JPS6225035A - 回動シユ−を用いたカツテイングラミネ−ト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光性樹脂積層フィルム（通称ドライフィル
ム）を基板に空気を抱き込むことがなく均一な密着性を
もつように額縁状に連続的に圧着。

積層するようにした自動ラミネータに関する。

〔従来技術〕

近来、印刷配線板の印刷密度は年々高まっており、高い
解像力を発揮するようなレジスト画像形成技術が重要視
されてきた。高度の信頼性を保持した高い解像力のレジ
スト画像形成技術はドライフィルムの特性以外に印刷配
線板製造工程中、特にラミネートから現像工程までが極
めて重要な意味を有するもので、その中でもラミネート
工程は基板とレジストの接点でら９、種々の条件、管理
が必要とされる。すなわち、基板の粗度、基板温度、ラ
ミネート温度、ラミネート圧力、ラミネート速度等の条
件である。

一方、高密度化されるにつれて、製造等の信頼性、収率
等を上げるため、ラミネートの際のゴミ。

レジストチップ、カッティング粉の混入防止をいかに行
うかが工業生産段階での重要な課題となってきている。

上記した問題点の解決のために種々の額縁カッティング
式のラミネータが提案されている。例えばアメリカ合衆
国特許第３，６５８，６２９号、特開昭５２−１４８７
６号、特開昭５６−４９５９２号、特開昭５９−１１０
１８８号等であるが、額縁カッティング式はドライフィ
ルムをカッティング後基板ヘラミネートするためレジス
トチップの発生が少なく、基板へ必要長さだけラミネー
ト可能のため、ドライフィルムを有効に使用でき、経済
的なラミネート方法である。

前記のアメリカ合衆国特許第３，６５８，６２９号明細
書に記載されるものは、真空ペイルで保持し、仮付けし
てからラミネートするものでちるが、仮付は後ドライフ
ィルムがたるみ、基板に粘着したとき空気の抱き込みや
、仮付部からの剥離などが起シ、条件の設定がきわめて
狭い範囲になっており、基板への仮付後ドライフィルム
が拘束されずふらふらしている状態のためであり、キャ
リヤフィルムが薄く、腰のないドライフィルムに対して
は使用しにくいものであり、特開昭５６−４９５９２号
公報に示されるものは、感光性樹脂フィルムをすべ９台
状のガイドの上をすべらせながら長さ方向の位置を決め
ラミネートするものでちるが、キャリヤフィルムが薄く
柔かく腰のないドライフィルムの適用は困難と思われ、
また、すべり台の上の摩擦係数が温度、湿度の影響を受
けるため、ドライフィルムのキャリヤフィルムの水分管
理。

ラミネート雰囲気の温度、湿度の管理をきびしくする必
要がある。特開昭５９−１１０１８８号公報に示される
ものは、一枚のドライフィルムで両面をラミネートする
ものであり、額縁状にラミネートする方法に比べ、ドラ
イフィルムの損失が大きく、またドライフィルムの引出
し時間を必要とし、ラミネートサイクル時間が両面を張
るものに比して大きくとる必要があり生産性に問題があ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は、前述した従来技術の問題点なシ難点なりを解
決し、薄くてしかも腰のないキャリヤフィルムを使用し
たドライフィルムにも適用できる額縁状にドライフィル
ムを圧着するラミネータの提供を目的とするものである
。

〔問題点を解決するだめの手段〕

本発明は、連続的に巻かれた感光性樹脂層フィルムを基
板に圧着せしめるラミネート装置において、弧状をなす
外周に多数の小孔を穿設し、前記弧状表面の幅方向に切
断用溝を形成し、該切断用溝に隣接して感光性樹脂積層
フィルム端を基板先端部附近に予備圧着するだめの加熱
部を設けたシューを搬送されてくる基板に対して接近あ
るいは離間する方向に回動自在に、かつ前記基板に対し
て垂直方向に往復動可能に装架し、前記シューの基板の
搬送方向側に近接して本圧着ローラを設け、前記基板の
搬送径路に・該基板の先端及び後端を検知する検知装置
を配設し、前記基板の後端を検知することにより基板の
長さに応じた所定の長さに感光性樹脂積層フィルムを切
断する切断装置を前記シューを回動させながら作動せし
めるようになした回動シューを用いたカッティングラミ
ネート装置である。

〔作用〕

カバーフィルムがあればそれを除去してキャリヤフィル
ムと感光層の２層からなる感光性樹脂積層フィルム（以
下ドライフィルムという）をしわのないようにシューの
外周に保持、拘束して予備圧着位置まで前記シューを回
動せしめ、搬送されてくる基板先端に前記シューによっ
て保持されて移動されたドライフィルムを予備圧着し、
予備圧着後移送された基板の先端部が一対の本圧着ホッ
トロールによって捕捉され本圧着が開始されると前記シ
ューは反転されてドライフィルムの切断位置まで戻され
基板の移送に伴って基板の後端を検知センサによシ検知
し、シューを基板の移送速度と同速度で回動しながらド
ライフィルムを所定長さに切断するようにし、ドライフ
ィルムの切断により切断端部をシューで保持し、次のド
ライフィルムもシューの外表面で保持しながら、シュー
はそのま＼基板の移送速度と同速度で前記した予備圧着
位置まで回動され、予備圧着位置で停止し、切断された
ドライフィルムは基板の移送に伴ってシューより離れて
基板に圧着され、シューは次の基板が搬送されてくるま
で待機し、基板が搬送され所定位置に停止され予備圧着
され、前記した作動を繰り返すものでちり、簡便で安定
したラミネートを可能としたものである。

〔実施例〕

本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。

Ａ、Ａは円弧状の外周面を有し、中心支軸１゜１によっ
て回動自在に支持された断面略扇形をなす同形同大の一
対のシューであり、該゛シューＡ。

Ａの外周層２，２の回動力向側先端を延長して切断され
たドライフィルム端吸着部３，３（以下外周層延長吸着
部ということら＃））を形成し、該外周層延長吸着部３
，３よシ外周層２，２に沿った内側方向に切断用溝４，
４を設けるとともに該切断用溝４，４より外周層２．２
に沿った内側方向に隣接してドライフィルムを基板先端
部に予備圧着するための加熱部５，５を設け、更に前記
した弧状の外周層２，２及び外周層延長吸着部３，３に
ドライフィルム拘束、保持用の真空引き用小孔６１６、
・・・・・・を多数穿設する。

前記したシューＡ、Ａは、錆びにくい例えばアルミ製等
の金属シューが好ましいが、熱硬化プラスチック製とす
ることができ、また、前記のシューの内側に設けた加熱
部５，５は最高１５０′ｃまで加熱可能とされるフッ素
系ゴム、合成ゴムその地熱伝導性のゴムが用いられ、真
空引き用小孔６゜６．６・・・・・・の径はドライフィ
ルムが変形しなければ大きくすることも可能であるが、
通常は０．１〜３ｍφ程度とするのが良く、シューＡ、
Ａの外周表面はドライフィルムのキャリヤフィルムが傷
がつかない程度に粗面化されていることが好ましい。

７．７は前記シューＡ、Ａが後記する予備圧着位置まで
回動され停止したとき、該シューＡ、Ａの前記外周層延
長吸着部３，３に近接して設けられた一対の本圧着ホッ
トロールで６り、８．８は前記したシューＡ、Ａが予備
圧着終了後反転して作動前の位置に戻ったとき、上下一
対のシューＡ。

Ａのそれぞれの切断用溝４，４に対応する位置に装置さ
れた回転刃、レーザ刃等よりなる切断装置である。切断
装置を第２図を参照して説明すると、９は、先端部がシ
ューＡ、Ａの中心支軸１，１が遊嵌された腕杆１０，１
０，１０．１０と、シューＡの軸方向外周面に少間隙を
へだてて前記シューＡの中心支軸１，１を中心として回
動可能とされた本体部１１．１１とよりなる略口状をな
すカッタ案内層ホルダでアシ、該カッタ案内用ホルダ９
，９の本体部１１にはカッタ８１，８１が挿入案内され
る軸方向のスリット１２．１２が設けられるとともに、
カッタ８１，８１の軸に刻設されるビニオン１３．１３
と噛合するラック１４．１４が刻設される。前記したよ
うに、カッタ案内用ホルダ９．９の腕杆１０，１０，１
０．１０の先端部にはシューＡの中心支軸１，１が遊嵌
され、また前記の腕杆１０，１０，１０．１０の先端部
にはカッタ案内用ホルダ９，９を回動せしめるだめの駆
動用歯車１５，１５，１５．１５が固定される。

そして、駆動用歯車１５，１５，１５．１５は、図示し
ない駆動モータの軸に取着される歯車と噛合して、カッ
タ案内用ホルダ９，９を正・逆方向に回動する。８２，
８２はカッタ駆動用モータであり、該カッタ駆動用モー
タによって前記カッタ８１，８１が回転せしめられ、こ
の回転によってカッタ８１゜８１の軸に刻設されるピニ
オン１３．１３がカッタ案内用ホルダ９，９に設けられ
たランク１４．１４と噛合してカッタ８１，８１をスリ
ット１２．１２を介してシューＡの切断用溝４，４に挿
入させ、カッタ案内用ホルダ９，９の一端から他端へと
走行することによってドライフィルムＸを切断する。

１６は基板１７の搬送径路に設けられた基板１７の先端
１７ａ及び後端１７ｂを検知するだめの検知装置であり
、検知装置としては光センサ、音波センサ、リミットス
イッチ等を用いることができる。

ｉｓ、ｉｓは上下に装置された感光性樹脂積層フィルム
が巻着されたロール、１９．１９は上下に装置されたカ
バーフィルム巻取りコア、２０゜２０はカバーフィルム
剥離用ローラ、２１，２２゜２３は基板１Ｔ搬送用ロー
ラである。

次に、本発明のラミネータの作動について説明するが、
作動の順序を示した第３図においては、上下に装置され
た一対のシューＡ、Ａの上方部に装置されるシューＡに
ついての説明のだめの概略図を示し、上方部のシューＡ
等と対称的に設けられる下方のシュー等は省略しである
。そして、上下とも作動は同じであるので上方部のみに
ついて説明する。

カバーフィルムがある樹脂積層フィルムがあれば、カバ
ーフィルム剥離ローラ２０によってカバーフィルムラ剥
離し、剥離されたカバーフィルムはカバーフィルム巻取
ローラ１９に巻取られ、カバーフィルムが除去されたキ
ャリャフィルムト感光層の２層からなるドライフィルム
Ｘは、図示しない吸引ポンプ等と連結されるシューＡの
外周層２に設けられる多数の真空引き用小孔６，６．・
・・・・・により、前記シューＡの外周表面に吸着され
ている（第３図口参照）。基板１７が搬入されると検知
装置１６によυ基板１７の先端１７ａを検知し、この検
知により、基板１７を後記する予備圧着位置に停止させ
るタイマーを作動し、これと同時にシューＡはドライフ
ィルムＸを外周面に吸着したま＼シューＡの支軸１を中
心にしてすばやく回動されシューＡに設けられた加熱部
５が基板１γの搬送径路に対向する所定位置まで回動し
て停止し、基板１７が搬送されてくるまで待機する。基
板１７の先端部１７ａが前記シューＡの加熱部５と対向
する位置まで到達すると、基板１７の移動は停止され、
シューＡをエアーシリンダ等の機構を作動して基板１７
に向って垂直に移動し、加熱部５によりドライフィルム
Ｘは基板１７の所定位置に予備圧着される（第３図口参
照）。予備圧着が終了するとシューＡの吸引は停止され
、シューＡは垂直に前記と逆方向すなわち基板１７より
離れる方向に前記と同様エアシリンダ機構により移動さ
れる（第３図口参照）。一方基板１７は予備圧着終了後
ドライフィルムを先端の所定位置に予備圧着した状態で
本圧着ホントロール７．７の方向に移動が開始される。

前記の本圧着ホントロール７．７は前記したシューＡが
予備圧着位置にあるときの位置に近接して設けられてい
るので、基板１７の本圧着ホットロール７．７への引継
ぎは極めてスムースに行なわれ、基板１７が本圧着ホン
トロール７．７に引継がれドライフィルムＸの本圧着が
開始される（第３図口参照）。この本圧着が開始される
と前記シューＡは支軸１を中心としてドライフィルムＸ
に沿うような状態ですみやかに反転され最初の所定の位
置である切断装置８とシューＡの切断用溝４が一致する
ところまで前記の反転回動される（第３図口参照）。基
板１７が更に移動し本圧着が進行し、基板１７の後端１
７ｂが検知装置１６によって検知されると、シューＡへ
の吸引を開始し、シューＡを基板１γの搬送速度と同速
度で回動させ、これと同時に切断装置８のカッタ案内用
ホル′ダ９も、前記シューＡと同速度で回動せしめる。

更に、カッタ駆動モータ８２も前記の検知信号によシ駆
動され、カッタ８１を回転させ、カッタ８１はカッタ案
内用ホルダ９のスリット１２を介してシューＡの外表面
とカッタ案内用ホルダ９０本体部１１の間にあるドライ
フィルムＸを切断してシ二−Ａの切断用溝４内に挿入状
態とされ、カッタ８１の回転によりカッタ８１の軸に設
けられるラック１４と噛合し、カッタ８１はカッタ案内
用ホルダ９の一方から他方へ回転走行され、ドライフィ
ルムＸは基板１７の長さに相当する所定の長さに切断さ
れる（第３図へ参照）。切断が終了したときはカッタ８
１はカッタ案内用ホルダ９の面よυ離間する方向に移動
させるか、あるいはカッタ８１をカッタ案内用ホルダ９
の軸方向端より外側へ離間させるように位置させること
によシ、シューＡの切断用溝４及びカッタ案内用ホルダ
９のスリット１２よシ離脱し、カッタ案内用ホルダ９の
回動を停止させ、直ちに反転させて次の切断に備える。

一方、シューＡは、前記したようにドライフィルムＸの
切断時、切断後も回動されておシ、切断されたドライフ
ィルムＸの端部はシューＡの外周延長吸着部３に吸着さ
れるので垂れ下がる恐れはなく、また、ドライフィルム
Ｘの切断時も基板１７は移動し続けており、シューＡは
前記したように、切断されたドライフィルムＸの端部を
外周層延長吸着部３に吸着し、また、次のドライフィル
ムＸをシューＡの円弧状外周表面に吸着したまま前記の
基板１７の移動と同速度で回動している。前記したシュ
ーＡの外周層延長吸着部３に吸着された切断ドライフィ
ルム端部は、シューＡを離れて本圧着ホットロール７．
７に基板１７とともに送られるが、前記本圧着ホットロ
ール７．７は、前記シューＡが予備圧着のための所定１
位置にあるとき、すなわちシューの回動が停止される位
置に近接して設けられているので、ドライフィルムＸの
端部はシューＡの外周層延長吸着部３を離れると直ちに
本圧着ホントロール７．７によって基板１７に圧着され
るので、ドライフィルムＸと基板１７との間には空気の
抱き込み等もなく極めて良好に圧着できるものである。

前記ドライフィルムＸの端部がシューＡよシ離れて本圧
着ホントロール７．７によフ基板１７に圧着されながら
、基板１７が搬送移動されると、シューＡは予備圧着位
置に停止されたま５次の基板１Ｔが搬送されてくるまで
待機し、次の基板１７が搬送され、その先端が予備圧着
位置にきたとき基板は停止され（第１図参照）シューＡ
の垂直移動による予備圧着が行われ、前記したような作
動を繰り返す。このように、基板より内側にドライフィ
ルムをラミネートすることにより第５図に示すような額
縁状にラミネート可能でちる。

本発明の実施例は以上のとおりであるので、ドライフィ
ルムＸは７ユーＡの弧状をなす外周表面に真空引き等に
よって吸引されて拘束、保持されるもので、ドライフィ
ルムＸはしわ、たるみなく保持されるものであり、した
がって、基板にラミネートするに当って空気等の抱き込
み等もなくすることができ、ドライフィルムＸを基板１
７の長さに対応する所定の長さに切断するとき、切断用
溝４の底部にも多数の真空引き用小孔６，６・・・・・
・が開口しているので、切粉を吸引することができるも
のであυ、シューＡを回動しながらドライフィルムを切
断したとき、その切断端部はシューＡの外周層延長吸着
部３によって吸着されているので、垂れ下がる恐れは全
くなく、シかも前記のドライフィルムの最後端である切
断端部のシューＡより離れて本圧着ホットローラ７．７
への引継キはシューＡ　ｉＣ前記した外周層延長吸着部
３が形成されているので最後まで前記切断端部を保持す
ることができるので極めてスムースに行うことができ、
更に、シューＡを回転しながら切断装置を作動している
ため、基板にドライフィルムをラミネート作業を進行し
たま＼で基板を停止することがないので、基板が一時停
止した場合にありがちなドライフィルムの厚みが変化す
る等のこともなく良好なラミネート性が得られる。

また、ドライフィルムを基板に予備圧着するのに、上述
の実施例ではンユーＡをエアシリンダ機構により垂直方
向に移動しているが第４図に示すものは、加熱部４′を
シューの一部にスライド可能に設け、スライド可能な加
熱部ｓ’、ｓ’のみをエアシリンダ機構によって垂直方
向に移動して予備圧着することができる。

〔発明の効果〕

本発明にか＼る回動シューを用いたカッティングラミネ
ート装置は、弧状をなす外周に多数の小孔を穿設し、前
記の弧状表面の幅方向に切断用溝を形成し、該切断用溝
に隣接して感光性樹脂積層フィルム端を基板に予備圧着
するための加熱部を設けたシューを回動可能に支持して
いるので、ドライフィルムは前記した弧状をなす外周表
面にしわ、たるみなく吸着、保持され、また、ドライフ
ィルムの切断に際してもシューを回動したま＼切断装置
を作動しているため、基板にドライフィルムをラミネー
ト作業を進行しながら基板を停止することなくドライフ
ィルムを所要長さに切断するので、従来の如く基板及び
７ユーを一時停止してドライフィルムを切断するときに
おきる筋等は一切なく、厚み変化を生ずることもなく、
また、空気の抱き込みもない良好なラミネートが得られ
るものであり、また、予備圧着時の基板の停止、シュー
の回動、反転、ドライフィルム等の切断等は基板の先端
及び後端の検知により自動的に行われるものであり、極
めて簡単な操作によりラミネートすることが可能であり
、更に、キャリヤフィルムとして厚みの薄い９〜１５μ
のポリエステルフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ
メチルメタアクリレートフィルム、腰の弱い１０〜３０
μ厚みのポリビニルアルコールフィルム、ポリエチレン
フィルム等を用いたドライフィルムでも額縁状にラミネ
ート可能となった。

本発明によりドライフィルムを空気の抱き込みなく、予
備圧着でのずれもなく均一に安定した額縁状にラミネー
トできる装置の提供を可能としたものである。

【図面の簡単な説明】

図面は、第１図は基板へのラミネート直前の状態を示す
説明図、第２図は切断装置の説明のための斜視図、第３
図（イ）、（ロ）、　ｔｉ　、に）、（ホ）、（へ）、
（ト）はラミネート装置の下部シューを省略して作動順
序にしたがって説明した概略説明図、第４図はスライド
加熱部を備えたシューの別の実施例を示す概略説明図、
第５図（イ）は額縁状にラミネートされた基板の平面図
、第５図（ａ）はその側面図である。 Ｘニドライフィルム　　Ａ、Ａ：シュー２．２：外周層
　　　　４，４：切断用溝５．５，５′、５′：加熱部 ６．６，６．・・・・・・：真空引き用小孔７．７：本
圧着ホントローラ ８．８：切断装置　　　８１，８、：カッタ９．９：カ
ッタ案内用ホルダ １２．１２ニスリツト　１３，１３：ビニオン１４．１
４ニラツク　　１６：検知装置１７：基　板 特許出願人　旭化成工業株式会社 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　感光性樹脂積層フィルムを基板に圧着せしめるラミネ
   ート装置において、弧状をなす外周に多数の小孔を穿設
   し、前記弧状表面の幅方向に切断用溝を形成し該切断用
   溝に隣接して感光性樹脂積層フィルム端を基板先端部附
   近に予備圧着するための加熱部を設けたシューを搬送さ
   れてくる基板に対して接近あるいは離間する方向に回動
   自在に、かつ前記基板に対して垂直方向に往復動可能に
   装架し、前記シューの基板の搬送方向側に近接して本圧
   着ホットローラを受け、前記基板の搬送径路に該基板の
   先端及び後端を検知する検知装置を配設し、前記基板の
   後端を検知することにより基板の長さに応じた所定の長
   さに感光性樹脂積層フィルムを切断する切断装置を前記
   シューを回動させながら作動せしめることを特徴とする
   回動シューを用いたカッティングラミネート装置。