SU1308834A1

SU1308834A1 - Способ измерени размеров изделий

Info

Publication number: SU1308834A1
Application number: SU864070674A
Authority: SU
Inventors: Павел Павлович Бодюл; Михаил Петрович Бойко; Ефим Алексеевич Засавицкий; Валерий Георгиевич Канцер; Анатолий Сергеевич Сидоренко
Original assignee: Институт Прикладной Физики Ан Мсср
Priority date: 1986-03-27
Filing date: 1986-03-27
Publication date: 1987-05-07

Abstract

Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике. Целью изобретени вл етс измерение размеров коаксиальных двухкомпонентных изделий за счет обеспечени возможности сравнени дифракционных картин, полученных от обеих компонент издели . Способ из.мерени размеров изделий заключаетс в том, что на объект 12 направл ют излучение лазеров 1 и 2 с различными рабочими частотами; дл лазера 1 непрозрачно все изделие, дл лазера 2 - внутренн компонента издели . Периодически синхронно сканируют no, iy- ченные дифракционные картины и на выходах селективных фотоприемников 6 и 7 получают сигналы, соответствующие первой и второй дифракционным картинам, которые затем дважды дифференцируютс и подаютс на входы двухлучевого осци,т- лографа 10. Совмещают на экране осциллографа 10 две кривые и по рассто нию между совпадающими максимумами суд т о размерах всего изде,1и , а по рассто нию между несовпадающими .максимумами - о размерах внутренней компоненты издели . 2 ил. // (О (Л с 12 оо о 00 оо со

Description

Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл измерени и контрол малых понеречных размеров тонких коаксиальных двухкомпонентных изделий.

Цель изобретени - измерение размеров коаксиальных двухкомпонентных изделий за счет обеспечени возможности сравнени дифракционных картин, полученных от обеих компонент издели .

На фиг. 1 приведена блок-схема устройства дл реализации способа; на фиг. 2 - кривые, наблюдаемые на экране осциллографа .

Устройство дл реализации способа измерени размеров изделий содержит два лазера 1 и 2 с рабочими частотами в различных област х спектра, объективы 3 и 4, оптически св занные с лазерами 1 и 2 соответственно , сканатор 5 в виде вращающегос отражател , оптически св занный с объективами 3 и 4, два селективных фотоприемника 6 и 7, работающих в спектральных област х лазеров 1 и 2 соответственно и оптически св занных через сканатор 5 с объективами 3 и 4 соответственно, два блока 8 и 9 преобразовани электрических сигналов, входы которых св заны с выходами фотоприемников 6 и 7 соответственно, двухлучевой осциллограф 10, входы которого св заны с выходами блоков 8 и 9 преобразовани электрических сигналов, и ограничивающий экран 11.

Устройство работает следующим образом .

На объект 12 направл ют излучение первого лазера 1 с рабочей частотой f , в которой изделие непрозрачно, и излучение второго лазера 2 с рабочей частотой fa , в которой непрозрачна внутренн компонента издели . Периодически синхронно сканируют полученные первую и вторую дифракционные картины с помощью скана- тора 5. На выходах первого 6 и второго 7 селективных фотоприемников получают электрические сигналы, соответствующие первой и второй дифракционным картинам, которые дважды дифференцируют в блодах

8 и 9 преобразовани электрических сигналов соответственно и подают на первый и второй входы двухлучевого осциллографа 10, врем развертки которого устанав- ливаетс равным периоду сканировани .

Совмещают на экране осциллографа 10 две кривые и по рассто нию между совпадающими максимумами суд т о размерах всего издели , а по рассто нию между несовпадающими максимумами - о размерах внутренней компоненты издели d -у-, где D - размер издели ; d - размер внутренней компоненты издели ; X - рассто ние между совпадающими максимумами; у - рассто ние между

несовпадающими максимума.ми; А - коэффициент , завис щий от геометрического расположени объекта, объективов, отражател , фотоприемников, скорости вращени отражател и определени независимо до начала измерений.

Claims

Формула изобретени

Способ измерени размеров изделий,

заключающийс в том, что объект облучают излучением с частотой fi, дл которой изделие непрозрачно, периодически сканируют полученную дифракционную картину, преобразуют оптический сигнал в электрический , отличающийс тем, что, с целью измерени размеров коаксиальных двухкомпонентных изделий, объект облучают излучением с частотой fj, дл которой непрозрачна внутренн компонента издели , периодически сканируют полученную дифракционную картину синхронно с дифракционной

картиной, полученной при облучении объекта излучением с частотой f,, преобразуют второй оптический сигнал в электрический, полученные электрические сигналы дважды дифференцируют и отображают в виде двух

кривых на экране осциллографа, совмещают две кривые и по рассто нию между совпадающими максимумами суд т о размерах всего издели , а по рассто нию между несовпадающими максимумами - о размерах внутренней компоненты издели .

Фи.г.2