JP5765924B2 - 液体吐出ヘッドの駆動方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 106
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 55
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 55
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 13
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002614 Polyether block amide Polymers 0.000 description 1
- 229910004200 TaSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008807 WSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000003487 electrochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 239000010985 leather Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/05—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers produced by the application of heat
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0455—Details of switching sections of circuit, e.g. transistors
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
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- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0458—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling heads based on heating elements forming bubbles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14387—Front shooter
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
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Description
前記一対の電極のうちの一方の電極の第一の電位を液体と実質的に等しい電位とし、前記一対の電極のうちの他方の電極の第二の電位を前記第一の電位より低い電位として、前記エネルギー発生素子を駆動することを特徴とする。
図1(a)は、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置を示す概略図である。図1(a)に示すように、リードスクリュー5004は、駆動モータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア5011,5009を介して回転する。キャリッジHCはヘッドユニットを載置可能であり、リードスクリュー5004の螺旋溝5005に係合するピン(不図示)を有しており、リードスクリュー5004が回転することによって矢印a,b方向に往復移動される。このキャリッジHCには、ヘッドユニット40が搭載されている。
図1(b)は、図1(a)のような液体吐出装置に搭載可能なヘッドユニット40の斜視図である。液体吐出ヘッド41(以下、ヘッドとも称する)はフレキシブルフィルム配線基板43により、液体吐出装置と接続するコンタクトパッド44に導通している。また、ヘッド41は、インクタンク42と接合されることで一体化されヘッドユニット40を構成している。ここで例として示しているヘッドユニット40は、インクタンク42とヘッド41とが一体化したものであるが、インクタンクを分離できる分離型とすることも出来る。
本実施形態における液体吐出ヘッドにおいて、駆動素子20としては、P型のMOSトランジスタ(以下、PMOSTとも称する)を使用し、基体1としてはN型のシリコン基体を用いている。図2(a)のA−A’に沿って基板50に垂直に液体吐出ヘッド41を切断した本実施形態の切断面図を図3(a)に示し、図3(b)に模式的な回路図を示す。
第一の実施形態には、VH電位とGND電位との間に駆動素子20とエネルギー発生素子23との順に直列に設けられていたのに対し、本実施形態はVH電位とGND電位との間にエネルギー発生素子23と駆動素子20との順に直列に設けられている点が異なる。
比較例1として、P型シリコン基体にN型のMOSトランジスタ(以下、NMOSTとも称する)を設けVH電位として+10〜+40Vになるように電圧を印加した例を示す。図5(b)の回路図に示すように、エネルギー発生素子23に接続される電極の一方からは+10〜+40VをVH電位となり、電極の他方はNMOSTのドレイン電極と接続されて設けられている。さらにNMOSTのソース電極がGND電位と接続されている。比較例1においても流路17内の液体は供給口と接して設けられており、GND電位となっている。NMOSTにおいてもゲート電極に電圧が印加されたときにON状態となりエネルギー発生素子23に電流が流れる。
比較例2として、比較例1と同様にNMOSTを設けた例を示す。図5(c)の回路図に示すように、エネルギー発生素子に接続される一対の電極の一方は、NMOSTを介してVH電位として+10〜+40Vを印加するための端子22に接続され、他方は、GND電位に接続されて設けられている。比較例2においても流路17内の液体は、供給口と接して設けられており、GND電位となっている。
3 吐出口
4 供給口
8 絶縁層
11 金属層
15 流路壁部材
17 流路
20 駆動素子
23 エネルギー発生素子
Claims (13)
- 液体を吐出するための吐出口と、
該吐出口から液体を吐出するための熱エネルギーを発生するために用いられるエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子に接続され、該エネルギー発生素子を駆動するための一対の電極と、前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられ、絶縁性材料からなる絶縁層と、該絶縁層を被覆するように前記エネルギー発生素子に対応して設けられ、金属材料からなる金属層と、が設けられた基体と、
を有する液体吐出ヘッドの駆動方法であって、
前記一対の電極のうちの一方の電極の第一の電位を液体と実質的に等しい電位とし、前記一対の電極のうちの他方の電極の第二の電位を前記第一の電位より低い電位として、前記エネルギー発生素子を駆動することを特徴とする液体吐出ヘッドの駆動方法。 - 前記金属材料は、イリジウムまたはルテニウムを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の駆動方法。
- 前記液体吐出ヘッドには、前記吐出口に液体を供給するために用いられ、前記基体を貫通して設けられた供給口が設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の駆動方法。
- 前記第一の電位は、接地電位であり、前記第二の電位は、前記接地電位を基準としたときに、−40V以上、−10V以下の電位であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の駆動方法。
- 前記液体吐出ヘッドは、前記エネルギー発生素子に通電するかのON/OFFを制御するために用いられる駆動素子を有していることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の駆動方法。
- 前記基体は、N型のシリコン基体であり、
前記駆動素子は、P型のMOSトランジスタであることを特徴とする請求項5に記載の駆動方法。 - 液体を吐出するための吐出口と、
該吐出口から液体を吐出するための熱エネルギーを発生するために用いられるエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子に接続され、該エネルギー発生素子を駆動するための一対の電極であって、液体と実質的に同じ電位である第一の電位と該第一の電位より低い第二の電位とをそれぞれ前記一対の電極の一方と他方とに付与するために用いられる前記一対の電極と、前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられ、絶縁性材料からなる絶縁層と、該絶縁層を被覆するように前記エネルギー発生素子に対応して設けられ、金属材料からなる金属層と、が設けられた基体と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記金属層の金属材料は、イリジウムまたはルテニウムを主成分とすることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記吐出口に液体を供給するために用いられ、前記基体を貫通して設けられた供給口がさらに設けられていることを特徴とする請求項7または請求項8に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第一の電位は、接地電位であり、前記第二の電位は、前記接地電位を基準としたときに、−40V以上、−10V以下の電位であることを特徴とする請求項7乃至請求項9のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記エネルギー発生素子に通電するかのON/OFFを制御するために用いられる駆動素子をさらに有していることを特徴とする請求項7乃至請求項10のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
- 前記基体は、N型のシリコン基体であり、
前記駆動素子は、P型のMOSトランジスタであることを特徴とする請求項11に記載の液体吐出ヘッド。 - 液体を吐出するための吐出口と、該吐出口から液体を吐出するための熱エネルギーを発生するために用いられるエネルギー発生素子と、該エネルギー発生素子に接続された一対の電極と、前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられ、絶縁性材料からなる絶縁層と、該絶縁層を被覆するように前記エネルギー発生素子に対応して設けられ、金属材料からなる金属層と、が設けられた基体と、を有する液体吐出ヘッドと、
前記エネルギー発生素子を駆動するための駆動手段と、
を具備する液体吐出装置であって、
前記駆動手段は、前記一対の電極のうちの一方の電極の第一の電位を液体と実質的に等しい電位とし、前記一対の電極のうちの他方の電極の第二の電位を前記第一の電位より低い電位として、前記エネルギー発生素子を駆動することを特徴とする液体吐出装置。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010275138A JP5765924B2 (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | 液体吐出ヘッドの駆動方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
US13/992,213 US9056461B2 (en) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Method for driving liquid discharge head, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus |
CN201180059719.7A CN103298618B (zh) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | 用于驱动液体排出头的方法、液体排出头和液体排出设备 |
EP11846134.2A EP2648918B1 (en) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Method for driving liquid discharge head, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus |
PCT/JP2011/006429 WO2012077283A1 (en) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Method for driving liquid discharge head, liquid discharge head, and liquid discharge apparatus |
RU2013131242/12A RU2536394C1 (ru) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | Способ возбуждения головки для выброса жидкости, головка для выброса жидкости и устройство для выброса жидкости |
KR1020137017124A KR101554079B1 (ko) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | 액체 토출 헤드의 구동 방법, 액체 토출 헤드, 및 액체 토출 장치 |
BR112013012475A BR112013012475A2 (pt) | 2010-12-09 | 2011-11-18 | método para acionamento de cabeçote de descarga de líquido, cabeçote de descarga de líquido e aparelho para descarga de líquido |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010275138A JP5765924B2 (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | 液体吐出ヘッドの駆動方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012121272A JP2012121272A (ja) | 2012-06-28 |
JP5765924B2 true JP5765924B2 (ja) | 2015-08-19 |
Family
ID=46206799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010275138A Expired - Fee Related JP5765924B2 (ja) | 2010-12-09 | 2010-12-09 | 液体吐出ヘッドの駆動方法、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9056461B2 (ja) |
EP (1) | EP2648918B1 (ja) |
JP (1) | JP5765924B2 (ja) |
KR (1) | KR101554079B1 (ja) |
CN (1) | CN103298618B (ja) |
BR (1) | BR112013012475A2 (ja) |
RU (1) | RU2536394C1 (ja) |
WO (1) | WO2012077283A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6611442B2 (ja) * | 2014-04-23 | 2019-11-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドのクリーニング方法 |
JP6516613B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-05-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP6843501B2 (ja) * | 2015-11-12 | 2021-03-17 | キヤノン株式会社 | 検査方法 |
JP6976743B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2021-12-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、導電層の形成方法、及び液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
JP7465096B2 (ja) | 2020-01-20 | 2024-04-10 | キヤノン株式会社 | 素子基板、液体吐出ヘッド、及び記録装置 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4626875A (en) * | 1983-09-26 | 1986-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for liquid-jet recording wherein a potential is applied to the liquid |
JPS61255866A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-13 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
JPH066377B2 (ja) * | 1986-06-27 | 1994-01-26 | 株式会社リコー | インクジェットヘッド |
JPH0252746A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-22 | Ricoh Co Ltd | インクジェット記録装置 |
JP2662446B2 (ja) * | 1989-12-11 | 1997-10-15 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド及び記録ヘッド用素子基板 |
EP0490668B1 (en) * | 1990-12-12 | 1996-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording |
RU2060899C1 (ru) * | 1994-06-20 | 1996-05-27 | Товарищество с ограниченной ответственностью "Микро-ТЕП" | Термоструйная печатающая головка |
JP3197438B2 (ja) * | 1994-11-04 | 2001-08-13 | シャープ株式会社 | カラー画像形成装置 |
US5850242A (en) * | 1995-03-07 | 1998-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Recording head and recording apparatus and method of manufacturing same |
AUPP653998A0 (en) * | 1998-10-16 | 1998-11-05 | Silverbrook Research Pty Ltd | Micromechanical device and method (ij46B) |
JP2001071499A (ja) * | 1998-09-30 | 2001-03-21 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドとこれを備えるインクジェット装置およびインクジェット記録方法 |
JP2000343702A (ja) * | 1999-06-04 | 2000-12-12 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド及び該液体吐出ヘッドを用いた液体吐出装置 |
EP1057634B1 (en) * | 1999-06-04 | 2004-12-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge head, liquid discharge apparatus and method for manufacturing liquid discharge head |
US6361150B1 (en) * | 1999-08-30 | 2002-03-26 | Hewlett-Packard Company | Electrostatic discharge protection of electrically-inactive components in a thermal ink jet printing system |
JP2002067325A (ja) * | 2000-08-24 | 2002-03-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP4604337B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2011-01-05 | ソニー株式会社 | プリンタ、プリンタヘッド及びプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003019799A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-21 | Sony Corp | プリンタヘッド、プリンタ及びプリンタヘッドの製造方法 |
JP2003145770A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Canon Inc | 記録ヘッド用基板、記録ヘッド、記録装置、および記録ヘッドの製造方法 |
JP3812485B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2006-08-23 | ソニー株式会社 | 液体吐出装置及びプリンタ |
JP3970119B2 (ja) | 2002-07-19 | 2007-09-05 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを用いた記録装置 |
JP4136513B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2008-08-20 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及びこれを用いたインクジェットヘッド用基板 |
JP4194313B2 (ja) * | 2002-07-23 | 2008-12-10 | キヤノン株式会社 | 記録ヘッド |
JP2004188768A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Konica Minolta Holdings Inc | 画像形成方法、印刷物及び画像記録装置 |
JP2005067164A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Sony Corp | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
US7311385B2 (en) * | 2003-11-12 | 2007-12-25 | Lexmark International, Inc. | Micro-fluid ejecting device having embedded memory device |
US7175248B2 (en) * | 2004-02-27 | 2007-02-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fluid ejection device with feedback circuit |
JP4678825B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-04-27 | キヤノン株式会社 | ヘッド基板、記録ヘッド、ヘッドカートリッジ、及びその記録ヘッド或いはヘッドカートリッジを用いた記録装置 |
JP2006205572A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Canon Inc | 三次元中空構造体及び液体吐出ヘッドの各製造方法 |
US7744195B2 (en) * | 2005-10-11 | 2010-06-29 | Silverbrook Research Pty Ltd | Low loss electrode connection for inkjet printhead |
JP4926669B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2012-05-09 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドのクリーニング方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP2007245405A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Canon Inc | 記録ヘッド用基体 |
US20080122896A1 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-29 | Stephenson Iii Stanley W | Inkjet printhead with backside power return conductor |
KR20090007139A (ko) * | 2007-07-13 | 2009-01-16 | 삼성전자주식회사 | 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법 |
JP5328607B2 (ja) * | 2008-11-17 | 2013-10-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド用基板、該基板を有する液体吐出ヘッド、該ヘッドのクリーニング方法および前記ヘッドを用いる液体吐出装置 |
-
2010
- 2010-12-09 JP JP2010275138A patent/JP5765924B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-11-18 RU RU2013131242/12A patent/RU2536394C1/ru not_active IP Right Cessation
- 2011-11-18 WO PCT/JP2011/006429 patent/WO2012077283A1/en active Application Filing
- 2011-11-18 US US13/992,213 patent/US9056461B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-11-18 KR KR1020137017124A patent/KR101554079B1/ko active IP Right Grant
- 2011-11-18 BR BR112013012475A patent/BR112013012475A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-11-18 EP EP11846134.2A patent/EP2648918B1/en not_active Not-in-force
- 2011-11-18 CN CN201180059719.7A patent/CN103298618B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103298618B (zh) | 2015-11-25 |
WO2012077283A1 (en) | 2012-06-14 |
KR101554079B1 (ko) | 2015-09-17 |
RU2536394C1 (ru) | 2014-12-20 |
EP2648918B1 (en) | 2016-06-01 |
CN103298618A (zh) | 2013-09-11 |
EP2648918A1 (en) | 2013-10-16 |
US9056461B2 (en) | 2015-06-16 |
KR20130089667A (ko) | 2013-08-12 |
BR112013012475A2 (pt) | 2018-05-08 |
EP2648918A4 (en) | 2014-05-14 |
US20130257995A1 (en) | 2013-10-03 |
JP2012121272A (ja) | 2012-06-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141028 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |