KR980005969A - 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 - Google Patents
반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR980005969A KR980005969A KR1019960023907A KR19960023907A KR980005969A KR 980005969 A KR980005969 A KR 980005969A KR 1019960023907 A KR1019960023907 A KR 1019960023907A KR 19960023907 A KR19960023907 A KR 19960023907A KR 980005969 A KR980005969 A KR 980005969A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- processing apparatus
- image processing
- semiconductor device
- wafer
- stages
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
본 발명에 의한 이미지 프로세싱 장치는 3매의 웨이퍼를 동시에 검사하여 결함을 검출함으로써 제한된 시간내에 보다 많은 양의 웨이퍼를 검사할 수 있다는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 의한 이미지 프로세싱 장치를 설명하기 위해 나타난 단면도들이다.
Claims (1)
- 3매의 웨이퍼를 각각 장착하고, X, Y, Z축으로 이동하면서 Z축을 중심으로 회전하여 위치 변경이 가능한 3매의 스테이지; 광원에서 나오는 빛을 소정의 각도록 상기 각 웨이퍼상에 조사하는 3매의 옵틱 앤 포커스(Optic Pocus); 및 상기 옵틱 앤 포커스를 통해 반사된 빛으로 상기 웨이퍼상의 결함을 검출하는 이미지 프로세서(Image Procesor)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 이미지 프로세싱(Image Procesing)장치.※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR980005969A true KR980005969A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287652
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR980005969A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023907A patent/KR980005969A/ko not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4274572B2 (ja) | 同軸狭角暗視野照明 | |
US4595289A (en) | Inspection system utilizing dark-field illumination | |
KR950016899A (ko) | 용기의 투명부분 특히 병의 아가리부분의 광학검사를 위한 프로세스와 장치 | |
KR960008272A (ko) | 용기 마무리 치수 파라미터의 광학적 검사 | |
DE69819159D1 (de) | System zum detektieren von oberflächenanomalien und/oder -merkmalen | |
JP2008519257A (ja) | 板ガラスの表面及び内部の欠陥を識別するための検査装置及び方法 | |
KR930010527A (ko) | 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치 | |
JPS58120155A (ja) | レチクル異物検出装置 | |
EP0249800A3 (en) | Apparatus for illuminating components of transparent material used in the inspection for defects | |
KR980005969A (ko) | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 | |
WO2015172653A1 (zh) | 一种照明装置及尿有形成分分析仪 | |
JP5255763B2 (ja) | 光学検査方法および装置 | |
KR100965409B1 (ko) | 기판 검사 장치 | |
JP3095856B2 (ja) | 外観検査用投光装置 | |
KR20030027709A (ko) | 외관검사장치 | |
JPS57186106A (en) | Inspection device for surface | |
JPH04344447A (ja) | 透明ガラス基板の欠陥検出装置 | |
JPH04297810A (ja) | 光学検査装置 | |
JPH09288063A (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
JP2000111484A (ja) | ウェーハ欠陥検査装置 | |
KR200156139Y1 (ko) | 반도체 웨이퍼 검사장치 | |
JPH09218162A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JPS63103951A (ja) | ゴミ検査装置 | |
KR20000014554A (ko) | 웨이퍼 결함 검출장치 | |
KR930017124A (ko) | 적외선 스캐닝 현미경 및 광이 나는 표면을 함유한 반도체 견본의 평가방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Withdrawal due to no request for examination |