KR980001895A - 유리기판 에칭장치 - Google Patents

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Abstract

유리기판 에칭장치는 에천트가 채워진 외부배스 내부의 내부배스에 설치된 다량의 분사구가 형성된 다공패널에 펌프를 통해 압력을 가하여, 분사구를 통해 에천트를 유리기판에 분사하여 유리기판을 균일하게 에칭한다. 불순물이 포함된 에천트는 필터에 의해 여과되어 펌프에 연결된 저장탱크에 저장되며, 내부배스의 아래부분에 설치된 다공판에는 가스통으로부터 가스가 공급되어 기포가 생성되어 에칭시 유리기판에 달라 붙는 불순물을 제거한다.

Description

유리기판 에칭장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (17)

  1. 에천트가 채워진 배스와, 상기한 배스에 설치되어 내부에 에천트가 채워져 표면에 형성된 다량의 분사구를 통해 에천트를 분사하는 복수의 다공패널과, 에천트를 저장하는 저장탱크와, 상기한 저장탱크 및 다공패널에 연결되어 저장탱크에 저장된 에천트를 다공패널에 공급하는 펌프로 구성된 유리기판 에칭장치.
  2. 제1항에 있어서, 분사구가 다공패널 양면에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기한 다공패널이 설치되며, 내부가 펌프 및 다공패널과 연결되어 펌프의 압력을 다공패널내의 에천트에 전달하는 설치대가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기한 설치대에 적어도 한쌍의 설치돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기한 배스의 보다 높은 높이로 구성되어 상기한 배스가 내부에 장착되는 외부배스와, 외부배스와 연결되어 상기한 배스를 넘쳐 흘러 외부배스 바닥에 고이는 불순물을 포함하는 에천트를 여과하는 필터가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  6. 제1항에 있어서, 사이한 배스에 연결된 가스통과, 상기한 배스의 아래부분에 형성되어 가스통으로부터 배스로 공급되는 가스를 기포로 만드는 다공판이 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  7. 에천트가 채워진 배스와, 상기한 배스에 유리기판의 길이방향을 따라 적어도 하나 이상의 다공패널을 보유하는 셋트로 이루어져서 유리기판의 길이방향을 따라 왕복운동하여 내부에 채워진 에천트를 다공패널 표면에 형성된 다량의 분사구를 통해 분사하는 복수의 다공패널셋트와, 에천트를 저장하는 저장탱크와, 상기한 저장탱크 및 다공패널에 연결되어 저장탱크에 저장된 에천트를 다공패널에 공급하는 펌프로 구성된 유리기판 에칭장치.
  8. 제7항에 있어서, 복수의 다공패널로 이루어진 다공패널셋트가 일체로 왕복운동하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  9. 제7항에 있어서, 분사구가 다공패널 양면에 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기한 다공패널이 설치되며, 내부가 펌프 및 다공패널과 연결되어 펌프의 압력을 다공패널내의 에천트에 전달하는 설치대가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기한 설치대에 적어도 한쌍의 설치돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기한 배스의 보다 높은 높이로 구성되어 상기한 배스가 내부에 장착되는 외부배스와, 외부배스와 연결되어 상기한 배스를 넘쳐 흘러 상기한 외부배스 바닥에 고이는 불순물을 포함하는 에천트를 여과하는 필터가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기한 배스와 연결된 가스통과, 상기한 배스의 아래부분에 형성되어 가스통으로부터 배스로 공급되는 가스를 기포로 만드는 다공판이 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  14. 에천트가 채워진 배스와, 상기한 배스에 설치되어 표면에 형성된 다량의 분사구를 통해 에천트를 분사하는 다공패널로 구성된 유리기판 에칭장치.
  15. 제14항에 있어서, 분사구가 상기한 다공패널의 양면에 형성된 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  16. 제14항에 있어서, 상기한 다공패널이 배스에 고정 설치된 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
  17. 제14항에 있어서, 상기한 다공패널이 유리기판의 길이방향을 따라 왕복운동하는 것을 특징으로 하는 유리기판 에칭장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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