KR960007301B1

KR960007301B1 - 필름점착방법 및 장치

Info

Publication number: KR960007301B1
Application number: KR1019920020911A
Authority: KR
Inventors: 요지 와시자끼; 히로요시 나가노
Original assignee: 소마루 가부시기가이샤; 요꼬데 겐쇼
Priority date: 1991-12-13
Filing date: 1992-11-09
Publication date: 1996-05-30
Also published as: EP0547327B1; JPH05162212A; KR930012255A; EP0547327A1; US5356501A; JPH0737071B2; DE69230396D1; SG49143A1; DE69230396T2

Abstract

내용 없음.

Description

필름점착방법 및 장치.

제1도는 본 발명의 실시예인 점착 장치의 개략도.

제2도는 기판반송경로의 주변 및 본 장치의 상반부의 측면도.

제3도는 기판반송방향에서 보았을때 본 장치의 우측 요부의 정면도.

제4도는 기판반송방향에서 보았을때 본 장치의 좌측 요부의 정면도.

제5도는 본 장치의 평면도.

제6도는 주진공흡착판(필름공급부재), 부착부재 및 필름공급부채용 구동장치를 포함하는 본 장치의 요부사시도.

제7도는 흡착판에 의해 기판에 임시 접착되는 필름을 도시하기 위한 본 장치의 측면도.

제8도는 압착롤러에 의해 기판에 완전히 점착되는 필름을 도시하기 위한 본 장치의 측면도.

제9도는 주진공흡착판의 변형예의 사시도.

제10도는 전기신호의 입출력을 도시하기 위한 본 장치의 제어시스템의 블록도.

제11도는 본 장치의 동작을 도시하기 위한 필름의 압착과정의 플로우챠트.

제12도는 종래의 필름점착장치의 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1B : 2층 적층체 필름 2 : 공급롤러

3 : 필름분리롤러 6 : 기판

20 : 기판반입부 22 : 기판반출부

24 : 적층체 필름 축적부 26 : 임시 점착부

28 : 압착롤러 30 : 압착부

38 : 구동롤러 40 : 아이들롤러

42 : 폭위치결정기 46 : 기판누름롤러

54 : 인장롤러 56 : 흡착판

60 : 필름지지부재 62 : 커터

64 : 지지롤러 66 : 부착부재

76 : 진공흡착바 78 : 압착롤러용 와이핑롤러

80 : 기판용 아이핑롤러 82 : 공기실린더

본 발명은 필름점착방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 기판이 반송되는 경우에 기판의 상하측에 대향하고 있는 제1 및 제2 필름공급부재가 필름의 선단부를 흡인하여 필름점착위치로 반송되는 기판의 상하측의 선단부쪽으로 이동되어 기판의 선단부에 필름의 선단부를 임시 점착시키는 필름점착방법 및 장치에 관한 것이다. 이후, 필름은 입찰롤러에 의한 압력으로 기판에 완전히 점착되며 기판측에 완전히 점착된 각각의 필름은 기판의 길이에 상응하는 길이를 갖는다.

일반적으로, 컴퓨터와 같은 전자기기의 인쇄회로기판은 전기절연기판의 일측 또는 양측에 소정패턴으로 구리 등으로 만들어진 배선을 갖는다. 인쇄회로기판의 제조에 있어서, 제일 먼저, 포토레지스트층인 감광성 수지층 및 층보호용 보호필름인 투광성 수지필름으로 이루어진 적층체 필름이 기판상에 제공되어 있는 동박막인 도전층에 가열가압으로 점착된다. 가열가압점착동작은 필름점착장치에 의한 양산공정에 의해 수행된다. 이후, 배선패턴 필름이 적층체 필름상에 입혀진다. 그러면, 감광성 수지층의 소정시간 동안 배선패턴 필름 및 투광성 수지필름을 통해 빛에 노출된다.

이후, 투광성 수지필름이 박리장치에 의해 가판으로부터 박리되며, 빛에 노출된 감광성 수지층은 에칭 마스크 패턴을 할 수 있도록 전개된다. 도전층의 불필요한 부분은 에칭에 의해 제거되고 감광성 수지층의 나머지 부분은 제거되므로써 소정 패턴의 배선을 갖는 인쇄회로기판이 제조된다. 이러한 필름점착장치에 대하여, 일본특허출원(OPI) 제2083037/88호 및 제7344/91호에 개시된 것을 포함하는 여거라지 시스템이 제안되어 있다("OPI"는 미심사 출원공고를 의미함).

제12도는 그 구조 및 동작을 도시하는 종래 필름점착장치의 측면도이다. 상기 장치가 전기절연기판의 반송경로에 대하여 상,하부가 거의 대칭이기 때문에, 장치의 상반부만이 제12도에 도시되어 있다.

상기 장치에 있어서, 투광성 수지필름, 감광성 수지층 및 제2투광성 수지필름으로 이루어진 3층 적층제필름(1)이 공급롤러(2)로부터 풀려지면 필름분리롤러(3)가 필름을 투광성 수지필름(1A) 및 기판에 점착되며 제2 투광성 수지필름 및 그 일측에 노출된 감광성 수지층으로 이루어진 적층체 필름(1B)으로 분리한다.

분리된 적층제 필름(1B)은 인장롤러(9)를 따라 주진공흡착판(5)의 (필름 공급 주재)의 표면으로 공급된다. 보조 진공흡착판(13) 및 커터(14)는 필름 공급 방향에 대하여 주진공흡착판(5)의 하류측의 필름공급로에 제공되어 있다.

진공흡착부(15) 및 압착롤러(16)는 커터(14)의 하류측의 필름공급로에 제공되어 있다. 주진공흡착판(5)은 진공흡착으로 흡착판상에 필름을 임시 점착시킨다.

흡착판(5)은 상방 및 하방으로 이동가능한 지지부재에 의해 지지되어 있다. 지지부재(7)는 기판에 대해 B방향으로 상하이동될 수 있으며 장치의 본체프레임(9)에 가이드부재로 부착되어 가이드부재상을 활주하면서 B방향으로 이동될 수 있다. 이러한 한쌍의 지지부재(7)는 기판반송경로의 상하측에 제공되어 있으며 제1 구동부(제12도에서는 도시하지 않음)에 의해 래크-피니언 기구를 통해 서로 접합되어서 상하이동된다. 상기 기구는 지지부재(7)상에 제공된 래크(7A) 및 장치의 본체프레임(9)에 의해 지지되며 래크와 결합하는 피니언(7B)을 포함한다.

주진공흡착판(5)은 지지부재(7)에 의해 지지되며 지지부재(12)상에 제공된 래크-피니언 기구를 통해 공기실린더 등의 제2구동부에 의해 지지부재의 이동에 관계없이 기판에 C방향으로 상하이동된다. 상기 기구는 지지부재(7)에 고정된 제1 래크(12A), 래크와 결합하여 구동부(11)에 의해 래크를 따라 상하이동되는 피니언(12B) 및 피니언과 결합하여 제 1 래크와 평행하게 상하이동되는 제 2 래크(12C)를 포함한다. 흡착판(5)은 히터(5B)가 제공되어 있는 임시 점착 하류측 단부(5A)를 갖는다.

흡착판(5)으로 필름(1B)을 기판(6)에 임시 점착하기 위하여, 단부(5A)가 기판의 주변으로 이동되거나 또는 필름이 단부상에 감겨져서 남아있는 경우 기판과 접촉하게 된다. 그때, 단부(5A)가 히터(5B)로 가열되고 기판(6)에 필름(1B)의 선단부가 임시 점착된다.

보조진공흡착판(13)은 주진공흡착판(5)의 단부(5A)상의 에지에 있는 필름을 보호지지하기 위해 필름(1B)의 선단부를 흡인하여 필름을 기판(6)에 임시 점착시킨다. 따라서, 흡착판(13)은 지지부재(7)상에 고착되어 있는 공기실린더와 같은 구동부(12A)에 의해 필름(1B)의 공급로에 대하여 D방향으로 좌우이동된다.

커터(14)는 필름(1B)의 공급로를 가로질러 흡착판(13)에 대향되어 있으며 기판(6)의 길이에 상응하는 길이로 필름(1B)을 절단한다.

또한, 한쌍의 압착룰러(16)가 기판반송경로의 상하측에 제공되어 있다. 기판(6)에 임시 정착된 상, 하부필름(1B)은 압착롤러(16)에 의해 소정압력으로 그 사이에 끼워지며 롤러(16)에 의해 가열되어 기판에 완전히 점착된다.

종래의 필름점착장치의 주진공흡착판(5)을 이동시키기 위해서는 지지부재(7)가 이동되어야 할 뿐만 아니라 지지부재상에 제공되어 있는 래크-피니언 기구와 제 2 구동부(11)도 지지부재와 함꼐 이동되어야 한다. 그러므로, 지지부재(7)에 대한 제 1 구동부상에 하중이 커져서 주진공흡착판이 신속히 이동되지 않는다. 이것은 장치의 신속한 동작을 방해하며 그 처리용량을 제한한다. 이것이 문제다.

또한, 지지부재(7) 및 제 1 구동부 뿐만 아니라 제 2 구동부 및 래크-피니언 기구와 같은 여러가지 장치들이 흡착판(5)을이동하기 위해 제공되어야만 하므로, 장치의 구조가 복잡하다. 이것도 또한 문제다.

또, 상,하부 흡착판(5)은 서로에 관계없이 항상 공기실린더에 의해 이동된다. 따라서, 실린더에 동일한 압력을 갖는 공기가 공급될때, 중력에 기인한 상,하부 흡착판(5) 상에 하방력이 작용하여 흡착판이 동기속도로 작동하기가 어려워지며, 상부 흡착판의 임시 압착력은 하부 흡착판보다 더 강하게 된다.

이 문제를 방지하기 위하여, 상, 하부 공기실린더용 공기압력을 조성하여 상,하부 흡착판(5)을 동기속도로 동작시킨다. 그러나, 이러한 방법으로 압력을 정확하게 조정하기는 어렵다. 또한, 이 문제는 흡착판의 상향이동하는 동안에 스토퍼등으로 소정위치에서 하루 흡착판을 정지시킴으로써 방지될 수 있으며, 흡착판용 실린더내의 공기압력은 어느정도 증가하게 된다. 그러나, 하부 흡착판의 임시 압착력이 상승하여 상하부 흡착판의 구동력이 같아지기가 어렵게 된다.

본 발명은 종래 시스템의 상기한 문제들을 해결하기 위해 설계되었다. 따라서, 본 발명의 목적은 필름점착방법 및 장치를 제공하는 것이다. 본 발명에 따른 방법 및 장치에 있어서, 필름공급부재가 서로 이동가능하게 고정되어 있는 부재들은 무게가 감소하고 동작을 신속히 하며 점착용량이 증가하는 간단한 구조를 가지며, 기판의 상하부측에 대하여 필름공급부재를 동시에 동기속도로 함께 동작시키는 것이 보장되며, 기판의 양측에 대한 공급부재의 임시 압착력이 같게 된다.

필름점착방법에 있어서는, 기판이 반송되고 기판의 상하부측에 대항하도록 제공되어 있는 제1 및 제2필름공급부재가 공급부재상에 필름의 선단부를 흡인하여 필름점착위치로 반송되는 기판의 상하부측의 선단부쪽으로 이동되어 선단부에서 기판의 상하측에 필음의 선단부가 임시 점착된다. 이후, 압착롤러에 의한 압력으로 필름이 기판에 완전히 점착되며 상하측에 완전히 점착된 각각의 필름은 기판의 길이에 상응하는 길이를 갖는다.

상기 방법은 다음과 같다. 먼저, 필름점착장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지된 제1 및 제2부착부재에 제1 및 제 2 필름공급부재를 고정시키고, 모터를 제공하여 래크-피니언 기구로 부착부재를 구동시키고, 구동실린더를 제공하여 부착부재를 동시에 구동시키며, 모터에 의해 공급부재를 기판쪽으로 이동시켜 공급부재가 기판으로부터 소정거리에 위치되게 하고, 실린더에 의해 공급부재를 소정위치에서 기판쪽으로 이동시켜 필름이 각각 기판의 상하측에 임시 점착되게 하여, 임시 점착동작후에 실린더에 의해 기판으로부터 공급부재를 후퇴시킨다. 이 방법은 전술한 종래 시스템의 문제를 해결한다.

본 발명에 따른 필름점착장치는 기판을 반송하기 위한 장치와, 필름점착위치로 반송되는 기판의 상하측의 선단부쪽으로 이동가능하여 필름의 선단부가 그 선단부에서 기판측에 임시 점착되게 하는 제1 및 제 2 필름공급부재 및 필름을 임시 점착한후에 압력으로 기판측에 필름을 완전히 점착시켜 그 필름이 기판의 길이에 상응하는 길이를 갖도록 하는 압착롤러를 포함한다.

본 장치는, 본 장치의 프레임에 의해 활주가능하게 지지되어 있으며, 제1 및 제 2 필름공급부재가 기판쪽으로 상하이동가능하게 고정되어 있는 제1 및 제 2 부착부재와, 부착부재에 동력을 동시에 인가하여 공급부재를 동시에 이동시키기 위한 구동실린더와, 부착부재에 부착된 제1 및 제 2 래크와, 래크와 결합하는 피니언을 포함하며, 부착부재를 동시에 동기속도로 이동시키기 위한 기구 및, 피니언을 구동하여 공급부재를 이동시키기 위한 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이 구조는 전술한 종래 시스템의 문제를 해결한다.

구동실린더는 필림의 폭방향을 따라 연장한 제1 및 제 2 필름공급부재의 양단에 한쌍으로 제공될 수 있다. 고무편은 필름의 폭방향을 따라 연장한 제1 및 제 2 필름공급부재의 필름점착측상에 제공될 수 있다. 지지롤러는 제1 및 제 2 필름공급부재의 필름점착측상의 필름공급경로와 동일한 면에 놓여있는 압착롤러 및 커터사이의 필름공급경로상에 제공될 수 있다.

본 발명에 따라 제공된 필름점착방법에 있어서, 제1 및 제 2 필름공급부재는 필름점착장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지된 제1 및 제 2 부착부재에 고정되어 있으며, 부착부재는 모터에 의해 래크-피니언 기구로 구동되어 필름공급부재를 기판쪽으로 이동시켜 기판으로부터 소정거리에 놓이게 한다. 그리고나서, 부착부재는 구동실린더에 의해 동시에 구동되어 그 위치로부터 기판쪽으로 공급부재를 이동시켜 필름을 기판에 임시 점착시킨다. 부착부재가 래크-피니언 기구를 통해 모터로 구동되기 때문에, 필름공급부재는 정확하게 놓여진다.

만약 필름공급부재가 모터에 의해 이동되어 필름이 기판에 임시 점착된다면, 공급부재는 정확하게 놓여지지만, 모터는 과부하를 받아서 수명이 짧게 될 것이다. 또 기판이 상술한 바와같이 제 2 모터로 필름공급부재를 이동시키는 것에 의해 임시 점착동작을 수행할때 소정위치에 있지 않다면, 상호 평등한 힘으로 기판의 상하측에 필름을 임시 점착시키기가 어려울 것이다.

한편, 임시 점착하기 위해 구동실린더를 사용함으로써 모터과부하의 문제를 피할 수 있다. 또한, 실린더가 공기와 같은 유체압력으로 구동되기 때문에, 필름은 기판이 소정위치에 있지않다 할지라도 상호 평등한 힘으로 기판의 상하측에 임시 점착된다.

임시 점착동작이 완료된 후에, 제1 및 제 2 공급부재는 구동실린더에 의해 기판으로부터 후퇴된다. 비교적 큰 동력이 실린더에 의해 필름공급부재에 인가될 수 있기 때문에, 공급부재는 제 2 모터에 의한 것보다 더 빨리 실린더에 의해 기판으로부터 후퇴될 수 있다.

본 발명의 필름점착장치에 있어서, 제1 및 제 2 필름공급부재는 장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지되는 제1 및 제 2 부착부재에 고정되어 있으며, 부착부재는 실린더에 의해 구동되어 필름공급부재를 동시에 이동시키고 필름을 기판의 상하측에 임시 점착시킨다.

필름공급부재가 부착부재의 구동에 의해 간단하게 임시 점착하기 위하여 이렇게 이동되기 때문에, 종래 시스템과 같이 필름공급부재를 이동시키기 위한 지지부재나 또는 지지부재상에 필름공급부재를 이동하기 위한 구동부가 제공될 필요가 없다. 그러므로, 부착부재의 무게는 그 이동을 빨리하고 장치의 필름 점착 용량을 증가시키기 위해 감소될 수 있으며, 그 구조는 더 간단하게 만들어질 수 있다. 기판의 상하측에서 제공된 제1 및 제 2 부착부재가 실린더에 의해 동시에 구동되고 부착부재상에 제공되어 있는 래크가 피니언과 결합하여 모터로 피니언을 구동시킴으로써 부착부재가 동시에 동기속도로 이동되기 때문에, 제1 및 제 2 필름공급부재는 실린더나 모터에 의해 동시에 동기속도로 이동될 수 있다.

그러므로, 제1 및 제 2 필름공급부재에 대한 각 실린더의 유체압력이 조정될 필요가 없으나, 기판의 상하측에 필름을 임시 점착하는 필름 부세력은 동일하게 할 수 있다. 구동실린더는 필름의 폭방향을 따라 연장한 제1 및 제 2 필름공급부재의 양단에 쌍으로 제공되어 있다. 이것은 각 필름공급부재에 대한 동력 및 부세력이 필름폭을 따라 불균일하게 되는 것을 방지한다.

또한, 고무편은 각 필름공급부재의 필름흡착면측에 제공되어서 필름공급부재가 필름을 확실하게 흡인하여 지지할 수 있도록 필름 및 각 고무편에 높은 마찰력을 인가한다. 지지롤러는 제1 및 제 2 필름공급부재의 필름흡착면측상의 필름공급경로와 동일한 면에 놓여있는 압착롤러 및 커터 사이의 필름공급경로상에 제공되어 있다. 이것은 커터에 의해 필름이 절단된 후에, 압착롤러의 외경에 관계없이 필름보호지지부재의 면이나 커터면이 마찰되지 않고 필름을 압착롤러로 정확하게 안내할 것이다.

후술되는 본 발명의 일실시예는 각각 전기절연기판(6)에 상응하는 길이를 갖는 적층체 필름(1B)이 본 발명의 다른 실시예인 필름점착장치에 의해 기판의 측면에 인가되는 필름점착방법이다.

제 1 도 및 제 2 도에 도시한 바와 같이, 점착장치는 임시 점착위치 및 완전 압착위치로 기판(6)을 반송하기 위한 기판반입부(20)와, 점착위치로부터 가열가압되어 완전히 점착된 필름(1B)와 함께 기판을 반송하기 위한 기판반출부(22)와, 투광성 수지필름, 감광성 수지층 및 제 2 투광성 수지필름으로 각각 이루어지는 3층적층제 필름(1)을 축적하며, 기판(6)에 점착될 그의 일측면에 노출된 투광성 수지필름 및 감광성 수지층으로 각각 이루어지는 필름(1B)을 공급하는 적층체 필름 축적부(24)와, 기판(6)의 측면에 필름(1B)의 선단부를 임시 점착하기 위한 임시 점착부(26) 및 기판의 측면에 임시 점착된 2층 적층체 필름(1B)을 압착롤러(28)에 의한 가열가압으로 완전히 점착시키는 압착부(30)를 포함한다.

각각의 적층체 필름 축적부(24)에 있어서는, 3층 적층체 필름(1)이 사전에 공급롤러(2)상에 연속적으로 감겨져서 필름이 축적되어 있다. 필름(1)은 가이드롤러(32)를 따라 공급롤러(2)로부터 필름분리롤러(3)로 풀려지고 분리롤러(3)는 보호용 필름인 제 1 투광성 필름(1A)과, 제 2 투광성 수지필름 및 그 일측상에 노출되어 기판에 점착된 감광성 수지층으로 이루어진 2층 적층세 필름(1B)으로 필름을 분리한다. 분리된 필름((1A)은 가이드롤러(34) 및 3층 적층체 필름(1)을 따라 와인딩 롤러(4)상에 감겨진다. 공급롤러(2)상에 감겨진 필름(1)의 직경이 소정치보다 큰 것을 검출하기 위한 필름와인딩 대경센서(36A) 및 직경이 소정치보다 작은 것을 검출하기 위한 필름와인딩 소경센서(36B)는 롤러상에 감겨진 필름의 측면에 위치되어 있다.

기판반입부(20)에는 복수개의 구동롤러(38)가 그 반송하기 위한 기판(6)에 구동력을 인가하기 위하여 기판반입경로를 따라 적당한 간격으로 제공되어 있다. 동력은 롤러를 회전시키기 위해 모터와 같은 구동부에서 구동롤러(38)로 인가된다. 이이들로러(40)는 구동롤러(38)마다 대향하거나 또는 기판반송경로를 따라 적당하게 제공되어 있으며 아이들롤러 및 구동롤러는 기판을 사이에 끼워 기판에 구동력을 확실히 인가한다.

폭위치결정기(42)는 기판(6)의 폭을 위치결정하기 위해 기판반송경로를 따라 구동롤러(38) 사이에 적당하게 제공되어 있다. 기판누름롤러(46)는 압착부(30)의 상류단부 근방의 반송경로를 가로질러 최하류(기판반송방향에 대한 것임) 구동롤러(38)에 대향하여 제공되어 있으며, 공기실린더로 형성된 기판누름장치(44)에 의해 상하 이동될 수 있다.

기판누름롤러(46)가 기판누름장치(44)에 의해 하향이동되는 경우, 기판은 적층세 필름(1B)이 기판에 임시 및 완전 점착될때 기판이 상하로 움직이는 것을 방지하기 위하여 기판누름롤러(46) 및 상응하는 구동롤러(38) 사이에 끼워진다. 습동롤러(48)는 기포가 기판 및 기판에 완전 점착된 각각의 필름(1B) 사이에 발생되는 것을 방지하기 위해 물과 같은 기포발생방지액을 기판(6)에 도포하는 최하류 구동롤러(38)의 하류측에 제공되어 있다.

기판용 센서(S1, S2 및 S3)들은 기판반송경로에 인접하여 제공되어 있다. 상류측 센서(S1)는 기판반입부(20)로 이송되는 기판(6)의 선단부를 검출하는 폭위치결정 개시위치센서이며 폭위치결정기(42)를 작동시키기 위한 검출신호를 출력한다. 중간측 센서(S2)는 기판(6)의 후단부를 검출하기 위하여 센서(S1)의 하류에 제공되어 있는 기판 후단부 검출센서이다. 하류측 센서(S3)는 기판(6)의 선단부를 검출하기 위하여 압착부의 상류단부 근방에 제공되어 있는 기판선단부에 검출센서이다.

기판반출부(22)에 복수개의 구동롤러(50)가 기판을 반송하기 위하여 기판(6)에 구동력을 인가하기 위한 모터에 의해 회전가능하게 제공되어 있다. 아이들롤러(52)는 기판에 구동력을 확실하게 인가하기 위하여 아이들롤러 및 구동롤러 사이에 기판을 끼우도록 기판반송경로를 가로질러 적당히 구동롤러(50)에 대향하여 제공되어 있다. 기판통과센서(S4)는 기판의 통과를 검출하기 위하여 압착부(30)의 하류단부 근방의 기판반출부(22)내에 제공되어 있다.

각 필름(1B)은 필름이 흡착판으로 공급되면서 구겨지는 것들을 방지하기 위해 공급롤러(2) 및 흡착판(필름공급부재) 사이의 필름에 적당한 인장력을 인가하는 인장롤러(54)를 따라 축적부(24)에서 임시 점착부(26)로 이송된다. 정전기제거기(58)는 필름(1B)으로부터 정전기를 제거하기 위하여 인장롤러(54) 및 흡착판(56) 사이의 공급경로에 위치되어 있다. 필름지지부재(60), 커터(62) 및 지지롤러(64)는 흡착판(56) 및 압착부(30) 사이의 필름공급경로에 제공되어 있다. 흡착판(56)은 필름이 공급롤러(2)에서 이송될때 필름(1B)의 선단부를 흡인하여, 필름을 기판의 선단부에 임시 점착하기 위해 반송된 기판(6)의 선단부쪽으로 이동된다. 흡착판(56)은 부착부재(66)에 고정되어서 함께 이동할 수 있다. 상부 및 하부 흡착판(56)은 상부 및 하부 필름(1B)을 동시에 흡인하며 기판에 필름을 임시 점착하기 위해 기판쪽으로 동시에 이동된다. 흡착판(56) 및 부착부재(66)는 이후 상세하게 설명될 것이다.

필름지지부재(60)는 부압력에 의해 필름지지부재상에 필름(1B)의 선단부를 흡인하여 기판반송방향(A)을 따라 후방이동되며, 그것에 의해 필름은 흡착판(56)의 단부(56A)상에 흡인되어 감겨진다. 필름지지부재(60)는 상세하게 후술될 것이다.

커터(62)는 원통부재의 외주면으로부터 나선형으로 연장한 절단날을 갖는 회전형 절단부재(62A) 및 곧은 절단날을 갖는 고정형 절단부재(62B)를 갖는다. 고정형 절단부재(62B)를 가로질러 공급되는 필름(1B)은 회전형 절단부재(62A)가 기판(6)에 상응하는 소정길이로 필름을 절단하기 위해 고정형 절단부재에 접근하도록 회전될때 필름공급방향에 수직하게 커터(62)에 의해 절단된다.

필름(1B)을 필름공급방향에 수직하게 커터(62)로 절단하기 위하여, 회전형 및 고정형 절단부재(62A)의 각각의 일단은 필름을 공급하는 동안 필름공급방향을 따라 이동되어, 공급방향에 있어서 커터에 의한 절단점의 이동속도가 필름공급속도와 같아지게 된다.

지지롤러(64)는 커터(62)와 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공되어 있으며, 주진공흡착판(56)의 흡착측면상에서 필름공급경로와 동일한 면상에 놓여있다. 지지롤러(64)는 필름을 커터(62)로 절단한후에 필름이 구겨지지 않고 압착롤러(28)에 원활하게 공급되도록 안내한다.

필름지지부재(60)는 제12도에 도시한 보조진공흡착판과 같은 종래의 부재에 반하여, 부착부재(66)등에 부착되지 않는다. 그러므로, 그 본래의 위치에 있어서 필름지지부재(60) 및 흡착판(56) 사이의 거리가 비교적 커서, 흡착판에서 커터(62)로 연장하는 필름의 길이도 비교적 크다. 그 결과, 흡착판(56)의 단부(56A)는 필름을 흡인하기 위하여 기판반송방향을 따라 연장하게 형성되어 있다.

압착롤러(28)의 외경이 크다면, 그 접선은 주진공흡착판(56)상의 필름공급경로와 동일한 면상에 있으며, 없을 수도 있다. 그러나, 외경이 작다면, 접선은 흡착판(56)상의 필름공급경로에서 비교적 큰 거리에 있게 되어 필름(1B)이 커터(62)의 고정형 절단부재 절단부재(62B)와 접촉하면서 압착롤러(28)쪽으로 공급되어 구겨질 것이다. 그러므로, 지지롤러(64)는 필름이 고정형 절단부재(12B)와 접촉하는 것을 방지하기 위해 제공된다.

상부 및 하부 흡착판(56)이 고정되어 있는 상부 및 하부 부착부재(66)는 제 1 도에 도시한 바와같이 서로 유사하게 제공되어 있다. 래크(68)는 부착부재(66)상에 위치되어 있으며 가이드레일(72)상을 활주하면서 흡착판(56)과 함께 부착부재를 기판(6)쪽으로 이동시키기 위해 피니언(70)과 결합한다. 부착부재(66)는 이후 상세하게 설명될 것이다.

압착부(30)는 필름(1B)을 가열가압하여 기판(6)의 상부 및 하부측면에 완전히 점착하기 위한 압착롤러(28)와, 그것들을 전방 및 후방으로 이동하기 위해 압착롤러(28)를 지지하는 압착롤러 지지부재(74)와 바상에 필름을 흡인하면서 롤러주위로 회전가능한 진공흡착바(76)와, 압착롤러에서 기포발생방지액을 닦아내기 위한 압착롤러와이핑롤러(78)와, 필름을 기판에 완전히 점착한 후에 기판의 상부 및 하부측면으로부터 기포방지액을 닦아내기 위한 압착롤러와이핑롤러(78)와, 필름을 기판에 완저히 점착한 후에 기판의 상부 및 하부측면으로부터 기포방지액을 닦아내기 위한 기판와이핑롤러(80) 및, 필름을 기판에 완전히 점착한 후에 기판의 상부 및 하부측면으로부터 기포방지액을 닦아내기 위한 기판 와이핑롤러(80) 및 필름을 기판의 상부 및 하부 측면에 완전히 점착하기 위해 압착롤러(28)를 대칭 수직이동시키는 상부 및 하부 지지부재(74)를 진동시키기 위한 두개의 공기실린더(82)를 구비한다.

임시 점착부(26) 및 압착부(30)는 제 3 도 내지 제 8 도 를 참조하면서 이후 상세하게 설명될 것이다. 제1도, 제 3 도 및 제 4 도에 도시한 바와같이, 상부 및 하부 흡착판(56)은 기판반송경로에 대하여 대칭하게 제공되어 있다. 각 흡착판(56)의 표면측에는 기판의 길이방향으로(즉, 필름(1B)의 폭방향을 따라) 연장하는 다수개의 홈 및 공기펌프와 같은 공기흡인장치(도면에서는 도시하지 않음)와 연결되고 홈속에 적당한 간격으로 개구된 구멍이 있으며 흡착판에 접근하는 필름은 장치의 흡착력을 통해 흡착판에 흡인된다.

각 흡착판(56)은 아크형상의 필름흡착측면을 가지며 필름(1B)의 공급방향에 대하여 흡착판(56)의 하류단부에 위치한 단부(56A)를 포함한다. 단부(56A)는 흡착판(56)과 일체로 형성되거나 또는 흡착판(56)으로부터 분리되어 형성될 수도 있다. 히터(도면에 도시하지 않음)는 필름이 흡착판(56)에 의해 기판에 공급될때 그 선단부에 있는 필름을 가열가압하여 기판(6)상의 도전층에 임시 점착할 수 있도록 필름을 가열하기 위해 단부(56A)내에 제공되어 있다. 흡착판(56)의 표면측은 비교적 매끄러운 재료로 만들어진다. 천연고무, 합성고무 등으로 만들어진 고무스트립(56B)은, 제 9 도에 도시한 바와같이, 흡착판의 길이방향으로 또는 필름 폭방향을 따라 연장하도록 흡착판(56)의 표면측에 고정될 수도 있으며, 그것에 의해 표면측의 마찰계수가 증가한다. 고무스트립(56B)이 흡착판(56)의 표면측에 고정된다면, 필름(1B)은 그것에 확실하게 지지될 수 있으며 이탈하지 않고 공급될 수 있다.

흡착판(56)은 그 양단부에서 나사에 의해 상응하는 부착부재(66)에 고정되어 있다. 부착부재(66)는 흡착판(56)과 함께 가이드테일(72)상에서 상방 및 하방 이동된다. 각 부착부재(66)는 제 3 도 내지 제 6 도에 도시한 바와같이 흡착판(56)의 길이방향을 따라 외향으로 연장한 제 1 암부재(66A) 및, 기판반송방향을 따라 연장한 제 2 암부재(66B)를 포함한다. 공기실린더(84)는 상부 및 하부 흡착판(56)과 부착부재를 동시에 똑같이 예를들면, 동기속도로 이동하기 위해 상부 및 하부 부착부재(66)의 제 1 암부재(66A)의 단부에 결합되어 있다.

각 공기실린더(84)는 관형본체(84A) 및 본체(84A)내로 이동가능한 피스톤 로드(84B)를 포함한다. 양 공기실린더(84)의 관형본체(84A)의 버트(butt)는 힌지조인트에 의해 상부 부착부재(66)의 제 1 암부재(66A)의 단부에 결합되어 있는 반면 실린더의 피스톤로드(84B)의 단부는 너트 조인트에 의해 하부 부착부재의 제 1 암부재(66A)의 것에 결합되어 있다. 래크(68)는 암부재의 단부에서 상부 및 하부 부착부재(66)의 제 2 암부재(66B)에 장착부재(68A)와 함께 결합되며, 상부 및 하부 흡착판(56)과 아울러 상향 및 하향으로 동시에 똑같이 이동한다. 동시 및 동동한 이동 샤프트(86)는 좌우래크(68)를 상향 및 하향으로 동시에 똑같이 이동하기 위해 피니언에 결합하여 우측 피니언(70)에서 좌측 피니언(70)으로 연장하여 있다.

그러므로, 피니언(70)은 샤프트(86)의 양단부에 고정되어 샤프트와 함께 회전가능하다. 샤프트(86)는 래크와 피니언을 확실하게 결합하기 위하여 피니언의 방사방향으로 외부에서 래크를 푸싱하기 위한 푸싱룰러(86B)가 제공되어 있고 본 장치의 본체프레임(100)에 부착된 샤프트 지지부재(86A) 및 베어링(도시하지 않음)과 함께 그 양단부에서 회전가능하게 지지되어 있다.

제 4 도 내지 제 6 도에서 도시한 바와같이, 서보모터(88)는 래크(68)에 의해 흡착판(56)과 함께 부착부재(66)를 상향 및 하향으로 이동하도록 피니언(70)을 회전시키기 위해 샤프트(86)의 축상에 위치되어 있다. 서보모터(88)의 회전샤프트(88A)는 조인트(88A)에 의해 샤프트(86)에 결합되고, 그 서보모터의 동력은 조인트(88B) 및 샤프트(86)를 통해 좌우 피니언(70)에 전달된다. 서보모터(88)는 서보모너 부착부채(88C)에 의해 본체프레임(100)에 결합되어 있다. 부착부재(88C) 및 샤프트지지부재(86A)의 하나는 본체프레임(100)의 상호 대향측에 결합되어 있다. 서보모터(88)에는 회전샤프트(88A)에 서보모터의 동력을 선택적으로 전달하기 위하여 전자클러치와 같은 클러치가 제공되어 있다.

캠종동부(90)는 흡착판(56)이 부착되어 있는 부착부재(66)의 단부에, 도시된 장착부재(90A)로 부착되어 있다. 흡착판(56)이 기판(6)쪽의 소정위치로 이동되는 경우, 캠종동부(90)는 필름지지부재(60)용 금속부착부재(60A)와 접촉하게 되어 기판쪽으로 부재(60)를 이동시킨다. 필름지지부재(60)는 슬라이더(60B)에 부착부재(60A)로 부착되어 있으며 가이드레일(60C)상을 상향 및 하향으로 활주한다. 각 부착부재(60A)는 흡착판(56)쪽으로 부채(60A)에 부세력을 인가하기 위한 스프링(60D)으로 고정도어 있다. 캠종동부(90)가 금속부착부재(60A)와 접촉하여 부재(60A)를 누르게 되는 경우, 스프링(60D)이 압력을 받아서 필름지지부재가 흡착판의 단부(56A)상에 필름(1B)의 선단부를 감기 위해 소정위치에 이를때까지 필름지지부재는 기판쪽으로 흡착판(56)의 이동과 관련하여 기판(6)쪽으로 이동된다.

부착부재(60A)는 제 7 도에 도시한 바와같이, 슬라이더(60B)가 기판반송방향을 따라 연장한 가이드레일(92A) 상을 전방 및 후방 이동하는 가동부재(92)에 고정되어 있는 가이드레일(60C)상에서 상향 및 하향으로 활주할때, 상향 및 하향으로 이동된다. 가동부재(92)는 필름(1B)의 폭의 단부에서 커터(62)의 고정형 절단부재(62B) 및 지지롤러(64)를 지지한다. 공기실린더(도시하지 않음)는 기판반송방향을 따라 가이드레일(92A)상에서 가동부재(92)를 전방 및 후방 이동시키고 고정형 절단부재(62B) 및 지지롤러(64)를 필름지지부재(60)와 함께 기판반송방향을 따라 전방 및 후방 이동시키기 위해 제공되어 있다.

필름(1B)이 흡착판 및 지지부재상에 지지되었을때 흡착판(56)이 필름지지부재(60)와 함께 기판(6)쪽의 소정위치로 이동된 후에, 지지부재는 흡착판의 단부상에 필름의 선단부가 감기도록 기판반송방향을 따라 이동된다. 감는 동작이 완료된 경우, 가동부재(92)는 정지되고 흡착판(56)은 기판에 필름(1B)의 선단부에 임시 점착하기 위하여 기판(6)쪽으로 다시 이동된다. 제 7 도는 상부 및 하부 흡착판(56)의 단부(56A)가 기판(6)쪽으로 이동되며, 가동부재(92)가 기판(56)의 이동을 방해하지 않기 위하여 정지되어 있는 상태를 도시한다.

제8도는 필름(1B)이 압착롤러(28)에 의해 기판의 상하부측에 완전히 점착된 상태를 도시한다. 필름이 완전 점착된 후에, 가동부재(92)가 후방 이동되어 필름지지부재(60), 커터(62)의 고정형 절단부재(62B) 및 지지롤러(64)는 필름공급경로상의 그 본래 위치로 되돌아온다. 필름(1B)의 임시 점착시에, 각 압착롤러(28)는 제1,2 및 7도에서 실선으로 도시한 바와같이 따로 놓여있다.

필름(2B)을 완전 점착한 후에 각 압착롤러(28)는 제1,2 및 8도에서 점선으로 도시한 바와같이 필름을 완전 점착하기 위해 임시 점착위치 근방에 놓인다. 상부 및 하부롤러(28)의 샤프트는 필름(1B)의 폭방향을 따라 연장하며, 제 3 도 및 제 4 도에서 도시한 바와 같이 각각 롤러의 좌우 단부에 대하여 공통으로 제공된 좌우 압착롤러 수용대(94)에 의해 요동 가능한 방법으로 지지된 지지부재(74)에 의해 샤프트의 양단부에서 회전 가능하게 지지되어 있다. 수용대(94)는 필름(1B)의 양측단부 또는 롤러(28)의 양단부에 놓여 있으며, 롤러의 단부에서 하향으로 연장하여 수용대의 하부에서 수용대 연결부재(96)에 의해 서로 고정되어 있다.

슬라이더(94A)는 수용대 연결부재(96) 아래의 수용대(94)상에 제공되어 있으며 기판반송방향을 따라 연장한 슬라이드레일(94B)상에서 전후로 활주가능하다. 좌우수용대(94)가 연결부재(96)에 의해 서로 고정되어 있기 때문에, 수용대(94)는 위치적으로 서로 떨어지지 않고 기판반송방향을 따라 전방 및 후방 이동될 수 있다. 그 결과, 압착롤러(28)의 축들은 롤러가 기판반송방향을 따라 전후이동되는 동안 기판반송방향에 소정의 각도(예를들면, 실시예에서는 90℃)로 유지될 수 있다.

제 1 기어(98A)는 압착롤러(28)에 동력을 전달하기 위해 지지부재(74) 상의 회전샤프트상에 회전가능하게 부착되어 있다. 롤러(28)를 회전시키기 위한 모터(102)는 우측기어(94)의 상부에 제공되어 있다. 기어(102B)는 모터(102)의 회전샤프트상에 제공되어 있으며 상부 제 1 기어(98A)와 결합되어 있다. 롤러기어(28A)는 그 일단에서 롤러(28)의 샤프트상에 제공되어 있으며 롤러와 함께 회전된다. 제22기어(98B)는 지지부재(74)에 의해 지지되며, 기어(102B), 제 1 기어, 제 2 기어 및 롤러기어를 통해 롤러(28)에 모터(102)의 동력을 전달하기 위하여 롤러기어(28A) 및 제 1 기어(98A)와 결합되어 있다.

모터(102) 및 기어(102B, 98A, 98B 및 28A)들이 본 장치의 좌측에만 제공되어 있다 할지라로, 이러한 구성요소들은 좌우측에 제공될 수도 있다. 상부 및 하부 롤러지지부재(74)에 의해 지지된 제 1 기어(98A)가 서로 결합되어 있기 때문에, 상부 및 하부롤러(28)는 단일모터(102)에 의해 회전된다. 회전엔코더(102A)는 모터의 회전주파수를 통해 롤러(28)의 회전속도를 검출하기 위해 모터(102)상에 제공되어 있다. 공기실린더(82)는 소정압력으로 필름(1B)을 기판(6)의 상하부측에 완전 점착하도록 상부 및 하부 롤러(28)를 함께 이동시키기 위해 그 후방단부에서 지지부재(74)에 연결되어 있으며 이후 롤러는 서로 분리이동된다. 두개의 공기실린더(82)는 각각 상부 및 하부 지지부재(74)의 좌우쌍에 대해 제공되어 있다.

진공흡착바(76)는 필름(1B)의 후단부가 바상에 부착되어 남아있을때 그 회전과 관련하여 롤러(28)와 동심원상으로 회전가능하며, 롤러는 기판(6)의 상하측에 필름을 완전히 점착하기 위해 회전된다. 그러므로, 필름(1B)이 기판(6)에 완전 점착되는 동안 구겨지는 것이 방지된다. 롤러(28)를 닦기위한 와이핑롤러(78)는 롤러(28)의 압착점으로부터 적당히 떨어져 놓여 있으며, 롤러에 묻혀있는 기포발생방지액은 필름(1B)이 기판(6)에 완전히 점착되기 전에 와이핑롤러(78)에 의해 제거된다.

와이퍼롤러(78)는 롤러(78)가 와이핑롤러(78)의 무게 또는 스프링의 부세력에 의한 압력으로 롤러(28)와 접촉할때 지지부재(74)에 의해 회전가능하게 지지되고 롤러(28)에 회전된다. 기판 와이핑롤러(80)는 기판반송방향에 대하여 롤러(28)의 하류측의 지지부재(74)에 의해 회전가능하게 지지되어 있으며, 기판에 묻혀있는 기포발생방지액은 롤러(78)에 의해 기판으로부터 제거된다.

회전형 및 고정형 절단부재(62A, 62B)를 포함하는 커터(62)는 필름이 정지되거나 공급되는 것에 관계없이 필름공급방향에 수직하게 필름(1B)을 절단하기 위하여, 커터(62)의 회전형 및 고정형 절단부재(62A, 62B)의 축은 수평하게 유지된다. 필름이 공급될때 필름공급방향에 수직하게 필름(1B)을 절단하기 위하여 회전형 및 고정형 절단부재(62A, 62B)의 절단개시부도 필름공급방향에 반대로 놓여지고 절단부재의 축은 필름공급방향에 비스듬히 커터의 절단점을 이동하기 위해 경사진다. 그러므로, 커터(62)는 필름공급방향에 있어서 커터의 절단점의 이동속도가 필름공급속도와 동일하게 되는 적당한 각도로 경사된다. 커터(62)는 공기실린더에 의해 경사될 수 있다. 절단점이 피름공급방향에 비스듬히 이동되어 절단점의 이동속도 벡터가 필름 폭방향의 성분과 아울러 필름공급방향의 성분을 가지기 때문에, 절단점은 필름이 절단되는 동안 필름공급방향에서 필름에 관련되어 이동되지 않는다. 그러므로, 커터(62)는 필름 공급방향에 수직하게 필름(1B)을 절단할 수 있다.

서보모터(88) 및 공기실린더쌍(84)이 흡착판(56)을 기판(6)쪽으로 상하이동시킨다 할지라도, 서보모터 및 공기실린더쌍은 판(56)의 이동의 서로 다른 부분을 공유한다. 보다 상세하게는 서보모터(88)는 기판(6)의 표면으로부터 소정거리에 놓인 소정위치로 흡착판(56)을 이동하며, 공기실린더(84)쌍은 이후 기판에 필름(1B)을 임시 점착하기 위하여 흡착판(56)의 단부를 기판쪽으로 이동시키고나서 흡착판(56)을 기판으로부터 멀리 신속히 이동시킨다.

서보모터가 비교적 높은 가속도로 기판(6)쪽의 소정위치로 흡착판(56)을 이동한 후에, 모터용 클러치가 해제되고 공기실린더(84)는 필름(1B)을 기판에 임시 점착하기 위하여 흡착판(56)을 다시 기판쪽으로 이동시킨다. 그러므로, 기판(6)의 상하측에 필름을 임시 점착하는 상방 및 하방 부세력은 같아지고, 종래 시스템에서와 같이 상부 및 하부 흡착판에 대하여 상방 및 하방 부세력을 조절하는 등의 수행동작은 필요없게 된다.

또한, 기판(6)이 소정위치쪽으로 흡착판(56)을 이동시키는 것에 의해 기판에 임시 점착된 필름(1B)을 갖기 위한 소정위치에서 약간 벗어난다 할지라도, 필름을 임시 점착하는 상방 및 하방 부세력은 같아질 수 있다. 또한, 서보모터가 필름을 임시 점착하기 위하여 기판쪽의 소정위치로 정확하게 흡착판을 이동할 수 있지만, 상방 및 하방 임시 점착력은 기판이 소정위치 외부에서 약간 벗어난다면 서로 다를 수도 있다.

상방 및 하방 부세력이 서로 달라지는 것을 방지하기 위하여 기판(6)을 소정위치내로 이동하는 것은 매우 어렵다. 한편, 공기실린더(84)가 공기압력에 의해 구동되기 때문에, 서로 같은 상방 및 하방 부세력은 기판이 소정위치에서 약간 벗어난다 할지라도 기판에 필름을 임시 점착하는 동안 기판(6)의 측면상에 필름(1B)이 확실하게 인가된다. 또한, 서보모터(88)용 클러치가 해제되고 흡착판(56)이 공기실린더(84)의 높은 동력에 의해 기판(6)으로부터 멀리 신속히 이동되기 때문에, 필름의 임시 점착이 종료될 때부터 완전 점착을 개시할 때까지의 시간이 감소되고 그것에 의해 완전 점착 동작이 신속하게 개시된다.

제10도는 필름점착장치의 제어시스템의 신호라인을 도시하는 블록도이다. 제어시스템에 있어서, 중앙제어유니트(110)는 센서 S1, S2, S3, S4, S36A 및 S36B, 그리고 도면에서 도시하지는 않았지만 실린더의 피스톤로드의 전방 및 후방 단부를 검출하기 위한 다른 센서들로부터 받은 검출신호에 응답하여 모터 및 공기실린더의 솔레노이드로 제어신호를 출력한다. 중앙제어유니트(110)는 카운터 및 타이머의 기능을 가질 뿐만 아니라 제11도에 도시한 순서로 본 장치를 조정한다. 예를들면, 제어유니트(110)는 프로그래머블 컨트롤러 또는 릴레이 시이퀸스 제어회로로 형성되어 있다.

필름점착장치의 동작은 이하 상세하게 설명된다. 본 장치는 제 6 도에 도시한 순서대로 동작된다. 본 장치의 상반부 및 후반부가 대칭적으로 동작되기 때문에, 상반부의 동작만 이하 설명한다.

제 1 단계로 본 장치는 필름점착 도착 준비상태로 수동설정된다. 그때, 그 안에 3층 적층체 필름(1)이 충분히 감겨있는 공급롤러(2)가 본 장치에 배치되고, 필름이 가이드롤러(32)를 따라 롤러로부터 풀려지고 필름분리롤러(3)에 의해 투광성 수지필름(1A) 및 2층 적층제 필름(1B)으로 분리된다. 필름(1B)은 커터의 회전형 및 고정형 절단부재(62A, 62B) 사이에 한정된 갭을 통과하면서 흡착판(56) 및 커퍼(62)를 따라 반송되고 고정형 절단부재로부터 회전형 절단부재를 수동분리함으로써 형성된다.

이후, 제 2 단계로 필름(1B)은 커터(62)에 의해 절단된다. 그때, 회전형 절단부재(62A)는 회전형 및 고정형 절단부재(62A, 62B)가 경사지지 않도록 수동으로 회전된다. 제 3 단계 흡착판(56), 압착롤러(28)등은 본래 위치에 놓인다. 그때, 흡착판(56)의 상류단부는 그 가장 높은 상승위치의 약간 아래에 놓이게 되며, 필름지지부재(60)용 부착부재(60A)는 캠종동부(90)에 의해 눌려지고 흡착판의 필름공급면 및 지지부재(60)는 동일면상에 위치된다.

이후, 제 4 단계로 본 장치는 자동 동작 상태로 놓이게 된다. 그 결과, 필름지지부재(60)가 필름(1B)을 흡인하여 기판반송방향을 따라 이동되어 필름의 선단부가 흡착판(56)의 단부(56A)에 흡인되어 감겨진다. 가동부재(92)에 부착된 지지롤러(64) 및 고정형 절단부재(62B)는 가동부재(92)의 이동에 의해 초래된 필름지지부재(60)의 이동 때문에 후방 이동된다. 기판(6)은 기판반입부(20)내로 들어와서 폭위치결정 개시위치 검출센서(S1)에 의해 검출된 후에 폭위치결정기(42)에 의해 소정의폭위치에 놓이게 된다. 반송경로로 반송되고 폭방향으로 위치된 기판의 선단부가 기판선단부 검출센서(S3)에 의해 검출될때, 검출신호는 중앙제어유니트(110)의 제 1 카운터가 소정시간 동안 카운트 개시하게 하는 센서로부터 출력된다.

소정시간 동안 카운트 동작이 실행될때, 기판(6)의 선단부는 임시 점착위치에서 정지된다. 또한 그 검출신호를 제어유니트(110)의 제 2 카운터가 카운트 개시하게 한다. 제 2 카운터에 의한 카운트 동작이 소정시간동안 실행될때, 필름지지부재(60)는 기판반송방향을 따라 후방 이동되고 필름(1B)은 흡착판(56)의 단부(56A)에 흡인되어 감겨진다.

흡착판(56)이 필름을 기판(6)에 임시 점착하기 위해 하향이동되는 시간에 의해, 기판누름장치(44)는 기판누름롤러(46)를 하향이동하도록 구동되어 롤러(46) 및 구동롤러(38) 사이에 기판이 끼워진다. 그리고나서, 제 7 단계로 주진공흡착판(56)이 기판(6)에 필름(1B)의 선단부를 임시 점착하기 위하여 하향이동된다.

제 2 카운터에 의한 카운트 동작중, 서보모터(88)는 상부 및 하부 흡착판(56)을 피니언(70) 및 래크(68)에 의해 기판(6)의 상하부측 쪽으로 동시에 동기속도로 이동될 수 있도록 구동된다. 서보모터(88)의 구동은 흡착판(56)의 하류단부의 각각이 예를 들어 기판(6)으로부터 2㎝에 놓인 소정위치로 이동되는 경우에 정지된다.

이후, 공기실린더(84)쌍이 구동되어 흡착판(56)을 이동시키므로서 그 단부(56A)가 실린더의 부세력으로 필름(1B)을 임시 점착하기 위하여 기판(6)의 상하측에 접근된다. 공기실린더(84)쌍이 제 3 도 및 제 4 도에 도시한 바와같이 필름(1B)의 폭방향을 따라 연장한 흡착판(56)의 양단부에 제공되어 있기 때문에, 필름은 상호 동일한 힘에 의해 기판(6)의 상하측에 임시 점착된다. 흡착판(56)이 필름(1B)을 임시 점착하기 위해 이용하는 경우, 클러치가 해제되어 피니언(70)에 전달되는 서보모터(88)의 동력이 유지된다.

이후, 흡착판(56)은 기판(6)으로부터 떨어지게 되고 압착롤러(28)는 흡착판(56)의 단부(56A)와의 간섭없이 기판쪽으로 이동된다. 제 8 단계로 롤러(28)는 가열가압으로 기판에 필름(1B)을 완전 점착하는 동작을 개시한다. 가열가압으로 기판(도시되지 않음)에 필름(1B)을 완전 점착하는 롤러(28)의 위치는 제 8 도에 도시되어 있다.

제 9 단계로, 커터(62)에 절단되는 경우에 필름의 선단부가 되는 필름(1B)의 부분이 기판(6)에 필름을 점착하는 진행에 의해 커터에 도달하는 경우, 필름을 흡착판(56)에 흐인되고 커터에 의해 전달된다. 절단동작의 초기에 커터(62)가 경사지고 절단점의 이동속도가 필름공급방향에 있어서 필름공급속도와 같아져서 필름공급방향에 수직하게 필름이 절단된다. 절단동작중 및 그 후에, 필름(1B)이 지지롤러(64)에 의해 가이드되어 압착롤러(28)의 직경이 작다할지라도 필름은 커터(62)의 고정형 절단부재(62B)상에 활주하지 않고 공급된다.

기판(6)에 필름(1B)을 완전 점착하는 동안 몇 절단동작후에, 진공흡착바(76)는 바 상에서 필름의 흡인을 개시하여 필름이 기판(6)에 완전히 점착되면서 바의 외면상에 활주한다. 필름(1B)의 선단부가 흡착바(76)근처에 있을 경우, 바는 기판(6)쪽의 압착롤러(28) 주위를 회전하면서 기판에 필름이 완전 접착되기 바로전까지 필름의 흡인상태를 유지한다. 그러므로, 적당한 인장력이 필름(1B)에 가해져서 필름의 구겨짐 등이 방지된다. 필름(1B)이 커터(62)에 의해 절단된 후에, 흡착판(56) 및 필름지지부재(60)가 필름의 후단부를 흡인하여 지지한다.

이하, 본 장치의 필름점착동작이 계속되는지의 여부를 결정한다. 필름점착동작이 계속된다면, 5단계 내지 9단계가 다시 실행된다. 동작이 계속되지 않는다면 동작은 완료된다.

본 발명에 따르면, 제1 및 제 2 부착부재는 지지부재로부터 필름공급부재를 분리하도록 구동하기 위한 공기실린더 및 지지부재가 설비되어 있지 않다. 그러므로, 필름점착장치는 더 작고 위치결정을 용이하게 하기 위해 감소된 무게를 가지며, 신속한 점착동작이 실행될 수 있다. 또한, 본 장치의 점착용량이 증가되고 장치의 구조는 더 간단하게 만들어진다. 또한, 구동실린더가 제1 및 제 2 필름공급부재의 임시 접착력을 꼭 같게 하기 위하여 제1 및 제 2 부착부재에 동시에 동력을 인가하도록 제공되어 있기 때문에, 서로 분리하도록 점착력을 조정할 필요가 없으며, 장치의 동작이 더 쉽게 만들어지며 상승된 효과를 갖는다.

본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 청구범위에서 한정된 바와 같이 본 발명의 본질적 특성 또는 정신, 범주에서 벗어나지 않고 다른 여러가지 방법으로 실시 또는 실행될 수도 있다.

Claims

필름점착방법에 있어서, 제1 및 제 2 측을 갖는 기판(6)을 필름점착위치로 반송하고, 상기 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 대향하며 필름점착장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지된 제1 및 제 2 부착부재(66)에 고정되어 있는 제1 및 제 2 필름공급부재(56)상에 필름(1B)의 선단부를 흡인하며, 상기 필름(1B)의 선단부가 각각 기판(6)의 제 1 측 및 제 2 측의 선단부에 임시 점착되도록 기판(6)의 제1 및 제 2 측의 선단부쪽으로 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 이동하고, 상기 제1 및 제 2 공급부재(56)가 기판(6)으로부터 소정거리에 있는 소정위치에 위치되도록 기판(6)쪽으로 래크-피니언 기구를 통해 모터(102)로 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 구동하며, 상기 필름(1B)이 각각 기판(6)의 제1 및 제 2 축에 임시 점착되도록 소정위치로부터 기판쪽으로 구동실린더를 경유하여 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 동시에 구동하고, 필름이 기판에 임시 점착된 후에 구동실린더에 의해 기판(6)으로부터 떨어지게 제1 및

제 2 필름공급부재(56)를 구동하며, 제1 및 제 2 측에 완전 점착된 상기 필름(1B)의 각각이 기판(6)에 상응하는 길이를 갖도록 압착롤러(28)에 의해 기판(6)의 제 1 및 제2측에 상기 필름(1B)을 완전 점착하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 필름점착방법.
제1 및 제 2 측을 갖는 기판에 필름을 점착하기 위한 장치에 있어서, 본체프레임과, 제1 및 제 2 측을 갖는 기판(6)을 필름점착위치로 반송하기 위한 수단과, 필름(1B)의 선단부가 그 선단부에서 상기 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 임시 점착되도록 필름점착위치로 반송되는 기판(6)의 제1 및 제 2 측의 선단부쪽으로 이동가능한 제1 및 제 2 필름공급부재(56)와, 상기 제1 및 제 2 공급부재(56)가 기판(6)쪽으로 상하 이동가능하도록 상기 장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지되며 상기 제1 및 제 2 필름공급부재가 고정되어 있는 제1 및 제 2 부착부재(66), 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 동시에 이동하기 위해 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)에 동력을 동시에 인가하기 위한 복수개의 구동실린더와, 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)에 부착된 제1 및 제 2 래크(68)와 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 동시에 똑같이 이동하기 위해 상기 제 1 래크 및 제 2 래크(68)와 결합하는 피니언(70)을 포함하며 제1 및 제 2 부착부재를 이동하기 위한 수단과, 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 이동하도록 피니언(70)을 구동하기 위한 수단 및, 상기 제1 및 제 2 측에 완전 점착된 필름(1B)의 각각의 기판(6)에 상응하는 길이를 갖도록 상기 필름이 임시 점착된 후에 기판의 제1 및 제 2 측에 필름을 완전 점착하기 위한 압착롤러(28) 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 2 항에 있어서, 복수개의 구동실린더가 필름의 폭방향을 따라 연결한 제1 및 제 2 필름공급부재(56)의 단부에 쌍으로 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 2 항에 있어서, 필름의 폭방향을 따라 연장하도록, 공급되는 필름에 대항하는 제1 및 제 2 필름공급부재측상에 제공되어 있는 고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 3 항에 있어서, 필름의 폭방향을 따라 연장하도록, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재(56)측상에 제공되어 있는 고무를 포함함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 2 항에 있어서, 공급되는 필름을 절단하기 위한 커터(62) 및, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재(56)측상의 필름공급경로와 동일한 면에 위치되도록 하기 위해 커터(62) 및 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공된 지지롤러(64)를 포함함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 3 항에 있어서, 공급되는 필름을 절단하기 위한 커터(62) 및, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재(56)측상의 필름공급경로와 동일한 면을 위치되도록 하기 위해 커터(62) 및 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공된 지지롤러(64)를 포함함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 3 항에 있어서, 공급되는 필름을 절단하기 위한 커터(62) 및, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재측상의 필름공급경로와 동일한 면상에 놓이도록 하기 위해 커터(62) 및 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공되어 있는 지지롤러(64)를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 4 항에 있어서, 공급되는 필름을 절단하기 위한 커터(62) 및, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재측상의 필름공급경로와 동일한 면상에 놓이도록 하기 위해 커터(62) 및 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공되어 있는 지지롤러(64)를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제 5 항에 있어서, 공급되는 필름을 절단하기 위한 커터(62) 및, 공급되는 필름에 대향하는 제1 및 제 2 필름공급부재측상의 필름공급경로와 동일한 면상에 놓이도록 하기 위해 커터(62) 및 압착롤러(28) 사이의 필름공급경로상에 제공되어 있는 지지롤러(64)를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
필름점착방법에 있어서, 제1 및 제 2 측을 갖는 기판(6)을 필름점착위치로 반송하고, 상기 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 대향하며 필름점착장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지된 제1 및 제 2 부착부재(66)에 고정되어 있는 제1 및 제 2 필름공급부재(56)상에 필름(1B)의 선단부를 흡인하며, 상기 필름(1B)의 선단부가 각각 기판(6)의 제 1 측 및 제 2 측의 선단부에 임시 점착되도록 기판(6)의 제 1 측 및 제 2 측의 선단부쪽으로 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 이동하며, 제1 및 제 2 측에 완전 점착된 상기 필름(1B)의 각각이 기판(6)에 상응하는 길이를 갖도록 상기 기판(6)측에 필름(1B)을 완전 점착하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 필름점착방법.
제11항에 있어서, 상기 제1 및 제 2 공급부재(56)가 기판(6)으로부터 소정거리에 있는 소정위치에 위치되도록 기판(6)쪽으로 래크-피니언 기구를 통해 모터(102)로 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 구동하며, 상기 필름(1B)이 각각 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 임시 점착되도록 소정위치로부터 기판쪽으로 구동실린더를 경유하여 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 동시에 구동하고, 필름이 기판에 임시 점착된 후에 상기 실린더에 의해 기판(6)으로부터 떨어지게 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 구동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름점착방법.
필름을 기판에 점착하기 위한 장치에 있어서, 본체프레임과, 필름(1B)의 선단부가 그 선단부에서 상기 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 임시 점착되도록 소정위치로 반송되는 기판(6)의 제1 및 제 2 측 쪽으로 이동 가능한 제1 및 제 2 필름공급부재(56)와, 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)가 기판(6)쪽으로 상하이동 가능하도록 상기 장치의 본체프레임에 의해 활주가능하게 지지되며, 각각 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)가 고정되어 있는 제1 및 제 2 부착부재(66)와, 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)를 서로 동시에 똑같이 이동하기 위한 수단 및, 상기 기판(6)의 제1 및 제 2 측에 완전 점착된 필름의 각각이 기판(6)에 상응하는 길이를 갖도록 상기 필름을 기판에 임시 점착한 후에 기판의 제1 및 제 2 측에 상기 필름(1B)을 점착하기 위한 롤러를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제13항에 있어서, 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 동시에 이동하기 위해 상기 제1 및 제 2 부착부재(66)에 동력을 동시에 인가하기 위한 복수개의 구동실린더를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제14항에 있어서, 상기 롤러는 가열압착롤러(28)를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제15항에 있어서, 상기 이동수단은 제1 및 제 2 부착부재(66)에 부착된 제1 및 제 2 래크(68)와, 제1 및 제 2 부착부재(66)을 동시에 똑같이 이동하기 위해 제1 및 제 2 래크(68)와 결합하는 피니언(70)을 포함하는 것을 특징으로 하는 필름점착장치.
제16항에 있어서, 상기 제1 및 제 2 필름공급부재(56)를 이동하기 위하여 상기 피니언(70)을 구동하기 위한 수단을 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.
제17항에 있어서, 제1 및 제 2 래크(68)를 동시에 똑같이 이동하기 위하여 상기 피니언(70)의 제1 및 제 2 피니언과 결합하는 샤프트(86)를 구비함을 특징으로 하는 필름점착장치.