JPH04297810A - 光学検査装置 - Google Patents
光学検査装置Info
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- JPH04297810A JPH04297810A JP8761691A JP8761691A JPH04297810A JP H04297810 A JPH04297810 A JP H04297810A JP 8761691 A JP8761691 A JP 8761691A JP 8761691 A JP8761691 A JP 8761691A JP H04297810 A JPH04297810 A JP H04297810A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 29
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 2
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えばミニチュアドリル
などのような微小物体の外観検査や表面検査に好適に用
いられる光学検査装置に関するものである。
などのような微小物体の外観検査や表面検査に好適に用
いられる光学検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３はミニチュアドリルの外観検査装置
の一従来例を示すものである。この装置の検査対象たる
ミニチュアドリルは、例えば直径１ｍｍ未満の非常に小
さな外径寸法に形成されている。
の一従来例を示すものである。この装置の検査対象たる
ミニチュアドリルは、例えば直径１ｍｍ未満の非常に小
さな外径寸法に形成されている。
【０００３】かかる小径の検査対象の外観検査を行おう
とする場合、図示のように、顕微鏡などを用いて拡大し
た画像をＣＣＤカメラによって撮像する方式がとられて
いる。すなわち、光源２から出射された光線を顕微鏡４
内のハーフミラー６によって、９０°反射させ、さらに
、対物レンズ８によって検査対象（ドリル）１０へ導き
、この検査対象１０の表面で反射した光線を対物レンズ
８、および、ハーフミラー６を介してＣＣＤカメラ１２
に集光させるようになっている。
とする場合、図示のように、顕微鏡などを用いて拡大し
た画像をＣＣＤカメラによって撮像する方式がとられて
いる。すなわち、光源２から出射された光線を顕微鏡４
内のハーフミラー６によって、９０°反射させ、さらに
、対物レンズ８によって検査対象（ドリル）１０へ導き
、この検査対象１０の表面で反射した光線を対物レンズ
８、および、ハーフミラー６を介してＣＣＤカメラ１２
に集光させるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記検査装
置においては、前記対物レンズ８によって必要な拡大率
を得るには、対物レンズ８を検査対象１０へ接近させざ
るを得ず、これらの間に別の光源を設けるためのスペー
ス的な余裕がなく、したがって、検査対象１０へ照射さ
れる光線も対物レンズ８を経由させざるを得ない。そし
て、対物レンズ８を経由した光線を曲面状の検査対象１
０へ照射すると、特定角度に反射した光線のみしか対物
レンズ８へ導入されないこととなり、図４にハッチング
を付して示すような、きわめて狭い範囲の画像しか得る
ことができないという問題があった。また、広範囲の反
射光を得るため、たとえば検査対象１０を中心とする円
筒面上に光源を配置することも考えられるが、前述のご
とく対物レンズ８と検査対象１０とが接近した配置であ
るため、必要なスペースを得ることは困難である。
置においては、前記対物レンズ８によって必要な拡大率
を得るには、対物レンズ８を検査対象１０へ接近させざ
るを得ず、これらの間に別の光源を設けるためのスペー
ス的な余裕がなく、したがって、検査対象１０へ照射さ
れる光線も対物レンズ８を経由させざるを得ない。そし
て、対物レンズ８を経由した光線を曲面状の検査対象１
０へ照射すると、特定角度に反射した光線のみしか対物
レンズ８へ導入されないこととなり、図４にハッチング
を付して示すような、きわめて狭い範囲の画像しか得る
ことができないという問題があった。また、広範囲の反
射光を得るため、たとえば検査対象１０を中心とする円
筒面上に光源を配置することも考えられるが、前述のご
とく対物レンズ８と検査対象１０とが接近した配置であ
るため、必要なスペースを得ることは困難である。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
、検査対象へ広範囲にわたって光線を照射することので
きる検査装置を得ることを目的とするものである。
、検査対象へ広範囲にわたって光線を照射することので
きる検査装置を得ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め本発明は、光源と、該光源と検査対象との間に設けら
れて光線を拡散させる拡散板と、検査対象で反射した光
線を拡大して受光手段へ結像させる対物レンズと、前記
拡散板と検査対象との間に介在して光線の通過を許容す
るとともに、検査対象で反射した光線を光源からの光線
の入射方向と異なる方向へ反射させるハーフミラーとか
ら構成したものである。
め本発明は、光源と、該光源と検査対象との間に設けら
れて光線を拡散させる拡散板と、検査対象で反射した光
線を拡大して受光手段へ結像させる対物レンズと、前記
拡散板と検査対象との間に介在して光線の通過を許容す
るとともに、検査対象で反射した光線を光源からの光線
の入射方向と異なる方向へ反射させるハーフミラーとか
ら構成したものである。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、光源から出射された光線が
拡散板によって広範囲に拡散された後、直接的に検査対
象に照射される。また検査対象の表面で反射した光線は
、ハーフミラーによって入射光と異なる方向へ案内され
た後、対物レンズによって受光手段に入射される。
拡散板によって広範囲に拡散された後、直接的に検査対
象に照射される。また検査対象の表面で反射した光線は
、ハーフミラーによって入射光と異なる方向へ案内され
た後、対物レンズによって受光手段に入射される。
【０００８】
【実施例】図１を参照して本発明の一実施例を説明する
。なお、図中従来例と共通の部分には同一符号を付し、
説明を省略する。
。なお、図中従来例と共通の部分には同一符号を付し、
説明を省略する。
【０００９】光源２から出射された光線は、光ファイバ
１４によって検査対象１０の近くに導かれ、拡散板１６
によって照射範囲が広げられた後、ハーフミラー６を通
過して、検査対象１０へ側方から照射されるようになっ
ている。また前記ハーフミラー６は、検査対象の軸線に
対してほぼ４５°傾斜した姿勢に配置されていて、前記
検査対象１０で反射した光線を検査対象１０の軸線と並
行な方向へ反射するようになっている。また前記ハーフ
ミラー６と対向する位置には、反射鏡１８がハーフミラ
ーと線対称に配置されて反射光を９０°側方へ反射し、
さらに、この反射鏡１８によって反射した光線はプリズ
ム２０によって全反射されて９０°上方へ導かれて顕微
鏡４の対物レンズ８へ導かれ、さらに、拡大された後、
ＣＣＤカメラ１２に結像するようになっている。
１４によって検査対象１０の近くに導かれ、拡散板１６
によって照射範囲が広げられた後、ハーフミラー６を通
過して、検査対象１０へ側方から照射されるようになっ
ている。また前記ハーフミラー６は、検査対象の軸線に
対してほぼ４５°傾斜した姿勢に配置されていて、前記
検査対象１０で反射した光線を検査対象１０の軸線と並
行な方向へ反射するようになっている。また前記ハーフ
ミラー６と対向する位置には、反射鏡１８がハーフミラ
ーと線対称に配置されて反射光を９０°側方へ反射し、
さらに、この反射鏡１８によって反射した光線はプリズ
ム２０によって全反射されて９０°上方へ導かれて顕微
鏡４の対物レンズ８へ導かれ、さらに、拡大された後、
ＣＣＤカメラ１２に結像するようになっている。
【００１０】すなわち、上記光学系においては、ハーフ
ミラー６の裏側から検査対象１０の広い範囲に照射され
た光線が前記ハーフミラー６〜反射鏡１８〜プリズム２
０を経由する反射経路を経由して入射光と異なる方向へ
導かれ、ＣＣＤカメラ１２において結像されるようにな
っている。
ミラー６の裏側から検査対象１０の広い範囲に照射され
た光線が前記ハーフミラー６〜反射鏡１８〜プリズム２
０を経由する反射経路を経由して入射光と異なる方向へ
導かれ、ＣＣＤカメラ１２において結像されるようにな
っている。
【００１１】上記光学系では、検査対象１０へ照射すべ
き光線が拡散板１６によって拡散されているから広範囲
にわたって、あるいは、種々の角度から検査対象１０へ
照射され、また、この光線は対物レンズ８を経由せずに
検査対象１０へ直接照射されるから、対物レンズ８の特
性に影響されることがなく、したがって、検査対象１０
が曲面状であっても、図２にハッチングを付して示すよ
うに、広範囲で反射した光線を対物レンズ８を導入する
ことができる。また検査対象１０の表面で反射した光線
は、入射光と異なる方向へ導かれた後、顕微鏡４の対物
レンズ８へ入射されるから、入射光の方向や、光源の位
置に影響されることなく、拡大像を得ることができる。
き光線が拡散板１６によって拡散されているから広範囲
にわたって、あるいは、種々の角度から検査対象１０へ
照射され、また、この光線は対物レンズ８を経由せずに
検査対象１０へ直接照射されるから、対物レンズ８の特
性に影響されることがなく、したがって、検査対象１０
が曲面状であっても、図２にハッチングを付して示すよ
うに、広範囲で反射した光線を対物レンズ８を導入する
ことができる。また検査対象１０の表面で反射した光線
は、入射光と異なる方向へ導かれた後、顕微鏡４の対物
レンズ８へ入射されるから、入射光の方向や、光源の位
置に影響されることなく、拡大像を得ることができる。
【００１２】なお上記光学系では、各種の反射手段を用
いて光線の反射経路を定めるようにしたが、光源２と対
物レンズ８との相対的な位置の変更に対応して、光ファ
イバ１４による案内方向を変更し、あるいは、反射鏡１
８、プリズム２０の構成、配置、または数を変更して反
射経路を変更するようにしてもよいのはもちろんである
。
いて光線の反射経路を定めるようにしたが、光源２と対
物レンズ８との相対的な位置の変更に対応して、光ファ
イバ１４による案内方向を変更し、あるいは、反射鏡１
８、プリズム２０の構成、配置、または数を変更して反
射経路を変更するようにしてもよいのはもちろんである
。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明で明かなように、本発明は、
該光源と検査対象との間に拡散板が儲られているので、
光源から出射された光線が拡散板によって広範囲に拡散
された後、種々の方向から検査対象に照射され、広い範
囲で反射した光線を対物レンズへ導入して測定すること
ができる。また検査対象の表面で反射した光線は、ハー
フミラーによって入射光と異なる方向へ案内された後、
対物レンズによって受光手段に入射されるので、光源と
対物レンズとが互いに配置の自由度を損なうことなく配
置されることとなり、したがって、任意の照度、および
、倍率を得て能率良く検査を行うことができるという効
果を有する。
該光源と検査対象との間に拡散板が儲られているので、
光源から出射された光線が拡散板によって広範囲に拡散
された後、種々の方向から検査対象に照射され、広い範
囲で反射した光線を対物レンズへ導入して測定すること
ができる。また検査対象の表面で反射した光線は、ハー
フミラーによって入射光と異なる方向へ案内された後、
対物レンズによって受光手段に入射されるので、光源と
対物レンズとが互いに配置の自由度を損なうことなく配
置されることとなり、したがって、任意の照度、および
、倍率を得て能率良く検査を行うことができるという効
果を有する。
【図１】本発明の一実施例の側面図である。
【図２】図１の装置によって検査対象に光線が照射され
る範囲の説明図である。
る範囲の説明図である。
【図３】従来例の側面図である。
【図４】図３の装置によって検査対象に光線が照射され
る範囲の説明図である。
る範囲の説明図である。
２ 光源
６ ハーフミラー
１０ 検査対象物
１２ ＣＣＤカメラ
１４ 光ファイバ
１６ 拡散板
１８ 反射鏡
２０ プリズム
Claims (1)
- 【請求項１】 光源と、該光源と検査対象との間
に設けられて光線を拡散させる拡散板と、検査対象で反
射した光線を拡大して受光手段へ結像させる対物レンズ
と、前記拡散板と検査対象との間に介在して光線の通過
を許容するとともに、検査対象で反射した光線を光源か
らの光線の入射方向と異なる方向へ反射させるハーフミ
ラーとからなることを特徴とする光学検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8761691A JPH04297810A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 光学検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8761691A JPH04297810A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 光学検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04297810A true JPH04297810A (ja) | 1992-10-21 |
Family
ID=13919908
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8761691A Withdrawn JPH04297810A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 光学検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04297810A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998019150A3 (de) * | 1996-10-30 | 1998-10-29 | Kronseder Maschf Krones | Inspektionsvorrichtung für flaschen oder dgl. |
| WO2006135295A1 (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Volvo Aero Corporation | A method and a device for measurement of edges |
| WO2009013926A1 (ja) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Kou Yamagishi | 回転体の計測装置 |
| JP2012013698A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | General Electric Co <Ge> | 工具摩耗定量化システム及び方法 |
| CN106840028A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 湖北文理学院 | 刀具磨损的在位测量方法和装置 |
-
1991
- 1991-03-27 JP JP8761691A patent/JPH04297810A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998019150A3 (de) * | 1996-10-30 | 1998-10-29 | Kronseder Maschf Krones | Inspektionsvorrichtung für flaschen oder dgl. |
| EP1382961A2 (de) * | 1996-10-30 | 2004-01-21 | Krones Ag | Inspektionsvorrichtung für Flaschen oder dgl. |
| EP1382961A3 (de) * | 1996-10-30 | 2004-01-28 | Krones Ag | Inspektionsvorrichtung für Flaschen oder dgl. |
| WO2006135295A1 (en) * | 2005-06-17 | 2006-12-21 | Volvo Aero Corporation | A method and a device for measurement of edges |
| US7570369B2 (en) | 2005-06-17 | 2009-08-04 | Volvo Aero Corporation | Method and a device for measurement of edges |
| WO2009013926A1 (ja) * | 2007-07-26 | 2009-01-29 | Kou Yamagishi | 回転体の計測装置 |
| JP2009031091A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Ko Yamagishi | 回転体の計測装置 |
| JP2012013698A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | General Electric Co <Ge> | 工具摩耗定量化システム及び方法 |
| CN106840028A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-06-13 | 湖北文理学院 | 刀具磨损的在位测量方法和装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |