NO179238B - Utstyr for tynnsliping av materialpröver - Google Patents

Utstyr for tynnsliping av materialpröver Download PDF

Info

Publication number
NO179238B
NO179238B NO942242A NO942242A NO179238B NO 179238 B NO179238 B NO 179238B NO 942242 A NO942242 A NO 942242A NO 942242 A NO942242 A NO 942242A NO 179238 B NO179238 B NO 179238B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
grinding
turntable
material samples
equipment according
spindle
Prior art date
Application number
NO942242A
Other languages
English (en)
Other versions
NO179238C (no
NO942242L (no
NO942242D0 (no
Inventor
Bjoern Thoresen
Geir Thorkildsen
Original Assignee
Norsk Hydro As
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Norsk Hydro As filed Critical Norsk Hydro As
Priority to NO942242A priority Critical patent/NO179238C/no
Publication of NO942242D0 publication Critical patent/NO942242D0/no
Priority to EP95922789A priority patent/EP0713575B1/en
Priority to DE69526307T priority patent/DE69526307T2/de
Priority to DK95922789T priority patent/DK0713575T3/da
Priority to CA002167400A priority patent/CA2167400A1/en
Priority to US08/592,343 priority patent/US5785578A/en
Priority to AT95922789T priority patent/ATE216071T1/de
Priority to RU96105927A priority patent/RU2134160C1/ru
Priority to CN95190560.0A priority patent/CN1097726C/zh
Priority to PCT/NO1995/000101 priority patent/WO1995034802A1/en
Priority to ES95922789T priority patent/ES2174949T3/es
Priority to CZ1996773A priority patent/CZ290918B6/cs
Priority to KR1019960700248A priority patent/KR100383524B1/ko
Priority to AU27550/95A priority patent/AU692270B2/en
Priority to JP50197896A priority patent/JP3190972B2/ja
Publication of NO942242L publication Critical patent/NO942242L/no
Publication of NO179238B publication Critical patent/NO179238B/no
Publication of NO179238C publication Critical patent/NO179238C/no

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32Polishing; Etching
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B51/00Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24DTOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
    • B24D7/00Bonded abrasive wheels, or wheels with inserted abrasive blocks, designed for acting otherwise than only by their periphery, e.g. by the front face; Bushings or mountings therefor
    • B24D7/02Wheels in one piece
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/286Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q involving mechanical work, e.g. chopping, disintegrating, compacting, homogenising

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
  • Disintegrating Or Milling (AREA)

Description

Foreliggende oppfinnelse vedrører utstyr for sliping av materialprøver, f.eks. finsliping av en bergartsprøve montert på et objektglass, innbefattende en konsoll- og rammekonstruksjon med et bord som er innrettet for fastholdelse av et antall materialprøver og er anordnet på en vogn eller slede som er innrettet til å forskyves langs skinner e.l. ved hjelp av en drivinnretning, minst en over dreiebordet vertikalt bevegbar slipespindel som er anordnet på en vogn eller slede som er vertikalt forskyvbar langs skinner e.l., ved hjelp av en drivinnretning, samt en programmerbar styreenhet for styring av slipeprosessen.
Ved utvinning av olje og gass fra en underjordisk bergart er det av grunnleggende betydning å skaffe seg kjennskap til beskaffenheten til denne bergarten. Dette gjøres bl.a. ved å studere tynnslip av angjeldende bergart i mikroskop for å danne seg et bilde av bergartens porøsitet og struktur. Et tynnslip fremstilles ved først å kutte en bit av bergarten og impregnere den. Deretter planslipes den impregnerte biten før den monteres på et objektglass og finslipes.
Den vanligste slipingsmetoden foregår ved såkalt "lapping", dvs. at silisiumkarbidkorn i vannsuspensjon tilføres en roterende støpejemsplate, idet materialprøvene (objektgassene med prøvene) som er montert i en eller flere roterende holdere presses mot den roterende støpejernsplaten. Med denne type utstyr og metode fungerer således silisiumkarbidkornene som slipemiddel og tykkelsen reduseres gradvis til ca. 30 nm.
Den kjente metoden og utstyret er imidlertid beheftet med en rekke ulemper. For det første blir slipekornene presset inn i epoksyplasten i materialprøvene under "lapping"-prosessen og viser seg som sorte partikler i porene i de ferdige tynnslipene.
I verste fall fører dette til at tynnslipene er uegnet for videre analyser. Dernest får den roterende støpejernsplaten skjev overflate under slipeoperasjonen og må stadig rettes opp. Noe som medfører betydelig merarbeid. Skjevheten i støpejernsplaten kan også medføre betydelige ujevnheter i materialprøvene som av den grunn må kastes.
Ytterligere en ulempe med det kjente utstyret er at det krever overvåking av en operatør og derfor er kostbart å anvende.
US patentskrift nr. 3258880 viser en slipemaskin for spissing eller sliping av skjære-verktøy for maskinredskap. Maskinen har ikke noe dreiebord, men en holder for fastholdelse av verkstykket. Denne holderen kan dreies 240° om en vertikalakse for å kunne innstille verkstykket i forhold til slipeskiven.
Maskinen som vist i angjeldende US patentskrift er en grovslipemaskin som ikke kan benyttes til tynnsliping eller finsliping av materialprøver.
DE off.skrift. nr. 2628552 viser en slipemaskin for sliping og polering av større stein såsom gravstøtter hvor det benyttes et stort antall slipespindler anordnet i en felles roterede holder. Heller ikke denne maskinen har noe dreiebord, men en understøttelse for fremmating av steinen som skal slipes.
GB patentsøknad nr. 2124114 viser en slipeautomat for skjøre verkstykker der et og et verkstykke om gangen føres inn under og slipes av en overliggende slipespindel. Verkstykkene er riktig nok montert på og fremmates av en roterende benk, men benken er, så vidt fremgår av GB-publikasjonen, i ro under slipeoperasjonen. Men et slikt ensformig slipemønster der bare slipespindelen roterer, vil slipeoverflaten til slipespindelen raskt bli ujevn og skjev, noe som vil medføre ujevnheter og skjevheter i verkstykkene. En slik maskin vil derfor heller ikke kunne benyttes til tynnsliping av materialprøver.
Det samme gjelder løsningen vist i den europeiske patentsøknaden nr. 0323518. I henhold til sistnevnte publikasjon er verkstykket/ene oppspent i et bord som er innrettet til å kunne vibrere i forskjellige "mønstre" ved hjelp av piezoelektriske krystaller. Med så små amplituder (vibrasjoner) som kan oppnås med en slik løsning, vil det ikke kunne unngås at det oppstår skjevheter og ujevnheter i verkstykket/ene under slipeoperasjonen.
Med foreliggende oppfinnelse er det kommet frem til utstyr for sliping av materialprøver hvor ovennevnte ulemper er eliminert, dvs. som
er vesentlig enklere å anvende,
gir vesentlig større nøyaktighet under slipe-
operasjonen,
unngår inntrengning av slipekorn i materialprøvene,
medfører minimal operatørinnsats,
gir vesentlig finere og jevnere overflate for de ferdig slipte materialprøvene, sparer tid ved senere polering av materialprøveoverflaten,
har større slipekapasitet.
Utstyret i henhold til oppfinnelsen er karakterisert ved at bordet utgjøres av et roterende dreiebord som er innrettet til å oscillere sideveis i forhold til slipespindelen/e under slipeprosessen.
De uselvstendige kravene 2-7 angir fordelaktige trekk ved oppfinnelsen. Oppfinnelsen skal i det etterfølgende beskrives nærmere ved hjelp av eksempel og under henvisning til tegningene hvor:
Fig. 1 viser a) sett forfra, b) sett fra siden og
c) sett ovenfra slipeutstyret i h.h.t. oppfinnelsen,
Fig. 2 viser i større målestokk en opplagring for en slipe-
spindel som inngår i utstyret, og
Fig. 3 viser sett ovenfra og i større målestokk et dreiebord som inngår i utstyret.
Fig. 4 viser to eksempler på materialprøver som er slipte ved hjelp av h.h.v. a) slipeutstyr ifølge oppfinnelsen og b) kjent utstyr ved "lapping".
Utstyret i henhold til oppfinnelsen innbefatter som vist i Fig. 1 fire hovedkomponenter, nærmere bestemt en ramme- og konsollkonstruksjon 1, et slipespindelarrangement 2, et dreiebord 3, samt et styresystem 4.
Ramme- og konsollkonstruksjonen 1 er innrettet til å oppta store krefter under slipeoperasjonen ved anvendelse av utstyret og er derfor fremstilt av solide stålbærere og -avstivere 5, 6, 7 for å sikre tilstrekkelig stabilitet og hindre slipeavvik. Når det gjelder nærmere detaljer omkring ramme- og konsollkonstruksjonen, anses disse å ligge innenfor en fagmanns kompetanseområde og skal ikke kommenteres nærmere her.
Slipespindelarrangementet 2 består i det her viste eksempel av to direkte over dreiebordet 3 anordnede slipespindler, en grov- og en finspindel, som hver drives av en elektromotor 8. Hver spindel og motorenhet 2,8 er i sin tur understøttet av en slede eller vogn 9 som er forskyvbar i vertikal retning langs skinner 10 i konsollkonstruksjonen.
Sledene 9 og dermed spindlene 2 kan beveges opp eller ned ved hjelp av et høypresisjon mutter/skruearrangement 11 som drives av en servomotor 12. Utstyret i henhold til oppfinnelsen er som nevnt innledningsvis konstruert for å kunne finslipe materialprøver ned til en tykkelse av 20-30 nm og med en nøyaktighet på ± 1 |^m. For å unngå slipeavvik på grunn av varmeutvidelse er derfor slipespindelen opplagret i en spesiell opplagring 13 i sleden 9 som er nærmere vist i større målestokk i Fig. 2. I detalj vises her teflonpakninger 14, vinkelkontaktkulelager 15 og 16, tallerkenfjærer 17, sporkulelager 18, låsemutter 19, spindelaksling 20 og sentreringsring 29.
I opplagringen benyttes lågere som nevnt ovenfor med forskjellig dimensjon og kuleantall fordi dette hindrer at kulebanene frembringer uønsket mønster i slipeflaten for materialprøvene. Tallerkenfjærene for sin del frembringer et konstant trykk mot øvre lager 18, respektive de nedre trustlagere 15, 16 som gjør at eventuell varmgang i spindelen ikke skaper unøyaktighet mot slipeflaten. Spindelakslingen vil med andre ord fritt kunne utvide seg i retning oppad. Teflontettingene har liten friksjon som igjen skaper liten varmeutvikling i spindelhuset. Når det gjelder selve slipespindlene, består disse av metallbundne diamantskiver 21, fortrinnsvis skålformede sådanne for å oppnå god kjøling under slipeoperasjonen. Anvendelse av diamantskiver representerer en vesentlig fordel ved oppfinnelsen, idet materialprøvene som slipes blir helt rene og frie for fremmedpartikler i slipestrukturen.
I Fig. 4 vises to eksempler på materialprøver som er slipte ved hjelp av henholdsvis a) slipeutstyr ifølge oppfinnelsen og b) kjent utstyr ved lapping. Som det fremgår av Fig. 4 b) er det en mengde fremmedpartikler 30 i slipestrukturen. Materialprøven vist i Fig. 4 a) har ingen slike partikler.
Dreiebordet 3 (se Fig. 2) som utgjør det tredje viktige element i oppfinnelsen utgjøres av en sirkulær skive som via en removerføring 22 e.l. drives av en elektromotor 23. Skiven 3 med drivverk 22,23 er anordnet på en vogn, slede e.l. 24 som er forskyvbart anordnet på skinner 25 på rammekonstruksjonen 5. Vognen kan hensiktsmessig være drevet av en servomotor via en mutter/skrueløsning lignende den løsning som benyttes for heving og senkning av slipespindlene 2.
Ved å anordne dreiebordet 3 forskyvbart som her antydet, fremskaffes en kombinert oscillerende og roterende slipebevegelse for materialprøvene som gir jevn og nøyaktig (dekkende) nedsliping av disse.
Materialprøvene som skal slipes fastholdes hensiktsmessig på dreiebordet 3 ved hjelp av vakuum. Fig. 3 viser i forstørret målestokk et dreiebord 3 i h.h.t. oppfinnelsen sett ovenfra. Dreiebordet er fremstilt av spenningsfri messing og er forsynt med et stort antall hull 28 med spor 31 som er anordnet i et mønster i avstand fra hverandre og som er forbundet med en vakuumkilde (ikke vist). Totalt viser bordet førti slike hull med spor for fastholdelse av tilsvarende antall slike prøver.
Under slipeprosessen tilføres vann til dreiebordet for kjøling av materialprøvene via en eller flere dyser ovenfra. Dette er ikke nærmere vist i figurene.
Den fjerde og ikke minst viktige delen som inngår i foreliggende oppfinnelse er en programmerbar logisk styring (PLS) som utgjør styresystemet 4 for løsningen. Betjeningen av PLS-enheten kan hensiktsmessig foregå via et såkalt "touch screen display" hvor forskjellige menyer med berøringstaster benyttes til å styre slipeutstyret. Hele styresystemet 4 er bygget inn i et skap anordnet på selve slipeutstyret, eller fortrinnsvis på et eget frittstående stativ som er lett tilgjengelig for en operatør.
En slik PLS-enhet som her benyttes representerer i seg selv intet patenterbart idet den finnes fritt tilgjengelig i markedet, og den tekniske løsning når det gjelder PLS-enheten skal derfor følgelig ikke beskrives nærmere her. Imidlertid skal det i det etterfølgende kort beskrives hvordan slipemaskinen kan brukes ved hjelp av PLS-enheten.
Når hovedbryteren blir skrudd på vil alle "akser" som viser dreiebordets og slipespindelens posisjon bevege seg til et nullpunkt kalt "origo". Samtidig vil teksten "origo search" vises på operatørdisplayet. Når utstyret er klart til bruk vil så en hovedmeny vises på displayet. Her kan det f.eks. velges mellom automatisk steinsliping, automatisk glassplatesliping og manuell sliping.
Ved å velge manuell sliping i hovedmenyen vil det komme frem en undermeny med muligheter for valg av kjøring av dreiebord og for valg av hvilken slipemotor det er ønskelig å bruke. Velges finslip eller grovslip vil det komme frem en ny undermeny hvor manuell kjøring av slipeprosedyren utføres. Det er også her mulig å gå inn og lagre referansepunkter for bruk i helautomatisk sliping med maskinen. Det vil si at det ved å slipe en prøve og ved å lagre referansepunktene, kan maskinen automatisk utføre en gjentagelse av slipeprosedyren.
Valg av endepunkter for dreiebordets oscilleringsbevegelser utføres på en egen meny. På denne menyen kan det også legges inn slipehastigheter for automatisk sliping.
Før automatisk sliping velges legges først materialprøvene som skal slipes på dreiebordet i utgangsposisjonen og vakuum og kjølevann skrus på. Deretter velges automatisk glassliping eller automatisk steinsliping i hovedmenyen. Når dette er gjort kommer den respektive undermeny frem og det vil her være mulig å starte og stoppe slipeprosedyren hvor som helst i programmet. Her vil hele slipeprosedyren utføres med grovsliping og finsliping med samtidig oscillering av dreiebordet til den er ferdig. Da vil dreiebordet bevege seg tilbake til utgangspunktet og materialprøvene er ferdige for videre bearbeidelse og analyser.
Når det gjelder selve slipeoperasjonen skal bemerkes at det er fordelaktig å benytte to slipeskiver som beskrevet i det foranstående, idet slipetiden reduseres. Først grovslipes i så tilfelle materialprøvene ned til en hensiktsmessig tykkelse, f.eks. 100 ^m, med den grove slipeskiven, før de finslipes med den fine slipeskiven ned til ønsket finsliptykkelse, f.eks. ca. 30 [ im. Oppfinnelsen slik den er definert i kravene er imidlertid ikke begrenset til to slipeskiver, men kan være forsynt med en eller flere enn to slike skiver.

Claims (7)

1. Utstyr for sliping av materialprøver, f.eks. finsliping av en bergartsprøve montert på et objektglass, innbefattende en konsoll- og rammekonstruksjon (1) med et bord (3) som er innrettet for fastholdelse av et antall materialprøver og er anordnet på en vogn eller slede (24) som er innrettet til å forskyves langs skinner 25 e.l. ved hjelp av en drivinnretning (26,27), minst en over dreiebordet vertikalt bevegbar slipespindel (2) som er anordnet på en vogn eller slede (9) som er vertikalt forskyvbar langs skinner (10) e.l. ved hjelp av en drivinnretning, samt en programmerbar styreenhet (4) for styring av slipeprosessen, karakterisert ved . at bordet (3) utgjøres av et roterende dreiebord som er innrettet til å oscillere sideveis i forhold til slipespindelen/e under slipeprosessen.
2. Utstyr ifølge krav 1, karakterisert ved at det på den vertikalt bevegbare vognen (9) er anordnet to slipespindler (2), en for grovsliping og en finsliping av materialprøvene.
3. Utstyr ifølge krav 1 eller 2, karakterisert ved at slipespindlene som i og for seg kjent er utstyrt med en slipeskive (21) av metallbundne diamantpartikler.
4. Utstyr ifølge krav 3, karakterisert ved at slipeskiven (21) som i og for seg kjent er skålformet.
5. Utstyr ifølge krav 1, karakterisert ved at dreiebordet som i og for seg kjent er innrettet til å fastholde materialprøvene ved hjelp av vakuum, idet det er forsynt med et antall gjennomgående hull (28) som er forbundet med en vakuumkilde, og som er anordnet i et mønster langs omkretsen av dreiebordet.
6. Utstyr ifølge de foregående krav 1-5, karakterisert ved at akslingen (20) for hver av dreiebordet (3) og slipespindelen/e (2) er forspent i forhold til trustlagere (15, 16) ved hjelp av en fjæranordning (17) slik at akslingen ved varmepåvirkning kan utvide seg fritt uten å forskyve dreiebordet eller slipespindelen/e.
7. Utstyr ifølge krav 8, karakterisert ved at akslingen som i og for seg kjent er opplagret i to trustlagere anordnet inntil hverandre, idet lagerene (16, 17) utgjøres av vinkelkontaktkulelagere med forskjellig diameter og kuleantall.
NO942242A 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver NO179238C (no)

Priority Applications (15)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO942242A NO179238C (no) 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver
JP50197896A JP3190972B2 (ja) 1994-06-15 1995-06-14 材料サンプルの研削装置
CN95190560.0A CN1097726C (zh) 1994-06-15 1995-06-14 研磨材料样品的设备
ES95922789T ES2174949T3 (es) 1994-06-15 1995-06-14 Equipo para la amoladura de muestras de material.
DK95922789T DK0713575T3 (da) 1994-06-15 1995-06-14 Udstyr til slibning af materialeprøver
CA002167400A CA2167400A1 (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipement for the grinding of material samples
US08/592,343 US5785578A (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipment for the grinding of material samples
AT95922789T ATE216071T1 (de) 1994-06-15 1995-06-14 Gerät zum schleifen von materialproben
RU96105927A RU2134160C1 (ru) 1994-06-15 1995-06-14 Устройство для измельчения образцов материалов
EP95922789A EP0713575B1 (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipement for the grinding of material samples
PCT/NO1995/000101 WO1995034802A1 (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipement for the grinding of material samples
DE69526307T DE69526307T2 (de) 1994-06-15 1995-06-14 Gerät zum schleifen von materialproben
CZ1996773A CZ290918B6 (cs) 1994-06-15 1995-06-14 Zařízení pro brouąení vzorků materiálu
KR1019960700248A KR100383524B1 (ko) 1994-06-15 1995-06-14 시료의연마장치
AU27550/95A AU692270B2 (en) 1994-06-15 1995-06-14 Equipement for the grinding of material samples

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO942242A NO179238C (no) 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver

Publications (4)

Publication Number Publication Date
NO942242D0 NO942242D0 (no) 1994-06-15
NO942242L NO942242L (no) 1995-12-18
NO179238B true NO179238B (no) 1996-05-28
NO179238C NO179238C (no) 1996-09-04

Family

ID=19897186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO942242A NO179238C (no) 1994-06-15 1994-06-15 Utstyr for tynnsliping av materialpröver

Country Status (15)

Country Link
US (1) US5785578A (no)
EP (1) EP0713575B1 (no)
JP (1) JP3190972B2 (no)
KR (1) KR100383524B1 (no)
CN (1) CN1097726C (no)
AT (1) ATE216071T1 (no)
AU (1) AU692270B2 (no)
CA (1) CA2167400A1 (no)
CZ (1) CZ290918B6 (no)
DE (1) DE69526307T2 (no)
DK (1) DK0713575T3 (no)
ES (1) ES2174949T3 (no)
NO (1) NO179238C (no)
RU (1) RU2134160C1 (no)
WO (1) WO1995034802A1 (no)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE508604C2 (sv) * 1997-02-24 1998-10-19 Dentronic Ab Förfarande och arrangemang för abrasiv precisionsbearbetning av ett ämne
DE20204088U1 (de) 2002-03-13 2002-06-06 Müller, Heinrich, 57635 Wölmersen Oberflächenbearbeitungsvorrichtung für Probekörper
US7785173B2 (en) * 2005-07-05 2010-08-31 Supfina Machine Co. Superfinishing machine and method
AT502101B1 (de) * 2005-07-14 2007-09-15 Atomic Austria Gmbh Verfahren zur bearbeitung von laufflächen von wintersportgeräten sowie wintersportgerät und vorrichtung zur herstellung von belägen
ITTO20050765A1 (it) * 2005-10-27 2007-04-28 Biesse Spa Centro di lavoro a controllo numerico per lastre di vetro, pietra, marmo o simili, con due o piu' teste di lavorazione
CN101096074B (zh) * 2006-06-30 2010-11-24 上海中晶企业发展有限公司 大直径高精度玻璃抛光机的自动移盘机构
CN101339114B (zh) * 2008-09-03 2012-05-23 石家庄铁道学院 陶瓷磨削加工性能测试方法
CN103033403B (zh) * 2011-09-29 2015-09-02 鞍钢股份有限公司 一种薄板金属薄膜试样的制备方法
CN103308363B (zh) * 2013-06-24 2015-02-18 黄河勘测规划设计有限公司 岩体制样变形测试方法
CN104275638B (zh) * 2014-09-22 2016-10-19 广东省自动化研究所 自动抛光***及其抛光方法
CN104406828B (zh) * 2014-10-30 2017-01-25 东北石油大学 含弱界面低强度岩石试样制备装置及其制备试样方法
CN104359288B (zh) * 2014-10-31 2016-09-28 湖南三德科技股份有限公司 可刮扫物料的风透式干燥设备
CN104551897B (zh) * 2015-01-04 2017-01-18 中国矿业大学 一种适应不同外形尺寸岩样批量打磨的加工设备及方法
CN105709904B (zh) * 2016-02-01 2017-10-31 上海化工研究院有限公司 一种均匀式微量样品研磨装置
JP6584532B2 (ja) * 2016-02-09 2019-10-02 東京エレクトロン株式会社 研削装置および研削方法
CN107631898A (zh) * 2016-07-19 2018-01-26 广东石油化工学院 一种立式多功能岩石加工***
TWI598150B (zh) * 2016-09-30 2017-09-11 財團法人工業技術研究院 硏磨機及微旋迴轉裝置
CN106584239B (zh) * 2016-12-07 2018-11-02 杭州正驰达精密机械有限公司 一种机械手表摆锤的自动磨削机床
CN106826405A (zh) * 2016-12-27 2017-06-13 中国石油天然气股份有限公司 岩石磨片方法
CN106826518A (zh) * 2017-01-26 2017-06-13 武汉科技大学 一种金相试样磨样机
CN108801724B (zh) * 2018-03-26 2021-09-24 翟如扬 一种污水污染物检验用样品处理装置
CN109176304A (zh) * 2018-08-28 2019-01-11 南京理工大学 一种平面磨削用试验台
CN109682659B (zh) * 2019-01-14 2021-01-15 邢华铭 一种农药残留检测用研磨设备
CN110328605B (zh) * 2019-07-09 2021-06-11 业成科技(成都)有限公司 治具、研磨装置及样品块的研磨方法
TWM597200U (zh) * 2020-02-18 2020-06-21 財團法人金屬工業研究發展中心 研磨輪量測裝置
KR102262825B1 (ko) * 2020-12-16 2021-06-09 주식회사 알엔비 복합 연마기
DE102022125705A1 (de) 2022-10-05 2024-04-11 Atm Qness Gmbh Teller-Schleif-/Poliergerät

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2869292A (en) * 1957-05-29 1959-01-20 Klugman Ira Louis Precision grinding machine
US3534506A (en) * 1968-05-17 1970-10-20 Us Army Lens polishing apparatus
DE1798139A1 (de) * 1968-08-29 1971-11-04 Telefunken Patent Vorrichtung zum Polieren von Proben
US3653854A (en) * 1969-09-29 1972-04-04 Toyoda Machine Works Ltd Digitally controlled grinding machines
US3704554A (en) * 1971-04-26 1972-12-05 Bausch & Lomb Lens processing machine with movable workpiece spindle
US3732647A (en) * 1971-08-05 1973-05-15 Coburn Manuf Co Inc Polisher-finer machine
US3872626A (en) * 1973-05-02 1975-03-25 Cone Blanchard Machine Co Grinding machine with tilting table
JPS5937037A (ja) * 1982-08-26 1984-02-29 Toshiba Corp 立軸回転テ−ブル形平面研削盤
JPS61230853A (ja) * 1985-04-03 1986-10-15 Shibayama Kikai Kk 半導体ウエハの自動平面研削盤における連続ダウンフイ−ド方式
DE3542508A1 (de) * 1985-07-22 1987-01-29 Biermann Alfred Verfahren und vorrichtung von fuer die mikroskopische untersuchung im durchlicht geeigneten duennschliffen aus proben mit harten bestandteilen
US4760668A (en) * 1986-07-02 1988-08-02 Alfred Schlaefli Surface grinding machine and method
US5035087A (en) * 1986-12-08 1991-07-30 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Surface grinding machine
ES2056448T3 (es) * 1989-02-23 1994-10-01 Supfina Maschf Hentzen Procedimiento y aparato para el trabajo de afino o microacabado.
JP2513426B2 (ja) * 1993-09-20 1996-07-03 日本電気株式会社 ウェ―ハ研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09502275A (ja) 1997-03-04
KR100383524B1 (ko) 2003-07-07
CN1097726C (zh) 2003-01-01
NO179238C (no) 1996-09-04
DE69526307T2 (de) 2002-11-07
DE69526307D1 (de) 2002-05-16
EP0713575A1 (en) 1996-05-29
RU2134160C1 (ru) 1999-08-10
ATE216071T1 (de) 2002-04-15
AU2755095A (en) 1996-01-05
CN1129981A (zh) 1996-08-28
WO1995034802A1 (en) 1995-12-21
US5785578A (en) 1998-07-28
NO942242L (no) 1995-12-18
CZ290918B6 (cs) 2002-11-13
DK0713575T3 (da) 2002-08-05
EP0713575B1 (en) 2002-04-10
ES2174949T3 (es) 2002-11-16
CA2167400A1 (en) 1995-12-21
JP3190972B2 (ja) 2001-07-23
CZ77396A3 (en) 1996-11-13
AU692270B2 (en) 1998-06-04
NO942242D0 (no) 1994-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO179238B (no) Utstyr for tynnsliping av materialpröver
US3224146A (en) Apparatus for grinding drills
JP2013255980A (ja) 端面研磨装置
US3619952A (en) Machine for surfacing brake discs
JP5456550B2 (ja) レンズ加工装置
US4209005A (en) Apparatus for cutting silicon having a pivoted work carriage utilizing an air bearing
US5558564A (en) Faceting machine
US2939252A (en) Ultrasonic lens generators
US3467075A (en) Hand operated sectioning machine
US2222538A (en) Lens drilling machine
JP5329877B2 (ja) 被研削材の複合研削方法
US20070197135A1 (en) Device for polishing the edge of a glass sheet
CN216939772U (zh) 一种金刚石刀片研磨夹持装置
US3289539A (en) Methods and apparatus for producing test specimens
CN217648053U (zh) 一种精准磨刀机
CN217394638U (zh) 一种阀座外圆面抛光装置
JPH06246624A (ja) 両面研磨装置
JP2011036943A (ja) 研削装置
JPS59161263A (ja) ラツプ盤
US1302908A (en) Jewel-making machine.
US4489520A (en) Machine tool attachment
CN111823123A (zh) 一种不锈钢把手抛光设备
JP2004306232A (ja) 被研磨加工物の研磨方法及び研磨装置
JP4020832B2 (ja) 宝石類の外面研削装置
JPS60228062A (ja) 研磨円板の回転駆動装置