KR980005969A - 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 - Google Patents
반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명에 의한 이미지 프로세싱 장치는 3매의 웨이퍼를 동시에 검사하여 결함을 검출함으로써 제한된 시간내에 보다 많은 양의 웨이퍼를 검사할 수 있다는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명에 의한 이미지 프로세싱 장치를 설명하기 위해 나타난 단면도들이다.
Claims (1)
- 3매의 웨이퍼를 각각 장착하고, X, Y, Z축으로 이동하면서 Z축을 중심으로 회전하여 위치 변경이 가능한 3매의 스테이지; 광원에서 나오는 빛을 소정의 각도록 상기 각 웨이퍼상에 조사하는 3매의 옵틱 앤 포커스(Optic Pocus); 및 상기 옵틱 앤 포커스를 통해 반사된 빛으로 상기 웨이퍼상의 결함을 검출하는 이미지 프로세서(Image Procesor)를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 이미지 프로세싱(Image Procesing)장치.※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005969A true KR980005969A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960023907A KR980005969A (ko) | 1996-06-26 | 1996-06-26 | 반도체 소자의 이미지 프로세싱 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005969A (ko) |
-
1996
- 1996-06-26 KR KR1019960023907A patent/KR980005969A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |