NL1026214C2 - Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. - Google Patents
Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1026214C2 NL1026214C2 NL1026214A NL1026214A NL1026214C2 NL 1026214 C2 NL1026214 C2 NL 1026214C2 NL 1026214 A NL1026214 A NL 1026214A NL 1026214 A NL1026214 A NL 1026214A NL 1026214 C2 NL1026214 C2 NL 1026214C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- active substance
- wire
- substrate
- electrodes
- current
- Prior art date
Links
- 239000013543 active substance Substances 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 20
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 14
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 11
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 claims description 11
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 6
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical group [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- -1 barium aluminum compound Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 claims description 2
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940125810 compound 20 Drugs 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- JAXFJECJQZDFJS-XHEPKHHKSA-N gtpl8555 Chemical compound OC(=O)C[C@H](N)C(=O)N[C@@H](CCC(O)=O)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N[C@@H](C(C)C)C(=O)N1CCC[C@@H]1C(=O)N[C@H](B1O[C@@]2(C)[C@H]3C[C@H](C3(C)C)C[C@H]2O1)CCC1=CC=C(F)C=C1 JAXFJECJQZDFJS-XHEPKHHKSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/17—Carrier injection layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
I · “ .'„Τ'*'--
Titel: Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat
De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en een inrichting voor het deponeren van een laag van een actieve stof op een substraat, waarbij de actieve stof is gekozen uit de groep van stoffen die bestaat uit een alkalimetaal, een alkali-aardmetaal, een lanthanide of een legering of inter-5 metallisch mengsel van één of meer van de genoemde alkalimetaal-, alkali- aardmetaal- of lanthanide-elementen.
Het aanbrengen van dergelijke lagen wordt bijvoorbeeld uitgevoerd bjj het vervaardigen van OLED's en de lagen dienen met name om de levensduur van de OLED te verhogen en om de werkfunctie van de kathode 10 te verlagen opdat een efficiënte elektroninjectie bij lagere werkvoltages wordt verkregen. Meer informatie hierover is bijvoorbeeld beschreven in het Amerikaanse octrooi US-A-6,255,774 en hef Journal of Applied Physics, Volume 88, Nurnber 6, van 15 september 2000, blz 3618-3623 waarvan de inhoud door referentie is geïncorporeerd.
15 Het probleem van althans een aantal van de genoemde stoffen is echter dat deze zeer reactief zijn doordat deze spontaan aan de atmosfeer reageren. Het opbrengen van een dergelijke laag vormt derhalve in de praktijk een probleem. De uitvinding beoogt een oplossing te verschaffen voor dit probleem.
20 Hiertoe verschaft de uitvinding een werkwijze voor het deponeren van een laag van een actieve stof op een substraat, waarbij de actieve stof ia gekozen uit de groep van stoffen die bestaat uit een alkalimetaal, een alkali-aardxnetaal, een lanthanide of een legering of inter-metalliech mengsel van één of meer van de genoemde alkalimetaal-, alkali-aardmetaal- of 25 lanthanide-elementen op een substraat, welke werkwijze volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat de actieve stof is gebonden in een verbinding dié bij kamertemperatuur stabiel ié, waarbij de verbinding is .102 62.14: 2 ondergebracht in een draad, welke draad een verbinding vormt tussen twee elektroden, waarbij voor heit vrijgeven van de actieve stof een stroom door de draad wordt gevoerd, zodanig dat deze opwarmt tot een temperatuur waarbij de verbinding ontleedt en de actieve stof verdampt om vervolgens 5 neer te slaan op hef substraat.
Doordai'^e .a^iève 'stof is omdergebracht in een verbinding die bij kamertemperatuur stabiel is^is*‘de actieve stof goed hanteerbaar. Het begrip kamertemperatuur dient in dit verband relatief breed te worden begrepen, in die zin dat daaronder temperaturen dienen te worden verstaan waarbij 10 het hanteren, transporteren, monteren en anderszins manipuleren van de draad non^^^^^l^h^i^dacht moét worden aan temperaturen van minder d^h,^^t0jO[''graden celcius, meer in het bijzonder temperaturen gelegén in hét bereik van lO-SÓ giraden celcius. Het plaatsen van de actieve stof in een proceskamèr, het transport, en dergelijke handelingen vormen 15 derhalve geen probleem meer. Doordat de actieve stof van de verbinding ie ondergebracht in een draad, kan de verbinding zeer snel worden verhit en weer afkoelen door het gedurende een bepaald gewenst tijdsinterval doorvoeren van een sterke elektrische stroom door althans een deel van de betreffende draad. Als gevolg van de temperatuurstijging zal de verbinding 20 ontleden en zal de actieve stof verdampen. De in dampvorm vrijgekomen actieve stof zal vervolgens neerslaan op het substraat waarop de laag met de gewenste actieve stof dient te worden gedeponeerd. Als gevolg van het feit dat de actieve stof bevattende verbinding in een draadvorm wordt verschaft, kan zeer nauwkeurig het tijdsinterval gedurende welke de actieve stof 25 wordt afgegeven, worden geregeld. Aldus kan derhalve zeer nauwkeurig de dikte van de laag die op het substraat wordt gedeponeerd, worden geregeld. Door de snelle verhitting, die met de draad kan worden bewerkstelligd, kan iii relatief korte tijd een relatief grote hoeveelheid actieve stof worden afgegeven. Dit snelle opdampen heeft tot voordeel dat minder strenge eisen 30 behoeven te worden gesteld aan de achtergronddruk, zo kan bijvoorbeeld .026214 3 met een achtergronddruk van 10*6 mbar in plaats van 10*9 mbar worden gewerkt.
Volgens een nadere uitwerking van de uitvinding is bijzonder gunstig wanneer de actieve stof barium is en waarbij de verbinding een 5 barium aluminium verbinding is. Met name bij de vervaardiging van OLED'e is gebleken dat barium over uitstekende werkfunctie verlagende eigenschappen beschikt en daarbij een gunstige invloed heeft op de levensduur van de OLED.
Eventueel kan, volgens een nadere uitwerking van de uitvinding, 10 het tijdsinterval gedurende welke de draad door stroom wordt bekrachtigd afhankelijk worden gemaakt van de gewenste laagdikte van de actieve stof. Zo kan bijvoorbeeld na een eerste substraat de verkregen laagdikte worden gemeten en kan vervolgens worden bepaald óf het bij dat substraat toegepaste tijdsinterval van bekrachtiging van de draad met elektrische 15 stroom ter verhitting daarvan tot het gewenste resultaat heeft geleid. Indien blijkt dat de laagdikte te gering is, kan het tijdsinterval worden vergroot en/of de stroomsterkte worden verhoogd. Wanneer blijkt dat de laagdikte te groot is, kan het tijdsinterval worden verkort en/of de stroomsterkte worden verlaagd.
20 Het ie echter volgens een nadere uitwerking van de uitvinding tevens mogelijk dat de laagdikte van de actieve stof wordt gemeten gedurende hef opbrengproces, waarbij de meetgegevens worden gebruikt voor het bepalen van het moment waarop het doorvoeren van de stroom door de draad wordt gestaakt. Met een dergelijke gang van zaken gaat geen 25 enkel substraat verloren aan proefnemingen en wordt direct het gewenste resultaat verkregen.
Volgens een nadere uitwerking van de werkwijze volgens de uitvinding kan de draad worden verschaft door een mantel van een drageraateriaal, zoals bijvoorbeeld staal, te vullen met de genoemde 30 verbinding, waarbij de mantel in langsrichting is voorzien van ten minste :02 62 1 4 4 één zich in langsrichting uitstrekkende opening, via welke tijdens het verdampen van de actieve stof, deze actieve stof de mantel kan verlaten. .
Doordat de ten minste ene opening naar een bepaalde richting is gekeerd, zal de actieve stof met name in die, door de opening gedefinieerde 5 richting worden afgegeven. Het voordeel hiervan is dat het substraat in elke oriëntatie kan worden opgedampt. Door in de draad meer dan één, naar verschillende richtingen gekeerde openingen te voorzien, kan in verschillende richtingen actieve stof worden afgegeven.
Zoals hier vooral aangegeven kan de werkwijze worden toegepast 10 voor het vervaardigen van een OLED. Het is echter volgens een nadere uitwerking van de uitvinding tevens mogelijk om de werkwijze toe te passen voor het vervaardigen van een organische zonnecel en overige organische elektronica.
De uitvinding verschaft tevens een inrichting voor het uitvoeren 15 van de werkwijze volgens de uitvinding, waarbij de inrichting een proceskamer omvat die is ingericht voor het daarin verschaffen van een geconditioneerde omgeving, waarbij in de proceskamer een tweetal elektrodes is voorzien waartussen zich een draad uitstrekt, welke draad een hij kamertemperatuur stabiele verbinding van een actieve stof en ten 20 minste één stabiliserende stof omvat, waarbij de actieve stof ie gekozen uit de groep van stoffen die bestaat uit een alkalimetaal, een alkali-aardmetaal, een lanthanide of een legering of inter-metallische mengsel van één of meer van de genoemde alkalimetaal··, alkali-aardmetaal- of lanthanide-elementen, waarbij de elektrodes verbindbaar zijn met een stroombron.
25 Met een dergelijke inrichting kan de hierboven beschreven werkwijze worden uitgevoerd en kunnen de daarmee verband houdende voordelen op eenvoudige wijze worden gerealiseerd. Nadere uitwerkingen zijn beschreven in volgconclusies en zullen hierna, en aan de hand van een uitvoeringsvoorbeeld, onder verwijzing naar de tekening, verder worden 30 verduidelijkt.
i026214- 5
Figuur 1 toont een schematisch doorsnede-aanzicht van een uitvoeringsvoorbeeld van een inrichting volgens de uitvinding; en figuur 2 toont een perspectiefaanzicht van een deel van de draad. Figuur 1 toont schematisch een proceskamer 1 waarin zich een 5 substraat 2 bevindt dat wordt ondersteund door een substraatdrager 3. Verder bevindt zich in de proceskamer een draad 4 die zich uitstrekt tussen twee elektrodes 5, 6. De elektrodes 5, 6 zijn aangesloten op een stroombron 7 die in verbinding staat met een besturing 8. Verder is in de proceskamer 1 een afwikkelspoel 9 waarvan de draad 4 wordt afgewikkeld en een 10 opwikkelspoel 10 waarop de draad 4 wordt opgewikkeld ondergebracht.
Figuur 2 toont een perspectief schematisch de draad 4. De draad 4 is voorzien van een mantel 11 uit staal die in een komvormige configuratie is gebogen en is voorzien van een zich in langsrichting uitstrekkende opening 12. In de mantel bevindt zich de actieve stof bevattende verbinding 15 13. Zoals hiervoor reeds is aangegeven kan de draad ook zijn voorzien van in verschillende richtingen wijzende openingen, zodat het mogelijk is om in meerdere richtingen te verdampen. In het onderhavige uitvoeringsvoorbeeld wordt de verbinding 13 gevormd door BaALi; de actieve stof is barium. Ook andere actieve stoffen zijn mogelijk; daarbij kan worden gedacht aan stoffen 20 gekozen uit de groep bestaande uit een alkalimetaal (Li, Na, K, Eb of Cs), een alkali-aardmetaal (Mg, Ca, Sr of Ba), een lanthanide (Sm, Eu, Tb of Yb) of een legering of mter-metallisch mengsel van één of meer van de genoemde alkalimetaal-, alkali-aardmetaal- of lanthanide-elementen (zoals bijvoorbeeld Mg:Al, Mg:In, Mg:Ag, Al:Ii, BaALj of CaAla).
25 Wanneer de draad 4 wordt verhit doordat daardoorheen een grote hoeveelheid elektrische stroom wordt gevoerd, zal de verbinding 13 ontleden en zal de actieve stof uit de verbinding 13 verdampen. Zodra geen stroom meer door de draad 4 wordt gevoerd, zal als gevolg van de geringe warmte-inhoud van de draad 4, de temperatuur van de draad 4 snel dalen en zal 30 verdamping van de actieve stof ophouden. Met behulp van de besturing 8 *026214 6 kan de stroomsterkte die door de draad 4 wordt gevoerd worden geregeld. Bovendien kan het tijdsinterval gedurende welke stroom door de draad 4 wordt gevoerd, worden geregeld.
Aangezien na een zeker tijdsverloop de actieve stof uit de 5 verbinding 13 uit het zich tussen de elektrodes 5, 6 uitstrekkende deel van de draad 4 geheel is verdampt, dient een nieuw stuk draad 4 tussen beide elektrodes 5,6 te worden gespannen. Daartoe is de inrichting in het onderhavige uitvoeringsvoorbeeld voorzien van de afwikkelspoel 9 en de opwikkelspoel 10. De opwikkelspoel 10 ie voorzien van een aandrijving die 10 bestuurbaar is met behulp van de besturing 8. Door de aandrijving in te schakelen kan een deel van de draad 4 worden opgewikkeld op opwikkelspoel 10, tevens zal automatisch een nieuw deel draad van afwikkeldspoel 9 worden afgewikkeld. Eventueel kan de aandrijving van de opwikkelspoel 10 continu ingeschakeld zijn, zodat telkens een nieuw, 15 verbinding bevattend draaddeel tussen de elektrodes 5, 6 en wordt verschaft.
Figuur 1 toont verder nog een meetvoorziening 14 die is aangesloten op de besturing 8 voor het meten van de dikte van de laag van de actieve stof die is opgebracht op het substraat 2. Met behulp van de 20 gegevens welke de meetinrichiing 14 verkrijgt kan de besturing 8 de stroomsterkte van de bron 7 en/of het tijdsinterval gedurende welke de stroom door de draad 4 wordt gevoerd regelen. Het moge duidelijk zijn dat de meetinrichting ook buiten de proceskamer 1 kan zijn opgesteld en bijvoorbeeld door een inspectieglas in de proceskamer 1 metingen aan het 25 substraat 2 verricht.
Het is duidelijk dat de uitvinding niet is beperkt tot het beschreven uitvoeringsvoorbeeld maar dat diverse wijzigingen binnen het raam van de uitvinding, zoals gedefinieerd door de conclusies, mogelijk zijn.
1026214
Claims (13)
1. Werkwijze voor het deponeren van een laag van een actieve stof op een substraat (2), waarbij de actieve stof is gekozen uit de groep van stoffen die bestaat uit een alkalimetaal, een alkali-aardmetaal, een lanthanide of een legering of inter-metallische mengsel van één of meer van de genoemde 5 alkalimetaal-, alkali-aardmetaal- of lanthanide-elementen op een substraat, gekenmerkt doordat de actieve stof is gebonden in een verbinding die bij kamertemperatuur stabiel is, waarbij de verbinding is ondergebracht in een draad (4), welke draad (4) een verbinding vormt tussen twee elektroden (5, 6), waarbij voor het vrijgeven van de actieve stof een stroom door de draad 10 (4) wordt gevoerd, zodanig dat deze opwarmt tot een temperatuur waarbij de verbinding ontleedt en de actieve stof verdampt om vervolgens neer te slaan op het substraat (2).
2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de actieve stof barium is en waarbij de verbinding een barium aluminium verbinding is.
3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, waarbij het tijdsinterval gedurende welke de draad (4) door stroom wordt bekrachtigd afhankelijk wordt gemaakt van de gewenste laagdikte van de actieve stof.
4. Werkwijze volgens conclusie 3, waarbij de laagdikte van de actieve stof wordt gemeten gedurende het opbrengproces, waarbij de meetgegevens 20 worden gebruikt voor het bepalen van het moment waarop het doorvoeren van de stroom door de draad (4) wordt gestaakt.
5. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij de draad (4) wordt verschaft door een mantel (11) van een dragermateriaal, zoals bijvoorbeeld staal, te vullen met de genoemde verbinding (13), waarbij de 25 mantel (11) in langsrichting is voorzien van ten minste één zich in langsrichting uitstrekkende opening (12) via welke tijdens het verdampen van de actieve stof, deze actieve stof de mantel (11) kan verlaten.
6. 1026214 Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij bet substraat een ten dele gefabriceerde OLED is.
7. Werkwijze volgens één der conclusies 1-5, waarbij het substraat een ten dele gefabriceerde zonnecel is of overige organische elektronica.
8. Inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, waarbij de inrichting een proceskamer (1) omvat die is ingericht voor het daarin verschaffen van een geconditioneerde omgeving, waarbij in de proceskamer (1) een tweetal elektrodes (5, 6) is voorzien waartussen zich een draad (4) uitstrekt, welke draad (4) een bij 10 kamertemperatuur stabiele verbinding (13) van een actieve stof en ten mnste één stabiliserende stof omvat, waarbij de actieve stof is gekozen uit de groep van stoffen die bestaat uit een alkalimetaal, een alkali-aardmetaal, een lanthanide of een legering of inter-metallische mengsel van één of meer van de genoemde alkalimetaal-, alkali-aardmetaal- of ianthanide-15 elementen, waarbij de elektrodes (5, 6) verbindbaar zijn met een stroombron (7).
9. Inrichting volgens conclusie 8, waarbij de inrichting is voorzien van een besturing (8) voor het regelen van het tijdsinterval gedurende welke een stroom door de draad (4) die zich tussen hef tweetal elektrodes (5, 6) 20 uitstrekt wordt gevoerd.
10. Inrichting volgens conclusie 9, waarbij de besturing (8) tevens is ingericht voor het bepalen van de stroomsferkte welke door de draad (4) wordt gevoerd.
11. Inrichting volgens één der conclusies 8-10, waarbij een af- en 25 opwikkelvoorziening (9,10) is voorzien voor het af- en opwikkelen van de, de elektrodes (5, 6) verbindende draad (4).
12. Inrichting volgens conclusie 11, waarbij de af- en opwikkelvoorziening (9, 10) een afwikkelspoel (9) en een opwikkelspoel (10) omvat, waarvan er althans een roteerbaar aandrijfbaar ie, waarbij de 1026214 besturing (8) is ingericht voor het regelen van de rotatie van de afWikkelepoel (9) en/of opwikkeispoel (10).
13. Inrichting volgens één dér conclusies 8-12, waarbij de inrichting ie voorzien van een meetvoorziening (14) voor het meten van de dikte van de 5 laag van de actieve eto£; waarbij de meetvoorziening is aangesloten op de besturing (8).: IÜ262 14 ..
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1026214A NL1026214C2 (nl) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. |
| PCT/NL2005/000375 WO2005111260A1 (en) | 2004-05-18 | 2005-05-18 | Method and apparatus for applying a substance to a substrate |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1026214 | 2004-05-18 | ||
| NL1026214A NL1026214C2 (nl) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1026214C2 true NL1026214C2 (nl) | 2005-11-21 |
Family
ID=34969138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1026214A NL1026214C2 (nl) | 2004-05-18 | 2004-05-18 | Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL1026214C2 (nl) |
| WO (1) | WO2005111260A1 (nl) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20060444A1 (it) * | 2006-03-13 | 2007-09-14 | Getters Spa | Uso di composizioni magnesio-rame per l'evaporazione di magnesio e dispensatori di magnesio |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2930879A (en) * | 1957-12-16 | 1960-03-29 | New York Air Brake Co | Vaporization of metals |
| FR1321132A (fr) * | 1962-04-20 | 1963-03-15 | Baird Atomic | Four à haute température |
| GB1070406A (en) * | 1964-06-16 | 1967-06-01 | Mullard Ltd | Improvements in or relating to methods of generating the vapour of an alkali metal |
| US6255774B1 (en) * | 1996-09-04 | 2001-07-03 | Cambridge Display Technology, Ltd. | Multilayer cathode for organic light-emitting device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3471924A (en) * | 1967-04-13 | 1969-10-14 | Globe Union Inc | Process for manufacturing inexpensive semiconductor devices |
-
2004
- 2004-05-18 NL NL1026214A patent/NL1026214C2/nl active Search and Examination
-
2005
- 2005-05-18 WO PCT/NL2005/000375 patent/WO2005111260A1/en active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2930879A (en) * | 1957-12-16 | 1960-03-29 | New York Air Brake Co | Vaporization of metals |
| FR1321132A (fr) * | 1962-04-20 | 1963-03-15 | Baird Atomic | Four à haute température |
| GB1070406A (en) * | 1964-06-16 | 1967-06-01 | Mullard Ltd | Improvements in or relating to methods of generating the vapour of an alkali metal |
| US6255774B1 (en) * | 1996-09-04 | 2001-07-03 | Cambridge Display Technology, Ltd. | Multilayer cathode for organic light-emitting device |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ROMANO P ET AL: "A simple method for preparing superconducting high Tc thin films", IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS USA, vol. 25, no. 2, 21 August 1988 (1988-08-21), pages 2481 - 2483, XP002310931, ISSN: 0018-9464 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2005111260A1 (en) | 2005-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6696096B2 (en) | Apparatus for and method of vacuum vapor deposition and organic electroluminescent device | |
| JP6493920B2 (ja) | 金属酸化物の薄膜、該薄膜を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池、および有機太陽電池 | |
| US20050011443A1 (en) | Organic thin film manufacturing method and manufacturing apparatus | |
| TW201123968A (en) | Apparatus and methods to form a patterned coating on an OLED substrate | |
| US4099091A (en) | Electroluminescent panel including an electrically conductive layer between two electroluminescent layers | |
| JPH06283271A (ja) | 有機電界発光素子 | |
| TWI397595B (zh) | 蒸發系統 | |
| JP3742567B2 (ja) | 真空蒸着装置及び真空蒸着方法 | |
| NL1026214C2 (nl) | Werkwijze en inrichting voor opbrengen van een actieve stof op een substraat. | |
| TW508972B (en) | Method of depositing aluminum-lithium alloy cathode in organic light emitting devices | |
| Kondo et al. | Inherent excitonic luminescence in metal halide promising for potential applications in light-emitting devices | |
| Ma et al. | A blue electroluminescent molecular device from a tetranucluear zinc (II) compound [Zn4O (AID) 6](AID= 7-azaindolate) | |
| JP2008251626A (ja) | 有機ｅｌ素子および有機ｅｌ素子の製造方法、並びに有機ｅｌディスプレイ | |
| JP2001059161A (ja) | 有機薄膜の製造装置および製造方法 | |
| JP3616586B2 (ja) | 薄膜堆積用分子線源セル | |
| JP2005082833A (ja) | 薄膜堆積用分子線源セル | |
| JP4607268B2 (ja) | 有機電界発光素子 | |
| JP2005011535A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
| JP2005232492A (ja) | 蒸着装置 | |
| JP2001313176A (ja) | 有機電界発光素子 | |
| JPH01279537A (ja) | 傍熱形線状陰極 | |
| JP2004164992A (ja) | 電子注入性電極の製造方法、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 | |
| JP2007146265A (ja) | 蒸着装置 | |
| JP3528695B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子 | |
| WO2012121238A1 (ja) | 蒸着用シート、蒸着装置、及び蒸着用シートの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up |