RU2096355C1 - Труба больших размеров из кварцевого стекла, заготовка больших размеров из кварцевого стекла, процесс их изготовления и оптическое волокно из кварцевого стекла - Google Patents

Труба больших размеров из кварцевого стекла, заготовка больших размеров из кварцевого стекла, процесс их изготовления и оптическое волокно из кварцевого стекла Download PDF

Info

Publication number
RU2096355C1
RU2096355C1 RU9394037554A RU94037554A RU2096355C1 RU 2096355 C1 RU2096355 C1 RU 2096355C1 RU 9394037554 A RU9394037554 A RU 9394037554A RU 94037554 A RU94037554 A RU 94037554A RU 2096355 C1 RU2096355 C1 RU 2096355C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pipe
quartz glass
core
glass
diameter
Prior art date
Application number
RU9394037554A
Other languages
English (en)
Other versions
RU94037554A (ru
Inventor
Екокава Киеси
Аояма Масааки
Фильсмейер Герхарт
Original Assignee
Син-эцу Кварц Продактс Ко., Лтд
Херауэс Кварцглас ГмбХ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Син-эцу Кварц Продактс Ко., Лтд, Херауэс Кварцглас ГмбХ filed Critical Син-эцу Кварц Продактс Ко., Лтд
Publication of RU94037554A publication Critical patent/RU94037554A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2096355C1 publication Critical patent/RU2096355C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01228—Removal of preform material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/10—Non-chemical treatment
    • C03B37/12—Non-chemical treatment of fibres or filaments during winding up
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
    • B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B19/226—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/04—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with circular or cylindrical saw-blades or saw-discs
    • B28D1/041—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with circular or cylindrical saw-blades or saw-discs with cylinder saws, e.g. trepanning; saw cylinders, e.g. having their cutting rim equipped with abrasive particles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
    • C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01211—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments by inserting one or more rods or tubes into a tube
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/01228—Removal of preform material
    • C03B37/01231—Removal of preform material to form a longitudinal hole, e.g. by drilling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
    • C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
    • C03B37/0124—Means for reducing the diameter of rods or tubes by drawing, e.g. for preform draw-down
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/20—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine
    • C03B2201/23—Doped silica-based glasses doped with non-metals other than boron or fluorine doped with hydroxyl groups
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S65/00—Glass manufacturing
    • Y10S65/08—Quartz
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
    • Y10T428/131—Glass, ceramic, or sintered, fused, fired, or calcined metal oxide or metal carbide containing [e.g., porcelain, brick, cement, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

Труба из кварцевого стекла, изготовленная путем механической обработки трубной заготовки из природного или синтетического кварцевого стекла, наружным диаметром 50 - 300 мм, отношением наружного диаметра к внутреннему от 1,1 до 7, с толщиной стенок 10 мм или более и отклонением толщины стенок 2% или менее, заготовка большого размера из кварцевого стекла, в которой методом размещения стержня в трубе объединены в единое целое труба больших размеров из кварцевого стекла и стеклянный стержень сердцевины для оптического волокна, и способ изготовления заготовки большого размера из кварцевого стекла с помощью механической обработки на высокоточном станке, т.е. интегрирование стержня сердцевины для оптического волокна, как стержня в процессе обработки, с трубой из кварцевого стекла, диаметр которой контролируется путем нагрева, горячего волочения или горячего волочения с давлением с использованием способа безынструментального волочения. 3 с. и 3 з.п. ф-лы, 5 табл., 7 ил.

Description

Настоящее изобретение относится к трубе больших размеров из кварцевого стекла, имеющей большой диаметр и толстые стенки, и к заготовке для вытяжки оптического волокна, обладающего низкой эксцентричностью и превосходными передающими характеристиками, пригодной для массового производства с низкими издержками. Более конкретно оно относится к заготовке больших размеров из кварцевого стекла, изготовляемой путем объединения в единое целое трубы из синтетического кварцевого стекла со стеклянным стержнем сердцевины оптического одномодового волокна методом размещения стержня в трубе, а также к процессу их изготовления, и к оптическому волокну, полученному из заготовки.
В течение нескольких лет оптические волокна из кварцевого стекла (которые далее именуются просто оптическими волокнами) и более конкретно одномодовые оптические волокна находят практическое применение и используются в больших количествах. Оптические волокна изготовляют главным образом способом OVD (осевое осаждение из парогазовой смеси), способом VAD, (наружное осаждение из парогазовой смеси) [1] и способом MCVD (модифицированное химическое осаждение из парогазовой смеси) [2]
На долю полученной такими способами продукции приходится большая часть мирового рынка волокон. Однако область применения оптических волокон расширяется, и в настоящее время волокна используются не только в дальних линиях связи, но и в системах связи общего использования. Поэтому в ближайшем будущем можно ожидать дальнейшего роста потребности в оптических волокнах. Предполагается, однако, что производительность и издержки производства будут, каждый со своей стороны, накладывать ограничение, пока оптические волокна изготовляются тремя обычными способами производства, перечисленными выше.
В связи с тем, что с начала исследований в области оптических волокон прошло 20 лет, изучение их характеристик передачи и надежности в сущности завершено. Поэтому кажется затруднительным разрабатывать новый экономичный процесс, обеспечивающий массовое производство без ухудшение характеристик передачи и надежности.
Массовое производство можно организовать при увеличении размеров заготовок и производительности отдельного устройства. Кроме того, одновременно ожидается дальнейшее снижение издержек производства, поскольку будут значительно снижены затраты на контроль качества и недопущение изготовления некондиционной продукции. Три основных процесса, перечисленные выше, обеспечивают получение высококачественных оптических волокон, однако, учитывая, что первоначально они были маломасштабными лабораторными процессами, они не могут удовлетворить потребности в дешевом массовом производстве, поскольку не расчитаны на наращивание масштабов. Этот факт можно подтвердить конкретными данными: одна заготовка, полученная способом MVCD, может дать оптическое волокно длиной всего от 15 до 30 км, а заготовка, полученная способом VAD или OVD, может дать оптическое волокно длиной от 100 до 200 км.
Три описанных выше способа являются в действительности наилучшими для производства передающей части волокна. Однако одновременное изготовление оболочки в ходе единого производственного процесса далеко от совершенства как с точки зрения снижения издержек производства, так и повышения производительности. Одним из наиболее совершенных методов производства считается раздельное изготовление оболочки, на которую приходится до 80% и более от площади поперечного сечения световода, экономичным и эффективным способом, и объединения его с упоминавшимися выше тремя обычными способами, например, как при изготовлении градиентного волокна или одномодового волокна. Процесс, основанный на приведенной выше концепции, уже находит применение, например, как процесс синтезирования и осаждения оболочки способом OVD на стеклянный стержень сердцевины, полученный способом VAD. Недостатком этого процесса, однако, является низкая эффективность синтетического осаждения слоя оболочки на стеклянный стержень сердцевины, поскольку для этого использовались тонкие и короткие стеклянные стержни. Кроме того, этот процесс был недешев и далеко не пригоден для массового производства, поскольку требовал синтезирование каждого из стеклянных стержней сердцевины.
В соответствии с этим авторы настоящего изобретения провели дальнейшие исследования, касающиеся проблем, описанных выше. В результате было обнаружено, что эти проблемы можно решить путем организации эффективного производства только слоя оболочки отдельно от стеклянного стержня сердцевины и завершающего интегрирования его со стержнем, изготовленным с помощью хорошо известного технического метода. Было выяснено, что для такого процесса лучше всего подходит размещение стержня в трубе.
Однако в процессе размещения стержня в трубе остаются проблемы, которые необходимо решить. При обычном процессе размещения стержня в трубе у обычных труб из кварцевого стекла наружный диаметр равен всего 15 30 мм при толщине стенок от 1 до 6 мм, более того, точность соблюдения размеров настолько мала, что допускает отклонение наружного диаметра в пределах до 10% и толщины стенок до 20 30% Однако при размещении стеклянных стержней сердцевины в такой трубе в соответствии с применяемым процессом требовался зазор в несколько миллиметров, зависящий от длины и размера труб, позволяющий избежать контакта стержня с внутренней стенкой стеклянной трубы. Можно видеть, что эти недостатки, т. е. слишком малый диаметр трубы, низкая точность размеров и необходимость в большом зазоре, вызывают в своем сочетании децентровку заготовки. Это влечет за собой значительную эксцентричность оптического волокна. Считается, что техника размещения стержня в трубе не имеет преимуществ при производстве оптического волокна, учитывая потери на стыках одномодовых оптических волокон в общем объеме работ по соединению множества стержней.
Поскольку свойства стеклянных стержней сердцевины, вставленных в трубу из кварцевого стекла, различаются даже при соблюдении определенных условий изготовления, а также варьируются в зависимости от назначения волокна, его пользователя и процесса производства, необходимо производить высокоточные трубы из кварцевого стекла различных размеров. Изготовление таких различных видов труб из кварцевого стекла различного размера путем шлифования и т. п. требует больших затрат рабочего времени и не отвечает требованиям экономичного массового производства. Рассматривалась возможность использования в качестве способа изготовления различных видов труб из кварцевого стекла процесса горячего волочения. Однако поскольку небольшие отклонения размеров формованной трубы при ее волочении увеличиваются в большой степени, трудно получить трубу с точными заданными размерами.
В дополнение к перечисленным проблемам при использовании процесса размещения стержня в трубе возникают такие проблемы, как образование пузырьков и включений примесей на поверхности сваривания внутренней поверхности стенки трубы из кварцевого стекла и наружной поверхности стеклянного стержня сердцевины. Эта проблема связана не только с атмосферой и способом очистки, применяемыми при размещении стержня в трубе, но и зависит от отделки внутренней поверхности трубы из кварцевого стекла.
В свете перечисленных выше обстоятельств авторы настоящего изобретения ввели интенсивный поиск путей решения указанных проблем. В результате выяснилось, что три хорошо освоенных процесса могут быть модифицированы для того, чтобы увеличить заготовку путем объединения толстостенной трубы большого диаметра из кварцевого стекла со стеклянным стержнем сердцевины световода методом размещения стержня в трубе. Этот модифицированный процесс позволяет получить заготовки больших размеров улучшенного качества в отношении эксцентричности и тому подобного при использовании для волочения одномодового оптического волокна. В то же время процесс дешев и пригоден для массового производства. Перечисленные выше проблемы, связанные с техникой размещения стержня в трубе, решаются за счет использования для производства предварительно обработанных труб большого размера из кварцевого стекла, высокоточного промышленного оборудования, включающего сначала сверление слитка из кварцевого стекла больших размеров или трубчатой стеклянной заготовки перфоратором сверлильного станка с полым сверлом /товарное наименование выполнено Техническим институтом Уэда/, радиально-шлифовальной машины или высокоточного хонингования, затем механическое шлифование, сверление и полировку внутренней и наружной поверхностей полученной трубы для получения высокой точности трубы по размерам, удаление с поверхности пятен, зачистка деформаций и придание поверхности шероховатости путем протравливания фтористоводородной кислотой, кроме того, возможно сверление полученной трубной заготовки из кварцевого стекла путем прессования горячего графитового сверла (упоминаемого ниже как "процесс впрессовывания горячего графитового сверла") с последующей термообработкой полученной исходной трубы из кварцевого стекла методом безинструментального волочения, заключительное введение в полученную черновую трубу из кварцевого стекла указанного стержня сердцевины световода с получением сплошной заготовки методом размещения стержня в трубе. Эти процессы позволяют изготовить заготовку, из которой можно получить высококачественное оптическое волокно длиной до 3 тыс. км. Наилучших свойств оптического волокна можно добиться при использовании в качестве сырья синтетического кварцевого стекла, осушенного и очищенного от всех посторонних включений и примесей, а также с контролируемым показателем преломления. Настоящее изобретение основывается на указанных результатах исследований.
Наиболее близким к предложенному техническому решению по технической сущности и достигаемому результату является способ изготовления трубы большого диаметра из кварцевого стекла, с внешним диаметром 50 300 мм, отношением внешнего диаметра к внутреннему 1,2 7 и толщиной стенки более 100 мм [3]
Целью настоящего изобретения является получение высокоточной толстостенной трубы большого размера из кварцевого стекла.
Другой целью настоящего изобретения является получение заготовок большего размера из кварцевого стекла, обеспечивающих массовое производство оптических волокон при низких издержках.
Другой целью настоящего изобретения является получение высокоточных заготовок большего размера из кварцевого стекла, позволяющих производить качественные оптические волокна.
Еще одной целью настоящего изобретения является получение качественных оптических волокон, изготовленных из высокоточных заготовок большого размера из кварцевого стекла.
Другой целью настоящего изобретения является создание способа изготовления упомянутой высокоточной толстостенной трубы большего размера из кварцевого стекла. Другой целью настоящего изобретение является создание способа изготовления заготовки большого размера из кварцевого стекла с использованием упомянутой трубы большого размера из кварцевого стекла.
Для достижения этих целей в соответствии с настоящим изобретением предлагается заготовка большого размера, имеющая низкую эксцентричность при слабом образовании пузырьков на поверхности сваривания стержня и трубы, обеспечивающая снижение издержек производства и повышение производительности, которая может быть использована для изготовления качественных оптических волокон.
На фиг. 1 представлен горизонтальный поперечный разрез трубы большого размера из кварцевого стекла в соответствии с настоящим изобретением;
на фиг. 2 горизонтальный поперечный разрез заготовки большого размера из кварцевого стекла для волочения одномодового волокна, изготовленной в соответствии с настоящим изобретением с использованием трубы большого размера из кварцевого стекла;
на фиг. 3 схематическое изображение в горизонтальном поперечном разрезе оптического волокна, изготовленного из заготовки для одномодового волокна, показанной на фиг. 2;
на фиг. 4 схема распределения коэффициента преломления и интенсивности света в одномодовом волокне;
на фиг. 5 схематическое изображение с частичным вертикальным разрезом способа изготовления трубы большого размера из кварцевого стекла с использованием перфоратора с полым сверлом, который является предпочтительным вариантом реализации изобретения;
на фиг. 6 схематическое изображение способа изготовления трубы большого размера из кварцевого стекла с использованием процесса прессования сверла из горячего графита, который является другим предпочтительным вариантом реализации изобретения;
на фиг. 7 схематическое изображение способа изготовления термообработанной трубы большого размера из кварцевого стекла с использованием безынструментального метода волочения предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла, что также является еще одним предпочтительным вариантом реализации изобретения.
Настоящее изобретение относится к трубе большого размера из кварцевого стекла наружным диаметром от 50 до 200 мм, толщиной стенки 10 мм и более, с отношением наружного диаметра к внутреннему от 1,1 до 7,0 и с отклонениями по толщине стенок 2% или менее, заготовки большого размера из кварцевого стекла, полученной методом размещения стержня в трубе, заключающемся в соединении полученной трубы из кварцевого стекла со стержнем из оптического стекла в единое целое, и к оптическому волокну, полученному волочением этой заготовки. Полученная заготовка изготавливается с помощью прецесса, включающего механическое высокоточное шлифование наружной поверхности или наружной и внутренней поверхности трубной заготовки из кварцевого стекла с доводкой шероховатости внутренней поверхности до 20 мкм или менее с использованием метода размещения стеклянного стержня сердцевины световода. Применяемые здесь термины имеют следующие значения.
/1/ "Труба большого размера из кварцевого стекла" относится к трубчатому изделию из кварцевого стекла, включающему трубы из природного кварцевого стекла и синтетического кварцевого стекла, изготовленному для размещения стержня в трубе.
/2/ "Трубная заготовка из кварцевого стекла" относится к заготовке больших размеров из кварцевого стекла в виде длинных цилиндрических слитков или трубчатых изделий большого размера из кварцевого стекла, изготовленных из имеющего высокую степень частоты природного кварцевого стекла или синтетического кварцевого стекла, и к кварцевому стеклу, наружная поверхность которого предварительно подвергнута черновой очистке до его доводке до нужного размера.
В случае синтетического кварцевого стекла группы OH и показатель преломления (n) контролируются в соответствии с заданным качеством продукции. Разница показателя преломления (Δn) удерживается в пределах 0,02%
/3/ "Черновая труба из кварцевого стекла" относится к трубе большого размера из кварцевого стекла, имеющей заданные размеры, полученные путем механического шлифования и перфорирования цилиндрической трубной заготовки из кварцевого стекла перфоратором с полым стеклом, или путем перфорирования и придания трубчатой формы этой же трубной заготовки процессом прессования горячего графитового сверла, или путем синтезирования кварцевого стекла в трубчатой форме с последующим грубым шлифованием ее наружной и внутренней поверхностей.
/4/ "Предварительно обработанная труба из кварцевого стекла" относится к трубе большого размера из кварцевого стекла с точно определенными наружным и внутренними диаметрами, не допускающими отклонения толщины стенок от заданного значения более чем на 2% и в которой шероховатость внутренней поверхности после протравливания фтористоводородной кислотой не превышает 20 мкм.
/5/ "Термообработанная труба из кварцевого стекла" относится к трубе больших размеров из кварцевого стекла, полученной после термообработки, нагрева и волочения или нагрева и волочения под давлением в соответствии с методом безынструментального волочения предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла, соответственно этот термин относится к трубе из синтетического кварцевого стекла с термообработанной поверхностью и/или к трубе с диаметром, отличающимся от диаметра предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла.
/6/ "Отклонение толщины" означают величину, выражаемую формулой:
[(tmax tmini)/(tmax + tmini)/2] • 100 (%),
где tmax максимальная толщина стенки трубы и tmini - минимальная толщина стенки трубы, значения которых определяют путем измерения толщины (t) на участке трубы больших размеров из кварцевого стекла заранее установленной длины, например, в пяти или более точках в продольном направлении или путем вращения полученной трубы и измерения ее при этом через интервалы по 50 100 мм, представляя максимальное значение как процентное по всей длине.
/7/ "Безынструментальный способ волочения" относится к способу, включающему нанесение расплава, образующего глухой конец на предварительно обработанной трубе из кварцевого стекла и притягиванием трубы тянущими роликами вниз через зону нагрева с компьютерным управлением. Таким образом предварительно обработанную трубу из кварцевого стекла можно подвергнуть безконтактной термообработке, нагреву и волочению или нагреву и волочению под давлением.
/8/ "Стеклянный стержень сердцевины оптического волокна" относится к стеклянному стержню, служащему световодом, состоящим из собственно сердцевины и оптической осажденной части, включая сердцевину с достаточной нанесенной синтезированной оболочкой для световода, такого как одномодовый световод или многомодовый световод, используемому в системах связи общего назначения, требующих высокого качества, или, кроме того, плакированная сердцевина, помещенная в оболочку, синтезированную методом OVD, или в трубу из кварцевого стекла, и не позволяющая вытягивать волокно до стандартных значений.
Труба из кварцевого стекла, предназначенная для использования в процессе размещения стержня в трубе, является трубой больших размеров из числа упоминавшихся выше труб больших размеров из кварцевого стекла, наружный диаметр которых составляет от 50 до 300 мм, а кварцевое стекло, из которого она изготовлена, удовлетворяет требованиям, предъявляемым к трубам, служащим оболочкой оптических волокон. Труба большого диаметра из кварцевого стекла и с толстыми стенками может демонстрировать уменьшенные отклонения по размерам. Эксцентричность оптического волокна, вытянутого из крупной заготовки, полученной методом размещения стержня в трубе, может быть уменьшена, причем в условиях высокоэффективного массового производства с низкими издержками.
Чем больше будет наружный диаметр или отношение наружного диаметра к внутреннему, тем более точно может быть изготовлено оптическое волокно, поскольку абсолютное значение в большой степени зависит от толщины стенок трубы. И наоборот, чем меньше наружный диаметр или отношение наружного диаметра к внутреннему, тем больше возрастает погрешность, в результате чего требуется высокая точность размера опорной трубы, соприкасающейся с сердцевиной, при использовании метода и тонкостенной трубы небольшого диаметра в случае создания нескольких оболочек.
На фиг. 1 и 2 соответственно показан горизонтальный поперечный разрез трубы большого диаметра из кварцевого стекла и крупной заготовки из кварцевого стекла, являющийся предметом настоящего изобретения.
На фиг. 1 Do обозначает наружный диаметр и Di внутренний диаметр. На фиг. 2 позицией 1 обозначен стеклянный стержень сердцевины, позицией 2 слой оболочки и позицией 3 обжатая труба большого размера из кварцевого стекла.
На фиг. 3 показано горизонтальное схематическое изображение в поперечном разрезе, иллюстрирующее оптическое волокно, например, одномодовое волокно, вытянутое из упомянутой выше крупной заготовки кварцевого стекла. На фиг. 3 позицией 4 обозначена сердцевина, позицией 5 слой оптической оболочки и позицией 6 слой наружной оболочки, в то время как "а" показывает диаметр сердцевины /d core/, "b" -диаметр оптической оболочки /d cladi/ и "c" наружный диаметр оптического волокна /d clado/, например 125 мкм.
Распределение показателя преломления и интенсивности света в полученном одномодовом волокне показано на фиг. 4.
На фиг. 4 оптическая оболочка является частью, где световая энергия выходит за пределы диаметра сердцевины /d coreo/. Диаметр оптической оболочки /d cladi/ включает поэтому слой оболочки, синтезированный одновременно и вместе с сердцевиной. Величина диаметра оптической оболочки будет варьироваться в зависимости от таких условий, как профиль распределения показателя преломления в сердцевине, разница в показателе преломления / (Δn) /, область применения волокна. Величина, полученная умножением фактических результатов на показатель надежности, используется обычно в качестве диаметра оптической оболочки. Стержень сердцевины из оптического кварцевого стекла в данном изобретении представляет собой пруток из кварцевого стекла с оптической оболочкой, показанной на фиг. 4.
Как упоминалось выше, в связи с тем что оптическое волокно в соответствии с настоящим изобретением вытягивают из крупной заготовки, отношение d clado/d cladi наружного диаметра /d clado/ оптического волокна /на фиг. 3/ к диаметру оптической оболочки /d cladi/ примерно пропорционально отношению Do /Di наружного диаметра /Do/ к внутреннему диаметру /Di/ трубы большого размера из кварцевого стекла /фиг. 1/, из которой изготавливают крупную заготовку /фиг. 2/. В соответствии с этим необходимо конструировать оптические волокна, руководствуясь значением Do/Di. Например, если предположить, что диаметр сердцевины одномодового волокна /для диапазона длин волн 1,3 мкм/ равен 9 мкм, диаметр многомодового волокна градиентного типа равен 50 мкм и наружный диаметр оптического волокна равен 125 мкм, Do/Di получает значения, приведенные в табл. 1.
В соответствии с табл. 1, например, Do/Di становится равным 2,5 или менее и в случае, если волокно является многомодовым волокном, доля синтезированной одновременно с сердцевиной оболочки по отношению к сердцевине равна 5 30% Поэтому диаметр оптической оболочки /d cladi/ волокна, имеющего, например, 20% оболочки, равен 60 мкм и Do/Di 2,08. Если волокно одномодовое, то для получения практически применимого волокна требуется, чтобы Do/Di было ниже 7. То есть распределение мощности в полосе 1,3 мкм /таких как согласованные волокна с покрытием, deplest волокна/, полосе 1,55 мкм и типы смещения дисперсии соответственно принимаются равными примерно 20 мкм или менее. Отношение d cladi / d core 3 или более, т.е. Do/Di 4,63 применяется как практические диапазоны, принимаемые во внимание для показателя надежности. Do/Di будет также иметь меньшее значение при использовании в заготовке двойной или тройной оболочки. Выбор значения Do/Di в диапазоне от 1,1 до 7 является необходимым условием для получения практически применимых волокон. Вполне естественно, что между кварцевой трубой и стержнем сердцевины в случае, если труба из кварцевого стекла предназначена для процесса размещения в ней стержня, могут иметься зазоры, поскольку Do/Di является отношением для заготовки.
При изготовлении трубы большого размера из кварцевого стекла из заготовки из кварцевого стекла могут быть использованы различные известные процессы обработки кварца природного происхождения. Так, могут оказаться полезными процесс вытягивания из расплава и процесс формовки в форме. Однако с помощью процесса вытягивания из расплава трудно осуществлять формовку трубы большого диаметра. В случае использования процесса вытягивания из расплава жаропрочной материал тигля при плавлении материала в течение многих часов оказывается в контакте с расплавленным стеклом, в результате чего путем диффузии примеси из жаропрочного материала переходят во внутреннюю и наружную поверхности кварцевого стекла. Такие примеси оказывают отрицательное воздействие, снижая прозрачность оптического волокна. Поэтому возникает необходимость в удалении загрязненной части сердцевины, когда труба, служащая оболочкой, входит в контакт с сердцевиной.
Для изготовления труб большого размера из кварцевого стекла в соответствии с настоящим изобретением рекомендуются следующие три способа.
Первый способ включает два этапа. На первом этапе готовится цилиндрическая заготовка из кварцевого стекла. На втором этапе заготовку подвергают или механическому сверлению, используя для этого перфоратор с полым сверлом, показанный на фиг. 5, чтобы получить отверстие в центре, или же для получения отверстия в течение короткого времени впрессовывают горячее графитовое сверло.
Второй рекомендуемый способ, при котором на сердечник из жаропрочного материала наносится мелкодисперсный пористый кремнистый порошок, после чего сердечник удаляется, а нанесенный материал подвергают осушению и оплавлению с целью стеклообразования.
Третий способ заключается в непосредственной формовке перфорированного дисперсного материала способом VAD с последующим оплавлением осушенного осажденного материала с целью стеклообразования.
На фиг. 5 позицией 7 обозначена цилиндрическая трубная заготовка из кварцевого стекла, позицией 8 полое сверло и позицией 9 наждачный порошок. На фиг. 6 схематически показан процесс впресcовывания горячего графитового сверла, где позицией 10 обозначена цилиндрическая трубная заготовка из кварцевого стекла, позицией 11 графитовое сверло, позицией 12 черновая труба из кварцевого стекла и позицией 13 нагревательное устройство. При значительной первоначальной погрешности в значении толщины стенок трубы из кварцевого стекла последующий нагрев и волочение вызывают относительное увеличение погрешности. Поскольку применение многослойной оболочки также ведет к увеличению погрешности, возникает острая необходимость в тщательном соблюдении размеров.
С высокой точностью черновую трубу из кварцевого стекла можно получить из трубной заготовки из кварцевого стекла с помощью механического шлифования. При увеличении объема кварцевого стекла становится возможным механическое шлифование и точное шлифование с использованием, в частности, хорошо известных станков. Однако механическая обработка с высокой точностью может быть возможна только ценой появления различных дефектов, таких как микротрещины, волосные трещины, напряжения от механической обработки и т. п. которые остаются на обработанной поверхности, вызывая возникновение пузырьков на внутренней поверхности раздела при интегрировании путем размещения стержня в трубе. Для решения указанных проблем применяются высокоточное механическое полирование, огневое полирование внутренней поверхности или формирование на внутренней поверхности специального стеклянного слоя, позволяющие добиться шероховатости внутренней поверхности порядка 0,01 мм.
Однако эти способы обработки настолько трудоемки, что почти невозможно организовать массовое производство труб из кварцевого стекла больших размеров (большого диаметра, толстостенных или большой длины). Выяснено, однако, что полирование внутренней поверхности черновой трубы из высокочистого кварцевого стекла можно выполнить, используя высокоточный хонинговальный станок.
С помощью этого процесса из черновой трубы из кварцевого стекла наружным диаметром 50 мм или более и длиной приблизительно 3000 мм можно получить прямую трубу с высокой степенью округлости поперечного сечения. В соответствии с этим поверхность полученной трубы должна быть подвергнута отделке путем механического полирования со сменой шлифовального камня или варьированием зерна абразивных порошков, с тем чтобы удалить трещины, волосные трещины, деформации, вызванные напряжением, и тому подобное, с последующим травлением фтористоводородной кислотой с целью снятия концентрированных напряжений.
Затем труба подвергается ультразвуковой промывке с целью удаления с поверхности загрязнений, после чего шероховатость внутренней поверхности доводится до 20 мкм или менее. Иными словами, обработка нагревом может сделать поверхность трубы гладкой за счет удаления острых неровностей, возникающих в ходе механического шлифования, снимает напряжения и ограничивает образование пузырьков.
Эксперимент, проводимый авторами изобретения, показал, что шероховатость внутренней поверхности после шлифования превышает 20 мкм, и такие повреждения не могут быть удалены или сняты нагревом или волочением, а на внутренней поверхности раздела при этом образуются пузырьки в процессе интеграции при размещении стержня в трубе. Предпочтительным средством отделки внутренней поверхности трубы из кварцевого стекла является высокоточный процесс хонингования, который применим или в случае, когда цилиндрическая трубная заготовка из кварцевого стекла подвергается механическому сверлению перфоратором с полым сверлом или тому подобным с целью получения канала в центре, или применяется на черновой трубе из кварцевого стекла, полученной путем грубого механического шлифования внутренней и наружной поверхностей крупной трубной заготовки из кварцевого стекла в соответствии с процессом OVD или подобным ему.
В результате зазор между трубой из кварцевого стекла и стеклянным стержнем сердцевины может быть уменьшен. При таком подходе черновая труба, внутренняя поверхность которой подвергнута шлифованию и механическому полированию на высокоточном хонинговальном станке, подвергается шлифованию по периферии, чтобы отклонения толщины стенок не превышали 2% Если отклонения стенок по толщине оказываются в этих пределах, увеличения отклонения при волочении можно избежать и поэтому эксцентричность волокна не ухудшается.
При способе впрессовывания горячего графитового сверла цилиндрическую трубную заготовку из кварцевого стекла нагревают и по центру заготовки впрессовывают графитовое сверло. Применение такого способа получения канала обладает тем преимуществом, что позволяет легко получить трубу больших размеров из кварцевого стекла с шероховатостью внутренней поверхности 20 мкм, а практически всего несколько мкм, без шлифования или полирования внутренней поверхности трубы из кварцевого стекла. Если наружный диаметр трубной заготовки из кварцевого стекла превышает 50 мм, эксцентричность канала и прямолинейность трубы могут быть заметно улучшены.
Соответственно, если для получения канала в цилиндрической трубной заготовке из кварцевого стекла наружным диаметром 50 мм или более применить процесс горячего впрессовывания графитового сверла, из нее можно получить прямую цилиндрическую трубу наружным диаметром 300 мм или более и длиной приблизительно 3000 мм, поперечное сечение которой обладает превосходной округлостью в любой точке по ее длине.
Условия шлифования по внешней периферии не являются столь же жесткими, как и в случае внутренней периферии, поскольку внешняя периферия подвергается непосредственному нагреву в зоне нагревания. Тем не менее шероховатость поверхности внешней периферии следует контролировать, не допуская, чтобы она превышала 200 мкм, предпочтительно 100 мкм или менее, и используя травление фтористоводородной кислотой для удаления или снятия частей с концентрацией высоких напряжений, поскольку их качество оказывает влияние на стойкость к образованию трещин в конечной продукции, т. е. оптического волокна. При контролировании шероховатости поверхности могут быть использованы хорошо освоенные способы механической обработки слитков из полупроводниковых материалов и различных типов керамических материалов, такие как стандартное периферийное шлифование или процесс с использованием круглошлифовального станка.
После перечисленных процессов прошедшая механическую обработку поверхность подвергается чистовой обработке полированием, чтобы отклонения толщины стенок не превышали 2% и травлению фтористоводородной кислотой, чтобы получить предварительно обработанную трубу из кварцевого стекла с шероховатостью внутренней поверхности 20 мкм или менее. Предварительно обработанная трубка из кварцевого стекла объединяется со стеклянным стержнем сердцевины методом размещения стержня в трубе, чтобы получить оптическое волокно.
Характеристики стеклянного стержня сердцевины могут варьироваться даже в случае его изготовления в одинаковых условиях и зависят от технических требований к волокну, от условий пользователя или методов производства.
В соответствии с этим с помощью процесса нагрева и волочения могут изготавливаться многие виды труб из кварцевого стекла различных размеров, с тем чтобы обеспечить соответствие предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла стеклянному стержню сердцевины. В этом процессе горячей обработки для недопущения адгезии примесей применяется процесс безынструментального волочения.
Фиг. 7 схематически иллюстрирует процесс безынструментального волочения, на котором позицией 14 обозначена предварительно обработанная труба из кварцевого стекла, позицией 15 источник нагрева, позицией 16 тянущие валки, позицией 17 глухой конец трубы, позицией 18 -термообработанная труба из кварцевого стекла и позицией 19 датчик.
Для получения нужных размеров с высокой точностью в ходе этого процесса должны быть применены волочение и внутреннее давление. Давление должно варьироваться в зависимости от размеров толщины стенок предварительно обработанной трубы, вязкости стекла при нагреве и степени вытяжки, для получения размеров с высокой точностью процесс должен осуществляться таким образом, чтобы отношение (Do/Di)/(do/di) находилось в пределах от 1,0 до 1,5, причем Do и Di представляют наружный и внутренний диаметр предварительно обработанной трубы из синтетического кварцевого стекла соответственно, а do и di представляют наружный и внутренний диаметр термообработанной трубы соответственно. Если указанное отношение оказывается меньше 1,0, возможно деформация трубы при термообработке, а если отношение превысит 1,5, погрешность в толщине стенок становится настолько большой, что при определенных температурных условиях возможен разрыв трубы. Поэтому точность размера трубы из кварцевого стекла не может быть обеспечена, если отношение выходит за указанные пределы. В частности, если отношение приближается к 1,5, отклонения в толщине стенок должны в точности соответствовать диапазону до 2%
Термообработка труб диаметром 50 300 мм должна осуществляться в диапазоне температур от 1600oC до 3000oC, предпочтительно от 1600oC до 3000oC. Если термообработка осуществляется при более низких, чем указанные, температурах, предварительно обработанная труба из кварцевого стекла не будет в достаточной степени размягчена, если она осуществляется при более высоких, чем указанные, температурах, качество предварительно обработанной трубы может ухудшаться или она может начать плавиться. В любом случае невозможно будет обеспечить высокую точность по размерам. Отношение Do/Di или do/di представляет толщину слоя оболочки одномодового оптического волокна. У оптического волокна с одной оболочкой указанное отношение должно быть в диапазоне от 2 до 7, у оптического волокна с двумя или несколькими оболочками указанное отношение должно составлять от 1,1 до 3.
Полученная таким образом труба из кварцевого стекла подвергается термообработке в диапазоне высоких температур от 1600o до 2400o, так что различные дефекты, такие как неровности и деформации поверхности, связанные со шлифованием, могут быть удалены или ослаблены. В частности, чем больше будет деформация при термической прокатке, тем больше становится поверхность царапин, трещин и язвин, так что уменьшается глубина этих выемок и исчезают их острые углы.
В соответствии с этим можно отказаться от некоторых процессов, не пригодных для применения в массовом производстве, но необходимых при производстве труб из кварцевого стекла, применяемых в процессе размещения стержня в трубе, таких как процесс формирования на внутренней поверхности специального стеклянного слоя.
Таким образом, требующуюся трубу большого размера из кварцевого стекла можно успешно получить путем термической деформации высокоточной предварительно обработанной трубы большого размера из кварцевого стекла.
Способ изготовления из природного кварцевого стекла в соответствии с настоящим изобретением включает этапы выбора качественных частей глыбы из природного хрусталя с последующим отбором центральных частей путем удаления периферийных частей каждой хрустальной глыбы и дроблением глыб в части одинаковых размеров с удалением примеси посредством химической обработки после удаления посторонних включений. Затем обработанный таким образом материал перерабатывается хорошо известными обычными способами, такими как способ вытягивания из расплава или способ формовки в форме, находящими широкое применение в течение длительного времени.
Однако в качестве наилучшего способа изготовления трубной заготовки из кварцевого стекла предлагается процесс Verneuil с использованием пламени кислородно-водородной горелки как наилучший способ получения материала из кварцевого стекла для оптического волокна с наименьшим количеством загрязнений.
В соответствии с этим стеклянные слитки, полученные этим процессом, часто используются как подложки фотошаблона для полупроводников и как оптические элементы экспонирующих устройств. Плазменная обработка, являющаяся модификацией процесса Verneuil, предназначена для производства изделий специального назначения, таких как стекло для сердцевины оптических волокон с высокой степенью частоты, поскольку он требует большого количества электроэнергии и является поэтому дорогостоящим процессом. В отличие от двух упомянутых процессов известен другой процесс, свободный от перечисленных недостатков и пригодный для производства заготовок в соответствии с настоящим изобретением, который заключается в нанесении пористого мелкодисперсного материала на вращающуюся подложку (мишень) путем продувки газообразного материала при снижении температуры пламени, осушении мелкодисперсного материала и, наконец, остекловывании обработанного мелкодисперсного материала. Один из таких процессов, т. е. способ VAD, позволяет получить, по существу, сплошную цилиндрическую заготовку из кварцевого стекла. Другой процесс, т. е. способ OVD, позволяет непосредственно синтезировать трубчатые изделия из стекла.
Трубная заготовка из синтетического кварцевого стекла, предназначенная для использования в соответствии с настоящим изобретением, изготавливается предпочтительно из пористого мелкодисперсного материала, поскольку группы OH и показатель преломления могут контролироваться по желанию, чтобы отвечать требованиям, зависящим от того, какую часть стеклянного стержня сердцевины, применяемого в процессе, составляет оболочка. Заготовка с большой апертурой, имеющая диаметр 75 мм или менее, может быть непосредственно получена не только из трубы из кварцевого стекла диаметром приблизительно 75 мм, но или путем повторного волочения более крупной заготовки, или непосредственным изготовлением заготовки с нужным наружным диаметром путем одновременного выполнения волочения с объединением трубы из кварцевого стекла и стеклянного стержня сердцевины методом размещения стержня в трубе.
Выбор диаметра поля моды, верхней критической длины волны и дисперсии важен для одномодового стеклянного стержня сердцевины. При достигнутом в последнее время повышении качества часто бывает достаточно найти разбросанные характеристики значения рассеяния, когда изготовленные стеклянные стержни сердцевины используются так, как они получены. В соответствии с этим желательно сначала проверить толщину оболочки стеклянного сердца сердцевины перед нанесением наружной оболочки и затем выполнить ее точную доводку путем травления и тому подобного перед тем, как разместить в заготовке стержень.
На крупных заготовках из кварцевого стекла можно осуществлять высокоточную доводку в связи с широким диапазоном регулирования.
Пример 1. Крупнопористый кварцевый материал был изготовлен методом осевого осаждения из паровой фазы /VAD/, включающим испарение SiCl4, рамный гидролиз газообразного SiCl4 в пламени кислородно-водородной горелки с целью получения мелкодисперсного SiO2, осаждение его на вращающийся кварцевый стержень. Полученный мелкодисперсный материал осушали путем его нагрева в смешанной газовой среде He и Cl в электрической нагревательной печи с последующей зонной плавкой при температуре 1550oC для получения оплавленного стекла. Таким образом была получена крупная цилиндрическая трубная заготовка из кварцевого стекла. Периферийная часть слитка из кварцевого стекла была приблизительно такой, чтобы выполнить доводку размеров после обрезки обоих концов на радиально-шлифовальном станке, оборудованном шлифовальным камнем N 80, после чего в его середине полым сверлом, также снабженным шлифовальным камнем N 80, был просверлен канал. Таким образом была получена черновая труба из синтетического стекла весом приблизительно 10 кг наружным диаметром 94 мм, внутренним диаметром 30 мм при отношении наружного диаметра к внутреннему, равном 3,13, с толщиной стенок 32 мм и длиной 730 мм.
Внутреннюю поверхность полученной черновой трубы полностью подвергали механической обработке по всей длине, использовав для этого автоматический продольный хонинговальный станок для высококачественной отделки с целью получить в результате длинную трубу с отверстием, обладающим в поперечном сечении высокой степенью округлости, просверленным прямо в продольном направлении. Степень полирования постепенно увеличивали, меняя абразивные камни вплоть до N 800. Внешнюю периферию трубы после этого шлифовали на периферийном шлифовальном станке с ЧПУ, так чтобы центр наружной окружности мог совпадать с центром внутренней окружности. После того как было установлено, что отклонение толщины стенок не превышают 2% наружную периферию зачистили камнем N 140. В процессе проверки поверхности трубу протравливали в ванне с фтористоводородной кислотой при ее концентрации от 5 до 30% Этот этап необходим для удаления поверхностных дефектов и снятия поверхностных напряжений, связанных с механической обработкой. В результате завершающей промывки протравленной трубы чистой водой была получена предварительно обработанная труба из синтетического кварцевого стекла. Полученная таким образом предварительно обработанная труба имела наружный диаметр 91,5 мм, внутренний диаметр 32,4 мм при отношении наружного диаметра к внутреннему Do/Di, равном 2,82, с толщиной стенок 29,55 мм, длиной 730 мм и весом 9,2 кг. Отклонение толщины стенок /tmax tmini/ составило 0,48 мм/1,62%/. Кроме того, поверхность проверили на шероховатость, проведя измерителем шероховатости контактного типа на 8 мм в продольном направлении, причем обнаружили, что Rmax для внутренней поверхности равно 4,8 мкм, а для наружной поверхности 53 мкм.
Отдельно способом VAD был изготовлен одномодовый стеклянный стержень сердцевины для длины волны 1,3 мкм с разницей показателя преломления / (Δn) / между сердцевиной и оболочкой равной 0,343% Этот стеклянный стержень сердцевины имел наружный диаметр 54,5 мм, включая соединенную с ним оболочку, и длину 455 мм. Стержень подвергли горячему волочению до наружного диаметра 30,1 мм, использовав для этого автоматический волочильный станок, оборудованный регулятором наружного диаметра, и верхняя критическая длина волны была установлена равной 1,25 мкм. После слабого протравливания поверхности от стержня резкой выплавлением был отрезан кусок длиной 730 мм. Полученный таким образом стеклянный стержень сердцевины аккуратно вставили в упоминавшуюся выше предварительно обработанную трубу из синтетического кварцевого стекла и закрепили в ней, закрепив его с центром стеклянной трубы. Оба конца полученной сборки соединили со сплошным кварцевым материалом и вращали с целью выпрямления различных искривлений или изгибов. Затем эту сборку ввели с верхней стороны в вертикальную электрическую нагревательную печь, чтобы оплавить передний конец при температуре 2180oC, снизив в ней давление с помощью вакуумного насоса. Сборку стержня и трубы перемещали после этого с меняющейся скоростью при раздельном контролировании температуры в диапазоне от 2000oC до 2400oC и при разряжении в диапазоне от 200 до 1000 мм водного столба, чтобы исследовать образование пузырьков на поверхности раздела. Заготовка была получена при медленном перемещении всего блока со скоростью 2 мм/мин, так что воздушных пузырьков возникать не могло. Таким образом при стабильных условиях была получена заготовка диаметром 90,2 мм, длиной 595 мм и весом 8,3 кг. Из нее может быть получено волокно длиной около 300 км. Часть полученной заготовки подвергли горячему волочению до наружного диаметра 50 мм, после чего подвергли обследованию с использованием анализатора заготовки. Изменение показателя преломления на поверхности раздела между слоем оболочки и стержнем не превысило 0,01% а эксцентричность составила 0,153 мм /0,34%/.
Затем из заготовки на волочильном станке вытянули волокно длиной около 5 км и наружным диаметром 125 мкм. Характеристики полученного волокна измеряли через каждый 1 км длины с целью получения средних значений, причем эксцентричность составила 0,22 мкм, верхняя критическая длина волны 1,285 мкм, потери на распространение при длине волны 1,3 мкм 0,355 дБ/км и потери, обусловленные группами OH при длине волны 1,38 мкм 0,86 дБ/км. Было признано, что продукция обладает превосходными характеристиками для одномодового оптического волокна.
Пример 2. Таким же способом, который описан в примере 1, была получена предварительно обработанная труба из синтетического кварцевого стекла наружным диаметром 93,5 мм /Do/, внутренним диаметром 31,6 мм /Di/, отношением наружного диаметра к внутреннему 2,96, толщиной стенок 30,95 мм при отклонении толщины стенок /tmax tmini/ 0,42 мм /1,36%/, длиной 700 мм и весом 9 кг.
После этого поверхность проверили на шероховатость, проведя измерителем шероховатости контактного типа на 8 мм в продольном направлении, причем обнаружили, что Rmax для внутренней поверхности равно 8,5 мкм, а для наружной поверхности 68 мкм.
Предварительно обработанную трубу из синтетического кварцевого стекла нагрели затем до 2200oC в вертикальной нагревательной печи для того, чтобы заварить нижний конец, и подвергли горячему волочению под давлением, как показано на фиг. 6, обдувая трубу снаружи и изнутри инертным газом. Таким образом получили пять видов термообработанных труб из синтетического кварцевого стекла, показанных в табл. 2. Обнаружено, что в результате термообработки шероховатость внутренней поверхности Rmax значительно снизилась.
Отдельно способом VAD изготовили одномодовый стеклянный стержень сердцевины с разницей показателя преломления / (Δn) /равной 0,335% Стеклянный стержень подвергли обработке, чтобы привести его соответствие с каждым из пяти типов термообработанных труб из синтетического кварцевого стекла, приведенных в табл. 2 в качестве оболочки. В соответствии с этим наружную периферию стержней протравили и для получения стеклянных стержней сердцевины, перечисленных в табл. 2, их подвергли горячему волочению. Каждый стеклянный стержень вставили в соответствующую термообработанную трубку из синтетического кварцевого стекла, чтобы получить сборку типа стержень в трубе, а затем подвергли горячему интегрированию в электрической нагревательной печи для получения заготовки. Никаких различий в показателе преломления между слоем оболочки и стержнем при измерении анализатором оболочки не обнаружено.
Из заготовки диаметром 62 мм N 3 из табл. 2 было получено черновое оптическое волокно диаметром 125 мкм. Измерение характеристик волокна показало, что удалось получить высококачественное оптическое волокно с верхней критической длиной волны 1,245 мкм, потерями на распространение при длине волны 1,3 мкм 0,334 дБ/км и эксцентричностью 0,32 мкм.
Пример 3. Заготовку больших размеров из пористого мелкодисперсного материала, полученную методом осевого осаждения из парогазовой среды /VAD/, подвергли осушению и остекловыванию в соответствии с процессом, описанным в примере 1. Полученный продукт осушили нагревом, остекловали и подвергли грубому шлифованию таким образом, как описано в примере 1, чтобы получить цилиндрическую трубную заготовку из кварцевого стекла /слиток/ длиной примерно 820 мм и наружным диаметром 96 мм.
В центре слитка процессом впрессовывания графитового сверла было получено отверстие. Более высокой точности размеров удалось добиться путем периферийного шлифования с последующим травлением раствором фтористоводородной кислоты. После этого черновая труба из синтетического кварцевого стекла весом около 11,5 кг имела наружный и внутренний диаметры, равные 101 мм и 40 мм соответственно, отношение наружного диаметра к внутреннему составило 2,525, а длина трубы 775 мм. Поскольку внутренняя поверхность просверленной трубы была оплавлена при впрессовывании горячего углеродного сверла, не наблюдалось никаких дефектов, таких как трещины, вызванные механическими ударными повреждениями при шлифовании, волосные трещины, напряжения, вызванные механической обработкой, и тому подобное.
Внутреннюю поверхность указанной предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла подвергли механическому полированию на хонинговальном станке, меняя номер абразивного материала на каждом участке длиной 150 мм. Механически отполированную поверхность подвергли затем травлению раствором фтористоводородной кислоты, чтобы получить образцы, перечисленные в табл. 3. В предварительно обработанные трубы из кварцевого стекла вставили стеклянные стержни сердцевины диаметром 38 мм для получения сборки заготовки таким же способом, который применен в примере 1. Таким же образом велось наблюдение за поверхностями раздела, а полученные результаты приведены в табл. 3.
Пример 4. Заготовку больших размеров из пористого мелкодисперсного материала, полученную методом наружного осаждения из парогазовой среды /OVD/, осушили, подвергли обработке с целью регулирования показателя преломления и остекловыванию для получения трубной заготовки из синтетического кварцевого стекла. Обе периферии заготовки из кварцевого стекла были разделены и ее наружную поверхность подвергли грубому шлифованию периферийным шлифовальным станком со шлифовальным камнем N 80 с целью получения, по существу, заданного наружного диаметра. Внутреннюю поверхность полученной трубы полностью отполировали на хонинговальном станке со шлифовальным камнем N 80. Степень отполированности постепенно повышали, заменяя шлифовальный камень и работая соответственно с N 140, N 400 и N 800. Затем обработанную таким образом трубу исследовали на отклонения стенок по толщине, проведя ультразвуковым толщинометром на 50 мм в продольном направлении и выходя в 8 точек измерения в каждой окружности. Полученное таким образом значение погрешности толщины рассчитали на ЭВМ.
После этого наружную периферию трубы отшлифовали на периферийном щлифовальном станке с ЧПУ. Когда было подтверждено, что отделка трубы позволила довести толщину стенок до заданных значений отклонения, трубу протравили в растворе фтористоводородной кислоты. Предварительно обработанная труба больших размеров из синтетического кварцевого стекла представляла собой крупный цилиндр из кварцевого стекла наружным диаметром 164 мм, внутренним диаметром 58,9 мм, отношением наружного диаметра к внутреннему Do/Di 2,78, толщиной стенок 52,55 мм при отклонении толщины 440 мкм /0,84%/, длиной 1870 мм и весом около 75 кг. Шероховатость внутренней поверхности этой предварительно обработанной трубы Rmax составила 3,5 мкм, а наружной 77 мкм.
Отдельно способом VAD были изготовлены большие стержни из кварцевого стекла для одномодового волокна, предназначенные для использования в сочетании с предварительно обработанными трубами из синтетического кварцевого стекла, описанными выше. Из числа этих стержней отобрали три стержня со сходными характеристиками. Был рассчитан диаметр сердцевины, необходимый для того, чтобы стеклянные стержни сердцевины подошли к предварительно обработанным трубам из синтетического кварцевого стекла, и с целью подгонки диаметра стержня часть оболочки протравили. Полученные три стеклянных стержня сердцевины соединили плавлением, подвергли волочению до приблизительно одинакового наружного диаметра /55 мм/, протравили, после чего всю поверхность подвергли огневому полированию.
Полученный таким образом стеклянный стержень сердцевины вставили в предварительно обработанную трубу большого размера из синтетического кварцевого стекла и зафиксировали в ней. Полученную таким образом сборку нагревали до температуры в диапазоне от 2000oC до 2400oC в вертикальной электрической нагревательной печи для плавления и размягчения ее начиная с нижнего конца при одновременном ее перемещении при контролируемых температуре и степени разрежения в пределах от 200 мм до 1000 мм водного столба. Неадекватная температура или слишком быстрое перемещение могут вызвать возникновение воздушных пузырьков на внутренней поверхности раздела. В соответствии с этим систему сначала подвергли волочению для получения на первом этапе диаметра около 50 мм, так чтобы по границе раздела произошло достаточное сваривание. Затем получали диаметры 75 мм, 100 мм, 125 мм и 150 мм, получив таким образом всего 5 типов заготовок. Пять полученных в конечном счете заготовок имели максимальный наружный диаметр 152 мм и в целом весили 71 кг. Это количество соответствовало первичному оптическому волокну длиной 2600 км.
Характеристики полученной заготовки исследовали дополнительно. В качестве образца была выбрана заготовка диаметром 50 мм. Характеристики сердцевины изучали с помощью анализатора и выяснили, что у заготовки отсутствует ступенчатое различие и имеется только шов с приблизительно 0,008% изменением показателя преломления на поверхности раздела между сердцевиной и слоем оболочки, а смещение центра сердечника относительно слоя оболочки составляет 0,28%
Заготовку диаметром 50 мм подвергли волочению на станке для волочения оптического волокна, получив волокно наружным диаметром 125 мкм ± 0,5 мкм. Обнаружено, что полученное черновое оптическое волокно имеет следующие характеристики пропускания: эксцентричность 0,11 мкм, верхняя критическая длина волны 1,270 мкм, потери на распространение при длине волны 163 мкм - 0,361 дБ/км, потери, обусловленными группами OH, при длине волны 1,38 мкм - 0,65 дБ/км.
Пример 5. Заготовку большого размера из пористого мелкодисперсного материала, полученную методом наружного осаждения из парогазовой среды /OVD/, осушили, подвергли обработке с целью регулирования показателя преломления и остекловыванию способом, аналогичным описанному в примере 4 для получения трубной заготовки из синтетического кварцевого стекла. Затем внутреннюю и наружную периферийные части полученного продукта подвергли механическому шлифованию, получив 4 черновых трубы из синтетического кварцевого стекла.
После того как внутренний диаметр полученной черновой трубы с помощью высокоточного хонинговального станка был доведен до 32 мм, осевые линии внутреннего и наружного диаметров искусственно сместили. Затем наружную поверхность отшлифовали, доведя наружный диаметр до 100 мм при отношении наружного диаметра к внутреннему Do/Di, равном 3,125. В заключение трубу подвергли чистовой отделке, протравив раствором фтористоводородной кислоты и промыв водой. Измеренное отклонение толщины стенок полученной предварительно обработанной трубы из синтетического кварцевого стекла показано в табл. 4.
Указанную предварительно обработанную трубу из синтетического кварцевого стекла подвергли волочению в диапазоне давлений от 0 до 100 мм водного столба и нагрели до 2200oC в электрической нагревательной печи, чтобы исследовать изменения размеров, вызванные обработкой.
Полученные результаты приведены в табл. 4.
Условие А: внутреннее давление подобрано равным наружному давлению.
Как показано в табл. 4. предварительно обработанная труба из кварцевого стекла с большой погрешностью обнаруживает увеличение погрешности при обработке с увеличенным соотношением давлений и увеличенной кратностью волочения. В частности, соотношение давлений ведет к быстрому увеличению отклонений по толщине стенок трубы из кварцевого стекла. Предварительно обработанная труба с отклонением, превышающим 3,9% подвергалась ассиметричной деформации при нестабильных условиях в начале и быстро расширилась вплоть до разрушения в печи.
Стеклянный стержень сердечника оптического волокна вставили в одну /N 13/ из термообработанных труб из синтетического кварцевого стекла, изготовленную при условии В, т. е. в трубу из кварцевого стекла, полученную из предварительно обработанной трубы с отклонением по толщине стенки в пределах 1,8% и доведенную до отклонения по толщине стенки в пределах 2% путем горячего волочения под давлением. Затем с помощью процесса размещения стержня в трубе получили заготовку. С помощью обследования анализатором заготовки обнаружено, что у этой заготовки разница показателя преломления между слоем оболочки и стержнем составляет всего 0,010% или менее, а эксцентричность после волочения равна 0,45 мкм. Можно видеть, что заготовка может быть успешно использована для получения одномодового оптического волокна.
Пример 6. В центре крупной цилиндрической трубной заготовки из природного кварцевого стекла, полученной процессом Verneil с использованием пламени кислородно-водородной горелки, просверлили канал путем впрессовывания горячего графитового сверла таким же образом, как описано в примере 3.
Наружную периферию полученного продукта подвергли механическому шлифованию и отделке с последующим травлением раствором фтористоводородной кислоты, промывкой водой и просушиванием, чтобы получить предварительно обработанную трубу из кварцевого стекла наружным диаметром 175 мм, внутренним диаметром 60 мм, отношением наружного диаметра к внутреннему 2,916, длиной 3 м и весом 150 кг. Среднее отклонение толщины стенок в продольном направлении, отобранное через интервалы по 50 мм, оказалось равным 0,3 мм, что удовлетворяет заданным условиям.
Кроме того, датчиком контактного типа для измерения шероховатости компактных материалов обследовали поверхность, обнаружив, что в концевой части трубы Rmax 0,8 мкм для внутренней поверхности и < 95 мкм для наружной поверхности. Стержень одномодового оптического волокна, имеющий оболочку частично для использования длины волны 1,3 мкм, изготовленный способом VAD, вставили в упоминавшуюся выше предварительно обработанную трубу из кварцевого стекла и поместили в вертикальную электрическую печь. Концы стержня были приварены при температуре 2250oC при пониженном атмосферном давлении. Метод размещения стержня в трубе был применен для получения заготовки максимальным наружным диаметром 160 мм при условиях, когда степень разряжения и наружный диаметр первоначальной вытяжки вставили от 200 до 1000 мм водного столба и 50 мм соответственно, а температура, скорость перемещения и степень разряжения менялись в зависимости от состояния при плавлении поверхности раздела между стержнем сердцевины и предварительно обработанной трубой из кварцевого стекла.
Упомянутая выше заготовка, вытянутая до первоначального диаметра 50 мм, и обследованная анализатором заготовки имела эксцентричность 0,52% и разницу показателя преломления приблизительно 0,005% при несколько более низком значении показателя для трубы. Указанную заготовку подвергли волочению на волочильном станке, получив оптическое волокно диаметром 125 мкм при эксцентричности 0,41 мкм и оптических потерях 0,346 дБ/км при длине волны 1,3 мкм. Можно считать поэтому, что заготовка вполне пригодна для изготовления одномодового оптического волокна.
Пример 7. В центре цилиндрической трубной заготовки из высокочистого природного кварцевого стекла просверлили канал путем впрессовывания горячего графитового сверла таким же образом, как описано в примере 6.
Наружную периферию с осевой линией наружного диаметра, совмещенной с осью внутреннего диаметра, отшлифовали, подтвердив точность ее размеров, подвергли травлению раствором фтористоводородной кислоты, промыли водой и просушили. Обработанную таким образом трубу из кварцевого стекла наружным диаметром 150 мм, внутренним диаметром 62 мм, отношением наружного к внутреннему диаметру 2,42 и длиной 2500 мм измерили в продольном направлении через интервалы по 50 мм, получив значение отклонения толщины стенок 0,35 мм /0,79% /, шероховатость Rmax внутренней поверхности менее 1 мкм и 85 мкм наружной поверхности.
Изучение указанного кварцевого стекла в полосе поглощения 2,7 мкм инфракрасным спекрометром показало среднее содержание группы OH, равное 166 частей/млн.
Трубу из кварцевого стекла поместили в вертикальную электрическую печь с температурой 2250oC, чтобы заварить нижний конец трубы. Волочение осуществляли под давлением, контролируемым воздухом с верхнего конца, с целью получения термообработанной трубы из кварцевого стекла наружным диаметром соответственно 50 мм и 125 мм. Размеры каждой термообработанной трубы из кварцевого стекла приведены в табл. 5.
Стержень одномодового оптического волокна, выполненный способом VAD, интегрировали с термообработанной трубой из кварцевого стекла наружным диаметром 100 мм, использовав метод размещения стержня в трубе. При начале волочения были изготовлены три вида термообработанных труб наружным диаметром соответственно 50 мм, 75 мм и 96 мм. Каждую заготовку разрезали в продольном направлении и отшлифовали с целью нахождения пузырьков на поверхности сваривания внутренней поверхности трубы из кварцевого стекла и наружной поверхности стержня сердцевины. Однако пузырьков почти не наблюдалось. Оптическое волокно, вытянутое из описанной выше заготовки диаметром 50 мм, продемонстрировало эксцентричность 0,27 мкм и оптические потери 0,347 дБ/км при длине волны 1,3 мкм.
В свете приведенного описания возможны многочисленные модификации и варианты настоящего изобретения и в рамках прилагаемой формулы изобретения изобретение может применяться в форме, отличающейся от данных конкретных описаний.

Claims (6)

1. Способ изготовления трубы большого диаметра из кварцевого стекла, включающий просверливание кварцевой заготовки или получение полой трубы методом наружного осаждения из парогазовой смеси, шлифование, абразивную обработку и доводку внутренней и внешней поверхности трубы, травление поверхностей фтористоводородной кислотой и промывку до получения трубы с внешним диаметром 50 300 мм, отношение внешнего диаметра к внутреннему 1,2 - 7 и толщиной стенки более 100 мм, отличающийся тем, что трубу обрабатывают до ошибки по толщине стенки, не превышающей 2% шероховатости внутренней поверхности, не превышающей 20 мкм, затем подвергают термической деформации путем нагревания и волочения или волочения под давлением.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что горячее волочение под давлением осуществляют способом волочения без оснастки (безинструментального волочения) при контроле внутреннего давления в диапазоне температур 1600 3000oС таким образом, чтобы удовлетворялось следующее соотношение:
Do / Di) / (do / di) 1,0 1,5,
где Do, Di соответственно наружный и внутренний диаметры предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла;
do, di соответственно внешний и внутренний диаметры термически обработанной трубы из кварцевого стекла, полученной из предварительно обработанной трубы из кварцевого стекла.
3. Способ изготовления первично обработанной трубы больших размеров из кварцевого стекла по п.1, отличающийся тем, что для просверливания используют механический перфоратор, а для шлифования, абразивной обработки и доводки внешней и внутренней поверхностей используют периферийный шлифовальный станок и высокоточный хининговальный станок.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что исходный материал трубной заготовки из кварцевого стекла просверливают путем запрессовывания горячего графитового сверла.
5. Способ изготовления заготовки больших размеров из кварцевого стекла путем получения трубы из кварцевого стекла и соединения ее со стеклянным стержнем сердцевины, отличающийся тем, что трубу обрабатывают до ошибки по толщине стенки, не превышающей 2% шероховатости внутренней поверхности, не превышающей 20 мкм, а затем трубу подвергают термической деформации путем нагревания и волочения или волочения под давлением.
6. Способ изготовления оптического волокна путем получения трубы из кварцевого стекла и соединения ее со стеклянным стержнем сердцевины, отличающийся тем, что трубу обрабатывают до ошибки по толщине стенки, не превышающей 2% шероховатости внутренней поверхности, не превышающей 20 мкм, а затем трубу подвергают термической деформации путем нагревания и волочения или волочения под давлением.
RU9394037554A 1992-11-19 1993-11-18 Труба больших размеров из кварцевого стекла, заготовка больших размеров из кварцевого стекла, процесс их изготовления и оптическое волокно из кварцевого стекла RU2096355C1 (ru)

Applications Claiming Priority (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4/332203 1992-11-19
JP33220392 1992-11-19
JP22667193 1993-08-20
JP5/226669 1993-08-20
JP5/226671 1993-08-20
JP22666993 1993-08-20
JP5/226670 1993-08-20
JP22667093 1993-08-20
PCT/EP1993/003224 WO1994011317A2 (en) 1992-11-19 1993-11-18 Large sized quartz glass tube, large scale quartz glass preform, process for manufacturing the same and quartz glass optical fiber

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU94037554A RU94037554A (ru) 1996-01-20
RU2096355C1 true RU2096355C1 (ru) 1997-11-20

Family

ID=27477231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU9394037554A RU2096355C1 (ru) 1992-11-19 1993-11-18 Труба больших размеров из кварцевого стекла, заготовка больших размеров из кварцевого стекла, процесс их изготовления и оптическое волокно из кварцевого стекла

Country Status (10)

Country Link
US (2) US5837334A (ru)
EP (1) EP0598349B1 (ru)
KR (1) KR0133027B1 (ru)
CN (1) CN1042825C (ru)
DE (1) DE69319999T2 (ru)
DK (1) DK0598349T3 (ru)
ES (1) ES2120467T3 (ru)
FI (1) FI103038B (ru)
RU (1) RU2096355C1 (ru)
WO (1) WO1994011317A2 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753547C2 (ru) * 2017-02-28 2021-08-17 Корнинг Инкорпорейтед Способ и система для регулирования воздушного потока через печь отжига во время производства оптического волокна
RU2764064C1 (ru) * 2020-10-02 2022-01-13 Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина» Способ механической обработки крупногабаритных сложнопрофильных керамических изделий
RU2790075C1 (ru) * 2022-05-18 2023-02-14 Максим Вадимович Буралкин Способ изготовления преформы оптического волокна из опорных кварцевых труб с наличием объемных дефектов (варианты)

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6138476A (en) * 1995-06-26 2000-10-31 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method of producing an optical fiber coupling member
US5897679A (en) * 1997-08-27 1999-04-27 Lucent Technologies Inc. Dimensional control in the manufacture of optical fiber ferrule connectors by etching
EP1061055A4 (en) * 1998-02-03 2006-11-15 Sumitomo Electric Industries METHOD FOR PRODUCING SUBSTANCES FOR OPTICAL FIBERS
KR20010043887A (ko) * 1998-05-29 2001-05-25 알프레드 엘. 미첼슨 유리 예비성형품의 제조방법
US6383404B1 (en) 1998-08-19 2002-05-07 Hoya Corporation Glass substrate for magnetic recording medium, magnetic recording medium, and method of manufacturing the same
DE69929152T2 (de) * 1998-10-08 2006-08-24 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Vorform aus Quarzglas für optische Fasern und das dafür verwendete Quarzglasrohr
JP3819614B2 (ja) * 1998-10-16 2006-09-13 信越石英株式会社 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法
DE59902297D1 (de) * 1998-10-28 2002-09-12 Schott Glas Quarzglasplatten hoher brechzahlhomogenität
DE19852704A1 (de) * 1998-11-16 2000-05-18 Heraeus Quarzglas Verfahren zur Herstellung einer Vorform für eine optische Faser und für die Durchführung des Verfahrens geeignetes Substratrohr
DE19856892C2 (de) * 1998-12-10 2001-03-15 Heraeus Quarzglas Verfahren zur Herstellung eines Rohres aus glasigem Werkstoff, insbesondere aus Quarzglas
DE19915509C1 (de) * 1999-04-07 2000-06-08 Heraeus Quarzglas Verfahren für die Herstellung eines zylinderförmigen Bauteils aus Quarzglas und dafür geeignete Vorrichtung
DE19927788C2 (de) * 1999-06-18 2003-03-06 Forschungszentrum Juelich Gmbh Polarisator für die Polarisation eines Edelgases
DE19952821B4 (de) * 1999-11-02 2004-05-06 Heraeus Tenevo Ag Verfahren zur Herstellung einer Quarzglas-Vorform für Lichtleitfasern
DE19958289C1 (de) * 1999-12-03 2001-06-13 Heraeus Quarzglas Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasstabs und Verwendung desselben zur Herstellung einer Vorform
KR100418426B1 (ko) * 2000-05-01 2004-02-11 신에쯔 세끼에이 가부시키가이샤 석영유리속에 함유되는 미량오에이치기농도의 측정방법
US6553790B1 (en) * 2000-05-09 2003-04-29 Fitel Usa Corp. Process for fabricating optical fiber involving tuning of core diameter profile
DE10025176A1 (de) * 2000-05-24 2001-12-06 Heraeus Quarzglas Verfahren für die Herstellung einer optischen Faser und Vorform für eine optische Faser
JP5093956B2 (ja) * 2000-06-09 2012-12-12 ヘレウス・テネボ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 石英ガラス中実シリンダの製造方法
US6739155B1 (en) * 2000-08-10 2004-05-25 General Electric Company Quartz making an elongated fused quartz article using a furnace with metal-lined walls
DE10044715C1 (de) * 2000-09-08 2001-12-06 Heraeus Quarzglas Verfahren zur Herstellung eines Quarzglasrohres und Bohrkörper zur Durchführung des Verfahrens
DE10052072B4 (de) * 2000-10-19 2005-06-16 Heraeus Tenevo Ag Verfahren zur Bearbeitung eines langgestreckten hohlzylindrischen Bauteils aus Quarzglas mittels Laserstrahlung
US6598429B1 (en) 2000-11-17 2003-07-29 Beamtek, Inc. Method for fabricating gradient-index rods and rod arrays
US20020083739A1 (en) * 2000-12-29 2002-07-04 Pandelisev Kiril A. Hot substrate deposition fiber optic preforms and preform components process and apparatus
US20020083740A1 (en) * 2000-12-29 2002-07-04 Pandelisev Kiril A. Process and apparatus for production of silica grain having desired properties and their fiber optic and semiconductor application
US7797966B2 (en) * 2000-12-29 2010-09-21 Single Crystal Technologies, Inc. Hot substrate deposition of fused silica
JP2002234750A (ja) * 2001-02-01 2002-08-23 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法
JP4759816B2 (ja) * 2001-02-21 2011-08-31 住友電気工業株式会社 光ファイバの製造方法
JP2002296438A (ja) 2001-03-29 2002-10-09 Fujikura Ltd 偏波保持光ファイバおよびその母材の製造方法
DE10117153C1 (de) * 2001-04-05 2002-06-13 Heraeus Quarzglas Verfahren zur Herstellung eines Bauteils aus Quarzglas
WO2002088808A1 (de) * 2001-04-30 2002-11-07 Infineon Technologies Ag Anordnung zum multiplexen und/oder demultiplexen der signale mindestens zweier optischer wellenlängenkanäle
US6687445B2 (en) * 2001-06-25 2004-02-03 Nufern Double-clad optical fiber for lasers and amplifiers
DE10155134C1 (de) * 2001-11-12 2002-12-19 Heraeus Tenevo Ag Verfahren für die Herstellung einer Vorform für eine optische Faser und Vorform für eine optische Faser
WO2003059828A1 (fr) * 2002-01-17 2003-07-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Procede et dispositif de fabrication d'un tube de verre
JP2003212581A (ja) * 2002-01-21 2003-07-30 Sumitomo Electric Ind Ltd 偏波保持ファイバの製造方法
KR20040078640A (ko) 2002-01-30 2004-09-10 스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤 유리관의 제조 방법 및 제조 장치
DE10214029C2 (de) * 2002-03-22 2003-09-18 Heraeus Tenevo Ag Verfahren zur Herstellung einer optischen Faser sowie nach dem Verfahren hergestellte optische Faser
AU2003210420A1 (en) * 2002-03-22 2003-10-08 Heraeus Tenevo Ag Method for producing an optical fiber and optical fiber
CN101913761B (zh) * 2002-05-09 2011-12-28 古河电气工业株式会社 光纤的制造方法
US20050081565A1 (en) * 2002-08-12 2005-04-21 Sumitomo Electric Industrial Co. Ltd, Method of producing higher-purity glass element, high-purity glass element, and production method and device for glass tube
US20040065119A1 (en) * 2002-10-02 2004-04-08 Fitel U.S.A. Corporation Apparatus and method for reducing end effect of an optical fiber preform
US20040144133A1 (en) * 2003-01-23 2004-07-29 Fletcher Joseph Patrick Methods for joining glass preforms in optical fiber manufacturing
US7021083B2 (en) * 2003-01-29 2006-04-04 Fitel Usa Corp. Manufacture of high purity glass tubes
JP2004243433A (ja) * 2003-02-12 2004-09-02 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd 管状脆性材料の内表面研摩方法および該研摩方法で得られた管状脆性材料
CN100351192C (zh) * 2003-03-21 2007-11-28 赫罗伊斯·坦尼沃有限责任公司 用于生产预制体的合成二氧化硅玻璃管、用垂直拉丝工艺生产它的方法和所述管的用途
WO2004083141A1 (de) * 2003-03-21 2004-09-30 Heraeus Tenevo Gmbh Rohr aus synthetischem quarzglas für die herstellung einer vorform, verfahren für seine herstellung in einem vertikalziehverfahren und verwendung des rohres
JP4014045B2 (ja) * 2003-04-16 2007-11-28 信越化学工業株式会社 ガラスロッドの製造方法
JP5176274B2 (ja) * 2003-05-19 2013-04-03 住友電気工業株式会社 光ファイバとその製造方法
DE10325539A1 (de) 2003-06-04 2004-01-08 Heraeus Tenevo Ag Quarzglas-Zylinder für die Herstellung eines optischen Bauteils sowie Verfahren für seine Herstellung
DE10325538A1 (de) * 2003-06-04 2004-01-22 Heraeus Tenevo Ag Verfahren für die Herstellung eines optischen Bauteils aus Quarzglas durch Elongieren einer koaxialen Anordnung sowie nach dem Verfahren hergestelltes optisches Bauteil
JP4206850B2 (ja) * 2003-07-18 2009-01-14 信越化学工業株式会社 露光用大型合成石英ガラス基板の製造方法
US20050097923A1 (en) * 2003-11-12 2005-05-12 General Electric Company System and support rod assembly for sintering fiber optic sleeve tubes
DE10357063B3 (de) 2003-12-04 2005-04-21 Heraeus Tenevo Ag Vertikalziehverfahren zur Herstellung eines zylinderförmigen Glaskörpers und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
FR2863606B1 (fr) * 2003-12-15 2007-06-01 Cit Alcatel Procede de realisation d'une preforme a fibre optique, preforme a fibre optique et fibre optique associees
US7395679B2 (en) * 2004-03-19 2008-07-08 Konica Minolta Opto, Inc. Method of manufacturing glass substrate for information recording medium
US8789393B2 (en) * 2004-11-29 2014-07-29 The Furukawa Electric Co., Ltd. Optical fiber preform, method of manufacturing optical fiber preform, and method of manufacturing optical fiber
DE102004059804B4 (de) * 2004-12-10 2006-11-09 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Quarzglas-Hohlzylinders als Ausgangsmaterial für eine optische Vorform oder für eine optische Faser und Verwendung
DE102004060408B4 (de) * 2004-12-14 2007-08-16 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Glasrohrs
DE102005028219B3 (de) * 2005-05-16 2006-10-12 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Rohres aus Quarzglas durch Elongieren eines Quarzglas-Hohlzylinders
JP2007063094A (ja) * 2005-09-01 2007-03-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 石英管の内面処理方法、光ファイバ母材製造方法及び光ファイバ製造方法
DE102007022272B4 (de) * 2007-05-09 2016-06-02 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Rohres aus Quarzglas durch Elongieren eines Quarzglas-Hohlzylinders
DE102008016230A1 (de) 2008-03-27 2009-05-20 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren für die Herstellung eines Zylinders aus synthetischem Quarzglas
CN101643310B (zh) * 2009-09-03 2011-03-02 成士林 一种连熔一步法生产超大口径抗高温变形石英玻璃管的方法
US8192702B2 (en) * 2010-02-01 2012-06-05 Norell, Inc. Sample tubes for use in automated systems and methods of manufacture
CN101811819B (zh) * 2010-04-16 2011-11-16 李秀山 制造大口径玻璃管的模具和利用该模具制造玻璃管的方法
CN102199000B (zh) * 2011-03-30 2012-08-08 连云港福东正佑照明电器有限公司 砷化镓晶体生长用双料壁石英玻璃管及其制备方法
US9405078B2 (en) 2011-08-30 2016-08-02 Opsens Inc. Method for disposable guidewire optical connection
US8936401B2 (en) * 2011-08-30 2015-01-20 Claude Belleville Method for disposable guidewire optical connection
CN102515507B (zh) * 2011-12-08 2014-07-09 华中科技大学 金属芯微结构光纤及其制备方法
DE102012006410B4 (de) * 2012-03-30 2013-11-28 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Quarzglas-Hohlzylinders
CN102981221B (zh) * 2012-12-03 2015-02-18 连云港市盛昌照明电器有限公司 一种光纤连接器用套管的制备方法
DE102013107435B4 (de) * 2013-07-12 2015-01-29 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines Quarzglas-Großrohres
US10384972B2 (en) 2014-02-06 2019-08-20 Momentive Performance Materials Inc. Fused quartz tubing for pharmaceutical packaging and methods for making the same
JP6402466B2 (ja) * 2014-03-31 2018-10-10 住友電気工業株式会社 マルチコア光ファイバの製造方法
JP6385472B2 (ja) 2014-06-17 2018-09-05 ヘレーウス クオーツ ノース アメリカ エルエルシーＨｅｒａｅｕｓ Ｑｕａｒｔｚ Ｎｏｒｔｈ Ａｍｅｒｉｃａ ＬＬＣ 透明な円柱状製品を測定するための装置および方法
CN105891951A (zh) * 2014-09-30 2016-08-24 中国兵器装备研究院 一种多芯合束器的模块化制作方法
JP6707558B2 (ja) 2015-06-02 2020-06-10 ヘレーウス クオーツ ノース アメリカ エルエルシーＨｅｒａｅｕｓ Ｑｕａｒｔｚ Ｎｏｒｔｈ Ａｍｅｒｉｃａ ＬＬＣ スペーサーを有する外側クラッドチューブの中にコアロッドを挿入する方法
EP3112323B1 (de) * 2015-07-03 2021-09-01 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung eines substratrohres aus quarzglas
US11299417B2 (en) 2015-12-18 2022-04-12 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of a quartz glass body in a melting crucible of refractory metal
TWI794150B (zh) 2015-12-18 2023-03-01 德商何瑞斯廓格拉斯公司 自二氧化矽顆粒製備石英玻璃體
WO2017103124A2 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Erhöhen des siliziumgehalts bei der herstellung von quarzglas
WO2017103131A1 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verringern des erdalkalimetallgehalts von siliziumdioxidgranulat durch behandlung von kohlenstoffdotiertem siliziumdioxidgranulat bei hoher temperatur
WO2017103120A1 (de) 2015-12-18 2017-06-22 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Herstellung einer synthetischen quarzglaskörnung
EP3390304B1 (de) 2015-12-18 2023-09-13 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Sprühgranulieren von siliziumdioxid bei der herstellung von quarzglas
EP3390308A1 (de) 2015-12-18 2018-10-24 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Glasfasern und vorformen aus quarzglas mit geringem oh-, cl- und al-gehalt
CN108698896A (zh) * 2015-12-18 2018-10-23 贺利氏石英玻璃有限两合公司 石英玻璃体的制备与后处理
JP6940236B2 (ja) 2015-12-18 2021-09-22 ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー 溶融炉内での露点監視による石英ガラス体の調製
US11236002B2 (en) 2015-12-18 2022-02-01 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Preparation of an opaque quartz glass body
KR20180095618A (ko) 2015-12-18 2018-08-27 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 ＆ 컴파니 케이지 다중-챔버 가열로에서 실리카 유리체의 제조
US11618708B2 (en) 2016-05-03 2023-04-04 Heraeus Quartz North America Llc Elongation method and preform for producing an optical glass component
US10450214B2 (en) 2016-06-10 2019-10-22 Corning Incorporated High optical quality glass tubing and method of making
JP7316996B2 (ja) 2018-02-28 2023-07-28 古河電気工業株式会社 マルチコアファイバ及びその製造方法、並びに光伝送システム及び光伝送方法
JP6987021B2 (ja) 2018-05-28 2021-12-22 東京エレクトロン株式会社 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
CN108793692B (zh) * 2018-06-19 2021-04-23 江苏省晶瑞石英工业开发研究院有限公司 一种气炼石英玻璃碇自整型的方法
EP3636607B1 (de) * 2018-10-09 2021-01-13 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Verfahren zur herstellung eines kapillarrohres
CN110028235B (zh) * 2019-03-01 2020-09-08 江苏永鼎股份有限公司 一种基于连熔石英套管的光纤预制棒及其制造方法
EP4067315A1 (de) * 2021-03-29 2022-10-05 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Rohr aus quarzglas und verfahren zur herstellung desselben
CN113213748B (zh) * 2021-04-28 2022-05-06 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种高强度石英光纤的制备方法
CN114918741A (zh) * 2022-03-17 2022-08-19 无锡海力自控工程有限公司 一种单晶硅超薄壁管加工工艺
CN114634306A (zh) * 2022-03-17 2022-06-17 深圳市比洋互联科技有限公司 一种四纤毛细管制备方法

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2106744A (en) * 1934-03-19 1938-02-01 Corning Glass Works Treated borosilicate glass
US2272342A (en) * 1934-08-27 1942-02-10 Corning Glass Works Method of making a transparent article of silica
US3455666A (en) * 1966-05-06 1969-07-15 American Optical Corp Method of making laser components
US3711262A (en) * 1970-05-11 1973-01-16 Corning Glass Works Method of producing optical waveguide fibers
US3659915A (en) * 1970-05-11 1972-05-02 Corning Glass Works Fused silica optical waveguide
US4217027A (en) * 1974-02-22 1980-08-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication and resulting product
US3932162A (en) * 1974-06-21 1976-01-13 Corning Glass Works Method of making glass optical waveguide
DE2536456C2 (de) * 1975-08-16 1981-02-05 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau Halbzeug für die Herstellung von Lichtleitfasern und Verfahren zur Herstellung des Halbzeugs
JPS59456B2 (ja) * 1976-01-29 1984-01-06 日本電信電話株式会社 光ガラスフアイバの製造方法
JPS52134623A (en) * 1976-05-06 1977-11-11 Nippon Telegraph & Telephone Process for preparing silica glass tube
JPS53144758A (en) * 1977-05-23 1978-12-16 Sumitomo Electric Ind Ltd Production of glass fibers for optical transmission
JPS5529020A (en) * 1978-08-17 1980-03-01 Yoshiki Maeda Sea water moving device using ebb and flow of tide
JPS5617932A (en) * 1979-07-18 1981-02-20 Toshiba Ceramics Co Ltd Transparent quartz glass pipe for optical fiber
JPS603014B2 (ja) * 1979-07-20 1985-01-25 三菱マテリアル株式会社 高軸対称性を有する石英ガラス管の製造法
JPS5637235A (en) * 1979-09-05 1981-04-10 Toshiba Ceramics Co Ltd Thick-walled transparent quartz glass tube of high accuracy
GB2109367B (en) * 1981-11-17 1985-02-13 Pirelli General Plc Manufacture of a preform for optical fibres by the rod in tube method
NL8201453A (nl) * 1982-04-06 1983-11-01 Philips Nv Werkwijze voor de vervaardiging van optische vezels.
JPS58213652A (ja) * 1982-06-04 1983-12-12 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光学ガラスロツドの表面処理方法
US4596589A (en) * 1984-02-09 1986-06-24 Perry Gregory A Method for producing a single mode fiber preform
JPS61201633A (ja) * 1985-03-04 1986-09-06 Sumitomo Electric Ind Ltd マルチコア光フアイバの製造方法
JPS62275035A (ja) * 1985-05-07 1987-11-30 Sumitomo Electric Ind Ltd 光フアイバ用母材の製造方法
US4820322A (en) * 1986-04-28 1989-04-11 American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories Method of and apparatus for overcladding a glass rod
NL8601830A (nl) * 1986-07-14 1988-02-01 Philips Nv Werkwijze voor de vervaardiging van optische vezels met een kern en een mantel uit glas onder toepassing van de staaf in buistechniek.
US4882209A (en) * 1986-09-11 1989-11-21 Asahi Glass Company, Ltd. Glass capillary tube and method for its production
DE3731604A1 (de) * 1987-09-19 1989-03-30 Philips Patentverwaltung Verfahren zur herstellung einer monomode-lichtleitfaser
DE3921086A1 (de) * 1989-06-28 1991-01-03 Kabelmetal Electro Gmbh Verfahren zur herstellung von lichtwellenleitern mit aufschmelzen eines ueberwurfrohres auf eine roh-vorform
JPH0380124A (ja) * 1989-08-22 1991-04-04 Nippon Electric Glass Co Ltd 光学繊維用ガラス管内面の洗浄方法
JPH103924A (ja) * 1996-04-19 1998-01-06 Daikin Ind Ltd 正極活物質、該正極活物質を用いた電池および電池の作製方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. US, патент, 3932162, кл. C 03 C 25/02, 1976. 2. US, патент, 4217027, кл. C 03 B 37/07, 1980. 3. ЕР, патент, 309027, кл. C 03 B 37/012, 1987. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2753547C2 (ru) * 2017-02-28 2021-08-17 Корнинг Инкорпорейтед Способ и система для регулирования воздушного потока через печь отжига во время производства оптического волокна
RU2764064C1 (ru) * 2020-10-02 2022-01-13 Акционерное общество «Обнинское научно-производственное предприятие «Технология» им. А.Г.Ромашина» Способ механической обработки крупногабаритных сложнопрофильных керамических изделий
RU2790075C1 (ru) * 2022-05-18 2023-02-14 Максим Вадимович Буралкин Способ изготовления преформы оптического волокна из опорных кварцевых труб с наличием объемных дефектов (варианты)

Also Published As

Publication number Publication date
WO1994011317A2 (en) 1994-05-26
FI935138A (fi) 1994-05-20
FI935138A0 (fi) 1993-11-19
US5785729A (en) 1998-07-28
EP0598349A3 (en) 1994-07-06
EP0598349A2 (en) 1994-05-25
FI103038B1 (fi) 1999-04-15
KR0133027B1 (ko) 1998-04-14
ES2120467T3 (es) 1998-11-01
FI103038B (fi) 1999-04-15
WO1994011317A3 (en) 1994-07-07
DE69319999D1 (de) 1998-09-03
US5837334A (en) 1998-11-17
CN1089580A (zh) 1994-07-20
DE69319999T2 (de) 1999-03-18
DK0598349T3 (da) 1999-04-26
KR940011972A (ko) 1994-06-22
EP0598349B1 (en) 1998-07-29
CN1042825C (zh) 1999-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2096355C1 (ru) Труба больших размеров из кварцевого стекла, заготовка больших размеров из кварцевого стекла, процесс их изготовления и оптическое волокно из кварцевого стекла
JP2980501B2 (ja) 大型石英ガラス管、大型石英ガラスプリフォ−ムおよびそれらの製造方法
CN114007991B (zh) 制造空芯光纤和空芯光纤预制件的方法
EP1487750B1 (en) Method for producing an optical fiber and optical fiber
JP3061714B2 (ja) 大型石英ガラス管、光ファイバプリフォ−ムおよびそれらの製造方法
US7712335B2 (en) Quartz glass cylinder for production of an optical component and method for production thereof
US10118854B2 (en) Tubular semifinished product for producing an optical fiber
EP1000908B1 (en) Method for producing quartz glass preform for optical fibers and the quartz glass tube used thereto
JP3529149B2 (ja) 大型石英ガラス管、大型石英ガラスプリフォ−ム及びそれらの製造方法
JP3489345B2 (ja) 光ファイバの製造方法
KR100314699B1 (ko) 광파이버용 석영유리모재의 제조방법
KR100912863B1 (ko) 광섬유의 제조방법 및 광섬유
EP0994078B1 (en) Method for producing quartz glass preform for optical fibers
JP2000203860A (ja) 大型石英ガラスプリフォ−ム
EP0994077A2 (en) Quartz glass tube having tapered groove and method for producing preform for optical fibers using the same
JP4625448B2 (ja) 石英ガラスからなる予備成形物を延伸および萎縮する方法
EP2481715B1 (en) Method of manufacturing an optical fiber preform
CN114349328A (zh) 简单剖面结构保偏母材及其高效制备方法
JP2003246639A (ja) ガラス母材の製造方法及びガラス母材
JP3418679B2 (ja) 光ファイバ母材の加工装置及び加工方法
JP2003226542A (ja) 光ファイバ母材インゴットの円筒研削方法及び円筒研削装置
JP2006062915A (ja) 光ファイバ、光ファイバ用プリフォーム、それらの製造に使用される石英ガラス管、ならびにそれらの製造方法