JPH0886298A

JPH0886298A - ドライターボ真空ポンプ

Info

Publication number: JPH0886298A
Application number: JP6222969A
Authority: JP
Inventors: Akira Nishiuchi; 章西内; Masahiro Mase; 正弘真瀬; Noboru Matsumura; 登松村; Katsuaki Kikuchi; 勝昭菊地; Takashi Nagaoka; 隆司長岡
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1994-09-19
Filing date: 1994-09-19
Publication date: 1996-04-02
Also published as: US5664935A; GB2298457A; KR0161110B1; GB9518969D0; GB2298457B; KR960011150A

Abstract

(57)【要約】【目的】部品点数が少なく、コンパクトで製作・管理を
容易にすることにより、コスト低減ができ、しかも製作
上の諸要因による性能のばらつきを小さくしたドライタ
ーボ真空ポンプを提供する。【構成】円周流ポンプ４ｂと遠心ポンプ４ａの少なくと
も１段の羽根車を一体に形成するとともに、ステータ２
及びモータケーシング１０にリブを設け、潤滑および冷
却油用の連通路２２，２２ａ，２５，２６ａ，２６ｂ，
２７ａ，２７ｂをリブ内部に形成する。さらに、ステー
タ２の段間壁の羽根車と対向する面の形状を平板状とし
て、普通鋳造で製作可能とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、排気口の圧力が大気圧
であるドライターボ真空ポンプに係り、特に半導体や食
品、薬品などの製造装置に用いられ、清浄な真空を作り
出すのに好適なドライターボ真空ポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の排気口の圧力を大気圧としたドラ
イターボ真空ポンプは、特公平３−７０３９号公報に記
載されているように、円周流ポンプ段の機械加工が困難
であるので円周流ポンプ段を精密鋳造し、機械加工で製
作した遠心ポンプ段とねじ等を用いて締結し、羽根車段
を構成していた。そして、羽根車を精密鋳造で製作する
ことについては、特開昭６３−６１７９８号公報に詳し
い。◆また、真空ポンプのステータについては、特開昭
６２−２５８１８６号公報に記載されているように、ス
テータ段間壁の羽根車に対向する部分に凹部がある形状
となっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の特公
平３−７０３９号公報に記載のものは、円周流ポンプ段
に遠心ポンプ段を取り付ける作業が必要であり、組立時
に羽根車の同心度の確保、面触れの防止等の作業を必要
とし組立性がよくなかった。そして、複数部品を組み合
わせる結果、各部品の寸法公差が累積され、羽根車とス
テータ間の細隙の寸法の管理および確保が難しく、真空
ポンプに要求される性能の確保が困難であった。

【０００４】また、特開昭６３−６１７９８号公報に記
載の方法は、羽根車の製法が鋳造法であるため寸法精度
が悪く、製品の性能にバラツキが生じるという問題があ
った。さらに、内部欠陥を皆無にすることは難しく鋳造
作業後の加工途中で欠陥の露呈が発生して廃却にせざる
を得ないなど部品としての歩留まりが悪かった。◆さら
にまた、特開昭６２−２５８１８６号公報に記載の羽根
車形状を鋳物で作るには、ロストワックスによる鋳造方
式を用いざるを得ず、素材段階での費用がかさむという
問題があった。

【０００５】本発明の目的は、部品点数を少なくし、コ
ンパクトで製作および管理が容易なドライターボ真空ポ
ンプを提供することにある。◆また、本発明の他の目的
は、製作上の諸要因による性能のばらつきを小さくした
ドライターボ真空ポンプを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、吸気口及び排気口を有するハウジングと、ハウジン
グ内に回転自在に支持された回転軸と、回転軸に支持さ
れた多段の円周流羽根車と、前記ハウジング内に円周流
羽根車とともに多段の円周流ポンプを形成するステータ
とを有し、この円周流ポンプの吸気口側に遠心ポンプが
配設され、前記吸気口から吸入した気体を排気口から大
気に排気するドライターボ真空ポンプにおいて、前記多
段円周流ポンプと前記遠心ポンプの少なくとも１段を一
体に形成したものである。◆そして、好ましくは前記円
周流羽根車は心板と該心板に間隔をおいて配置された複
数枚の羽根とからなり、この羽根間の溝底面の半径方向
断面形状を階段状又は断続的な直線群で形成したもので
ある。

【０００７】また、吸気口及び排気口を有するハウジン
グと、ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、
回転軸に支持された多段の円周流羽根車と、上記ハウジ
ング内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを
形成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気口
側に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した気
体を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポンプ
において、前記多段の円周流ポンプ段の少なくとも隣合
う２段のステータ部分の内径が実質的に同じであり、こ
のステータに設けられた各段を仕切る段間壁の羽根車に
対向する部分を平板状としたものである。

【０００８】さらに、吸気口及び排気口を有するハウジ
ングと、ハウジング内に回転自在に支持された回転軸
と、回転軸に支持された多段の円周流羽根車と、前記ハ
ウジング内に円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプ
を形成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気
口側に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した
気体を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポン
プにおいて、前記ステータを半割れ構造とし、各々の半
割れ部に冷却ジャケット部を設け、各半割れ部のジャケ
ット部間を連通する連通路を各半割れ部に形成したもの
である。

【０００９】吸気口と排気口を備えたハウジングと、ハ
ウジング内に回転自在に支持された回転軸と、回転軸に
支持された多段の円周流羽根車と、上記ハウジング内に
円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを形成するス
テータと、この多段の円周流ポンプを駆動するモータロ
ータ及びモータステータとを有するモータと、このモー
タステータを収容するモータケーシングとを備えたドラ
イターボ真空ポンプにおいて、前記モータケーシング内
に油溜め部を、前記ステータの外周側に冷却ジャケット
を、前記モータケーシングの外周側にモータ冷却ジャケ
ットを、それぞれ設け、前記油溜め部と前記モータ冷却
ジャケットと前記冷却ジャケットとを順次連通し、冷却
油の循環路を形成したものである。◆好ましくは、上記
いずれかのドライターボ真空ポンプにおいて、ステータ
の段間壁の羽根車に対向する部分を平板状にし、普通鋳
造で製作可能な形状としたものである。◆また好ましく
は、モータケーシング内に油溜め部を設け、この油溜め
部とケーシングの冷却ジャケット部を、モータケーシン
グの外周部に設けたリブ内に形成した連通路と、ステー
タの外周部に設けたリブに形成した連通路とを連通した
ものである。

【００１０】さらに、吸気口及び排気口を有するハウジ
ングと、ハウジング内に回転自在に支持された回転軸
と、回転軸に支持された多段の円周流羽根車と、前記ハ
ウジング内に円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプ
を形成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気
口側に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した
気体を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポン
プにおいて、前記多段円周流ポンプと前記遠心ポンプの
少なくとも１段を一体に形成し、前記回転軸を支持する
軸受の中の上部軸受を保持するホルダと前記ステータ間
にスペーサを設けたものである。

【００１１】

【作用】従来精密鋳造であった円周流羽根車を多軸数値
制御加工機を用いて機械加工できる形状とすることによ
り、円周流ポンプと遠心ポンプの少なくとも一段を一体
に機械加工することが可能となる。これにより、円周流
ポンプと遠心ポンプの組立工程を削減でき作業性が向上
する。また、一体体加工できるので加工精度を向上する
ことができ、羽根車とステータとの細隙寸法の管理が容
易となり、性能のばらつきの小さいポンプを提供するこ
とができる。◆さらに、ステータの段間壁の羽根車に対
向する部分の形状を平板状としたので、鋳型の抜けが容
易となり普通鋳造で製作可能になる。これにより、従来
のロストワックスによる精密鋳造方式より素材費を約１
/１０に低減できる。◆また、モータケーシングとステ
ータに冷却用のジャケットを設け、このジャケットに給
油およびジャケットから排油するための冷却流路を、モ
ータケーシングとステータ内に設けることにより、冷却
油配管を必要とせず、外部配管作業を大幅に削減でき作
業性が向上するとともに、設置後の保守点検をも容易に
する。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。図１は本発明の第１の実施例を示した図で、上下方
向に軸配置されたシャフト３の中間部及び下端部を転が
り軸受７ａ、及び７ｂで支承し、その軸受間に高周波モ
ータロータ８ａが圧入されている。このシャフト３の上
部側に多段の円周流羽根車からなる円周流ポンプ４ｂと
遠心流羽根車からなる遠心ポンプ４ａの少なくとも１段
を一体化したポンプロータ（以下単にロータと称す）１
を圧入し締結する。そしてこのロータ１に対向してロー
タ１と同軸に隙間をもってポンプステータ（以下単にス
テータと称す）２が配置され、ステータ２の上部にはポ
ンプの吸気口６が形成された吸込みケーシング５が機密
性をもって取り付けられている。そして、ステータ２の
外周部であって羽根車の外周側の真空ポンプ作用を行な
う部分に対応した位置に、ポンプ作用により生じた熱を
取り去るための冷却ジャケット９が形成されている。

【００１３】一方、モータロータ８ａの外径側でモータ
ロータに対向して配置されたモータステータ８ｂが、モ
ータケーシング１０に保持されている。モータステータ
８ｂとモータロータ８ａが対向する部分の外径側に位置
するモータケーシング１０の部分にモータを冷却するた
めの冷却流路、すなわち冷却ジャケット１１が形成され
ている。なお、この図１ではモータ部とポンプ部で周方
向断面位置を変化させている。

【００１４】次にこのように構成した本発明の一実施例
の動作について説明する。◆図示しない制御装置の指令
に基づいて、高周波モータロータ８ａ及び高周波モータ
ステータ８ｂとからなるモータがシャフト３及びロータ
１を高速駆動すると、吸気口６から吸入された気体は、
遠心ポンプ段４ａ及び円周流ポンプ段４ｂを経るに連れ
順次圧縮され、排気口１２から排気される。図２は円周
流ポンプ段の横断面図で渦流ポンプの各段では、各段に
設けられた吸入口１３から気体が流入し、高速で回転す
る円周流羽根車１４により気体に周方向の速度成分が付
加される。そして、遠心力により円周流羽根車１４から
半径方向に排出され、通風路１５内で減速して圧力回復
し、再度円周流羽根車１４に流入する。気体は通風路１
５を通り抜ける間に上記作用を繰り返して、円周流羽根
車１４からエネルギーを得、通風路１５内をらせん状に
流れて吐出口１６から次の段へ流入する。この作用を複
数段で行なうことにより、高い圧縮比を得ることがで
き、その結果、気体を大気へ直接排気することが可能と
なる。

【００１５】図３ないし図６に上記実施例に用いる円周
流羽根車の一実施例を示す。円周流羽根車は心板の外径
側に複数の羽根が放射状に配置されていて、羽根間には
溝部が形成されている。そして、その羽根厚さはほぼ一
様になっている。図３および図４に示すように、円周流
羽根車の羽根間の溝底面の半径方向形状は、断続的な直
線群または階段状となっている。そして、図５に示すよ
うに円周流羽根車の羽根間の溝底面の円周方向形状は複
数の円弧で形成されている。さらに、図６に示すように
円周流羽根車の羽根の心板側内径部を弧状に形成してい
る。このように円周流羽根車の形状を構成することによ
り、円周流羽根車の加工を数値制御加工機を用いて行な
うことが可能となる。

【００１６】これにより、円周流羽根車の寸法精度が向
上し、性能のばらつきが小さくなる。さらに、円周流ポ
ンプと遠心ポンプとを一体化できるので組立の作業性も
向上する。また、鋳物に比べ機械加工で製作したロータ
の方が鋳造欠陥等に起因するアンバランス量が少なく、
バランス調整作業を短縮できる利点もある。また円周流
羽根車の反心板側の羽根端部は図５に示すように回転方
向（矢印で示す）に傾斜させることにより圧縮比を１０
％〜３０％向上することができる。

【００１７】なお、上記実施例では羽根間の溝底面の半
径方向形状を直線群または階段状に、周方向形状を複数
の円弧で、さらに心板側内径部を弧状に形成したが、こ
れらは全てを満足する必要はなく、機械加工が可能とな
る形状であれば、そのいずれかの構成であっても良い。

【００１８】また、本実施例ではエンドミルを用いた加
工を前提としているが、エンドミル以外の工具によって
も同様の加工ができるのであれば本発明に含まれる。

【００１９】図７に、図１に示したステータ２の一実施
例を示す。本実施例では、円周流ポンプ段は８段のポン
プからなり、その上から１〜６段の内径が同径であり、
また７及び８段の内径が同径となっている。そして、ス
テータの段間に形成される段間壁１８の羽根車に対向す
る部分は平板状になっている。段間壁１８を平板形状に
することにより、鋳造時に鋳型を容易に取り外すことが
でき、素材の製作方法を従来の精密鋳造方式から普通鋳
造方式とすることにより、材料費を１／１０程度に低減
できる。なお、図８に示すように、ステータ２の段間壁
１８の一部には、円周流羽根車の周方向羽根ピッチ以
上、すなわち、羽根が２枚以上入る長さをもった堰止め
部１７を設け、各段で圧縮された気体が、ポンプの中で
再循環したり、内部漏れを生ずること無く、次段へ流入
するようになっている。そして、堰止め部１７の周方向
位置を図７に示すように上流側から下流側へ順次ずらし
た構造になっており、これによりスラスト力の周方向分
布の均一化とステータ２の軸方向寸法の低減が可能にな
る。

【００２０】図９に、本発明の給油系統の一実施例を示
す。本実施例において、潤滑油は軸受の潤滑・冷却とい
う機能と、ポンプ本体及びモータの冷却という２つを機
能を有し、そのため、流路系統が２系統形成されてい
る。まず、軸受への潤滑・冷却系統について説明する。
オイルポンプ２０によりモータケーシング１０に供給さ
れた油は、モータケーシングの側部に設けたオイルフィ
ルタ２１収容部に収容されたオイルフィルタ２１により
ろ過され、モータケーシング内で分岐され、一方はモー
タケーシング１０に設けた連通路２２を通って上軸受７
ａに供給され、他方はモータケーシング１０に別途設け
た連通路２３を通って下軸受７ｂに供給される。各連通
路２２，２３の途中にはオイリフィス２２ａ，２３ａが
組込まれており、このオリフィスによって各軸受への給
油量が調整できる構造となっている。各軸受を潤滑及び
冷却した油は、モータケーシング内のシャフト近傍の空
間および軸受下部に形成された空間を下降し、モータケ
ーシング１０内のオイルタンク部２４に戻る。

【００２１】次に、モータ及びポンプ本体の冷却系統に
ついて説明する。オイルポンプ２０によりモータケーシ
ング１０に供給された油は、今度はオイルフィルタ２１
を通らず、モータケーシング内に設けた連通路２５を通
ってモータ冷却用の冷却ジャケット１１に供給され、モ
ータを冷却した後、通連路２６ａ、２６ｂを通ってステ
ータ２の冷却ジャケット９に供給される。ポンプ段を冷
却した油は連通路２７ａ、２７ｂを通ってモータケーシ
ング内のオイルタンク部２４に戻る。オイルタンク部に
戻ってきた油は図示していないオイルクーラによって温
度コントロールされ、オイルポンプ２０によって、再び
モータケーシング１０に供給され、以後この循環を繰り
返す。

【００２２】上記潤滑油での冷却状態を更に詳しく説明
するために、図１０及び図１１にステータ２に形成した
冷却ジャケット９の一実施例を示す。ステータ２は冷却
ジャケット部では略矩形に形成され、その矩形の角部と
ステータ段間壁よりやや外径のステータ壁面で形成され
た部分を利用して冷却ジャケット９を構成する。この空
間の出口部２８にパッキン等を介して、ジャケットカバ
ー２８ａ、２８ｂをねじ止めする構造となっている。ス
テータ２は半割れ構造であり、両ジャケット（半割れ
部）間を連通する穴２９を両ジャケットに設けている。
これにより、一方のジャケットに連通路２６ｂから供給
された油が、もう一方のジャケットに流入できる構造と
なっている。連通路２６ｂ、２７ａはステータ２の外周
に設けたリブ内に具備されている。これにより、外部配
管を省くことができ、作業性の向上と運搬および稼働中
での配管不良を防止できる。◆図１２および図１３に、
モータケーシングの冷却ジャケット１１及び各連通路の
一実施例を示す。モータケーシングの外周側には、連通
路用にリブ４１、４２、４３が形成されており、この内
部には連通路２２、２６ｂ、２７ｂが形成されている。
このモータケーシングの冷却ジャケットもステータの場
合と同様に外部配管を省くことができ、作業性が向上す
る。

【００２３】図１４に本発明の他の実施例を示す。外ケ
ース３０は、ステータ２及び吸込ケーシング５の外周を
覆う円筒形状をしており、ステータの外周に配設したＯ
リング３１で上部を支持し、下端側をフランジ状に折り
曲げ、その折曲げた部分をボルトで固定している。この
構造により外ケース３０が着脱自在となり作業性が向上
する。又、軸受ホルダ３２と半割れのホルダスペーサ３
３を別部品とした。これにより、ロータ１とステータ２
のギャップ調整作業において必要なカラー３４の長さの
調整において、従来必要であったロータ１のシャフト３
からの取り外し作業が不要となった。そして、上記ギャ
ップ調整はホルダスペーサ３３の厚みを調整するだけで
よく、ロータ１とシャフト３の分解および再組立が不要
となり、ポンプ１台につき６時間程度の組立時間の短縮
が図れた。

【００２４】図１５は、本発明のドライ真空ポンプを搭
載した装置の一実施例であり、ポンプ本体３５、ポンプ
用制御装置３６及びその他補機関係機器を架台３７に取
付け、カバー３８で覆いパッケージ化してある。パッケ
ージ化することにより、ユーザがポンプ本体３５とポン
プ用制御装置３６間の配線作業をしなくて済む。また、
電源、給排水、および軸封ガスのユーティリティを接続
するだけで、すぐにポンプを起動することができる。

【００２５】図１６および図１７は本発明のドライ真空
ポンプの変形例を示したもので、排気ようりょうを変化
させる場合である。排気容量を小さくする時には一体形
に形成した遠心ポンプ段と円周流ポンプ段との上部に付
加した遠心ポンプ段を取外し、排気容量を大きくする時
には一体形に形成した遠心ポンプ段の上部にさらに取外
し自在の遠心ポンプ段を追加し、この遠心ポンプ段のス
テータまたはステータの上部に吸込みケーシング５を取
り付けるようになっている。これにより、遠心ポンプ段
の段数を増減するだけでその他の部分は変更することな
く排気容量を1000ｌ/minから9000ｌ/minまで変化させる
ことが可能となり、部品の共通化が図れ、素材費、組立
費の低減が図れる。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、円周流ポンプ段と遠心
ポンプ段の少なくとも一段を一体化したので、寸法管理
が容易になるとともに、性能のバラツキや性能の向上が
可能となった。◆また、外部配管を大幅に削減できたこ
とにより組立に要する時間を従来の約半分に削減すると
ともに、運搬稼働時の配管系の信頼性を向上することが
できる。◆さらに、ステータの製作方法を従来の精密鋳
造方式から普通鋳造方式を可能にしたことにより、ステ
ータの製作コストを従来の約１／１０と大幅にコストダ
ウンが可能となる。

【００２７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の縦断面図。

【図２】図１に示した実施例の横断面図。

【図３】本発明の一実施例の円周流羽根車の縦断面詳細
図。

【図４】本発明の一実施例の円周流羽根車の縦断面詳細
図。

【図５】図３および図４に示した実施例の外周からの視
図。

【図６】円周流羽根車の正面図。

【図７】本発明の一実施例のステータの正面図。

【図８】本発明の一実施例のステータ堰止め部の外周か
らの視図。

【図９】本発明の一実施例の潤滑油系統を示す縦断面
図。

【図１０】本発明の一実施例のステータの横断面図。

【図１１】本発明の一実施例のステータの側面図。

【図１２】本発明の一実施例のモータケーシングの横断
面図。

【図１３】本発明の一実施例のモータケーシングの横断
面図。

【図１４】本発明の他の実施例の縦断面図。

【図１５】本発明の一実施例のドライターボ真空ポンプ
を搭載したパッケージ型真空排気装置の縦断面図。

【図１６】本発明の他の実施例の縦断面図。

【図１７】本発明のさらに他の実施例の縦断面図。

【符号の説明】

１…ロータ、２…ステータ、３…シャフト、４ａ…遠心
ポンプ、４ｂ…円周流ポンプ、５…吸込みケーシング、
６…給気口、７ａ、７ｂ…軸受、８ａ…モータロータ、
８ｂ…モータステータ、９…冷却ジャケット、１０…モ
ータケーシング、１１…冷却ジャケット、１２…排気
口、１４…円周流羽根車、１７…堰止め部、１８…段間
壁、２０…オイルポンプ、２１…オイルフィルタ、２
２、２３…連通路、２４…オイルタンク部、２５…連通
路、２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ…連通路、３２…
軸受ホルダ、３３…ホルダスペーサ、３５…ポンプ本
体。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者菊地勝昭茨城県土浦市神立町603番地株式会社日立製作所土浦工場内 (72)発明者長岡隆司茨城県土浦市神立町502番地株式会社日立製作所機械研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吸気口及び排気口を有するハウジングと、
該ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、該回
転軸に支持された多段の円周流羽根車と、前記ハウジン
グ内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを形
成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気口側
に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した気体
を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポンプに
おいて、前記多段円周流ポンプと前記遠心ポンプの少なくとも１
段を一体に形成したことを特徴とするドライターボ真空
ポンプ。
【請求項２】前記円周流羽根車は心板と該心板に間隔を
おいて配置された複数枚の羽根とからなり、この羽根間
の溝底面の半径方向断面形状を階段状又は断続的な直線
群で形成したことを特徴とする請求項１記載のドライタ
ーボ真空ポンプ。
【請求項３】前記円周流羽根車は心板と該心板に間隔を
おいて配置された複数枚の羽根とからなり、この羽根間
の溝底面の円周方向断面形状を複数の円弧で形成したこ
とを特徴とする請求項１記載のドライターボ真空ポン
プ。
【請求項４】前記円周流羽根車は心板と該心板に間隔を
おいて配置された複数枚の羽根とからなり、反心板側の
羽根先端部を円周方向に傾斜させたことを特徴とする請
求項１記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項５】前記円周流羽根車は心板と該心板に間隔を
おいて配置された複数枚の羽根とからなり、該羽根の心
板側内径部を弧状に形成したことを特徴とする請求項１
記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項６】前記円周流羽根車の羽根と心板とを、数値
制御加工機により一体的に形成したことを特徴とする請
求項２ないし５のいずれか１項に記載のドライターボ真
空ポンプ。
【請求項７】吸気口及び排気口を有するハウジングと、
該ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、該回
転軸に支持された多段の円周流羽根車と、上記ハウジン
グ内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを形
成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気口側
に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した気体
を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポンプに
おいて、前記多段の円周流ポンプ段の少なくとも隣合う２段のス
テータ部分の内径が実質的に同じであり、このステータ
に設けられた各段を仕切る段間壁の羽根車に対向する部
分を平板状としたことを特徴とするドライターボ真空ポ
ンプ。
【請求項８】前記ステータは普通鋳造法で作成したこと
を特徴とする請求項７記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項９】前記円周流羽根車は心板と複数の羽根とか
らなり、前記ステータの段間壁に前記２枚の羽根ピッチ
以上の周方向長さを有する堰止め部を設けたことを特徴
とする請求項７記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項１０】前記段間壁に設けた堰き止め部は、上流
の段間壁から下流の段間壁へ周方向位置を順次変化させ
たことを特徴とする請求項７記載のドライターボ真空ポ
ンプ。
【請求項１１】吸気口及び排気口を有するハウジング
と、該ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、
該回転軸に支持された多段の円周流羽根車と、上記ハウ
ジング内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプ
を形成するステータとを有し、この円周流ポンプの吸気
口側に遠心ポンプが配設され、前記吸気口から吸入した
気体を排気口から大気に排気するドライターボ真空ポン
プにおいて、前記ステータを半割れ構造とし、各々の半割れ部に冷却
ジャケット部を設け、各半割れ部のジャケット部間を連
通する連通路を各半割れ部に形成したことを特徴とする
ドライターボ真空ポンプ。
【請求項１２】前記ステータの外周部に凹部を設け、前
記ジャケットは該凹部を形成したステータとこの凹部を
着脱自在に覆う部材とから形成したことを特徴とする請
求項１１記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項１３】吸気口と排気口を備えたハウジングと、
該ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、該回
転軸に支持された多段の円周流羽根車と、前記ハウジン
グ内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを形
成するステータと、この多段の円周流ポンプを駆動する
モータロータ及びモータステータとを有するモータと、
このモータステータを収容するモータケーシングとを備
えたドライターボ真空ポンプにおいて、前記多段円周流ポンプと前記遠心ポンプの少なくとも１
段を一体に形成し、前記モータケーシングの外周側にフ
ィルタを、前記モータケーシング内に油溜め部をそれぞ
れ設け、該油溜め部と前記フィルタとを連通する連通路
をモータケーシングに設けたことを特徴とするドライタ
ーボ真空ポンプ。
【請求項１４】前記モータケーシングの外周部にリブを
設け、このリブに前記油溜め部に連通する第２の連通路
を設けたことを特徴とする請求項１３に記載のドライタ
ーボ真空ポンプ。
【請求項１５】前記ステータの外周部にステータリブを
設け、このステータリブに前記油溜め部に連通する第３
の連通路を設けたことを特徴とする請求項１４に記載の
ドライターボ真空ポンプ。
【請求項１６】吸気口と排気口を備えたハウジングと、
該ハウジング内に回転自在に支持された回転軸と、該回
転軸に支持された多段の円周流羽根車と、上記ハウジン
グ内に該円周流羽根車とともに多段の円周流ポンプを形
成するステータと、この多段の円周流ポンプを駆動する
モータロータ及びモータステータとを有するモータと、
このモータステータを収容するモータケーシングとを備
えたドライターボ真空ポンプにおいて、前記モータケーシング内に油溜め部を、前記ステータの
外周側に冷却ジャケットを、前記モータケーシングの外
周側にモータ冷却ジャケットを、それぞれ設け、前記油
溜め部と前記モータ冷却ジャケットとを前記冷却ジャケ
ットと順次連通し油循環路を形成したことを特徴とする
ドライターボ真空ポンプ。
【請求項１７】前記リブに設けた第２および第３の連通
路ならびに前記油溜め部の少なくともいずれかに連通す
る冷却油溜りを前記モータケーシングの外周側に設け、
該冷却油溜りにオイルフィルタを内臓したことを特徴と
する請求項１５に記載のドライターボ真空ポンプ。
【請求項１８】前記ステータの外周側に、該ステータを
覆う筒状カバーを設け、該カバーはステータの外周に配
設したＯリングと、該カバーの一端部に形成したフラン
ジ部を固定する固定部品とで前記ステータに着脱自在で
あることを特徴とする請求項１３に記載のドライターボ
真空ポンプ。
【請求項１９】前記多段の円周流羽根車の上流側に遠心
ポンプ段を着脱自在に設けることにより容量可変とした
ことを特徴とする請求項１記載のドライターボ真空ポン
プ。
【請求項２０】吸気口及び排気口を有するハウジング
と、該ハウジング内に２個の軸受により回転自在に支持
された回転軸と、該回転軸に支持された多段の円周流羽
根車と、前記ハウジング内に該円周流羽根車とともに多
段の円周流ポンプを形成するステータとを有し、この円
周流ポンプの吸気口側に遠心ポンプが配設され、前記吸
気口から吸入した気体を排気口から大気に排気するドラ
イターボ真空ポンプにおいて、前記多段円周流ポンプと前記遠心ポンプの少なくとも１
段を一体に形成し、前記軸受は回転軸の上下方向に配置
され、上部軸受を保持するホルダと前記ステータ間にス
ペーサを設けたことを特徴とするドライターボ真空ポン
プ。