SU1357701A1 - Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени - Google Patents
Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1357701A1 SU1357701A1 SU853929414A SU3929414A SU1357701A1 SU 1357701 A1 SU1357701 A1 SU 1357701A1 SU 853929414 A SU853929414 A SU 853929414A SU 3929414 A SU3929414 A SU 3929414A SU 1357701 A1 SU1357701 A1 SU 1357701A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- diffraction pattern
- product
- intensity
- maxima
- unit
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности измерени за счет поддержани неизменной интенсивности максимумов дифракционной картины. Когерентньй монохроматический пучок света, формируемый лазером 1, направл ют через модул тор 2 интенсивности на изделие 18. Дифракционна картина, формируема объективом 3, сканируетс блоком 4 сканировани дифракционной картины и преобразуетс в электрический сигнал фотоприемником 5. Период сигнала, снимаемого с фотоприемника 5, измер етс блоком 6 измерени периода. По периоду сигнала суд т о размере издели . В начале и по окончании сканировани дифракционной картины датчики 11 и 12 положени формируют сигналы, по которым блок 13 формировани нелинейно измен ющегос напр жени формирует напр жение, амплитуда которого об- . ратно пропорциональна амплитудам максимумов в дифракционной картине при среднем размере издели 18. Сигнал , снимаемый с блока 13, поступает на вход модул тора 2 интенсивности, который поддерживает посто нной интенсивность максимумов дифракционной картины. 2 с.п. ф-лы, 3 ил. i (Л
Description
11
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл измерени линейного размера различных изделий, например мик ропроволоки.
Цель изобретени - повьшение точности измерени .
На фиг. 1 представлена функциональна схема устройства, реализующего способ; на фиг. 2 - функциональ на схема блока формировани нелиней но измен ющегос напр жени ; на фиг. 3 - временные диаграммы сигна- лов, формируемых на выходе распределител импульсов и формировател , нелинейно увеличивающегос напр жени .
Устройство содержит оптически св занные лазер 1, модул тор 2 интенсивности , объектив 3. блок 4 сканировани дифракционной картины и фотоприемник 5, блок 6 измерени периода , состо щий из последовательно соединенных полосового фильтра 7, подключенного к фотоприемнику 5, узла 8 определени экстремума, узла 9 измерени периода, индикатора 10, датчики 11 и 12 положени , св занные с блоком 4 сканировани дифракционной картины, блок 13 формировани нелинейно измен ющегос напр жени синхронизирующие входы которого подключены к датчикам 11 и 12 положени выход блока 13 формировани нелинейно измен ющегос напр жени соединен с управл ющим входом модул тора 2 интенсивности.
Блок 13 формировани нелинейно из мен ющегос напр жени (фиг. 2) выполнен в виде генератора 14, триггера 15, распределител 16 импульсов, тактовый и управл ющий входы которого подключены к генератору 14 и выходу триггера 15, формировател 17 нелинейно увеличивающегос напр жени , управл ющие и синхронизирующие входы которого подключены соответственно к выходам распределител 16 импульсов и выходам триггера 15.
Измер етс линейный размер издели 18.
Способ реализуетс следующим образом .
Монохроматический когерентньй пучок света, формируемый лазером 1, направл етс через модул тор 2 интен сивности на изделие 18. Дифракционна картина от издели 18 строитс
)
577012
с помощью объектива 3 в плоскости анализа.
Блок 4 сканировани дифракцинной картины осуществл ет сканирование дифракционной картины, а фотоприемник 5 преобразует распределение интенсивности дифракционной картины в электрический сигнал.
IQ При достижении элементом сканировани , вход щего в блок 4 сканировани дифракционной картины первого крайнего положени , соответствующего пространственному положению нуле15 вого максимума дифракционной картины , датчик 11 положени формирует сигнал, поступающий на триггер 15 (фиг..2а)5 вход щий в блок 13 формировани нелинейно измен ющегос нап20 р жени .
. Триггер 15 перебрасываетс и формирует сигнал управлени , поступающий на распределитель 16 импульсов. По тактовым сигналам, формируемым
25 генератором 14, распределитель 16 импульсов формирует сдвинутые по времени друг относительно друга импульсы (фиг. За), поступающие на, управл ющие входы формировател 17
30 нелинейно увеличивающегос напр жени , формирующего нелинейно измен ющеес напр жение (фиг. 36).
Нелинейно измен ющеес напр жение, форма которого обратно пропорциональна распределению интенсивности максимумов дифракционной картины от издели 18, при отключенном модул торе 2 интенсивности поступает на модул тор 2 интенсивности измен юще35
го интенсивность потока излучени лазера 1.
При сканировании дифракционной картины блоком 4 сканировани дифракционной картины на выходе фотоприемника 5 формируетс периодический сигнал, амплитудные значени которого измен ютс незначительно.
Периодический электрический сигнал , снимаемый с фотоприемника 5. поступает на полосовой фильтр 7, вход щий в блок 6 измерени периода. Сигнал с выхода полосового фильтра 7 поступает на узел 8 определени экстремума, выдел ющего экстремальные точки периодического электрического сигнала.
Импульсы с выхода узла 8 определени экстремума поступают на вход узла 9 измерени периода, осуществл ю3
щего измерение периода импульсов, формируемых узлом 8 определени экстремума .
Результат измерени одного или нескольких периодов импульсов, длительность которых св зана с линейным размером издели 18, индицируетс индикатором 10.
При достижении элементом сканировани , вход щим в блок 4 сканировани дифракционной картины, второго крайнего положени , соответствующего пространственному положению одного из боковых максимумов дифракционной картины, датчик 12 положени формирует сигнал, поступающий на триггер 15, и перебрасывает его.
Триггер 15 формирует сигналы управлени , один из которых останавливает распределитель 16 импульсов, второй сигнал управлени сбрасывает в ноль формирователь 17 нелинейно увеличивающегос напр жени .
При этом модул тор 2 интенсивности уменьшает интенсивность пучков лучей, формируемых лазером 1, до
величины, близкой к нулю (фиг. Зб). I
Использование предлагаемых способов и устройства позвол ет повысить точность измерени за счет более точного выравнивани интенсив- ностей максимумов дифракционной картины .
Claims (2)
1. Дифракционный способ измерени линейного размера издели , заключаю357701 4
щийс в том, что направл ют на изделие монохроматический когерентный пучок света, формируют от издели дифракционную картину, интенсивность максимумов которой поддерживают посто нной при среднем размере издели , сканируют дифракционную картину с одновременным преобразованием распре10 делени интенсивности дифракционной картины в электрический сигнал, измер ют период электрического сигнала , по которому суд т о линейном размере издели , отличающий15 с тем, что, с целью повьмени точности измерени , интенсивность максимумов дифракционной картины поддерживают посто нной, измен инт тенсивность пучка света, направл е20 мого на изделие.
2. Устройство дл измерени линейного размера издели , содержащее оптически св занные лазер, объектив, модул тор интенсивности, блок ска25 нировани дифракционной картины и фотоприемник, блок измерени периода , о-т л и чающеес тем, что, с целью повышени точности измерени , оно снабжено двум датчика30 ми положени , св занными с блоком сканировани дифракционной картины, блоком формировани нелинейно измен ющегос напр жени , синхронизирующие входы которого подключены к двум датчикам положени ,модул тор интенсивности выполнен электрически управл емым , управл ющий вход модул тора интенсивности подключен к выходу блока формировани нелинейно из .Q мен ющегос напр жени .
35
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853929414A SU1357701A1 (ru) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853929414A SU1357701A1 (ru) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1357701A1 true SU1357701A1 (ru) | 1987-12-07 |
Family
ID=21189199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853929414A SU1357701A1 (ru) | 1985-07-12 | 1985-07-12 | Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1357701A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2629895C1 (ru) * | 2016-07-13 | 2017-09-04 | Акционерное общество "ЛОМО" (АО "ЛОМО") | Дифракционный способ измерения линейного размера объекта |
-
1985
- 1985-07-12 SU SU853929414A patent/SU1357701A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Крылов К.И., Прокопенко В.Т. и Митрофанов А.С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении.- Л.: Машиностроение, 1978, с. 261, 262, рис. 154. * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2629895C1 (ru) * | 2016-07-13 | 2017-09-04 | Акционерное общество "ЛОМО" (АО "ЛОМО") | Дифракционный способ измерения линейного размера объекта |
| WO2018013003A1 (ru) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) | Дифракционный способ измерения линейного размера объекта |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0819924A3 (en) | Apparatus and method for measuring characteristics of optical pulses | |
| US4131248A (en) | Optical range resolution system | |
| SU1357701A1 (ru) | Дифракционный способ измерени линейного размера издели и устройство дл его осуществлени | |
| GB1521351A (en) | Methods and apparatus for measuring variations in distance to a surface | |
| SU1370456A1 (ru) | Способ фиксации положени границы объекта | |
| DE3669587D1 (de) | Verfahren und anordnung zur dreidimensionalen optischen erfassung von objekten. | |
| JPS5459166A (en) | Visual sensibility measuring apparatus of interferometer | |
| SU1210098A1 (ru) | Устройство дл измерени скорости движени объекта | |
| SU1437786A1 (ru) | Оптико-электронное измерительное устройство | |
| EP0506358A3 (en) | Sampling-type optical voltage detector | |
| RU2166182C2 (ru) | Интерференционный способ измерения угла поворота объекта | |
| US5019704A (en) | Measuring circuit for detecting measurement signals | |
| SU1647249A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство дл измерени профил и толщины изделий сложной формы | |
| SU706690A1 (ru) | Способ измерени поперечных размеров оптически прозрачных структур | |
| RU2062445C1 (ru) | Способ измерения структуры и динамики микрообъектов и устройство для его осуществления | |
| SU977944A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени дробной части интерференционной полосы | |
| SU1298544A1 (ru) | Способ дистанционной поверки линейных мер | |
| SU1095206A1 (ru) | Устройство дл считывани информации | |
| RU1818528C (ru) | Способ измерени угловой скорости с помощью волоконно-оптического гироскопа | |
| SU1188535A1 (ru) | Оптико-электронное устройство дл измерени линейных и угловых перемещений | |
| SU1244485A1 (ru) | Способ измерени перемещени растрового преобразовател | |
| SU1293498A1 (ru) | Интерферометрическое устройство дл измерени амплитуды механических колебаний | |
| SU1441201A1 (ru) | Способ измерени скорости механических колебаний | |
| SU1716324A1 (ru) | Оптико-электронное помехоустойчивое измерительное устройство | |
| SU949343A1 (ru) | Фотоэлектрический виброщуп |