RU2536394C1 - Способ возбуждения головки для выброса жидкости, головка для выброса жидкости и устройство для выброса жидкости - Google Patents
Способ возбуждения головки для выброса жидкости, головка для выброса жидкости и устройство для выброса жидкости Download PDFInfo
- Publication number
- RU2536394C1 RU2536394C1 RU2013131242/12A RU2013131242A RU2536394C1 RU 2536394 C1 RU2536394 C1 RU 2536394C1 RU 2013131242/12 A RU2013131242/12 A RU 2013131242/12A RU 2013131242 A RU2013131242 A RU 2013131242A RU 2536394 C1 RU2536394 C1 RU 2536394C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- potential
- liquid
- energy
- generating element
- electrodes
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 230000005284 excitation Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 59
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 59
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 107
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 96
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 11
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008807 WSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/05—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers produced by the application of heat
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0455—Details of switching sections of circuit, e.g. transistors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0458—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on heating elements forming bubbles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14387—Front shooter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/13—Heads having an integrated circuit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Устройство для выброса жидкости включает в себя головку для выброса жидкости, которая включает в себя выпускное отверстие для выброса жидкости и подложку, включающую в себя вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости, пару электродов, соединенных с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения, изолирующий слой из изоляционного материала, обеспеченный для накрывания вырабатывающего энергию элемента, и металлический слой из металлического материла, обеспеченный в соответствии с вырабатывающим энергию элементом, для накрывания изолирующего слоя, и задающий блок, который устанавливает первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости, а второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента. 3 н. и 7 з.п. ф-лы, 6 ил.
Description
ОБЛАСТЬ ТЕХНИКИ, К КОТОРОЙ ОТНОСИТСЯ ИЗОБРЕТЕНИЕ
Настоящее изобретение относится к способу возбуждения головки для выброса жидкости, головке для выброса жидкости и устройству для выброса жидкости.
УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ
Типичная головка для выброса жидкости, установленная в устройстве для выброса жидкости, представленном термографическим струйным записывающим устройством, имеет множество вырабатывающих энергию элементов, которые вырабатывают тепловую энергию, используемую для выброса жидкости.
Как описано в PTL 1, вырабатывающий энергию элемент выполнен таким образом, что на подложке, выполненной из кремния, обеспечены слой тепловыделяющего резистивного материала, который выделяет теплоту в результате подвода электроэнергии, и пара электродов для подвода электроэнергии к этому слою, а для накрывания дополнительно обеспечен изолирующий слой из изоляционного материала. Чтобы защищать изолирующий слой от воздействия кавитации, порождаемой, когда жидкость или подобное выбрасывается, на поверхности изолирующего слоя для повышения его износостойкости, обеспечивают металлический слой, выполненный из металлического материала. Кроме этого, ухудшение износостойкости и/или растворение металлического слоя может происходить, когда изолирующий слой имеет отверстие (трещину), поскольку между металлическим слоем и жидкостью происходит электрохимическая реакция, приводящая к разрушению металлического слоя. Поэтому на стадии изготовления выполняется контроль изоляционных свойств между вырабатывающим энергию элементом и металлическим слоем. Описанный выше металлический слой имеет форму полосы и обычно обеспечивается для защиты множества вырабатывающих энергию элементов, а контроль изоляционных свойств проводится с использованием контрольного вывода, соединенного с металлическим слоем, и контрольного вывода, соединенного обычно с множеством вырабатывающих энергию элементов. Согласно этому способу контроль изоляционных свойств изолирующего слоя можно выполнять совместно для множества вырабатывающих энергию элементов.
ПЕРЕЧЕНЬ ССЫЛОК НА ПАТЕНТНУЮ ЛИТЕРАТУРУ
PTL 1: Патентная публикация Японии № 2004-50646.
Однако даже если в процессе изготовления осуществляется контроль изолирующего слоя, то, когда в изолирующем слое в результате физического воздействия, такого как кавитация, порождаемой, когда при записи гасятся пузырьки воздуха, формируется трещина или подобное, вырабатывающий энергию элемент и металлический слой могут в некоторых случаях закорачиваться. В общем, головка для выброса жидкости, описанная выше, подвергается возбуждению путем прикладывания к паре электродов потенциала Земли (GND-потенциала), который по существу равен 0 В, и потенциала (VH-потенциала) источника питания, более высокого, чем потенциал Земли. Так как подающее отверстие, используемое для подвода жидкости, в этом случае проходит сквозь подложку, соединенную с GND-потенциалом, то жидкость тоже имеет GND-потенциал.
Поскольку жидкость, такая как чернила, содержит большое количество электролита и обладает электропроводимостью, то, если к вырабатывающему энергию элементу прикладывается VH-потенциал, который выше потенциала жидкости с GND-потенциалом, металлический слой имеет относительно потенциала жидкости положительный потенциал. Например, в качестве металлического слоя используется иридий или рутений, и отношение между потенциалом и pH показано на фиг. 6A или 6B.
Как очевидно из вышеупомянутого отношения, если металлический слой имеет положительный потенциал, а также находится в контакте с жидкостью, имеющей pH от 7 до 10, то металлический слой может в некоторых случаях, в зависимости от материала металлического слоя, быть растворен. То есть, в конструкции, описанной в PTL 1, в которой множество вырабатывающих энергию элементов обычно накрыто металлическим слоем в форме полосы, когда один вырабатывающий энергию элемент замкнут накоротко, металлический слой, покрывающий множество вырабатывающих энергию элементов, может быть в некоторых случаях растворен. Кроме этого, уменьшается толщина металлического слоя и в результате может ухудшаться его износостойкость. К тому же, пузырьки воздуха, создаваемые во время растворения металлического слоя, будут покрывать верхние поверхности вырабатывающих энергию элементов, и, в результате этого, в некоторых случаях нормальная запись не может выполняться.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Согласно аспекту настоящего изобретения устройство для выброса жидкости содержит головку для выброса жидкости, которая включает в себя выпускное отверстие для выброса жидкости и подложку, включающую в себя вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости, пару электродов, соединенных с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения, изолирующий слой из изоляционного материала, обеспеченный для накрывания вырабатывающего энергию элемента, металлический слой из металлического материла, обеспеченный в соответствии с вырабатывающим энергию элементом, для накрывания изолирующего слоя, и задающий блок, который устанавливает первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости, а второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента.
Когда обеспечена головка для выброса жидкости, описанная выше, то, даже если вырабатывающий энергию элемент и металлический слой замкнуты накоротко в результате трещины или подобного, образовавшегося в изолирующем слое вследствие физического повреждения, металлический слой, накрывающий другие вырабатывающие энергию элементы, не имеет положительного потенциала относительно потенциала жидкости, и поэтому может выполняться надежная запись.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ
Фиг. 1A - схематичный вид в перспективе устройства для выброса жидкости.
Фиг. 1B - схематичный вид в перспективе блока головки.
Фиг. 2A - схематичный вид в перспективе головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 2B - схематичный вид сверху головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 3A - вид в поперечном разрезе головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 3B - принципиальная схема головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 4A - вид в поперечном разрезе головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 4B - принципиальная схема головки для выброса жидкости согласно настоящему изобретению.
Фиг. 5A - вид, иллюстрирующий отношение между потенциалом и растворением металлического слоя.
Фиг. 5B - принципиальная схема головки для выброса жидкости.
Фиг. 5C - принципиальная схема головки для выброса жидкости.
Фиг. 6A - схема зависимости потенциал-pH для иридия.
Фиг. 6B - схема зависимости потенциал-pH для рутения.
ОПИСАНИЕ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ
Головка для выброса жидкости может быть установлена в различных устройствах, как например, принтере, копировальной машине, факсимильном аппарате с системой связи и текстовом процессоре с печатающим узлом, и кроме того может быть установлена в промышленное записывающее устройство, выполненное как одно целое из разных обрабатывающих устройств. Кроме этого, когда используется эта головка для выброса жидкости, запись может осуществляться на разных носителях для записи, например бумаге, пряже, волокне, ткани, коже, металле, пластмассе, стекле, дереве и керамике.
Термин «запись», используемый в данном описании, указывает, что не только изображение, такое как буква или фигура, имеющие определенное значение, передается на носитель для записи, но также указывает, что и такое изображение, как узор без какого-либо значения, передается на него.
Кроме этого, в настоящем описании термин «жидкость» следует толковать в широком значении и применительно к носителю для записи жидкость - это жидкость, которая используется для формирования изображения, чертежа, узора или подобного, для обработки носителя для записи или для осуществления обработки чернил или носителя для записи. В этом варианте осуществления обработка чернил или носителя для записи включает в себя, например, обработки для повышения фиксации в результате отверждения или переведения в нерастворимую форму красящего вещества, содержащегося в чернилах, наносимых на носитель для записи, повышения качества записи или формирования цвета и повышения долговечности изображения. Кроме этого, «жидкость», которая используется для устройства для выброса жидкости по настоящему изобретению, содержит, как правило, большое количество электролита и обладает в связи с этим электропроводимостью.
В дальнейшем в этом документе со ссылкой на чертежи будут описаны варианты осуществления настоящего изобретения. В следующем далее описании элементы, имеющие одинаковое назначение, будут обозначены на чертежах одним и тем же номером позиции.
Будет описано устройство для выброса жидкости.
Фиг. 1A - схематичный вид, на котором показано устройство для выброса жидкости, в которое может устанавливаться головка для выброса жидкости согласно настоящему изобретению. Как показано на фиг. 1A, подающий винт 5004 вращается вместе с возвратно-поступательным вращением приводного электродвигателя 5013 посредством шестерен 5011 и 5009 передачи движущей силы. Блок головки может устанавливаться в каретку, которая имеет шип (не показан), который входит в зацепление с винтовой канавкой 5005 подающего винта 5004, и перемещается возвратно-поступательно в направлении стрелки a и стрелки b, когда вращается подающий винт 5004. Блок 400 головки установлен на этой каретке HC.
Будет описан блок головки.
Фиг. 1B - вид в перспективе блока 400 головки, которая может быть установлена в устройство для выброса жидкости, показанное на фиг. 1A. Головка 41 для выпуска жидкости (именуемая в дальнейшем в этом документе также как «головка») имеет электрическое соединение посредством гибкой пленочной подложки 43 со слоем межсоединений с контактными площадками 44, которые должны быть соединены с устройством для выброса жидкости. Кроме этого головка 41 объединена с резервуаром 42 для чернил для образования блока 400 головки. Хотя блок 400 головки этого варианта осуществления, показанного для примера, выполнен как одно целое из резервуара 42 для чернил и головки 41, также может использоваться разъемный блок головки, от которого можно отделять резервуар для чернил.
Фиг. 2A - вид в перспективе головки 41 для выброса жидкости согласно этому варианту осуществления. Головка 41 для выброса жидкости имеет подложку 50 головки для выброса жидкости, включающую в себя вырабатывающие энергию элементы 23, которые вырабатывают тепловую энергию, используемую для выброса жидкости, и стенку 15 с каналами, обеспеченную на подложке 50 головки для выброса жидкости. Стенка 15 с каналами может быть выполнена, используя отверждаемый материал термореактивной смолы, такой как эпоксидная смола, и имеет выпускные отверстия 3 для выброса жидкости и перегородки 17a каналов 17, сообщающихся с соответствующими выпускными отверстиями 3. Каналы 17 образуются, когда стенка 15 с каналами приводится в контакт с подложкой 50 головки для выброса жидкости, так что перегородки 17a располагаются внутри. Выпускные отверстия 3, выполненные в стенке 15 с каналами, обеспечены с заданным зазором для формирования линий вдоль подающего отверстия 4, проходящего сквозь подложку 50 головки для выброса жидкости. Жидкость, подаваемая из подающего отверстия 4, перемещается к каналам 17 и далее подвергается пленочному кипению посредством тепловой энергии, генерируемой вырабатывающими энергию элементами 23, так что создаются пузырьки воздуха. Так как в результате давления, создаваемого в это время, жидкость выбрасывается из выпускного отверстия 3, то выполняется запись. Кроме этого, головка 41 для выброса жидкости имеет множество выводов 22, используемых для электрического соединения, и, например, для возбуждения вырабатывающих энергию элементов 23 на терминалы 22 от устройства для выброса жидкости посылаются логические сигналы для управления задающими элементами 20 и VH-потенциалом/потенциалом Земли (GND-потенциалом). Помимо этого, чтобы возбуждать вырабатывающий энергию элемент 23, напряжение должно прикладываться таким образом, чтобы разность потенциалов между двумя концами вырабатывающего энергию элемента 23 составляла от 10 до 40 В.
Фиг. 2B - схематичный вид сверху головки 41 для выброса жидкости, в которой металлический слой 11 как правило покрывает вырабатывающие энергию элементы 23. Контрольный вывод 40, используемый для контроля, осуществляемого при изготовлении, соединен с металлическим слоем 11. Когда электрическое соединение между металлическим слоем и вырабатывающими энергию элементами 23 подтверждается с использованием контрольного вывода 40, одновременно может быть подтверждено, что изолирующий слой не имеет дефектов изоляции.
Фиг. 3A - вид в поперечном разрезе, на котором схематично показано состояние головки 41 для выброса жидкости, взятом в направлении, перпендикулярном подложке 50 по линии IIIA-IIIA на фиг. 2A. На подложке 1 из кремния, в которой обеспечен задающий элемент 20, такой как транзистор, обеспечены слой 14 термического окисления, образованный путем термического окисления части подложки 1, первый аккумулирующий тепло слой 13 и второй аккумулирующий тепло слой 12, причем два аккумулирующих тепло слоя выполнены из кремниевого соединения, используя способ химического осаждения из паровой фазы или подобное.
В качестве первого аккумулирующего тепло слоя 13 и второго аккумулирующего тепло слоя 12, в частности, могут, к примеру, использоваться такие изоляционные материалы, как SiO, SiN, SiON, SiOC и SiCN. Как первый аккумулирующий тепло слой 13, так и второй аккумулирующий тепло слой 12 могут также выполнять функцию изолирующего слоя, который изолирует электрод. На втором аккумулирующем тепло слое 12 обеспечен тепловыделяющий резистивный слой 10 из материала, который выделяет теплоту в результате подвода электроэнергии, и пара электродов 9 из материала, состоящего главным образом из алюминия или подобного, с низкой сопротивляемостью по сравнению с сопротивляемостью тепловыделяющего резистивного слоя 10, обеспечена таким образом, чтобы находиться с ним в контакте. В качестве материала для тепловыделяющего резистивного слоя может, в частности, использоваться, например, TaSiN или WSiN. Первое напряжение и второе напряжение прикладываются к паре электродов 9, чтобы дать возможность части тепловыделяющего резистивного слоя 10, расположенного между ними, выделять теплоту в результате подвода электроэнергии, так чтобы вышеупомянутая часть тепловыделяющего резистивного слоя 10 использовалась в качестве вырабатывающего энергию элемента 23. Эти тепловыделяющие резистивные слои 10 и пара электродов 9 покрыты изолирующим слоем 8 из изоляционного материала, такого как кремниевое соединение, SiN или подобное, с тем, чтобы быть изолированными от жидкости, которая должна выбрасываться. Чтобы защищать вырабатывающий энергию элемент 23 от воздействия кавитации или подобного, вызываемого закипанием и сжиманием жидкости, которая должна выбрасываться, на изолирующем слое 8 в положении, соответствующем верхней части вырабатывающего энергию элемента 23, обеспечен металлический слой 11, используемый в качестве стойкого к воздействию кавитации слоя. То есть, металлический слой 11 обеспечен в положении напротив вырабатывающего энергию элемента 23.
В частности, в качестве металлического слоя 11 может использоваться такой металлический материал, как иридий или рутений. Помимо этого, на изолирующем слое 8 обеспечена стенка 15 с каналами. Кроме того, для повышения сцепления между изолирующим слоем 8 и стенкой 15 с каналами между изолирующим слоем 8 и стенкой 15 с каналами может также обеспечиваться адгезионный слой, образованный из полиэфирамидной смолы или подобного.
Даже если на выходном контроле, используя контрольный вывод 40, не обнаружено дефектов, металлический слой и вырабатывающий энергию элемент могут в некоторых случаях замыкаться накоротко, когда в изолирующем слое, соответствующем одному вырабатывающему энергию элементу, вследствие, например, воздействия кавитации, порождаемой при записи, формируется отверстие. В этом случае, когда вырабатывающий энергию элемент возбуждается высоким потенциалом относительно потенциала жидкости в канале, то, когда происходит короткое замыкание, металлический материал, такой как иридий или рутений, имеют такой же потенциал, как у вырабатывающего энергию элемента. Поэтому, как очевидно из схемы зависимости потенциала-pH, показанной на фиг. 6A или 6B, металлический материал при функционировании в качестве анода относительно жидкости в канале, может быть с высокой вероятностью растворен. То есть, в конструкции, в которой множество вырабатывающих энергию элементов обычно накрыто металлическим слоем в форме полосы, если один вырабатывающий энергию элемент единожды закорочен, весь металлический слой, покрывающий другие вырабатывающие энергию элементы, растворяется.
С другой стороны, из фиг. 6A и 6B понятно, что когда вырабатывающий энергию элемент возбуждается низким потенциалом относительно потенциала жидкости в канале, то, даже если металлический материал, такой как иридий или рутений, имеют такой же потенциал, как у вырабатывающего энергию элемента, вероятность, что металлический материал растворится является низкой, независимо от значения pH жидкости. Соответственно, когда в изолирующем слое 8 образовывается трещина или подобное, то, поскольку металлический слой 11 имеет низкий потенциал (второй потенциал), если считать потенциал (первый потенциал) жидкости опорным потенциалом, можно предотвращать растворение металлического слоя 11. Когда происходит возбуждение головки для выброса жидкости, как описано выше, нормальная запись может осуществляться, не ухудшая износостойкости металлического слоя 11. В дальнейшем в этом документе будут, в частности, описаны головка для выброса жидкости, в которой металлический слой 11 не растворяется, и способ возбуждения этой головки для выброса жидкости.
В головке для выброса жидкости этого варианта осуществления в качестве задающего элемента 20 используется МОП-транзистор p-типа (именуемый в дальнейшем в этом документе также “PMOST”), а в качестве подложки 1 используется кремниевая подложка n-типа. На фиг. 3A показан вид в поперечном разрезе головки 41 для выброса жидкости этого варианта осуществления, взятом в направлении, перпендикулярном подложке 50 по линии IIIA-IIIA на фиг. 2A, а на фиг. 3B показана схематичная принципиальная схема.
Задающий элемент 20 выполнен, используя обычный процесс производства интегральных схем, и состоит из электрода 5 затвора, обеспеченного на кремниевой подложке 1 n-типа с обеспеченным между ними слоем 14 термического окисления, электрода 6 стока и электрода 7 истока, при этом эти два электрода выполнены в углублении p-типа, предусмотренном в поверхности подложки 1. Электрод 5 затвора выполнен путем обеспечения поликремния на поверхности подложки 1, а электрод 6 стока и электрод 7 истока образованы ионной имплантацией бора или подобного, выполненной в поверхность кремниевой подложки 1. Электрод 6 стока и электрод 7 истока соединены с парой электродов 9 посредством электродов 18 из алюминия или подобного, которые проходят сквозь первый аккумулирующий тепло слой 13.
Чтобы прикладывать напряжение к вырабатывающему энергию элементу 23, один из пары электродов 9 соединен с GND-потенциалом, а также соединен посредством электрода 18 с соединительной частью 19 в углублении n-типа, обеспеченной ионной имплантацией фосфора или подобного, выполненной в подложке 1. Таким образом, подложка 1 имеет GND-потенциал, и кроме этого, поскольку жидкость в канале 17 для жидкости также находится в подающем отверстии 4 подложки 1, жидкость тоже имеет GND-потенциал. Помимо этого, когда другой из пары электродов 9 соединен с потенциалом (VH-потенциалом) источника питания от -40 до -10 В, который ниже GND-потенциала, разница потенциалов между GND-потенциалом и VH-потенциалом устанавливается равной от 10 до 40 В, и следовательно вырабатывающий энергию элемент 23 можно возбуждать, используя низкий потенциал, если сравнивать с GND-потенциалом. Поэтому, даже если в вышеупомянутом случае между вырабатывающим энергию элементом 23 и металлическим слоем 11 происходит короткое замыкание, то можно предотвращать растворение металлического слоя 11, покрывающего другие вырабатывающие энергию элементы, и создание пузырьков воздуха, сопровождающих растворение металлического слоя, так что надежная запись может осуществляться бесперебойно.
Как показано на фиг. 3B, электрод 6 стока соединен с источником питания из устройства для выброса жидкости посредством вывода 22, чтобы иметь в качестве VH-потенциала потенциал от -40 до -10 В, а электрод 7 истока соединен посредством вырабатывающего энергию элемента 23 с GND-потенциалом. Кроме этого, в логической схеме (не показана), на основе логического сигнала, вводимого с вывода 22, генерируется сигнал возбуждения, который определяет, возбуждать ли вырабатывающий энергию элемент 23 или нет. Прикладывая согласно этому сигналу возбуждения напряжение к электроду затвора PMOST, PMOST 20 приводится в состояние ВКЛЮЧЕНО, и электрический ток течет в вырабатывающий энергию элемент 23, чтобы выполнялась запись.
Фиг. 5A - вид, на котором показан потенциал в точке B принципиальной схемы, показанной на фиг. 3B. На этом чертеже для примера показан случай, когда между VH-потенциалом и GND-потенциалом прикладывается напряжение -25 В. Когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВЫКЛЮЧЕНО, потенциал в точке B равен по существу 0 вольт GND-потенциала, а когда задающий элемент находится в состоянии ВКЛЮЧЕНО, потенциал в точке B составляет -25 В VH-потенциала. При наличии отрицательного потенциала относительно потенциала жидкости в канале 17 иридий или рутений не растворяется. Поэтому, когда возбуждение осуществляется, как описано выше, то даже если вследствие образования в изолирующем слое 8 трещины или подобного происходит короткое замыкание, растворение металла, используемого для металлического слоя 11, можно предотвращать независимо от состояния ВКЛЮЧЕНО/ВЫКЛЮЧЕНО задающего элемента 20.
До сего момента был описан вариант осуществления, в котором между VH-потенциалом и GND-потенциалом задающий элемент 20 и вырабатывающий энергию элемент 23 обеспечены последовательно в этом порядке. Далее будет описан вариант осуществления, в котором между VH-потенциалом и GND-потенциалом вырабатывающий энергию элемент 23 и задающий элемент 20 обеспечены последовательно в этом порядке.
В качестве задающего элемента 20 используется МОП-транзистор p-типа (именуемый в дальнейшем в этом документе “PMOST”), а в качестве подложки 1 используется кремниевая подложка n-типа. Вид в поперечном разрезе головки 41 для выброса жидкости этого варианта осуществления, взятом в направлении, перпендикулярном подложке 50 по линии IVA-IVA на фиг. 2A, показан на фиг. 4A, а на фиг. 4B показана схематичная принципиальная схема. Конструкция задающего элемента 20 приблизительно сходна с конструкцией задающего элемента в варианте осуществления, описанном выше.
Электрод 6 стока и электрод 7 истока задающего элемента 20 соединены с парой электродов 9 для подвода VH-потенциала и GND-потенциала посредством электродов 18 из алюминия или подобного, которые проходят сквозь первый аккумулирующий тепло слой 13.
Один из электродов 9 для приложения VH-потенциала и GND-потенциала к вырабатывающему энергию элементу 23, который соединен с GND-потенциалом, соединен также посредством электрода 18 и задающего элемента 20 с соединительной частью 19, обеспеченной в углублении n-типа ионной имплантацией фосфора или подобного, выполненной в подложке 1. Таким образом, подложка 1 имеет GND-потенциал, и жидкость в канале 17 также имеет GND-потенциал, так как находится в подающем отверстии 4 подложки 1; поэтому, когда возбуждение вырабатывающего энергию элемента 23 происходит, используя более низкий потенциал, чем GND-потенциал, растворение металлического слоя 11 можно предотвращать. То есть, если считать GND-потенциал опорным потенциалом, то в качестве потенциала (VH-потенциала) источника питания прикладывается потенциал от -40 до -10 В, более низкий, чем GND-потенциал, так что разница потенциалов между GND-потенциалом и VH-потенциалом устанавливается равной от 10 до 40 В. Поэтому, даже если в этом случае между вырабатывающим энергию элементом 23 и металлическим слоем 11 происходит короткое замыкание, то можно предотвращать растворение металлического слоя 11, который покрывает другие вырабатывающие энергию элементы, а также создание пузырьков воздуха, сопровождающих растворение металлического слоя, чтобы надежная запись могла осуществляться бесперебойно.
Как показано на фиг. 4B, один из пары электродов 9, соединенный с вырабатывающим энергию элементом, соединен с источником питания из устройства для выброса жидкости посредством вывода 22, чтобы иметь в качестве VH-потенциала потенциал от -40 до -10 В, а другой из пары электродов 9 соединен с электродом 6 стока задающего элемента 20. Помимо этого электрод 7 истока задающего элемента 20 соединен с GND-потенциалом. В логической схеме (не показана), на основе логического сигнала, вводимого посредством вывода 22, генерируется сигнал возбуждения, который определяет, возбуждать ли вырабатывающий энергию элемент 23 или нет. Прикладывая согласно этому сигналу возбуждения напряжение к электроду затвора PMOST, PMOST 20 приводится в состояние ВКЛЮЧЕНО, напряжение источника питания прикладывается к вырабатывающему энергию элементу 23, и электрический ток течет таким образом, чтобы выполнялась запись.
Фиг. 5A - вид, на котором показан потенциал в точке B принципиальной схемы, показанной на фиг. 4B. В этом варианте осуществления для примера показан случай, когда между VH-потенциалом и GND-потенциалом прикладывается напряжение -25 В. Когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВЫКЛЮЧЕНО, потенциал в точке B равен -25 В, так как электрический ток не течет. Кроме того, когда задающий элемент находится в состоянии ВКЛЮЧЕНО, то, поскольку электрический ток течет в вырабатывающем энергию элементе 23, происходит падение напряжения, и поэтому потенциал в точке B становится по существу равным 0 В GND-потенциала. При наличии отрицательного потенциала относительно потенциала жидкости в канале 17 иридий или рутений не растворяется. Поэтому, когда возбуждение осуществляется, как описано выше, то даже если вследствие образования в изолирующем слое 8 трещины или подобного происходит короткое замыкание, растворение металла, используемого для металлического слоя 11, можно предотвращать независимо от состояния ВКЛЮЧЕНО/ВЫКЛЮЧЕНО задающего элемента 20.
Сравнительный пример 1
В качестве сравнительного примера 1 будет описан случай, в котором в кремниевой подложке p-типа обеспечен МОП-тразнистор n-типа (именуемый в дальнейшем в этом документе “NMOST”), и прикладывается такое напряжение, что VH-потенциал равен от +10 до +40 В. Как показано на принципиальной схеме на фиг. 5B, один из электродов, соединенный с вырабатывающим энергию элементом 23, имеет VH-потенциал от +10 до +40 В, а другой электрод обеспечен с возможностью соединения с электродом стока NMOST. Кроме этого, электрод истока NMOST соединен с GND-потенциалом. Также в сравнительном примере 1 жидкость в канале 17 находится в подающем отверстии и следовательно имеет GND-потенциал. Когда к электроду затвора NMOST прикладывается напряжение, NMOST приводится в состояние ВКЛЮЧЕНО и электрический ток течет в вырабатывающем энергию элементе 23.
На фиг. 5A показан потенциал в точке B принципиальной схемы, показанной на фиг. 5B. В этом сравнительном примере будет описан случай, в котором прикладывается такое напряжение, чтобы VH-потенциал составлял 25 В. Поскольку, когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВЫКЛЮЧЕНО, электрический ток не течет, потенциал в точке B равен 25 В. Когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВКЛЮЧЕНО, то, поскольку электрический ток течет в вырабатывающем энергию элементе 23, происходит падение напряжение и потенциал в точке B равен по существу 0 В GND-потенциала. Поэтому, даже если в изолирующем слое 8, покрывающем вырабатывающие энергию элементы, создается одна трещина, когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВЫКЛЮЧЕНО, и металлический слой 11, выполненный из иридия или рутения, вступает в контакт с жидкостью, имеющей pH приблизительно от 7 до 10, весь металлический слой 11 выполняет функцию анода. В результате этого часть металлического слоя, покрывающего другие вырабатывающие энергию элементы, тоже будет растворена в жидкости. Кроме этого, поскольку пузырьки воздуха, создаваемые, когда металлический слой растворяется, покрывают поверхности других вырабатывающих энергию элементов 23, пленочное кипение не может осуществляться, а следовательно, не может выполняться и запись.
Сравнительный пример 2
В качестве сравнительного примера 2 будет описан случай, в котором обеспечен NMOST как в сравнительном примере 1. Как показано на принципиальной схеме на фиг. 5C, один из пары электродов, соединенный с вырабатывающим энергию элементом, соединен посредством NMOST с выводом 22 для приложения в качестве VH-потенциала потенциал от +10 до +40 В, а другой электрод соединен с GND-потенциалом. Также в сравнительном примере 2 жидкость в канале 17 находится в подающем отверстии и следовательно имеет GND-потенциал.
На фиг. 5A показан потенциал в точке B принципиальной схемы на фиг. 5C. В этом сравнительном примере для примера показан случай, в котором в качестве VH-потенциала прикладывается напряжение +25 В. Когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВЫКЛЮЧЕНО, потенциал в точке B равен 0 В. Когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВКЛЮЧЕНО, потенциал в точке B равен +25 В VH-потенциала.
Поэтому, даже если в изолирующем слое 8, покрывающем вырабатывающие энергию элементы, создается одна трещина или подобное, когда задающий элемент 20 находится в состоянии ВКЛЮЧЕНО, и металлический слой 11, выполненный из иридия или рутения, вступает в контакт с жидкостью, имеющей pH приблизительно от 7 до 10, весь металлический слой 11 выполняет функцию анода. В результате этого часть металлического слоя, покрывающего другие вырабатывающие энергию элементы, тоже будет растворена в жидкости. Кроме этого, поскольку пузырьки воздуха, создаваемые, когда металлический слой растворяется, покрывают поверхности других вырабатывающих энергию элементов 23, пленочное кипение не может осуществляться, а следовательно, не может выполняться и запись.
Хотя настоящее изобретение было описано со ссылкой на примерные варианты осуществления, понятно, что изобретение не ограничено раскрытыми примерными вариантами осуществления. Объем формулы изобретения должен соотноситься с широчайшим толкованием с тем, чтобы охватывать все такие модификации и эквивалентные конструкции и функции.
Этой заявкой испрашивается преимущество заявки на патент Японии № 2010-275138, поданной 09 декабря 2010 года, которая настоящим включена в этот документ посредством ссылки во всей своей полноте.
Claims (10)
1. Устройство для выброса жидкости, содержащее:
головку для выброса жидкости, которая включает в себя:
выпускное отверстие для выброса жидкости; и
подложку, включающую в себя:
вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости;
пару электродов, соединенных с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения;
изолирующий слой из изоляционного материала, обеспеченный с возможностью накрывания вырабатывающего энергию элемента;
металлический слой из металлического материала, обеспеченный так, чтобы в соответствии с вырабатывающим энергию элементом накрывать изолирующий слой; и
задающий блок, который устанавливает первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости и второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента.
головку для выброса жидкости, которая включает в себя:
выпускное отверстие для выброса жидкости; и
подложку, включающую в себя:
вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости;
пару электродов, соединенных с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения;
изолирующий слой из изоляционного материала, обеспеченный с возможностью накрывания вырабатывающего энергию элемента;
металлический слой из металлического материала, обеспеченный так, чтобы в соответствии с вырабатывающим энергию элементом накрывать изолирующий слой; и
задающий блок, который устанавливает первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости и второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента.
2. Устройство для выброса жидкости по п.1, в котором металлический материал содержит в качестве основного компонента иридий или рутений.
3. Устройство для выброса жидкости по п.1, в котором головка для выброса жидкости используется для подачи жидкости в выпускное отверстие и имеет подающее отверстие, проходящее сквозь подложку.
4. Устройство для выброса жидкости по п.1, в котором первый потенциал является потенциалом Земли, а второй потенциал является потенциалом, составляющим от -40 до -10 В, исходя из потенциала Земли.
5. Устройство для выброса жидкости по п.1, в котором головка для выброса жидкости имеет задающий элемент, используемый для управления состоянием ВКЛЮЧЕНО/ВЫКЛЮЧЕНО, которое определяет, питать ли электрической энергией вырабатывающий энергию элемент или нет.
6. Устройство для выброса жидкости по п.5, в котором подложка является кремниевой подложкой n-типа, а задающий элемент содержит МОП-транзистор p-типа.
7. Головка для выброса жидкости, содержащая:
выпускное отверстие для выброса жидкости; и
подложку, включающую в себя:
вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости;
пару электродов, которая соединена с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения, причем электроды расположены соответственно таким образом, чтобы первый потенциал был равен по существу потенциалу жидкости, а второй потенциал был ниже первого потенциала;
изолирующий слой из изоляционного материала, выполненный с возможностью накрывания вырабатывающего энергию элемента; и
металлический слой из металлического материала, обеспеченный так, чтобы в соответствии с вырабатывающим энергию элементом накрывать изолирующий слой.
выпускное отверстие для выброса жидкости; и
подложку, включающую в себя:
вырабатывающий энергию элемент для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия для жидкости;
пару электродов, которая соединена с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения, причем электроды расположены соответственно таким образом, чтобы первый потенциал был равен по существу потенциалу жидкости, а второй потенциал был ниже первого потенциала;
изолирующий слой из изоляционного материала, выполненный с возможностью накрывания вырабатывающего энергию элемента; и
металлический слой из металлического материала, обеспеченный так, чтобы в соответствии с вырабатывающим энергию элементом накрывать изолирующий слой.
8. Головка для выброса жидкости по п.7, дополнительно содержащая
задающий элемент, используемый для управления состоянием ВКЛЮЧЕНО/ВЫКЛЮЧЕНО, которое определяет, питать ли электрической энергией вырабатывающий энергию элемент или нет.
задающий элемент, используемый для управления состоянием ВКЛЮЧЕНО/ВЫКЛЮЧЕНО, которое определяет, питать ли электрической энергией вырабатывающий энергию элемент или нет.
9. Головка для выброса жидкости по п.8, в которой подложка является кремниевой подложкой n-типа, а задающий элемент содержит МОП-транзистор p-типа.
10. Способ возбуждения головки для выброса жидкости, которая имеет выпускное отверстие для жидкости, предназначенное для выброса жидкости, и подложку, которая включает в себя вырабатывающий энергию элемент, используемый для вырабатывания тепловой энергии для выброса жидкости из выпускного отверстия, пару электродов, соединенных с вырабатывающим энергию элементом для его возбуждения, изолирующий слой изоляционного материала, обеспеченный с возможностью накрывания вырабатывающего энергию элемента, и металлический слой из металлического материала, обеспеченный в соответствии с вырабатывающим энергию элементом, для накрывания изолирующего слоя, где способ содержит этапы, на которых:
устанавливают первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости, а второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента.
устанавливают первый потенциал одного из пары электродов по существу равным потенциалу жидкости, а второй потенциал другого из пары электродов ниже первого потенциала для возбуждения вырабатывающего энергию элемента.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010275138A JP5765924B2 (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | 液体吐出ヘッドの駆動方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
JP2010-275138 | 2010-12-09 | ||
PCT/JP2011/006429 WO2012077283A1 (en) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Method for driving liquid discharge head, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2536394C1 true RU2536394C1 (ru) | 2014-12-20 |
Family
ID=46206799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2013131242/12A RU2536394C1 (ru) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Способ возбуждения головки для выброса жидкости, головка для выброса жидкости и устройство для выброса жидкости |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9056461B2 (ru) |
EP (1) | EP2648918B1 (ru) |
JP (1) | JP5765924B2 (ru) |
KR (1) | KR101554079B1 (ru) |
CN (1) | CN103298618B (ru) |
BR (1) | BR112013012475A2 (ru) |
RU (1) | RU2536394C1 (ru) |
WO (1) | WO2012077283A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6611442B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2019-11-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドのクリーニング方法 |
JP6516613B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-05-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP6843501B2 (ja) * | 2015-11-12 | 2021-03-17 | キヤノン株式会社 | 検査方法 |
JP6976743B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2021-12-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、導電層の形成方法、及び液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP7465096B2 (ja) | 2020-01-20 | 2024-04-10 | キヤノン株式会社 | 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2060899C1 (ru) * | 1994-06-20 | 1996-05-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "Микро-ТЕП" | Термоструйная печатающая головка |
US6361150B1 (en) * | 1999-08-30 | 2002-03-26 | Hewlett-Packard Company | Electrostatic discharge protection of electrically-inactive components in a thermal ink jet printing system |
US20060125872A1 (en) * | 2004-12-09 | 2006-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Head substrate, recording head, head cartridge and recording apparatus therewith |
US20100253747A1 (en) * | 2005-10-11 | 2010-10-07 | Silverbrook Research Pty. Ltd | Thermal inkjet printhead intergrated circuit with low resistive loss electrode connection |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4626875A (en) * | 1983-09-26 | 1986-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for liquid-jet recording wherein a potential is applied to the liquid |
JPS61255866A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
JPH066377B2 (ja) * | 1986-06-27 | 1994-01-26 | 株式会社リコー | インクジェットヘッド |
JPH0252746A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2662446B2 (ja) * | 1989-12-11 | 1997-10-15 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド及び記録ヘッド用素子基板 |
EP0490668B1 (en) * | 1990-12-12 | 1996-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording |
JP3197438B2 (ja) * | 1994-11-04 | 2001-08-13 | シャープ株式会社 | カラー画像形成装置 |
US5850242A (en) * | 1995-03-07 | 1998-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording head and recording apparatus and method of manufacturing same |
AUPP653998A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
JP2001071499A (ja) | 1998-09-30 | 2001-03-21 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドとこれを備えるインクジェット装置およびインクジェット記録方法 |
JP2000343702A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及び該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置 |
EP1057634B1 (en) * | 1999-06-04 | 2004-12-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus and method for manufacturing liquid discharge head |
JP2002067325A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP4604337B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2011-01-05 | ソニー株式会社 | プリンタ、プリンタヘッド及びプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003019799A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-21 | Sony Corp | プリンタヘッド、プリンタ及びプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003145770A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Canon Inc | 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、記録装置、および記録ヘッドの製造方法 |
JP3812485B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2006-08-23 | ソニー株式会社 | 液体吐出装置及びプリンタ |
JP4136513B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及びこれを用いたインクジェットヘッド用基板 |
JP3970119B2 (ja) | 2002-07-19 | 2007-09-05 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを用いた記録装置 |
JP4194313B2 (ja) * | 2002-07-23 | 2008-12-10 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド |
JP2004188768A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Konica Minolta Holdings Inc | 画像形成方法、印刷物及び画像記録装置 |
JP2005067164A (ja) | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Sony Corp | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
US7311385B2 (en) * | 2003-11-12 | 2007-12-25 | Lexmark International, Inc. | Micro-fluid ejecting device having embedded memory device |
US7175248B2 (en) * | 2004-02-27 | 2007-02-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with feedback circuit |
JP2006205572A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | 三次元中空構造体及び液体吐出ヘッドの各製造方法 |
JP4926669B2 (ja) | 2005-12-09 | 2012-05-09 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニング方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP2007245405A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Canon Inc | 記録ヘッド用基体 |
US20080122896A1 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-29 | Stephenson Iii Stanley W | Inkjet printhead with backside power return conductor |
KR20090007139A (ko) | 2007-07-13 | 2009-01-16 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
JP5328607B2 (ja) * | 2008-11-17 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、該基板を有する液体吐出ヘッド、該ヘッドのクリーニング方法および前記ヘッドを用いる液体吐出装置 |
-
2010
- 2010-12-09 JP JP2010275138A patent/JP5765924B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-11-18 RU RU2013131242/12A patent/RU2536394C1/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-11-18 EP EP11846134.2A patent/EP2648918B1/en not_active Not-in-force
- 2011-11-18 BR BR112013012475A patent/BR112013012475A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-11-18 CN CN201180059719.7A patent/CN103298618B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-18 WO PCT/JP2011/006429 patent/WO2012077283A1/en active Application Filing
- 2011-11-18 KR KR1020137017124A patent/KR101554079B1/ko active IP Right Grant
- 2011-11-18 US US13/992,213 patent/US9056461B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2060899C1 (ru) * | 1994-06-20 | 1996-05-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "Микро-ТЕП" | Термоструйная печатающая головка |
US6361150B1 (en) * | 1999-08-30 | 2002-03-26 | Hewlett-Packard Company | Electrostatic discharge protection of electrically-inactive components in a thermal ink jet printing system |
US20060125872A1 (en) * | 2004-12-09 | 2006-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Head substrate, recording head, head cartridge and recording apparatus therewith |
US20100253747A1 (en) * | 2005-10-11 | 2010-10-07 | Silverbrook Research Pty. Ltd | Thermal inkjet printhead intergrated circuit with low resistive loss electrode connection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130089667A (ko) | 2013-08-12 |
US9056461B2 (en) | 2015-06-16 |
CN103298618B (zh) | 2015-11-25 |
JP2012121272A (ja) | 2012-06-28 |
EP2648918A4 (en) | 2014-05-14 |
JP5765924B2 (ja) | 2015-08-19 |
EP2648918A1 (en) | 2013-10-16 |
US20130257995A1 (en) | 2013-10-03 |
BR112013012475A2 (pt) | 2018-05-08 |
CN103298618A (zh) | 2013-09-11 |
WO2012077283A1 (en) | 2012-06-14 |
EP2648918B1 (en) | 2016-06-01 |
KR101554079B1 (ko) | 2015-09-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10226921B2 (en) | Printhead substrate and printing apparatus | |
US8943690B2 (en) | Method for manufacturing substrate for liquid ejection head and method for manufacturing liquid ejection head | |
RU2536394C1 (ru) | Способ возбуждения головки для выброса жидкости, головка для выброса жидкости и устройство для выброса жидкости | |
US8439485B2 (en) | Substrate including a detection feature for liquid discharge head and liquid discharge head | |
CN103895349B (zh) | 喷墨头用的基板以及喷墨头 | |
US10493774B2 (en) | Element substrate, manufacturing method thereof, printhead, and printing apparatus | |
JP5825876B2 (ja) | インクジェット記録装置およびその制御方法 | |
US20130141494A1 (en) | Liquid discharge head and liquid discharge device | |
JP2011213049A (ja) | 液体吐出ヘッド及びこの駆動方法 | |
US9527281B2 (en) | Liquid ejection head and liquid ejection apparatus | |
US20200086633A1 (en) | Liquid discharge apparatus and control method thereof | |
US8523324B2 (en) | Liquid discharge head substrate and head unit | |
US10322582B2 (en) | Liquid discharge head and liquid discharge apparatus including the same | |
JP2016036985A (ja) | 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置 | |
US11618254B2 (en) | Element substrate, liquid discharge head, and printing apparatus | |
JP7071067B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2018176615A (ja) | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 | |
JP6302513B2 (ja) | 記録ヘッド用基板及び記録装置 | |
JP2012245675A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッド用基板、及びこれらの製造方法 | |
JP2018125540A (ja) | 基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181119 |