KR960031987A - 가스(gas) 센싱소자의 구조 및 제조방법 - Google Patents
가스(gas) 센싱소자의 구조 및 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 가스(GAS) 센싱소자에 관한 것으로, 특히 별도의 가열장치(heater)없이 감지막의 전류-전압특성을 이용하여 센싱동작이 이루어지도록 한 저전력의 상온동작형 가스 센싱소자의 구조 및 제조방법에 관한 것이다.
상기와 같은 본 발명의 가스 센싱소자의 구조는 기판상에 일정 패턴으로 형성되는 전극부와, 상기 전극부상에 형성되어 외부의 가스와 반응하는 감지막으로 구성된 가스센서부와, 상기 전극을 통하여 감지막에 전압을 인가하는 전압인가부와 상기 감지막의 가스반응에 의해 변화되는 전류값을 검출해내는 전류측정부를 포함하여 이루어지고, 본 발명의 가스 센싱 소자의 제조방법은 기판상에 Pt페이스트를 이용하여 스크린 프린팅법으로 특정 형태로 전극을 패터닝하여 소성하는 공정과, 상기 전극상에 혼합된 SnO2와 WO3분말과 유기 결합물을 포함하여 형성된 감지막 페이스트를 스크린 프린팅하여 감지막을 형성하는 공정과, 상기 감지막을 600℃에서 1시간 소성한 후 전극패드(pad)에 리드선(Lead Wire)을 연결하여 패키징(Packaging)하는 공정을 포함하여 이루어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도(a)는 본 발명의 가스 센싱소자의 레이아웃도, (b)는 제2도 (a)의 A-A′선에 따른 구조 단면도.
제3도는 본 발명의 가스센싱소자의 동작회로도.
제4도 (a) (b) (c)는 본 발명의 가스 센싱소자의 동작특성도.
Claims (4)
- 기판상에 일정 패턴으로 형성되는 전극부와, 상기 전극부상에 형성되어 외부의 가스와 반응하는 감지막으로 구성된 가스센서부와, 상기 전극을 통하여 감지막에 전압을 인가하는 전압인가부와, 상기 감지막의 가스반응에 의해 변화되는 전류값을 검출해내는 전류측정부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 가스 센싱소자의 구조.
- 기판상에 Pt페이스트를 이용하여 스크린 프린팅법으로 특정 형태로 전극을 패터닝하여 소성하는 공정과, 상기 전극상에 혼합된 SnO2와 WO3분말과 유기 결합물을 포함하여 형성된 감지막 페이스트를 스크린 프린팅하여 감지막을 형성하는 공정과, 상기 감지막을 600℃에서 1시간 소성한 후 전극패드(pad)에 리드선(Lead Wire)을 연결하여 패키징(Packaging)하는 공정을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 가스센싱소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 전극패터닝 후의 소성공정은 1100℃의 온도에서 1시간 진행되는 것을 특징으로 하는 가스센싱소자의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 감지막 페이스트의 SnO2와 WO3분말의 혼합비율은 95 : 5wt%인 것을 특징으로 하는 가스 센싱소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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