NL9100076A - Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode. - Google Patents

Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode. Download PDF

Info

Publication number
NL9100076A
NL9100076A NL9100076A NL9100076A NL9100076A NL 9100076 A NL9100076 A NL 9100076A NL 9100076 A NL9100076 A NL 9100076A NL 9100076 A NL9100076 A NL 9100076A NL 9100076 A NL9100076 A NL 9100076A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
images
linear
beam tilt
linear image
image
Prior art date
Application number
NL9100076A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Original Assignee
Philips Nv
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Nv filed Critical Philips Nv
Priority to NL9100076A priority Critical patent/NL9100076A/nl
Priority to EP92200025A priority patent/EP0495542A1/de
Priority to JP4024521A priority patent/JPH0562628A/ja
Priority to US07/821,503 priority patent/US5233192A/en
Publication of NL9100076A publication Critical patent/NL9100076A/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/261—Details
    • H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/22—Treatment of data
    • H01J2237/221—Image processing
    • H01J2237/223—Fourier techniques

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
NL9100076A 1991-01-17 1991-01-17 Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode. NL9100076A (nl)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9100076A NL9100076A (nl) 1991-01-17 1991-01-17 Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode.
EP92200025A EP0495542A1 (de) 1991-01-17 1992-01-07 Verfahren zum automatischen Ausrichten eines Elektronenmikroskops und zur Durchführung eines derartigen Verfahrens geeignetes Elektronenmikroskop
JP4024521A JPH0562628A (ja) 1991-01-17 1992-01-14 電子顕微鏡のオートチユーニング方法及びその方法を実施するのに適した電子顕微鏡
US07/821,503 US5233192A (en) 1991-01-17 1992-01-15 Method for autotuning of an electron microscope, and an electron microscope suitable for carrying out such a method

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL9100076A NL9100076A (nl) 1991-01-17 1991-01-17 Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode.
NL9100076 1991-01-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL9100076A true NL9100076A (nl) 1992-08-17

Family

ID=19858738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL9100076A NL9100076A (nl) 1991-01-17 1991-01-17 Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5233192A (de)
EP (1) EP0495542A1 (de)
JP (1) JPH0562628A (de)
NL (1) NL9100076A (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5432347A (en) * 1992-11-12 1995-07-11 U.S. Philips Corporation Method for image reconstruction in a high-resolution electron microscope, and electron microscope suitable for use of such a method
DE69606517T2 (de) * 1995-10-03 2000-09-14 Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven Verfahren zum wiederaufbau eines bildes in einem korpuskularoptischen gerät
JP4069545B2 (ja) * 1999-05-19 2008-04-02 株式会社日立製作所 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置
JP4822925B2 (ja) * 2006-04-28 2011-11-24 日本電子株式会社 透過型電子顕微鏡
JP5039633B2 (ja) * 2008-05-20 2012-10-03 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子顕微鏡、及び非点収差評価方法
JP5763992B2 (ja) * 2011-07-05 2015-08-12 日本電子株式会社 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体
CN106645219B (zh) * 2016-09-12 2019-03-26 湖南大学 一种测量透射电子显微镜照明电子束偏离光轴的大小和方向的方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3829691A (en) * 1969-09-22 1974-08-13 Perkin Elmer Corp Image signal enhancement system for a scanning electron microscope
DE2441288C2 (de) * 1974-08-27 1976-10-28 Max Planck Gesellschaft Korpuskularstrahlmikroskop, insbesondere elektronenmikroskop, mit verstelleinrichtungen zur aenderung der lage des abzubildenen objekts oder des objektbildes
US4514629A (en) * 1982-07-07 1985-04-30 National Research Development Corporation Scanning transmission electron microscopes
DE3587871T2 (de) * 1984-12-10 1994-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd Verfahren zur Feststellung eines Fokussierungsfehlers eines elektronen-mikroskopischen Bildes.
JP2651154B2 (ja) * 1987-09-04 1997-09-10 株式会社日立製作所 電子線ホログラフィ装置
JPH01102841A (ja) * 1987-10-14 1989-04-20 Toshiba Corp 画像形成方法
JP2602287B2 (ja) * 1988-07-01 1997-04-23 株式会社日立製作所 Ｘ線マスクの欠陥検査方法及びその装置
JPH03194839A (ja) * 1989-12-25 1991-08-26 Hitachi Ltd 電子顕微鏡における焦点調整方法及び非点収差補正方法
NL9001800A (nl) * 1990-08-10 1992-03-02 Philips Nv Methode voor het direct verkrijgen van amplitude- en fase-informatie van een object met behulp van beelden van een hoge-resolutie elektronenmicroscoop.

Also Published As

Publication number Publication date
EP0495542A1 (de) 1992-07-22
JPH0562628A (ja) 1993-03-12
US5233192A (en) 1993-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Cowley Twenty forms of electron holography
EP1740975B1 (de) Hochauflösende abbildung
CA2687763C (en) Three dimensional imaging
Rodenburg et al. Experimental tests on double-resolution coherent imaging via STEM
JP3130584B2 (ja) 高分解能電子顕微鏡でつくられた像から直接に物体の振幅および位相情報を得る方法
US6747771B2 (en) Off-axis illumination direct-to-digital holography
McCallum et al. Two-dimensional demonstration of Wigner phase-retrieval microscopy in the STEM configuration
CN113670878A (zh) 基于空频域混合式重建的超分辨结构光照明显微成像方法
NL9100076A (nl) Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode.
EP3722861A1 (de) Beobachtungsverfahren unter verwendung eines mikroskops und transmissionsartige mikroskopische vorrichtung
Winkler et al. Direct measurement of electrostatic potentials at the atomic scale: A conceptual comparison between electron holography and scanning transmission electron microscopy
US7038787B2 (en) Content-based fused off-axis object illumination direct-to-digital holography
US20210110992A1 (en) Image collection system
US5500527A (en) Electron/ion microscope with improved resolution
JP3885102B2 (ja) 粒子光学装置で像を再生する方法
Flenner et al. Hard X-ray full-field nanoimaging using a direct photon-counting detector
WO2003034010A1 (en) Phase determination of a radiation wavefield
EP2299468A1 (de) Verfahren und Systeme zur Verwendung von Phasenplatten
Jacobsen et al. Zone-plate x-ray microscopy
Castaneda et al. Joint reconstruction strategy for telecentric-based digital holographic microscopes
JP3942861B2 (ja) 結像光学装置
JP2022000667A (ja) 光学顕微鏡観察方法及び光学顕微鏡のデータ処理システム
Lichte Electron image plane off-axis holography of atomic structures
WO2023152734A1 (en) System and method for extraction of structural data of a sample from scan data
Butler et al. Phase contrast imaging using a scanning transmission electron microscope

Legal Events

Date Code Title Description
A1B A search report has been drawn up
BV The patent application has lapsed