RU2327638C1 - Способ получения нанопорошка карбида кремния - Google Patents
Способ получения нанопорошка карбида кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2327638C1 RU2327638C1 RU2006143225/15A RU2006143225A RU2327638C1 RU 2327638 C1 RU2327638 C1 RU 2327638C1 RU 2006143225/15 A RU2006143225/15 A RU 2006143225/15A RU 2006143225 A RU2006143225 A RU 2006143225A RU 2327638 C1 RU2327638 C1 RU 2327638C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon carbide
- temperature
- ammonia
- nanopowder
- carbon
- Prior art date
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области металлургии. Производят введение в поток азотной плазмы при температуре выше 5500К порошка микрокремнезема, технического пропана и аммиака в мольном соотношении углерода и аммиака 1:(1,0-1,5), их смешивание, взаимодействие и охлаждение реакционной смеси сначала до температуры 2800-3200 К, затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с с последующей пассивацией парами метановой кислоты, вводимой в поток при мольном соотношении кремния и метановой кислоты 1:(0,05-0,15). Изобретение позволяет получить нанопорошок карбида кремния по химическому, фазовому, гранулометрическому составу и состоянию поверхности, отвечающего требованиям, предъявляемым к компонентам в технологии композиционных электрохимических покрытий и конструкционной керамики. 1 табл.
Description
Изобретение относится к области металлургии, а именно нанотехнологии карбида кремния.
Карбид кремния в наносостоянии может быть эффективно использован в композиционном материаловедении, в том числе в качестве упрочняющей фазы в составе электроосаждаемых покрытий на основе металлов (хрома, никеля, меди, цинка и т.п.), компонента конструкционной керамики, элементов спецзащиты и других наноматериалов. При этом для реализации преимуществ наноразмерного состояния карбид кремния должен соответствовать следующим требованиям [1-2]: содержание основной фазы - кубической β-модификации - не менее 95,0% мас.; содержание примеси свободного (несвязанного в карбид) углерода - не более 1,0% мас.; величина удельной поверхности 20000-40000 м2/кг; состояние поверхности частиц, характеризующееся минимальной окисленностью, достигаемое при содержании кислорода 5,5·10-4-10,0·10-4 г/м2 поверхности нанопорошка.
Известен способ получения нанопорошка карбида кремния для использования в производстве изделий спеканием [3], включающий нагрев смеси кремнезема и углеродистого компонента в присутствии в качестве катализатора нитрида алюминия до температуры 1673-1813 К в атмосфере аргона, содержащей 20% азота. Карбид кремния содержит примеси в количестве, % мас.: азота 1-3, свободного (несвязанного в карбид) углерода - более 10,0. Величина удельной поверхности составляет 25000-30000 м2/кг, размер частиц 63-75 нм. Недостатками способа являются необходимость использования сложноприготавливаемой высокодисперсной кремнеземуглеродсодержащей шихты, значительное содержание в карбиде кремния примесей свободного (несвязанного в карбид) углерода и нитрида кремния, отсутствие технологических приемов, обеспечивающих пассивацию наночастиц карбида кремния с целью защиты их от поверхностного окисления, что ограничивает применение нанопорошка карбида кремния в составе композиционных материалов.
Из известных способов наиболее близким по технической сущности является способ получения карбида кремния [4] для использования в производстве огнеупоров и абразивов, включающий введение кварцевого песка марки КО-20 крупностью 70-100 мкм, пропана и воды в струю азотной плазмы при температуре 5600 К, их смешивание, принудительное комбинированное охлаждение сначала со скоростью (1-2)·105 град/с до температуры (4000-4200) К, затем со скоростью (5-6)·105 град/с до температуры (873-1073) К и пассивацию продуктов взаимодействия монооксидом углерода, образующимся в плазменной струе. Карбид кремния содержит, % мас.: β-SiC менее 75,0, нитрида кремния 3-6, кремнезема более 15,0, свободного (несвязанного в карбид) углерода более 10,0. Величина удельной поверхности составляет 27000-31000 м2/кг, окисленность нанопорошка карбида кремния - (16-20)·10-4 г/м2.
Недостатками способа являются: 1) применение в качестве кремнийсодержащего сырья порошка кремнезема крупностью 70-100 мкм, не перерабатываемого полностью в условиях кратковременности пребывания в плазменной струе, составляющей порядка (18-21)·10-3 с, что определяет низкое содержание в нанопорошке карбида кремния и загрязненность его кремнеземом; 2) применение водяного пара в качестве источника водорода для газификации продуктов пиролиза углеводородов, неэффективное из-за содержащегося в нем кислорода, подавляющего эти процессы и осложняющего карбидообразование; 3) проведение второй стадии принудительного комбинированного охлаждения при температуре 4000-4200 К, значительно превышающей температурную область карбидообразования (2050-2800 К), что ограничивает возможность управления процессами конденсации углеродсодержащих компонентов газовой фазы и определяет загрязненность карбида кремния свободным (несвязанным в карбид) углеродом; 4) проведение пассивации продуктов синтеза монооксидом углерода - недостаточно эффективным пассиватором для нанопорошков карбидов, не обеспечивающим выполнение требований по минимальной окисленности нанопорошка карбида кремния; 5) непригодность нанопорошка карбида кремния по совокупности характеристик к использованию в составе композиционных наноматериалов ответственного назначения, в связи с чем он рекомендуется авторами [4] в качестве полупродукта для использования в составе шихт при производстве карбидокремниевых огнеупоров и абразивов.
Задачей изобретения является получение нанопорошка карбида кремния с комплексом свойств, обеспечивающих реализацию преимуществ его наноразмерного состояния и применение в производстве композиционных материалов.
Сущность изобретения состоит в том, что в способе получения порошка карбида кремния, включающем введение в поток азотной плазмы при температуре выше 5500 К порошка кремнезема, газообразного углеводорода в сочетании с водородсодержащим газом, их смешивание, принудительное комбинированное охлаждение и пассивацию продуктов взаимодействия, в качестве сырья используют микрокремнезем, водородсодержащего газа - аммиак, вводимый с газообразным углеводородом в мольном соотношении углерода и аммиака 1:(1,0-1,5), продукты взаимодействия охлаждают на первой стадии до температуры (2800-3000)К, а пассивацию проводят парами метановой кислоты, вводимой в поток при мольном соотношении кремния и метановой кислоты 1:(0,05-0,15).
Для пояснения изобретения ниже описаны примеры осуществления способа (табл.1). Для получения карбида кремния использован микрокремнезем, представляющий сертифицированный товарный продукт марки МК-85 со средним размером частиц 0,1 мкм.
Получение нанопорошка карбида кремния осуществлялось в плазмотехнологическом модуле, включающем реактор и комплекс вспомогательного оборудования. Для генерации плазменного потока использованы три электродуговых подогревателя газа (плазмотрона) ЭДП-104А мощностью до 50 кВт каждый, установленные в камере смешения под углом 30° к оси реактора. Камера смешения соединена с секционированным водоохлаждаемым цилиндрическим каналом внутренним диаметром 0,046 м. Для подачи в реактор дисперсного сырья используется устройство для дозирования порошково-газовой смеси ДП-1, обеспечивающее стабильность подачи ее в пределах ±2%. Образующаяся в дозаторе пылегазовая взвесь вводится по оси реактора в зону соударения истекающих из плазмотронов плазменных струй с помощью установленной в камере смешения водоохлаждаемой фурмы. Фурма используется также для подачи в реактор газообразного углеводорода и аммиака. Для пассивации полученных в плазме материалов используется кольцо, устанавливаемое на выходе из реактора и выполненное в виде полой металлической шайбы толщиной 0,008 м с внутренним диаметром 0,046 м, по которому равномерно расположены 4 отверстия диаметром 0,001 м для подачи в реактор пассиватора. Конденсированные продукты синтеза, выносимые из реактора отходящими газами, улавливаются в осадительной камере и в двух рукавных фильтрах. В качестве фильтрующей ткани используется нержавеющая сетка саржевого плетения. Площадь поверхности осаждения в камере 1 м2, а в рукавных фильтрах - 3 м2, что обеспечивает скорость фильтрования в пределах 0,001-0,002 м3/(м2·с). При необходимости пылегазовый поток охлаждают до рабочей температуры фильтров (800-900 К) в теплообменнике ТК с площадью поверхности 1 м2. Вода для охлаждения блока питания, катодов и анодов плазмотронов, реактора и осадительной камеры подается под давлением 3·105 Па. Расход воды регулируется с помощью расходомеров типа РСС-5 и РСС-7. Общий расход воды на охлаждение реактора и вспомогательного оборудования составляет 2,5 м3/ч.
Пример 1. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч и технический пропан в количестве 2,65 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К, смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 2400 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с.Получаемый нанопорошок карбида кремния не соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (86,8%), оксидных фаз (9,2%), свободного (несвязанного) в карбид углерода (4,0%), окисленности (13,5·10-4 г кислорода /м2).
Пример 2. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч, технический пропан в количестве 2,65 кг/ч и аммиак в количестве 1,6 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К. смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 2600 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с, после чего пассивируются парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в осадительную камеру в количестве 0,045 кг/ч. Получаемый нанопорошок карбида кремния не соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (91,5%), оксидных фаз (7,4%), свободного (несвязанного) в карбид углерода (2,1%), окисленности (10,1·10-5 г кислорода /м2).
Пример 3. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч, технический пропан в количестве 2,65 кг/ч и аммиак в количестве 3,2 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 2800 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с, после чего пассивируются парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в осадительную камеру в количестве 0,09 кг/ч. Получаемый нанопорошок карбида кремния соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (96,0%), оксидных фаз (3,2%), свободного (несвязанного) в карбид углерода (0,8%), окисленности (4,7·10-5 г кислорода /м2).
Пример 4. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч, технический пропан в количестве 2,65 кг/ч и аммиак в количестве 3,2 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К, смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 3000 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с, после чего пассивируются парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в осадительную камеру в количестве 0,18 кг/ч. Получаемый нанопорошок карбида кремния соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (95,3%), оксидных фаз (4,0%), свободного (несвязанного) в карбид углерода (0,7%), окисленности (7,2·10-5 г кислорода/м2).
Пример 5. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч, технический пропан в количестве 2,65 кг/ч и аммиак в количестве 4,8 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К, смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 3200 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с, после чего пассивируются парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в осадительную камеру в количестве 0,28 кг/ч. Получаемый нанопорошок карбида кремния соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (95,8%), оксидных фаз (3,6%), свободного (несвязанного) в карбид углерода (0,6%), окисленности (5,0·10-5 г кислорода /м2).
Пример 6. Микрокремнезем марки МК-85 в количестве 2,4 кг/ч, технический пропан в количестве 2,65 кг/ч и аммиак в количестве 6,4 кг/ч вводятся в плазменный поток азота при температуре 5600 К, смешиваются и взаимодействуют, далее подвергаются принудительному комбинированному охлаждению сначала до температуры 3800 К со скоростью 150000 град/с, а затем до температуры 1000 К со скоростью 500000 град/с, после чего пассивируются парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в осадительную камеру в количестве 0,36 кг/ч. Получаемый нанопорошок карбида кремния соответствует заявленным характеристикам по содержанию кубической β-SiC модификации (94,6%), оксидных фаз (3,8%), окисленности (5,4·10-5 г кислорода /м2), но имеет повышенное содержание свободного (несвязанного в карбид) углерода (1,6%).
Оптимальное сочетание заявленных характеристик нанопорошка карбида кремния достигается в примерах 3, 4, 5, что подтверждает технологическую целесообразность применения микрокремнезема марки МК-85 вместо кварцевого песка крупностью 70-100 мкм, аммиака вместо воды, охлаждения продуктов взаимодействия микрокремнезема, технического пропана и аммиака до температуры 2800-3200 К и проведения пассивации парами метановой кислоты.
Нанопорошок карбида кремния подвергался рентгеновскому, химическому, электронно-микроскопическому, термогравиметрическому и турбодиметрическому анализам. Удельная поверхность определялась методом БЭТ. Особенности применения этих методов анализа для идентификации карбида кремния в наноразмерном состоянии подробно описаны в работе [5].
| Таблица 1 | |||||||
| Условия осуществления предлагаемого способа получения нанопорошка карбида кремния и его физико-химические характеристики | |||||||
| Параметры синтеза нанопорошка карбида кремния и его физико-химические характеристики | Примеры заявленного технического решения | Прототип | |||||
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 1 | |
| Мощность трехструйного прямоточного плазменного реактора, кВт | 80,00 | 80,00 | 80,00 | 80,00 | 80,00 | 80,00 | 63,00 |
| Расход плазмообразующего газа - азота. нм3/ч | 13,5 | 13,5 | 13,5 | 13.5 | 13,5 | 13,5 | 13,00 |
| Среднемассовая температура потока азота на входе в реактор, К | 5600 | 5600 | 5600 | 5600 | 5600 | 5600 | 5600 |
| Расход кремнеземсодержащего сырья, кг/ч: | |||||||
| кварцевого песка марки КО-20 | - | - | - | - | - | - | 0,6 |
| микрокремнезема марки МК-85 | 2,4 | 2,4 | 2,4 | 2,4 | 2,4 | 2,4 | - |
| Расход углеводорода (технический пропан), кг/ч | 2,65 | 2,65 | 2,65 | 2,65 | 2,65 | 2,65 | 1,2 |
| Расход воды при температуре 4000 К, кг/ч | - | - | - | - | - | - | 0,7 |
| Расход аммиака, кг/ч (С:NH3, моль/моль) | не вводился | 1,6 | 3,2 | 3,9 | 4,8 | 6,4 | - |
| (1,0:0,5) | (1,0:1,0) | (1,0:1,25) | (1,0:1,5) | (1,0:2,0) | |||
| Продолжение таблицы 1 | |||||||
| Параметры синтеза нанопорошка карбида кремния и его физико-химические характеристики | Примеры заявленною технического решения | Прототип | |||||
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 1 | |
| Принудительное комбинированное охлаждение: | |||||||
| - интервал температур, К | 5600-2400 | 5600-2600 | 5600-2800 | 5600-3000 | 5600-3200 | 5600-3800 | 5600-4000 |
| скорость охлаждения, град/с | 150000 | 150000 | 150000 | 150000 | 150000 | 150000 | 150000 |
| - интервал температур, К | 2400-1000 | 2800-1000 | 3000-1000 | 3200-1000 | 3500-1000 | 4000-1000 | 4000-1000 |
| скорость охлаждения, град/с | 500000 | 500000 | 500000 | 500000 | 500000 | 500000 | 500000 |
| Пассивация нанопорошка карбида кремния: | |||||||
| - монооксидом углерода, образующимся в плазменном потоке при карбидизации кремнезема, кг/ч | - | - | - | - | - | - | 0,56 |
| - парами метановой кислоты, вводимой в поток на выходе его из реактора в количестве, кг/ч (Si:НСООН, моль/моль) | не вводилась | 0,045 | 0,09 | 0,18 | 0,28 | 0,36 | - |
| (1:0,025) | (1:0,05) | (1:0,1) | (1:0,15) | (1:0,2) | |||
| Продолжение таблицы 1 | |||||||
| Параметры синтеза нанопорошка карбида кремния и его физико-химические характеристики | Примеры заявленного технического решения | Прототип | |||||
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 1 | |
| Химический состав нанопорошка карбида кремния, % мол. | |||||||
| карбид β-SiC | 86,8 | 91,5 | 96,0 | 95,3 | 95,8 | 94,6 | 75,0 |
| оксидные фазы | 9,2 | 7,4 | 3,2 | 4,0 | 3,6 | 3,8 | 15,0 |
| свободный углерод | 4,0 | 2,1 | 0,8 | 0,7 | 0,6 | 1,6 | 8,0 |
| нитрид Si3N4 | - | - | - | - | - | - | 2,0 |
| Удельная поверхность нанопорошка карбида кремния, м2/кг | 34000 | 35000 | 34000 | 35000 | 36000 | 35000 | 37000 |
| Размер частиц нанопорошка карбида кремния (диаметр эквивалентной сферы), нм | 58 | 60 | 58 | 60 | 61 | 60 | 65 |
| Окисленность нанопорошка карбида кремния, г кислорода/м2 | 13,5·10-4 | 10,1·10-4 | 4,7·10-4 | 5,7·10-4 | 5,0·10-4 | 5,4·10-4 | 27·10-4 |
| Устойчивость нанопорошка карбида кремния при хранении в полиэтиленовой упаковке (повышение окисленности за 15 сут.), г кислорода/м2 | до 28·10-4 | до 16·10-4 | до 6,8·10-4 | до 7,2·10-4 | до 7,6·10-4 | до 7,4·10-4 | до 38·10-4 |
| Производительность, кг/ч | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 1,5 | 0,4 |
Из табл.1 видно, что предложенный способ получения нанопорошка карбида кремния по сравнению с прототипом обеспечивает достижение у карбида кремния комплекса свойств, позволяющих эффективно применять его в производстве композиционных материалов.
Источники информации
1. Руднева В.В. Развитие теории о нанотехнологии электроосаждения композиционных покрытий / В.В.Руднева // Вестник Российской академии естественных наук. - 2006. - Т.6. - №3. - С.59-65.
2. Shaffer T.B. Fine SiC Powders Ceramic / T.B.Shaffer // Engineering and Science Proceedings. - 1985. - №6. - P.1289-1295.
3. A.c. 1555279 СССР, МКИ С01В 31/36. Способ получения ультрадисперсного порошка карбида кремния / С.С.Кипарисов, А.П.Петров, Г.М.Вольдман [и др.] - №4375103/31-26; заявл. 10.02.88; опубл. 07.04.90.
4. Кузнецова В.Л. Влияние условий синтеза на состав и свойства конденсированных продуктов плазмохимического восстановления SiO2 пропан-бутаном // В.Л.Кузнецова [и др.] // Сб. науч. тр. "Исследования плазменных процессов и устройств" / ИТМО имени А.В.Лыкова АН БССР - Минск, 1978. - С.30-35.
5. Руднева В.В. Комплексная физико-химическая аттестация высокодисперсного состояния тугоплавких карбидов и боридов / В.В.Руднева // Известия вузов. Черная металлургия. - 2006. - №5. - С.3-6.
Claims (1)
- Способ получения нанопорошка карбида кремния, включающий введение в поток азотной плазмы порошка кремнезема, газообразного углеводорода в сочетании с водородсодержащим газом, их смешивание, отличающийся тем, что в качестве порошка кремнезема используют микрокремнеземы, в качестве водородсодержащего газа - аммиак, вводимый с газообразным углеводородом в мольном соотношении углерода и аммиака 1:(1,0-1,5) при температуре выше 5500°К, продукты взаимодействия охлаждают на первой стадии до температуры 2800-3200 К, а затем до температуры 1000 К, после чего проводят пассивацию парами метановой кислоты, вводимой в поток при мольном соотношении кремния и метановой кислоты 1:(0,05-0,15).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006143225/15A RU2327638C1 (ru) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | Способ получения нанопорошка карбида кремния |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006143225/15A RU2327638C1 (ru) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | Способ получения нанопорошка карбида кремния |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2327638C1 true RU2327638C1 (ru) | 2008-06-27 |
Family
ID=39680020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006143225/15A RU2327638C1 (ru) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | Способ получения нанопорошка карбида кремния |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2327638C1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2568446C1 (ru) * | 2014-12-29 | 2015-11-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный строительный университет" (ФГБОУ ВПО "МГСУ") | Жидкостекольная композиция |
| RU2789998C1 (ru) * | 2022-06-30 | 2023-02-14 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" | Способ получения карбида кремния |
-
2006
- 2006-12-06 RU RU2006143225/15A patent/RU2327638C1/ru not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| КУЗНЕЦОВА В.Л. Влияние условий синтеза на состав и свойства конденсированных продуктов плазмохимического восстановления SiO 2 пропанбутаном. Сб. научн. тр. Исследования плазменных процессов и устройств. ИТМО им. А.В.Лыкова АН БССР. - Минск: 1978, с.30-35. * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2568446C1 (ru) * | 2014-12-29 | 2015-11-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный строительный университет" (ФГБОУ ВПО "МГСУ") | Жидкостекольная композиция |
| RU2789998C1 (ru) * | 2022-06-30 | 2023-02-14 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский горный университет" | Способ получения карбида кремния |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7776303B2 (en) | Production of ultrafine metal carbide particles utilizing polymeric feed materials | |
| US5851507A (en) | Integrated thermal process for the continuous synthesis of nanoscale powders | |
| JP3383608B2 (ja) | ナノ結晶性材料を合成するための装置 | |
| US6398125B1 (en) | Process and apparatus for the production of nanometer-sized powders | |
| US20090093553A1 (en) | Method for the production of suspensions of nanoparticulate solids | |
| US7438880B2 (en) | Production of high purity ultrafine metal carbide particles | |
| US20030108459A1 (en) | Nano powder production system | |
| US5356120A (en) | Device for producing finely-divided metal and ceramic powder | |
| KR20050085704A (ko) | 반응 챔버 플라스마 반응기 시스템으로 증발-응축 방법을사용하는 나노입자의 제조 방법 | |
| US20060051281A1 (en) | Metal carbides and process for producing same | |
| CA2654013A1 (en) | Method for producing metal nanopowders by decomposition of metal carbonyl using an induction plasma torch | |
| IL105592A (en) | Preparation of metal powders and ceramic powders with thin particles by chemical reactions of gases | |
| Czosnek et al. | Preparation of silicon carbide SiC-based nanopowders by the aerosol-assisted synthesis and the DC thermal plasma synthesis methods | |
| KR100658113B1 (ko) | 화학기상응축법에 의한 실리카 코팅 나노철분말 합성공정 | |
| US8007870B2 (en) | Plasma-sprayed layers of aluminum oxide | |
| RU2327638C1 (ru) | Способ получения нанопорошка карбида кремния | |
| IL105593A (en) | Thin non-oxide ceramic powders | |
| Ozcelik et al. | Synthesis of boron carbide nanoparticles via spray pyrolysis | |
| JP7488832B2 (ja) | 微粒子および微粒子の製造方法 | |
| KR20040049921A (ko) | 입자크기와 응집상태를 조절할 수 있는 고순도의 나노 및서브미크론 입자의 기상 제조방법 | |
| Zaharieva et al. | Plasma-chemical synthesis of nanosized powders-nitrides, carbides, oxides, carbon nanotubes and fullerenes | |
| Bouyer et al. | Thermal plasma processing of nanostructured Si-based ceramic materials | |
| RU2359906C2 (ru) | Способ получения нанокристаллических порошков кремния | |
| Sieger et al. | Controlling Surface Composition and Zeta Potential of Chemical Vapor Synthesized Alumina‐Silica Nanoparticles | |
| JP5024844B2 (ja) | 非酸化物系粒状物質 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20081207 |