RU96117350A

RU96117350A - Электрод для электрохимической обработки

Info

Publication number: RU96117350A
Application number: RU96117350/02A
Authority: RU
Inventors: Петер Ван Кессел Роланд; Александер Ренсинг Петрус; Хюбертус Мари Сандерс Франсискус; Герардус Виссер Корнелис
Original assignee: Филипс Электроникс Н.В.
Priority date: 1994-11-28
Filing date: 1995-11-02
Publication date: 1998-11-27

Claims

1. Электрод для электрохимической обработки электропроводных изделий, который локально покрыт электроизоляционным слоем, отличающийся тем, что этот слой включает неорганическую решетку из окиси кремния и окиси циркония, а также углеродсодержащий полимер, который химически связан с указанной неорганической решеткой и переплетается с нею посредством Si-C-связей.

2. Электрод по п. 1, отличающийся тем, что толщина слоя составляет 0,5 - 10 мкм.

3. Электрод по п. 1, отличающийся тем, что слой включает 5 - 35 мол.% окиси циркония относительно окиси кремния.

4. Электрод по п. 1, отличающийся тем, что электрод выполнен из меди или медного сплава.

5. Способ изготовления электрода по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что электроизоляционный слой получают проведением золь-гелевого процесса, в котором на электрод наносят водный раствор алкоксисиланового соединения и алкоксициркониевого соединения и его конвертируют в изоляционный слой нагреванием указанного раствора, причем указанный раствор включает помимо воды и органического растворителя, следующие компоненты: триалкоксисилан формулы (RO)₃Si-P¹, где R обозначает C₁-C₅алкильную группу, R¹ обозначает полимерную группу и группа R¹ химически связана с Si-атомом посредством Si-C-связи, и тетраалкоксицирконат формулы Zr(OR)₄, где значения P указаны выше, причем термическую обработку проводят для получения изоляционного слоя из неорганической решетки окиси кремния и окиси циркония и для получения полимера из полимеризуемых групп R¹, полимер химически связан с неорганической решеткой и переплетается с ней посредством Si-C-связей.

6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что полимеризуемую R¹-группу выбирают из класса, состоящего из эпокси-, метакрилокси- и винильной групп.

7. Способ по п. 5, отличающийся тем, что раствор включает следующие компоненты: алкоксисоединения в пересчете на молярное процентное содержание: 40 - 90 мол.% 3-глицидоксипропилтриметоксисилана, 5 - 35 мол.% тетрабутоксицирконата, 0,01 - 10 мол.% 3-аминопропилтриэтоксисилана, 0 - 30 мол.% фенилтриметоксисилана, органический растворитель, вода.