JP2002234750A - 光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用石英ガラス母材の製造方法Info
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- C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01205—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting from tubes, rods, fibres or filaments
- C03B37/01225—Means for changing or stabilising the shape, e.g. diameter, of tubes or rods in general, e.g. collapsing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】楕円度が小さく、大型の光ファイバ用石英ガラ
ス母材を低コストで製造する方法を提供すること。 【解決手段】カーボン製の発熱体を装備する加熱炉を用
いて、大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシ
リンダー内にコアロッドを一体化させることなく挿入し
た母材を非接触で延伸する光ファイバ用石英ガラス母材
の製造方法において、前記大型の石英ガラスシリンダー
の外径（Ｄ）と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）を
１．０２〜１．５に設定し、かつ加熱炉の上部から不活
性ガスを吹き込むことを特徴とする光ファイバ用石英ガ
ラス母材の製造方法。
ス母材を低コストで製造する方法を提供すること。 【解決手段】カーボン製の発熱体を装備する加熱炉を用
いて、大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシ
リンダー内にコアロッドを一体化させることなく挿入し
た母材を非接触で延伸する光ファイバ用石英ガラス母材
の製造方法において、前記大型の石英ガラスシリンダー
の外径（Ｄ）と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）を
１．０２〜１．５に設定し、かつ加熱炉の上部から不活
性ガスを吹き込むことを特徴とする光ファイバ用石英ガ
ラス母材の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、楕円度の小さい光ファ
イバ用石英ガラス母材の製造方法、さらに詳しくは、楕
円度の小さい光ファイバ用石英ガラス母材を生産性よ
く、かつ低コストで製造する方法に関するものである。
イバ用石英ガラス母材の製造方法、さらに詳しくは、楕
円度の小さい光ファイバ用石英ガラス母材を生産性よ
く、かつ低コストで製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、光通信の分野では大量の光ファイ
バが使用されるようになってきたが、さらに光ファイバ
の使用分野を拡大するにはその量産化、低コスト化が不
可欠である。そのためには高精度の大型の光ファイバ用
石英ガラス母材を作成し、例えばロッドインチューブ法
等で大型の光ファイバ用プリフォームに形成し、延伸、
線引きするのが最も簡便な方法である。従来、光ファイ
バ用石英ガラス母材の製造には大型のシリンダーを図３
にみられるような延伸装置で溶融軟化し、チューブに延
伸して製造されていたが、得られたチューブの楕円度が
大きく高品位の光ファイバを製造することができなかっ
た。そこで、特許第３０１７４９１号公報では、加熱炉
に装備する円筒状の発熱体の長さと内径と、石英ガラス
母材の外径とを一定の関係に維持し、非接触で延伸する
ことで楕円度の小さいチューブを得ることを図った。し
かし、前記特許公報記載の加熱炉にあっては、発熱体内
に温度勾配が生じ上昇気流が発生し、加熱炉の下方領域
が負圧となり、炉体の外部の空気が吸い込まれ、カーボ
ン製発熱体の内壁が酸化腐食され、発熱体が激しく消耗
される上に、腐食で発生したダストがシリンダーに付着
し、その周方向の温度を部分的に不均一にし、シリンダ
ーの軟化部の粘度に異常をもたらし、楕円度が大きなチ
ューブを製造するにとどまった。そのため、前記加熱炉
を、例えば特開２０００−９５５３７号公報等にみられ
るように、発熱体の上部から不活性ガスを吹き込み、加
熱炉内の上昇気流の発生を抑え、空気の吸い込みや温度
の不均一な部分の発生を防ぐ方式にすることが提案され
たが、この加熱炉を用いて大型のシリンダーを延伸して
も楕円度の小さい大型の光ファイバ用石英ガラス母材の
作成が難しく、さらに石英ガラスシリンダーの外径に制
限があり、高品位の光ファイバを低コストで製造するこ
とが困難であった。
バが使用されるようになってきたが、さらに光ファイバ
の使用分野を拡大するにはその量産化、低コスト化が不
可欠である。そのためには高精度の大型の光ファイバ用
石英ガラス母材を作成し、例えばロッドインチューブ法
等で大型の光ファイバ用プリフォームに形成し、延伸、
線引きするのが最も簡便な方法である。従来、光ファイ
バ用石英ガラス母材の製造には大型のシリンダーを図３
にみられるような延伸装置で溶融軟化し、チューブに延
伸して製造されていたが、得られたチューブの楕円度が
大きく高品位の光ファイバを製造することができなかっ
た。そこで、特許第３０１７４９１号公報では、加熱炉
に装備する円筒状の発熱体の長さと内径と、石英ガラス
母材の外径とを一定の関係に維持し、非接触で延伸する
ことで楕円度の小さいチューブを得ることを図った。し
かし、前記特許公報記載の加熱炉にあっては、発熱体内
に温度勾配が生じ上昇気流が発生し、加熱炉の下方領域
が負圧となり、炉体の外部の空気が吸い込まれ、カーボ
ン製発熱体の内壁が酸化腐食され、発熱体が激しく消耗
される上に、腐食で発生したダストがシリンダーに付着
し、その周方向の温度を部分的に不均一にし、シリンダ
ーの軟化部の粘度に異常をもたらし、楕円度が大きなチ
ューブを製造するにとどまった。そのため、前記加熱炉
を、例えば特開２０００−９５５３７号公報等にみられ
るように、発熱体の上部から不活性ガスを吹き込み、加
熱炉内の上昇気流の発生を抑え、空気の吸い込みや温度
の不均一な部分の発生を防ぐ方式にすることが提案され
たが、この加熱炉を用いて大型のシリンダーを延伸して
も楕円度の小さい大型の光ファイバ用石英ガラス母材の
作成が難しく、さらに石英ガラスシリンダーの外径に制
限があり、高品位の光ファイバを低コストで製造するこ
とが困難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】こうした現状に鑑み、
本発明者等は鋭意研究した結果、光ファイバ用石英ガラ
ス母材の楕円度が加熱炉に吹き込まれる不活性ガスに大
きく影響されることを見出し、さらに研究を続けたとこ
ろ、大型の石英ガラスシリンダーの外径と加熱炉の発熱
体の内径の比を特定の範囲にすることで、大型で楕円度
の小さい光ファイバ用石英ガラス母材が製造できること
を見出して、本発明を完成したものである。すなわち
本発明者等は鋭意研究した結果、光ファイバ用石英ガラ
ス母材の楕円度が加熱炉に吹き込まれる不活性ガスに大
きく影響されることを見出し、さらに研究を続けたとこ
ろ、大型の石英ガラスシリンダーの外径と加熱炉の発熱
体の内径の比を特定の範囲にすることで、大型で楕円度
の小さい光ファイバ用石英ガラス母材が製造できること
を見出して、本発明を完成したものである。すなわち
【０００４】本発明は、楕円度の小さい大型の光ファイ
バ用石英ガラス母材を低コストで製造する方法を提供す
ることを目的とする。
バ用石英ガラス母材を低コストで製造する方法を提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明は、カーボン製の発熱体を装備する加熱炉を用いて、
大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシリンダ
ー内にコアロッドを一体化させることなく挿入した母材
を非接触で延伸する光ファイバ用石英ガラス母材の製造
方法において、前記大型の石英ガラスシリンダーの外径
（Ｄ）と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）を１．０
２〜１．５に設定し、かつ加熱炉の上部から不活性ガス
を吹き込むことを特徴とする光ファイバ用石英ガラス母
材の製造方法に係る。
明は、カーボン製の発熱体を装備する加熱炉を用いて、
大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシリンダ
ー内にコアロッドを一体化させることなく挿入した母材
を非接触で延伸する光ファイバ用石英ガラス母材の製造
方法において、前記大型の石英ガラスシリンダーの外径
（Ｄ）と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）を１．０
２〜１．５に設定し、かつ加熱炉の上部から不活性ガス
を吹き込むことを特徴とする光ファイバ用石英ガラス母
材の製造方法に係る。
【０００６】上記大型の石英ガラスシリンダーは、高純
度の四塩化珪素を気化し、酸水素炎中で火炎加水分解
し、生成したシリカガラス微粒子を基体の周囲に堆積さ
せて多孔質スート体を作成したのち、電気炉内で１４０
０〜２０００℃で透明ガラス化して石英ガラスインゴッ
トに作成し、その外径を研削し、外径の円中心に合わせ
てコアドリル穴開け装置等で精度良く開孔し、さらに必
要に応じて機械的研磨、フッ酸によるエッチング処理、
純水による水洗処理等を行って製造される。そして、そ
の外径は１９０ｍｍ以上とするのがよい。外径が１９０
ｍｍ未満では、楕円度の大きい光ファイバ用石英ガラス
母材が作成される。このように大型の石英ガラスシリン
ダーを用いることで大型で、楕円度の小さい光ファイバ
用石英ガラス母材の作成が容易となり、高品位の光ファ
イバが生産性よく、かつ低コストで製造できる。前記光
ファイバ用石英ガラス母材とは、光ファイバ用プリフォ
ームの作成に用いるチューブや該石英ガラスチューブ内
にコアロッドを一体化させることなく挿入した母材をい
う。
度の四塩化珪素を気化し、酸水素炎中で火炎加水分解
し、生成したシリカガラス微粒子を基体の周囲に堆積さ
せて多孔質スート体を作成したのち、電気炉内で１４０
０〜２０００℃で透明ガラス化して石英ガラスインゴッ
トに作成し、その外径を研削し、外径の円中心に合わせ
てコアドリル穴開け装置等で精度良く開孔し、さらに必
要に応じて機械的研磨、フッ酸によるエッチング処理、
純水による水洗処理等を行って製造される。そして、そ
の外径は１９０ｍｍ以上とするのがよい。外径が１９０
ｍｍ未満では、楕円度の大きい光ファイバ用石英ガラス
母材が作成される。このように大型の石英ガラスシリン
ダーを用いることで大型で、楕円度の小さい光ファイバ
用石英ガラス母材の作成が容易となり、高品位の光ファ
イバが生産性よく、かつ低コストで製造できる。前記光
ファイバ用石英ガラス母材とは、光ファイバ用プリフォ
ームの作成に用いるチューブや該石英ガラスチューブ内
にコアロッドを一体化させることなく挿入した母材をい
う。
【０００７】上記大型の石英ガラスシリンダー又は該石
英ガラスシリンダー内にコアロッドを挿入した母材を溶
融軟化する加熱炉としては、図１にみるように加熱炉の
上部から不活性ガスを吹き込む形式の加熱炉がよい。こ
の不活性ガスを吹き込むことで、加熱炉の下部に発生す
る負圧が解消し、炉外の空気の取込による発熱体の酸化
腐食が低減でき、かつダストの発生に起因する石英ガラ
スシリンダーの周表面の不均一な温度差が起こることが
ない。特に縦型抵抗炉や誘導炉は大型の石英ガラスシリ
ンダーの延伸が容易で好適に使用できる。前記抵抗炉と
は、ヒーターと呼ばれる発熱体に電流を流して発熱させ
加熱する炉であって、多くの場合は円筒形状のヒーター
が用いられる。また、誘導炉とは、ヒーターと呼ばれる
発熱体の近傍で高周波電流等を流すことにより誘導電流
を発生させてヒーターを発熱させる炉であって、多くの
場合は円筒形状のヒーターが用いられる。使用する不活
性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス等が用いられ
る。
英ガラスシリンダー内にコアロッドを挿入した母材を溶
融軟化する加熱炉としては、図１にみるように加熱炉の
上部から不活性ガスを吹き込む形式の加熱炉がよい。こ
の不活性ガスを吹き込むことで、加熱炉の下部に発生す
る負圧が解消し、炉外の空気の取込による発熱体の酸化
腐食が低減でき、かつダストの発生に起因する石英ガラ
スシリンダーの周表面の不均一な温度差が起こることが
ない。特に縦型抵抗炉や誘導炉は大型の石英ガラスシリ
ンダーの延伸が容易で好適に使用できる。前記抵抗炉と
は、ヒーターと呼ばれる発熱体に電流を流して発熱させ
加熱する炉であって、多くの場合は円筒形状のヒーター
が用いられる。また、誘導炉とは、ヒーターと呼ばれる
発熱体の近傍で高周波電流等を流すことにより誘導電流
を発生させてヒーターを発熱させる炉であって、多くの
場合は円筒形状のヒーターが用いられる。使用する不活
性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス等が用いられ
る。
【０００８】上記加熱炉を用いる大型の石英ガラスシリ
ンダー又は該石英ガラスシリンダー内にコアロッドを挿
入した母材の延伸において、加熱炉の発熱体の内径
（ｄ）と大型の石英ガラスシリンダー（Ｄ）との比（ｄ
／Ｄ）を１．０２〜１．５、好ましくは１．１〜１．３
の範囲に設定し、発熱体の内面と大型の石英ガラスシリ
ンダーの外面とのクリアランスを１５〜２５ｍｍとする
のがよい。前記ｄ／Ｄが１．０２未満では、非接触加熱
ができず、発熱体の不純物が、光ファイバ用石英ガラス
母材内に浸入し、光ファイバを汚染することになる。ま
た、ｄ／Ｄが１．５を超えると、不活性ガスに疎密が生
じ、大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシリ
ンダー内にコアロッドを挿入した母材を不均一に加熱し
楕円度が大きくなる。
ンダー又は該石英ガラスシリンダー内にコアロッドを挿
入した母材の延伸において、加熱炉の発熱体の内径
（ｄ）と大型の石英ガラスシリンダー（Ｄ）との比（ｄ
／Ｄ）を１．０２〜１．５、好ましくは１．１〜１．３
の範囲に設定し、発熱体の内面と大型の石英ガラスシリ
ンダーの外面とのクリアランスを１５〜２５ｍｍとする
のがよい。前記ｄ／Ｄが１．０２未満では、非接触加熱
ができず、発熱体の不純物が、光ファイバ用石英ガラス
母材内に浸入し、光ファイバを汚染することになる。ま
た、ｄ／Ｄが１．５を超えると、不活性ガスに疎密が生
じ、大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシリ
ンダー内にコアロッドを挿入した母材を不均一に加熱し
楕円度が大きくなる。
【０００９】上記延伸に当たっては、石英ガラスシリン
ダーの内部にも不活性ガスを流すのがよいが、その際の
石英ガラスシリンダーの外径（Ｄ）と内径（ＩＤ）の比
をＤ／ＩＤ＝２〜５に、かつ光ファイバ用石英ガラス母
材の外径（Ｄ’）と内径（ＩＤ’）の比をＤ’／ＩＤ’
＜２〜５とするのがよい。前記範囲を超えた延伸では楕
円度の小さい光ファイバ用石英ガラス母材を作成するこ
とができない。
ダーの内部にも不活性ガスを流すのがよいが、その際の
石英ガラスシリンダーの外径（Ｄ）と内径（ＩＤ）の比
をＤ／ＩＤ＝２〜５に、かつ光ファイバ用石英ガラス母
材の外径（Ｄ’）と内径（ＩＤ’）の比をＤ’／ＩＤ’
＜２〜５とするのがよい。前記範囲を超えた延伸では楕
円度の小さい光ファイバ用石英ガラス母材を作成するこ
とができない。
【００１０】次に、本発明の製造方法の１態様として、
縦型加熱炉を用いた光ファイバ用石英ガラス母材の製造
方法の概略断面図を図１に示す。図１において、１は不
活性ガス供給装置、２は加熱炉、３は発熱体、４はシリ
ンダー、５はチューブ、ｄは加熱炉の内径、Ｄは石英ガ
ラスシリンダーの外径、ＩＤ は石英ガラスシリンダーの
内径を示す。前記加熱炉を用いた延伸時にｄ／Ｄを変え
た時の楕円度の変化率を図２に示す。前記楕円度とは、
光ファイバ用石英ガラス母材を円周方向に回転させ、そ
の断面の外径を連続的に測定し、その最大値と最小値を
求め、（最大値−最小値）をＯＶ（ｍｍ）とし、数式１
で楕円度（％）を計算する。
縦型加熱炉を用いた光ファイバ用石英ガラス母材の製造
方法の概略断面図を図１に示す。図１において、１は不
活性ガス供給装置、２は加熱炉、３は発熱体、４はシリ
ンダー、５はチューブ、ｄは加熱炉の内径、Ｄは石英ガ
ラスシリンダーの外径、ＩＤ は石英ガラスシリンダーの
内径を示す。前記加熱炉を用いた延伸時にｄ／Ｄを変え
た時の楕円度の変化率を図２に示す。前記楕円度とは、
光ファイバ用石英ガラス母材を円周方向に回転させ、そ
の断面の外径を連続的に測定し、その最大値と最小値を
求め、（最大値−最小値）をＯＶ（ｍｍ）とし、数式１
で楕円度（％）を計算する。
【００１１】
【数１】楕円度（％）＝［ＯＶ（ｍｍ）／光ファイバ用
石英ガラス母材（ｍｍ）］×１００ 本発明の製造方法で製造するチューブの外径はまちまち
であり、ＯＶをそのまま比較することができないが、上
記数式１を用いることで光ファイバ用石英ガラス母材の
外径に関係なく楕円度を求めることができる。
石英ガラス母材（ｍｍ）］×１００ 本発明の製造方法で製造するチューブの外径はまちまち
であり、ＯＶをそのまま比較することができないが、上
記数式１を用いることで光ファイバ用石英ガラス母材の
外径に関係なく楕円度を求めることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施例について述べ
るがこれによって本発明はなんら限定されるものではな
い。
るがこれによって本発明はなんら限定されるものではな
い。
【００１３】
【実施例】実施例１ 気化した四塩化珪素を酸水素炎中で火炎加水分解するＶ
ＡＤ法により作成した大型多孔質スート体を１６００℃
で透明ガラス化して石英ガラスインゴットを製造した。
この円筒状石英ガラスインゴットの外径を研削し、次い
でレーザ外径測定機で寸法測定を行い、外径の円中心を
求め、この外径の円中心に合わせてコアドリル穴開け装
置で開孔し、フッ酸によるエッチング処理、純水による
水洗、及び乾燥を行って、長さ３５００ｍｍ、外径
（Ｄ）２００ｍｍ、内径（ＩＤ）５０ｍｍの石英ガラス
シリンダーを得た。
ＡＤ法により作成した大型多孔質スート体を１６００℃
で透明ガラス化して石英ガラスインゴットを製造した。
この円筒状石英ガラスインゴットの外径を研削し、次い
でレーザ外径測定機で寸法測定を行い、外径の円中心を
求め、この外径の円中心に合わせてコアドリル穴開け装
置で開孔し、フッ酸によるエッチング処理、純水による
水洗、及び乾燥を行って、長さ３５００ｍｍ、外径
（Ｄ）２００ｍｍ、内径（ＩＤ）５０ｍｍの石英ガラス
シリンダーを得た。
【００１４】上記石英ガラスシリンダーを図１に示す外
径２６０ｍｍ、内径（ｄ）２４０ｍｍ、長さ２９０ｍｍ
のカーボン製発熱体を有する縦型抵抗加熱炉内にセット
し、円筒状ヒーターの温度を２１００℃に設定し、外径
（Ｄ’）９０ｍｍのチューブに延伸した。得られたチュ
ーブのＯＶは０．１ｍｍであり、数１に従って、楕円度
＝（０．１／９０）×１００＝０．１１％となる。この
時の石英ガラスシリンダーの外径と加熱炉の内径との比
ｄ／Ｄ＝１．２、石英ガラスシリンダーの外径と発熱体
の内径とのクリアランスは、２０ｍｍであった。
径２６０ｍｍ、内径（ｄ）２４０ｍｍ、長さ２９０ｍｍ
のカーボン製発熱体を有する縦型抵抗加熱炉内にセット
し、円筒状ヒーターの温度を２１００℃に設定し、外径
（Ｄ’）９０ｍｍのチューブに延伸した。得られたチュ
ーブのＯＶは０．１ｍｍであり、数１に従って、楕円度
＝（０．１／９０）×１００＝０．１１％となる。この
時の石英ガラスシリンダーの外径と加熱炉の内径との比
ｄ／Ｄ＝１．２、石英ガラスシリンダーの外径と発熱体
の内径とのクリアランスは、２０ｍｍであった。
【００１５】上記光ファイバ用チューブに、同じくＶＡ
Ｄ法で作成したクラッド付きのコアロッド（外径４５ｍ
ｍ）を挿入し、ロッドインチューブ法で光ファイバ用プ
リフォームを製造し、１２５μｍのシングルモード光フ
ァイバに線引きしたところ、クラッド楕円度が０．８０
μｍであった。前記クラッド楕円度とは、光ファイバの
楕円度を表わす基準として慣用されており、クラッド楕
円度１％以下がシングルモード光ファイバの規格品とさ
れる。
Ｄ法で作成したクラッド付きのコアロッド（外径４５ｍ
ｍ）を挿入し、ロッドインチューブ法で光ファイバ用プ
リフォームを製造し、１２５μｍのシングルモード光フ
ァイバに線引きしたところ、クラッド楕円度が０．８０
μｍであった。前記クラッド楕円度とは、光ファイバの
楕円度を表わす基準として慣用されており、クラッド楕
円度１％以下がシングルモード光ファイバの規格品とさ
れる。
【００１６】比較例１ 外径１５０ｍｍ、内径５０ｍｍ、長さ３５００ｍｍの石
英ガラスシリンダーを用いて実施例１と同様の抵抗炉で
外径が６０ｍｍのチューブに延伸した。得られたチュー
ブのＯＶは０．４ｍｍであり、楕円度＝（０．４／６
０）×１００＝０．６７％となる。その時の石英ガラス
シリンダーの外径と加熱炉の内径との比ｄ／Ｄ＝１．
６、クリアランスは４５ｍｍであった。
英ガラスシリンダーを用いて実施例１と同様の抵抗炉で
外径が６０ｍｍのチューブに延伸した。得られたチュー
ブのＯＶは０．４ｍｍであり、楕円度＝（０．４／６
０）×１００＝０．６７％となる。その時の石英ガラス
シリンダーの外径と加熱炉の内径との比ｄ／Ｄ＝１．
６、クリアランスは４５ｍｍであった。
【００１７】上記チューブを用いて、実施例１と同様に
して光ファイバを作成したところ、クラッド楕円度は
１．５０μｍと一般規格を充たすものではなかった。
して光ファイバを作成したところ、クラッド楕円度は
１．５０μｍと一般規格を充たすものではなかった。
【００１８】
【発明の効果】本発明の製造方法では、楕円度が小さ
く、かつ大型の光ファイバ用石英ガラス母材が低コスト
で製造でき、それを用いて光ファイバ用プリフォームを
作成し、線引きすることで、クラッド楕円度の小さい高
品質の光ファイバが生産性よく、かつ低コストで製造で
き、その工業的価値が高いものがある。
く、かつ大型の光ファイバ用石英ガラス母材が低コスト
で製造でき、それを用いて光ファイバ用プリフォームを
作成し、線引きすることで、クラッド楕円度の小さい高
品質の光ファイバが生産性よく、かつ低コストで製造で
き、その工業的価値が高いものがある。
【図１】光ファイバ用石英ガラス母材を製造する縦型加
熱炉の概略断面図である。
熱炉の概略断面図である。
【図２】加熱炉の内径と石英ガラスシリンダーの外径の
比と楕円度との関係を示すグラフである。
比と楕円度との関係を示すグラフである。
【図３】従来の光ファイバ用石英ガラス母材を製造する
縦型加熱炉の概略断面図である。
縦型加熱炉の概略断面図である。
１ ： 不活性ガス供給装置 ２ ： 加熱炉 ３ ： 発熱体 ４ ： 石英ガラスシリンダー ５ ： 石英ガラスチューブ Ｄ ： 石英ガラスシリンダーの外径 ＩＤ ： 石英ガラスシリンダーの内径 ｄ ： 加熱炉の内径
Claims (3)
- 【請求項１】カーボン製の発熱体を装備する加熱炉を用
いて、大型の石英ガラスシリンダー又は該石英ガラスシ
リンダー内にコアロッドを一体化させることなく挿入し
た母材を非接触で延伸する光ファイバ用石英ガラス母材
の製造方法において、前記大型の石英ガラスシリンダー
の外径（Ｄ）と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）を
１．０２〜１．５に設定し、かつ加熱炉の上部から不活
性ガスを吹き込むことを特徴とする光ファイバ用石英ガ
ラス母材の製造方法。 - 【請求項２】大型の石英ガラスシリンダーの外径（Ｄ）
と発熱体の内径（ｄ）との比（ｄ／Ｄ）が１．１〜１．
３の範囲にあることを特徴とする請求項１記載の光ファ
イバ用石英ガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】加熱炉が抵抗炉又は誘導炉であることを特
徴とする請求項１ないし３記載の光ファイバ用石英ガラ
ス母材の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000233938A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバー用ガラス母材延伸装置 |
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| US4400190A (en) * | 1981-09-28 | 1983-08-23 | Gte Laboratories Incorporated | Graphite element for use in a furnace for drawing optical fiber |
| US4547644A (en) * | 1984-02-24 | 1985-10-15 | At&T Technologies, Inc. | Apparatus for heating a preform from which lightguide fiber is drawn |
| CA1284921C (en) * | 1984-02-27 | 1991-06-18 | Hiroyuki Suda | Method, apparatus and burner for fabricating an optical fiber preform |
| GB2212151B (en) * | 1987-11-12 | 1991-07-17 | Stc Plc | Contaminant removal in manufacture of optical fibre |
| US5059229A (en) * | 1990-09-24 | 1991-10-22 | Corning Incorporated | Method for producing optical fiber in a hydrogen atmosphere to prevent attenuation |
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| US5637130A (en) * | 1993-07-13 | 1997-06-10 | Sumitomo Electric Industries, Inc. | Method and furnace for drawing optical fibers |
| US5917109A (en) * | 1994-12-20 | 1999-06-29 | Corning Incorporated | Method of making optical fiber having depressed index core region |
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Patent Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2000233938A (ja) * | 1999-02-10 | 2000-08-29 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 光ファイバー用ガラス母材延伸装置 |
Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2008540321A (ja) * | 2005-05-16 | 2008-11-20 | ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲー | 石英ガラスの中空シリンダーを延伸することにより石英ガラスチューブを製造する方法 |
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