KR960011150A - 드라이터보 진공펌프 - Google Patents

드라이터보 진공펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR960011150A
KR960011150A KR1019950030403A KR19950030403A KR960011150A KR 960011150 A KR960011150 A KR 960011150A KR 1019950030403 A KR1019950030403 A KR 1019950030403A KR 19950030403 A KR19950030403 A KR 19950030403A KR 960011150 A KR960011150 A KR 960011150A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
pump
vacuum pump
stator
mainstream
impeller
Prior art date
Application number
KR1019950030403A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0161110B1 (ko
Inventor
아끼라 니시우찌
마사히로 마세
노보루 마쯔무라
가쯔아끼 기구찌
다까시 나가오까
Original Assignee
가나이 쯔도무
가부시키가이샤 히다치 세사꾸쇼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가나이 쯔도무, 가부시키가이샤 히다치 세사꾸쇼 filed Critical 가나이 쯔도무
Publication of KR960011150A publication Critical patent/KR960011150A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0161110B1 publication Critical patent/KR0161110B1/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
    • F04D23/008—Regenerative pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
    • F04D29/582—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/68—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers
    • F04D29/681—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing by influencing boundary layers especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

원주류펌프의 적어도 1단의 원심펌프의 임펠러를 일체로 형성하여 드라이터보 진공펌프를 구성한다. 펌프단의 스테이터 및 모터케이싱에는 리브가 설치되고, 윤활과 냉각을 겸용하는 윤활유의 연통로가 리브내부에 형성되어 있다. 그리고 복잡한 냉각 및 윤활유 배관부품을 드라이터보 진공펌프 내부에 수납함으로써 펌프구성을 콤팩트하게 하였다. 또, 스테이터의 단간벽의 임펠러와 대향하는 면의 형상을 평판상으로 하고 있고, 이 단간벽과의 사이에 형성된 극간으로부터 주형을 떼어냄으로써 일체형으로 형성한 임펠러를 보통주조로 제작하였다. 또한, 본 발명의 변형예에서는 배기용량의 증대 또는 감소용으로 탈착자유로운 부가원심펌프단을 설치하고 있다.

Description

드라이터보 진공펌프
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시예의 종단면도,
제2도는 제1도에 나타낸 실시예의 횡단면도,
제4도는 본 발명의 일실시예의 원주류임펠러의 종단면 상세도,
제5도는 제3도 및 제4도에 나타낸 실시예의 외주에서 본 도,
제6도는 제3도 및 제4도에 나타낸 원주류임펠러의 정면도,
제12도는 본 발명의 일실시예의 모터케이싱의 횡단면도.

Claims (20)

  1. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 상기 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되어, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  2. 제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 블레이드로 이루어지고, 상기 블레이드 사이의 홈저면의 반경방향 단면 형상을 단계상 또는 단속적인 직선군으로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  3. 제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 블레이드로 이루어지고, 상기 블레이드 사이의 홈저면의 원주방향 단면형상을 복수의 원호로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  4. 제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 블레이드로 이루어지고, 반심판측의 블레이드 선단부를 원주방향으로 경사시킨 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  5. 제1항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 상기 심판에 간격을 두고 배치된 복수개의 블레이드로 이루어지고, 상기 블레이드의 심판측 내경부를 원호상으로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 원주류임펠러의 블레이드와 심판을 수치제어가공기에 의하여 일체적으로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  7. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 상기 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되어, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단의 원주류펌프의 적어도 인접하는 2단의 스테이터 부분의 내경이 실질적으로 같고, 이 스테이터에 설치된 각 단을 간막이 하는 단간벽의 임펠러에 대향하는 부분을 평판상으로 한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  8. 제7항에 있어서, 상기 스테이터는 보통 주조법으로 작성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  9. 제7항에 있어서, 상기 원주류임펠러는 심판과 복수의 블레이드로 이루어지고, 상기 스테이터의 단간벽에 상기 2개의 블레이드 피치 이상의 둘레방향 길이를 가지는 멈춤부를 마련한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  10. 제7항에 있어서, 상기 단간벽에 마련한 멈춤부는 상류의 단간벽으로부터 하루의 단간벽으로 둘레방향 위치를 순차 변화시킨 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  11. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다다느이 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 상기 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되어, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 스테이터를 반할구조로 하고, 각각의 반할부에 냉각쟈켓부를 마련하고, 각 반할부의 쟈켓부 사이를 연통하는 연통로를 각 반할부에 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  12. 제11항에 있어서, 상기 스테이터의 외주부에 오목부를 마련하고, 상기 쟈켓은 상기오목부를 형성한 스테이터와 이 오목부를 탈착자유롭게 덮는 부재로 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  13. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터와, 상기 다단의 원주류펌프를 구동하는 모터로터 및 모터스테이터를 가지는 모터와, 상기 모터스테이터를 수용하는 모터케이싱을 구비한 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단의 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 형성하고, 상기 모터케이싱의 외주측에 필터를, 상기 모터케이싱내에 오일멈춤부를 각각 마련하고, 상기 오일멈춤부와 상기 필터를 연통하는 연통로를 모터케이싱에 설치한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  14. 제13항에 있어서, 상기 모터케이싱의 외주부에 리브를 설치하고, 상기 리브에 상기 오일멈춤부에 연통하는 제2연통로를 마련한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  15. 제14항에 있어서, 상기 스테이터의 외주부에 스테이터리브를 설치하고, 이 스테이터리브에 상기 오일멈춤부에 연통하는 제3연통로를 마련한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  16. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터와, 상기 다단의 원주류펌프를 구동하는 모터로터 및 모터스테이터를 가지는 모터와, 상기 모터스테이터를 수용하는 모터케이싱을 구비한 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 모터케이싱내에 오일멈춤부를, 상기 스테이터의 외주측에 냉각쟈켓을, 상기 모터케이싱의 외주측에 모터냉각쟈켓을 각각 설치하고, 상기 오일멈춤부와 상기 모터냉각쟈켓을 상기 냉각쟈켓과 순차 연통하여 오일 순환로를 형성한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  17. 제15항에 있어서, 상기 리브에 설치한 제2 및 제3연통로 및 상기 오일멈춤부의 적어도 어느 하나에 연통하는 냉각오일저장을 상기 모터케이싱의 외주측에 설치하고, 상기 냉각오일저장을 오일필터를 내장한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  18. 제13항에 있어서, 상기 스테이터의 외주측에 상기 스테이터를 덮는 통상의 커버를 설치하고, 상기 커버는 스테이터의 외주에 배설한 O링과, 상기 커버의 일단부에 형성한 플랜지부를 고정하는 고정부품으로 상기 스테이터에 탈착자유로운 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  19. 제1항에 있어서, 상기 다단의 원주류임펠러의 상류측에 원심펌프단을 탈착자유롭게 설치함으로써 용량 가변으로 한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
  20. 흡기구 및 배기구를 가지는 하우징과, 상기 하우징내에 2개의 베어링에 의하여 회전자유롭게 지지된 회전축과, 상기 회전축에 지지된 다단의 원주류임펠러와, 상기 하우징내에 상기 원주류임펠러와 함께 다단의 원주류펌프를 형성하는 스테이터를 가지고, 상기 원주류펌프의 흡기구측에 원심펌프가 배설되어, 상기 흡기구로부터 흡입한 기체를 배기구로부터 대기로 배기하는 드라이터보 진공펌프에 있어서, 상기 다단의 원주류펌프와 상기 원심펌프의 적어도 1단을 일체로 형성하고, 상기 베어링은 회전축의 상하방향으로 배치되고, 상부 베어링을 지지하는 홀더와 상기 스테이터 사이에 스페이서를 마련한 것을 특징으로 하는 드라이터보 진공펌프.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950030403A 1994-09-19 1995-09-18 드라이터보 진공펌프 KR0161110B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6222969A JPH0886298A (ja) 1994-09-19 1994-09-19 ドライターボ真空ポンプ
JP94-222969 1994-09-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960011150A true KR960011150A (ko) 1996-04-20
KR0161110B1 KR0161110B1 (ko) 1999-01-15

Family

ID=16790732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950030403A KR0161110B1 (ko) 1994-09-19 1995-09-18 드라이터보 진공펌프

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5664935A (ko)
JP (1) JPH0886298A (ko)
KR (1) KR0161110B1 (ko)
GB (1) GB2298457B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210093530A (ko) 2020-01-20 2021-07-28 김선환 간봉 테이프 부착 장치

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2736103B1 (fr) * 1995-06-30 1997-08-08 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire
GB9609281D0 (en) * 1996-05-03 1996-07-10 Boc Group Plc Improved vacuum pumps
GB9927493D0 (en) * 1999-11-19 2000-01-19 Boc Group Plc Improved vacuum pumps
DE10008691B4 (de) * 2000-02-24 2017-10-26 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
DE10111546A1 (de) * 2000-05-15 2002-01-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
DE10056144A1 (de) * 2000-11-13 2002-05-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasreibungspumpe
EP2228539A3 (en) * 2003-08-08 2017-05-03 Edwards Japan Limited Vacuum pump
US7445422B2 (en) * 2005-05-12 2008-11-04 Varian, Inc. Hybrid turbomolecular vacuum pumps
WO2008021251A2 (en) * 2006-08-11 2008-02-21 Fess Corporation Flood water removal system
DE102009021642B4 (de) * 2009-05-16 2021-07-22 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP2011027031A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Osaka Vacuum Ltd 分子ポンプ装置
IT1398142B1 (it) * 2010-02-17 2013-02-14 Nuovo Pignone Spa Sistema singolo con compressore e pompa integrati e metodo.
DE102012220040A1 (de) * 2012-11-02 2014-05-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102013203577A1 (de) * 2013-03-01 2014-09-04 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102013108482A1 (de) * 2013-08-06 2015-02-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpstufe
DK3199816T3 (da) * 2016-01-29 2021-07-26 Cattani Spa Sidekanalblæser/-sugeapparat med et forbedret vingehjul
US11204042B2 (en) 2018-05-30 2021-12-21 Edwards Japan Limited Vacuum pump and cooling component thereof
US11421922B2 (en) * 2020-04-22 2022-08-23 Haier Us Appliance Solutions, Inc. Heat dissipation assembly for a linear compressor

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NZ197872A (en) * 1980-08-05 1985-03-20 Sihi Gmbh & Co Kg Self priming multi-stage centrifugal pump for liquids near boiling point
FR2553835B1 (fr) * 1983-10-25 1986-02-28 Bertin & Cie Machine de compression d'un fluide, a plusieurs etages de compression en serie
DE3425656C2 (de) * 1984-07-12 1994-12-08 Sero Pumpenfabrik Gmbh Kreiselpumpe
JPH0689756B2 (ja) * 1986-05-02 1994-11-14 株式会社日立製作所 ドライ真空ポンプ
JPS6361798A (ja) * 1986-09-01 1988-03-17 Hitachi Ltd 多段一体羽根車
FR2611819B1 (fr) * 1987-02-25 1989-05-05 Cit Alcatel Pompe a vide, rotative
DE3919529C2 (de) * 1988-07-13 1994-09-29 Osaka Vacuum Ltd Vakuumpumpe
US5217346A (en) * 1988-07-13 1993-06-08 Osaka Vacuum, Ltd. Vacuum pump
JP2724840B2 (ja) * 1988-08-17 1998-03-09 株式会社大阪真空機器製作所 複合真空ポンプ
US5020969A (en) * 1988-09-28 1991-06-04 Hitachi, Ltd. Turbo vacuum pump
JPH0813180B2 (ja) * 1989-06-02 1996-02-07 三菱電機株式会社 車両用交流発電機
EP0408792B1 (de) * 1989-07-20 1993-09-29 Leybold Aktiengesellschaft Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen Gewindestufe
DE3931661A1 (de) * 1989-08-25 1991-04-04 Leybold Ag Magnetgelagerte vakuumpumpe
JPH03213695A (ja) * 1990-01-17 1991-09-19 Hitachi Ltd ターボ形真空ポンプ
DE4216237A1 (de) * 1992-05-16 1993-11-18 Leybold Ag Gasreibungsvakuumpumpe
JP2998441B2 (ja) * 1992-08-19 2000-01-11 株式会社日立製作所 ターボ真空ポンプ
JPH0783189A (ja) * 1993-09-17 1995-03-28 Hitachi Ltd ターボ真空ポンプ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210093530A (ko) 2020-01-20 2021-07-28 김선환 간봉 테이프 부착 장치

Also Published As

Publication number Publication date
US5664935A (en) 1997-09-09
GB9518969D0 (en) 1995-11-15
GB2298457A (en) 1996-09-04
KR0161110B1 (ko) 1999-01-15
GB2298457B (en) 1997-04-09
JPH0886298A (ja) 1996-04-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960011150A (ko) 드라이터보 진공펌프
US5409357A (en) Impeller for electric automotive fuel pump
KR950008989A (ko) 터보진공펌프
JP6128129B2 (ja) 可変容量型過給機及び可変容量型過給機用ハウジングの製造方法
WO2018139070A1 (ja) 液封式真空ポンプ
CN111989496B (zh) 电动压缩机
JP6242833B2 (ja) 排気タービン過給機
EP0477924B1 (en) Turbo vacuum pump
WO2018011970A1 (ja) モータ一体型流体機械
JPS63147990A (ja) 複合真空ポンプ
CN205101238U (zh) 一种压缩机
JP2004515696A (ja) フィードポンプ
JP3872447B2 (ja) 多段流体機械
JP3869816B2 (ja) 多段流体機械
JP6779807B2 (ja) 液封式真空ポンプ
SU1814702A3 (en) Multistage radial-flow compressor
JPH04334792A (ja) 液化ガス用サブマージド型ポンプのジャーナル軸受冷却・潤滑方式
JP2600957B2 (ja) 遠心機の排気構造
SU1285198A1 (ru) Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос
JPH0278793A (ja) 多段渦流型真空ポンプ
RU34215U1 (ru) Многоступенчатый радиальный компрессор
JPH05248386A (ja) ねじ溝型真空ポンプ
RU48374U1 (ru) Центробежный насос
RU2028515C1 (ru) Многоступенчатый вентилятор
KR200189331Y1 (ko) 심정용 수중모터펌프

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20040809

Year of fee payment: 7

LAPS Lapse due to unpaid annual fee