RU2357942C1 - Пьезокерамический материал - Google Patents
Пьезокерамический материал Download PDFInfo
- Publication number
- RU2357942C1 RU2357942C1 RU2007133386/03A RU2007133386A RU2357942C1 RU 2357942 C1 RU2357942 C1 RU 2357942C1 RU 2007133386/03 A RU2007133386/03 A RU 2007133386/03A RU 2007133386 A RU2007133386 A RU 2007133386A RU 2357942 C1 RU2357942 C1 RU 2357942C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- oxide
- piezo ceramic
- cdo
- sro
- mechanic
- Prior art date
Links
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 title abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 4
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 4
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 claims description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 6
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 abstract 3
- CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N cadmium oxide Inorganic materials [Cd]=O CXKCTMHTOKXKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cd+2] CFEAAQFZALKQPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 abstract 3
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 2
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 abstract 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- UFQXGXDIJMBKTC-UHFFFAOYSA-N oxostrontium Chemical compound [Sr]=O UFQXGXDIJMBKTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N lead oxide Chemical compound [O-2].[Pb+2] HTUMBQDCCIXGCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 2-[(E)-N-[2-(4-chlorophenoxy)propoxy]-C-propylcarbonimidoyl]-3-hydroxy-5-(thian-3-yl)cyclohex-2-en-1-one Chemical compound CCC\C(=N/OCC(C)OC1=CC=C(Cl)C=C1)C1=C(O)CC(CC1=O)C1CCCSC1 KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- -1 polyethylsiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области сегнетожестких пьезокерамических материалов, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям, предназначенных для ультразвуковых устройств, в том числе многослойных и работающих при сильных электрических и механических воздействиях. Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), марганца (MnO2), дополнительно содержит оксиды стронция (SrO), цинка (ZnO), лантана (La2O3), висмута (Bi2О3) и железа (Fe3О3) при следующем соотношении компонентов, мас.%: PbO 63,233-65,404, CdO 0,099-0,490, ZrO2 18,990-19,539, TiO2 11,141-11,471, MnO2 0,131-0,532, SrO 1,318-2,226, ZnO 0,248-0,995, La2О3 0,643-0,768, Bi2O3 0,470-1,900, Fe2O3 0,099-0,490. Технический результат заключается в создании сегнетожесткого пьезокерамического материала с улучшенными основными функциональными параметрами, обладающего повышенной механической добротностью, повышенными коэффициентами электромеханической связи, низким тангенсом угла диэлектрических потерь, а также пониженной температурой спекания. 2 табл.
Description
Изобретение относится к области сегнетожестких пьезокерамических материалов, устойчивых к электрическим и механическим воздействиям, предназначенных для ультразвуковых устройств, работающих в силовых режимах таких как ультразвуковые излучатели, генераторы высокого напряжения, двигатели и пьезотрансформаторы, в том числе и многослойные из чередующихся слоев пьезокерамики и металлических электродов.
Одним из важнейших показателей качества этого класса пьезокерамических материалов является максимальная удельная мощность пьезопреобразователей на их основе, которая пропорциональна комплексному параметру
Kij - коэффициенты электромеханической связи К31 и К33 поперечных и продольных мод колебаний;
Qм - механическая добротность;
εт 33/ε0 - относительная диэлектрическая проницаемость.
Эти пьезокерамические материалы отличаются малыми диэлектрическими потерями в слабых и сильных полях, высокой механической добротностью и относительно высокими коэффициентами электромеханической связи. К таким материалам системы цирконата-титана свинца (ЦТС) относятся: PZT-4 (США) [2], К 1300 (США) [3], 4 В (Япония) [4], отечественные пьезокерамические материалы ЦТС-23 [5], ЦТС-24 [5], ЦТС-174 [6] и др.
В таблице 1 приведены основные электрофизические параметры заявляемого и известных пьезокерамических материалов. Как следует из данных таблицы 1, все материалы данного типа имеют близкие значения:
- пьезомодулей (за исключением ЦТС-174),
- относительной диэлектрической проницаемости,
- коэффициентов электромеханической связи;
но существенно отличаются по величине:
- механической добротности,
- удельной мощности излучения пьезопреобразователей.
Недостатками большинства сегнетожестких материалов этого типа являются относительно невысокая механическая добротность и высокая температура спекания (1200÷1300°С), что требует при изготовлении монолитных многослойных изделий применения в качестве электродов дорогостоящей платины.
Наиболее близким к заявляемому сегнетожесткому пьезокерамическому материалу по химической композиции и назначению является принимаемый за прототип, отечественный пьезокерамический материал ЦТС-174 [6].
0,98Pb(Ti0,47Zr0,53)О3+0,02CdMnO3.
Этот материал обладает низкими диэлектрическими потерями, высокой электромеханической добротностью, относительно низкой температурой спекания керамики. Недостатками данного материала являются: невысокие коэффициент электромеханической связи и удельная мощность излучения пьезопреобразователей на его основе.
Предлагаемый пьезокерамический материал по величине удельной мощности излучения превосходит все перечисленные материалы данного типа благодаря высоким значениям механической добротности и коэффициентам электромеханической связи.
Кроме того, предлагаемый материал за счет низкой температуры спекания (1000÷1050°С) позволяет изготовление многослойных монолитных изделий без использования в качестве электродов дорогостоящей платины, что в несколько раз снижает стоимость многослойных пьезокерамических изделий, например многослойных пьезотрансформаторов. В этом случае можно использовать электроды из сплава серебра с палладием.
Как известно, улучшить свойства пьезокерамических материалов системы ЦТС можно путем введения модифицирующих добавок [7, 8, 9]. Модификаторы различаются по типу замещений (изовалентного или гетеровалентного) и способу распределения атомов модификаторов по местам А и (или) В в решетке перовскита АВО3. Введение при определенном сочетании в материал системы ЦТС модифицирующих добавок оксидов: цинка (ZnO), кадмия (CdO), бора (В2О3), висмута (Bi2O3), лантана (La2О3), стронция (SrO), марганца (MnO2) и др., позволяет существенно снизить температуру спекания керамики [6].
Задачей, на решение которой направлено данное изобретение, является достижение технического результата, заключающегося в создании сегнетожесткого пьезоэлектрического материала с улучшенными основными электрофизическими параметрами, обладающего повышенными характеристиками:
- удельной мощностью излучения пьезопреобразователей K2 31·Qм·εт 33/ε0;
- механической добротностью Qм;
- коэффициентами электромеханической связи и низким тангенсом угла диэлектрических потерь, а также пониженной температурой спекания.
Поставленная задача решается в пьезокерамическом материале, включающем оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана(TiO3), марганца (MnO2) и дополнительно содержащем оксиды стронция (SrO), цинка (ZnO), лантана (La2О3), висмута (Bi2O3) и железа (Fe2О3) при следующем соотношении компонентов, мас.%:
| PbO - 63,233-65,404 | SrO - 1,318-2,226 |
| CdO - 0,099-0,490 | ZnO - 0,248-0,995 |
| ZrO2 - 18,990-19,539 | La2О3 - 0,643-0,768 |
| TiO2 - 11,141-11,471 | Bi2O3 - 0,470-1,900 |
| MnO2 - 0,131-0,532 | Fe2О3 - 0,099-0,490 |
Таким образом, отличительными признаками изобретения является то, что в сегнетожесткий материал дополнительно введены оксиды стронция, цинка, висмута, лантана и железа. Перечисленная совокупность отличительных признаков позволяет достичь технического результата, заключающегося в создании сегнетожесткого пьезокерамического материала с улучшенными основными функциональными параметрами, обладающего повышенной удельной мощностью излучения, повышенной механической добротностью, повышенными коэффициентами электромеханической связи, низким тангенсом угла диэлектрических потерь, а также пониженной температурой спекания.
Изобретение поясняется таблицами 1, 2.
Пример
Предлагаемый материал изготавливался по обычной "керамической" технологии.
В качестве исходных компонентов предлагаемого сегнетожесткого материала использовались оксиды: PbO - свинцовой марки "Г-2", TiO2, ZrO2, SrO, CdO, MnO2, Bi2O3, ZnO, La2O3 и Fe2О3 квалификации "ч". Смешение компонентов производилось в вибромельнице в течение 30 мин, после чего шихта подвергалась температурной обработке (синтезу) при Т=800°С в течение 4 часов. Затем синтезированный материал подвергался помолу в вибромельнице в течение 30 мин до дисперсности Sуд=5000 см2/г, измеренной по газопроницаемости на приборе ПСХ-4.
Аттестация качества синтезированного материала осуществлялась на отпрессованных при δ(уд)=900 кг/см2 заготовках стандартных образцов диаметром 25 мм и толщиной 3 мм. Спекание заготовок проводилось при Т=1000°С в течение 5 часов в засыпке, обеспечивающей атмосферу паров окиси свинца. На отшлифованные до размера ⌀ 20 мм × 1 мм заготовки наносили серебряную пасту, которую вжигали при Т≈830°С. Образцы поляризовали в полиэтилсилоксановой жидкости при Т≈150°С в постоянном электрическом поле напряженностью 3 кВ/мм. Определение электрофизических параметров проводилось в соответствии с ОСТом [5].
В таблице 2 приведены основные электрофизические параметры предлагаемого материала в зависимости от состава.
Полученные экспериментальные данные свидетельствуют о том, что предлагаемый сегнетожесткий пьезокерамический материал обладает оптимальными, с точки зрения решаемой задачи, характеристиками в интервале величин компонентов, указанных в формуле изобретения (состав №4, табл.№2).
В сравнении с пьезокерамическими материалами ЦТС-23, -24, ЦТС-174 и PZT-4 (табл.№1, №2) полученный материал имеет более высокие значения удельной мощности излучения пьезопреобразователей, механической добротности, коэффициентов электромеханической связи, кроме того, спекание керамики осуществляется при температурах, не превышающих 1050°С, в то же время все материалы системы ЦТС этого типа спекаются при Т=1200÷1400°С [6].
Источники информации
1. Сыркин Л.Н. "Новые пьезоактивные материалы и их применение в ультразвуковой технике", Л., 1979, стр.44.
2. Каталог фирмы "Vernitron", США.
3. Каталог фирмы "AuRa Ceramics Jnc.", США.
4. Каталог фирмы "Sumitomo", Япония.
5. Материалы пьезокерамические. Технические условия (отраслевой стандарт) ОСТ 110444 - 87, М., 1987, стр.16, 17.
6. Грибовский П.О. "Керамические твердые схемы", М., Энергия, 1971, стр.70, стр.78.
7. Гринева Л.Д., Фесенко Е.Г. "Классификация модификаторов системы титанат - цирконат свинца". Сб. "Кристаллизация и свойства кристалов", Новочеркасск, 1974, стр.99-107.
8. Гринева Л.Д., Данцигер Л.Я., Фесенко Е.Г. "Зависимость между основными электрофизическими параметрами модифицированного твердого раствора цирконата - титаната свинца (ЦТС)", "Материалы IV межотраслевой конференции по методам получения и анализа ферритовых, сегнето-пьезоэлектрических и конденсаторных материалов и сырья из них", Донецк, М., 1973, стр.108-112.
9. Фельдман Н.Б. и др. "Структура и свойства пьезокерамических твердых растворов ЦТС с добавками окислов лантана и ниобия". Вопросы радиоэлектроники, 1962, сер. III, вып.7.
Claims (1)
- Пьезокерамический материал, включающий оксиды свинца (PbO), кадмия (CdO), циркония (ZrO2), титана (TiO2), марганца (MnO2), отличающийся тем, что он дополнительно содержит оксиды стронция (SrO), цинка (ZnO), лантана (La2О3), висмута (Bi2O3) и железа (Fe2О3) при следующем соотношении компонентов, мас.%:
PbO 63,233-65,404 CdO 0,099-0,490 ZrO2 18,990-19,539 TiO2 11,141-11,471 MnO2 0,131-0,532 SrO 1,318-2,226 ZnO 0,248-0,995 La2O3 0,643-0,768 Bi2O3 0,470-1,900 Fe2O3 0,099-0,490
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007133386/03A RU2357942C1 (ru) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | Пьезокерамический материал |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007133386/03A RU2357942C1 (ru) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | Пьезокерамический материал |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007133386A RU2007133386A (ru) | 2009-03-20 |
| RU2357942C1 true RU2357942C1 (ru) | 2009-06-10 |
Family
ID=40544718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007133386/03A RU2357942C1 (ru) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | Пьезокерамический материал |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2357942C1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2581421C1 (ru) * | 2013-03-25 | 2016-04-20 | Вуджин Инк. | Высокотемпературный ультразвуковой датчик и способ его изготовления |
| RU2624473C1 (ru) * | 2016-05-20 | 2017-07-04 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Пьезокерамический материал |
| RU2691424C1 (ru) * | 2018-09-11 | 2019-06-13 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" | Пьезокерамический материал |
-
2007
- 2007-09-06 RU RU2007133386/03A patent/RU2357942C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ГРИБОВСКИЙ П.О. Керамические твердые схемы. - М.: Энергия, 1971, с.70, 78. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2581421C1 (ru) * | 2013-03-25 | 2016-04-20 | Вуджин Инк. | Высокотемпературный ультразвуковой датчик и способ его изготовления |
| RU2624473C1 (ru) * | 2016-05-20 | 2017-07-04 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Пьезокерамический материал |
| RU2691424C1 (ru) * | 2018-09-11 | 2019-06-13 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по космической деятельности "РОСКОСМОС" | Пьезокерамический материал |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2007133386A (ru) | 2009-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lima et al. | Raman study of morphotropic phase boundary in PbZr 1− x Ti x O 3 at low temperatures | |
| CN103102154B (zh) | Bi0.5Na0.5TiO3-BaTiO3–BiMg0.5Ti0.5O3无铅压电陶瓷材料 | |
| JP2001508753A (ja) | 低い焼結温度で銀とともに焼成し得る低損失ｐｚｔセラミック組成物およびそれを製造するための方法 | |
| JP5714819B2 (ja) | 圧電磁器組成物及びこれを用いた圧電素子 | |
| JP2009256186A (ja) | 圧電材料 | |
| CN103172374B (zh) | 压电陶瓷和压电元件 | |
| JP2008537724A (ja) | 高出力圧電セラミック用組成物 | |
| CN102531578A (zh) | 一种钛酸钡钙-锆钛酸钡-锡钛酸钡三元系无铅压电陶瓷 | |
| CN105884350A (zh) | 一种锆钛酸钡钙无铅压电陶瓷材料及其制备方法 | |
| JPS6131640B2 (ru) | ||
| Yang et al. | Investigation of CuO‐Doped NKN Ceramics with High Mechanical Quality Factor Synthesized by a B‐Site Oxide Precursor Method | |
| CN104844202B (zh) | 一种锰锑酸铅掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷 | |
| RU2357942C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| CN100360466C (zh) | 一种掺杂改性钛酸铋钠钾压电陶瓷及其制备方法 | |
| JPWO2009119322A1 (ja) | 圧電磁器及び圧電磁器組成物 | |
| KR102385814B1 (ko) | 우수한 기계적 품질 계수 및 높은 상전이 온도를 가지는 무연 압전 세라믹스 및 그 제조방법 | |
| RU2514353C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| JP2000128632A (ja) | 圧電セラミックス | |
| JP2008537927A (ja) | 高出力圧電セラミック用組成物 | |
| Choy et al. | Study of compressive type accelerometer based on lead-free BNKBT piezoceramics | |
| JP5526945B2 (ja) | 圧電組成物、圧電磁器、振動子、及び超音波モータ | |
| RU2624473C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| RU2288902C1 (ru) | Пьезокерамический материал | |
| JP3032761B1 (ja) | 圧電セラミックス | |
| CN103539447B (zh) | 一种低温烧结的压电陶瓷材料及其制备方法 |