０第７図と第８図は蝉界謔四極子
普こおける本発明ｉ（よる実施例を示すもので、第８−
は電磁コイルをレンズ固定用外筒の外憂ζ覗り付けたも
のである。 図中のハ〜７４は磁極、７５〜７６はｔｍコイル、７９
はレンズ固定用外筒でありヨークの役目もはたｔｏ第８
図では８１〜８４が磁極、８５〜８８が屯磁コイル、８
９はレンズ固定用外筒、９０はヨークである。 ％針山願人 通商腫業雀工業技術院長 石 坂 誠 − 株式会社日電子テクニクス 代表者 １）村 賊 三
は１礁、１１−１４は絶縁物、９はレンズ１疋用ベース
である。第２図は第１１の四億子を１ライメントするた
めの治具である０２１は四憔子亀憔を位置決めするため
のらので、２２は固定ペースとｇ憔との位［関詠を決め
るピンである。 弔３図は靜６を型へ惚子レンズの使米丙を示す図でめる
０！ｈ１〜６８はへ極子屯憔、６９は颯憔固定用の杷−
一である。 第４−は本発明暑こよる靜亀麺四憾子の実施的でめる０
４１〜４４は四憔子蝋憔、５１〜コｄは同一径の杷ｗ書
、５９〜６２は杷−物と同一径の１ジマス城制用のロッ
ド、６６〜６６はネジ、６７〜７υは蝋圧目目口用の絶
縁物でめるｏ７１はレンズ固゛定用外尚であるｏｓ１ｇ
５図と第６ｅｌ！Ｊは本発明中こよる四億子とへ極子の
実施例を示すもので同一のレンズ固定用外筒と絶縁物伊
ζよって四富子と八極子相互の１ライメントがとれるよ
う番こしたものでめる０第７図と第８図は蝉界謔四極子
普こおける本発明ｉ（よる実施例を示すもので、第８−
は電磁コイルをレンズ固定用外筒の外憂ζ覗り付けたも
のである。 図中のハ〜７４は磁極、７５〜７６はｔｍコイル、７９
はレンズ固定用外筒でありヨークの役目もはたｔｏ第８
図では８１〜８４が磁極、８５〜８８が屯磁コイル、８
９はレンズ固定用外筒、９０はヨークである。 ％針山願人 通商腫業雀工業技術院長 石 坂 誠 − 株式会社日電子テクニクス 代表者 １）村 賊 三
Claims (1)
- 四惚子、六極子、へ偽子梼造を有する荷電ビーム用多重
礁しンズ遥こおいて、外形寸法が晩卸の円柱形または球
形のｔｉｉおよび絶縁物または確性および＃ＩｆＩ＆性
材料を銀材料わせ、前記絶縁物または＃Ｉ砿注性材料パ
イプ状のＩｌｌに１間なく内接するように配喧し、２つ
の隣接する絶縁物または非ａ性Ｊｉｔ科Ｊ：に電極また
は磁極を取り付けることによって、所望の位置にＩＩＩ
Ｉ起鑞極または磁極を＾精度に配置することを時機とす
る多重極レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192463A JPS5894745A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 多重極レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56192463A JPS5894745A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 多重極レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5894745A true JPS5894745A (ja) | 1983-06-06 |
| JPS6331895B2 JPS6331895B2 (ja) | 1988-06-27 |
Family
ID=16291711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56192463A Granted JPS5894745A (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 多重極レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5894745A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02230647A (ja) * | 1989-01-24 | 1990-09-13 | Ict Integrated Circuit Testing G Fur Halbleiterprueftechnik Mbh | 多極素子及びその製造方法 |
| JPH03100353U (ja) * | 1990-01-30 | 1991-10-21 | ||
| JP2006185637A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-13 | Kyocera Corp | 静電偏向器及びそれを用いた電子線装置 |
| JP2007095702A (ja) * | 1995-08-11 | 2007-04-12 | Mds Health Group Ltd | 軸電界を有する分析計 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6291828B1 (en) * | 1999-12-21 | 2001-09-18 | Axchlisrtechnologies, Inc. | Glass-like insulator for electrically isolating electrodes from ion implanter housing |
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| JPS53133561U (ja) * | 1977-03-29 | 1978-10-23 |
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-
1981
- 1981-11-30 JP JP56192463A patent/JPS5894745A/ja active Granted
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| JPS6331895B2 (ja) | 1988-06-27 |
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