JP3061354B2 - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents

フィルム張付方法及び装置

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JP3061354B2
JP3061354B2 JP7123455A JP12345595A JP3061354B2 JP 3061354 B2 JP3061354 B2 JP 3061354B2 JP 7123455 A JP7123455 A JP 7123455A JP 12345595 A JP12345595 A JP 12345595A JP 3061354 B2 JP3061354 B2 JP 3061354B2
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博 田口
洋二 鷲崎
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    • B29C63/00Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/02Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor using sheet or web-like material
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    • B32B38/00Ancillary operations in connection with laminating processes
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、プリント配線用等の
基板の表面にフィルムを張付けるためのフィルム張付方
法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程では、透光性支持フィルム
(ベースフィルム;通常はポリエステルに代表される樹
脂フィルム)上に感光性樹脂層が形成され、且つ、これ
がカバーフィルムによって覆われた積層体フィルムを、
カバーフィルムを剥してプリント配線用基板の表面の導
電層に張付ける。そして、この後、配線パターンフィル
ムを重ね、この配線パターンフィルム及び前記透光性支
持フィルムを通して、感光性樹脂層を所定時間露光す
る。次いで、透光性支持フィルムを剥した後、露光され
た感光性樹脂層を現像してエッチングマスクパターンを
形成し、この後、前記導電層の不必要部分をエッチング
により除去し、これにより、所定の配線パターンを有す
るプリント配線板が形成される。
【0003】上記のような積層体フィルムを張付けるた
めのフィルム張付装置は、フィルム供給ロールに装填さ
れている連続フィルムを、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端に感光性樹脂層が該基板側となるように導
き、基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け手段に
よって該基板の先端に仮付けした後、ラミネーションロ
ールにより、フィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
するようにされている。基板へのフィルム圧着張付け
は、張付け長さが基板長にほぼ対応した長さとなるよう
に行われており、その長さとなるように供給フィルムは
フィルム仮付け手段の近傍の部材に設けられたフィルム
切断手段で切断される。カバーフィルムは、仮付け手段
の前又は後で剥される。
【0004】前記フィルム仮付け手段は、例えば特開昭
63−117487号公報に開示されるように、表面に
フィルムを吸着するための複数の吸着孔(溝)が設けら
れたメインバキュームプレートと、このメインバキュー
ムプレートのフィルム供給方向先端側に設けられた側面
が円弧形状又は三角形状のフィルム仮付け部材とから構
成され、全体として、フィルムの供給及び仮付け動作が
行えるように、基板に対して近接および離反移動するよ
うにされている。
【0005】又、前記フィルム仮付け手段の、基板側に
隣接した位置には、例えば特公平7−35101号に開
示されるように、先端にフィルム吸着孔(溝)が形成さ
れた先端巻付用フィルム保持部材を設け、フィルム先端
をこの先端巻付用フィルム保持部材に吸着した状態で、
フィルム通過面から後退させ、そのとき、フィルム先端
部が前記フィルム仮付け手段の先端における側面が円弧
形状又は三角形状のフィルム仮付け部材に巻付け吸着さ
せるようにしている。
【0006】この先端巻付用フィルム保持部材は、フィ
ルム切断時に、前記仮付け手段と同期して基板方向にわ
ずかに移動され、フィルムの切断部近傍位置を吸着保持
して、該切断時にフィルム後端側に張力を与えるもので
ある。
【0007】フィルム仮付け手段は、フィルムの供給及
び仮付け動作を行う際には、その表面にフィルムを吸着
した状態で基板に対して近接移動し、フィルムの供給及
び仮付け動作が完了するとフィルムの吸着を解除し基板
に対して離反移動する。このフィルムの吸着が解除され
ると、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れた
状態となる。
【0008】仮付けした後、ラミネーションロールによ
りフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送するのであ
るが、そのラミネーションロールによるフィルム圧着動
作中は、フィルムはフィルム仮付け手段の表面から離れ
た状態になっている。
【0009】前記の搬送されてくる各基板にフィルムを
張付ける場合、基板毎にフィルムの供給及び仮付け動作
と圧着動作という両動作を繰返し行う。
【0010】前記フィルム仮付け部材の先端には、ヒー
タが設けられていて、これによりフィルム仮付け先端を
加熱して、基板の先端に仮付けできるようにされてい
る。
【0011】前記特開昭63−117487号公報に開
示されるように一般にフィルム張付装置では、カバーフ
ィルムは仮付手段の手前で剥される。
【0012】ここで、前記特公平7−35101号に開
示された薄膜張付装置では、フィルム切断手段が固定刃
と回転刃からなるロータリーカッターとされ、且つ固定
刃がフィルム通過面に対して直交する方向に進退され、
前記先端巻付用フィルム保持部材もこの固定刃と共に進
退され、且つ該先端巻付用フィルム保持部材は、固定刃
に対してフィルム移動方向に可動とされている。
【0013】このための可動機構は、前記固定刃を支持
する部材からフィルム通過面と平行に立設した連結バー
に、前記先端巻付用フィルム保持部材を、該連結バーに
沿って移動自在に係合させている。
【0014】前記固定刃支持部材は、装置本体側に支持
レールを介して、フィルム通過面に対して直交する方向
にエアシリンダによって進退自在とされている。
【0015】又、前記ロータリーカッターを構成する回
転刃は、フィルム供給ロールを設定する際には固定刃か
ら離間させて、ここにフィルム先端を通過させなければ
ならないので、前記特公平7−35101号の薄膜張付
装置では、装置本体に対して回転刃を支持する摺動部材
を摺動自在に配置し、且つ、この摺動部材を係止つまみ
により、回転刃の切断位置又は離間位置に固定できるよ
うにしている。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】前記特公平7−351
01号の薄膜張付装置では、先端巻付用フィルム保持部
材が固定刃支持部材から連結バーを介して、フィルム通
過面に対して直交する方向に駆動されるので、該連結バ
ーに曲げ力又は剪断力が発生し、該連結バーを曲げて先
端巻付用フィルム保持部材を動作不能にしたり、あるい
は連結バーが破断されてしまうという問題点があった。
【0017】更に、前記ロータリーカッターにおける回
転刃をフィルム交換時にフィルム通過面から離間させる
操作をするとき、あるいはこの離間位置から切断位置に
操作をするとき、いずれの場合も、回転刃を本体装置側
に固定している係止つまみを引張って係止解除をしなけ
ればならないが、この係止つまみを引張る動作は、装置
外から操作者が手を伸ばしてその指先で係止つまみを挟
んで引張る姿勢となるため、非常に操作が困難であると
いう問題点がある。
【0018】又、前記仮付け部材は、フィルム吸着位
置、仮付け位置、フィルム切断位置に正確に停止させな
ければならないが、そのためにはサーボモータにより、
その回転数を、例えばパルス数により検出し、その検出
値により制御して、仮付け部材を駆動することが考えら
れるが、フィルムを仮付けする基板の厚さは種々あり、
基板の厚さを変える毎に制御装置の設定パルス数を変更
しなければならないという繁雑さがある。
【0019】更に、制御装置の制御精度を高くして仮付
け部材を仮付け位置に停止させても、サーボモータのト
ルクでは押圧力が不足しフィルム仮付けが不充分となっ
たりするという問題点がある。
【0020】又、基板の両面にフィルムを張付ける場
合、仮付部材は上下から略同期して基板を挟み込むこと
になるが、基板搬送ローラ上の基板が基準位置から上方
にずれると、下側の基板は部材の押圧力が不足して、仮
付け不充分となるという問題点がある。
【0021】この発明は上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたものであって、先端巻付用フィルム保持部材が動作
不能となったり、あるいはこの部材をフィルムと平行に
案内する部材が破損したりすることがなく、先端巻付用
フィルム保持部材の動作を確実にすることができるよう
にしたフィルム張付方法及び装置を提供することを目的
とする。
【0022】更に、フィルムの基板への仮付けを確実に
行うことができるようにしたフィルム張付方法を提供す
ることを目的とする。
【0023】又、ロータリーカッターの回転刃を固定刃
に対して離接する際に、そのロック解除を容易としたフ
ィルム張付装置を提供することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、透光
性支持フィルム上に感光性樹脂層及びカバーフィルムが
積層されてなる連続フィルムをフィルム供給ロールから
引き出し、前記カバーフィルムを剥離させ、搬送手段に
より搬送されてくる基板の先端近傍に、感光性樹脂層側
が該基板側に位置するようにして、該基板に対して近接
及び離反移動可能な仮付け部材、及びこの仮付け部材の
前記基板側に隣接して位置される先端巻付用フィルム保
持部材に吸着して導いた後、該先端巻付用フィルム保持
部材を後退させて、フィルム先端を前記仮付け部材先端
に巻付け、次いで前記基板の先端に前記仮付け部材によ
り仮付けした後、ラミネーションロールによりフィルム
を基板に圧着しつつ、基板を搬送し、前記圧着開始時
に、前記仮付け部材が、フィルム通過面に沿って基板か
ら離間され、且つ、フィルム切断時には、前記先端巻付
用フィルム保持部材がフィルム通過面まで前進して前記
仮付け部材と共にフィルムを吸着し、前記先端巻付用フ
ィルム保持部材に接近した位置でロータリーカッターに
よりフィルムを切断するようにされ、前記ロータリーカ
ッターは前記フィルム通過面と平行な回転中心軸廻りに
回転される回転刃と、この回転刃に対して離接自在とさ
れた固定刃とからなるフィルム張付方法において、前記
仮付け部材をフィルムと同期して基板方向に移動させつ
つ、前記フィルム切断の前に、フィルムの切断予定部位
よりも上流側部分を、該仮付け部材により吸着し、次に
フィルム通過面まで前進して待機している前記先端巻付
用フィルム保持部材を前記仮付け部材と同期して移動さ
せつつ、該先端巻付用フィルム保持部材により、前記フ
ィルムの、前記切断予定部位の上流側に隣接した部位を
吸着し、これら仮付け部材及び先端巻付用フィルム保持
部材を、フィルムを吸着した状態でフィルムを基板方向
に移動させつつ、ロータリーカッターでフィルムを切断
し、前記仮付け部材及び先端巻付用フィルム保持部材
は、該先端巻付用フィルム保持部材が前記ロータリーカ
ッターの固定刃に当接する前に停止させ、且つ、前記仮
付け部材の先端により、前記基板の先端にフィルムを仮
付けする際に、該仮付け部材が、基板搬送面から離間し
た位置の原点から前記基板搬送面に接近する工程で、前
記仮付け部材を、前記原点から基板搬送面近傍位置まで
の間は、モータにより、検出したその回転数により位置
制御して駆動し、前記基板搬送面近傍位置から前記基板
にフィルムを介して接触するまでの間はシリンダ装置に
より駆動し、前記仮付け部材が前記原点に戻る工程で
は、該仮付け部材を、前記基板に接触している位置から
前記原点近傍までの間は、モータにより、検出したその
回転数により位置制御して駆動し、前記原点近傍位置か
ら原点までの間はシリンダ装置により駆動するようにし
たものである。
【0025】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、前記先端巻付用フィルム保持部材を、フィルム通過
面に沿って移動可能、且つ、前記基板搬送ラインから離
間する方向に付勢して支持し、フィルム切断直前に前記
仮付け部材が基板方向にフィルムと同期して移動すると
き、該仮付け部材に当接して基板方向にこれと同期して
押されるようにしたものである。
【0026】
【0027】請求項の発明は、請求項1又は2の発明
において、前記原点への戻り工程における前記基板接触
位置から原点近傍までの間では、モータとシリンダ装置
により仮付け部材を駆動するようにしたものである。
【0028】請求項の発明は、請求項1、2又は
発明において、前記仮付け部材の基板搬送面への接近工
程で、該仮付け部材を基板搬送面近傍位置で停止させ、
前記基板が仮付け位置に搬送されてから、前記シリンダ
装置により駆動して、フィルム先端を基板に仮付けるよ
うにしたものである。
【0029】
【0030】
【0031】請求項5の発明は、透光性支持フィルム上
に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層されてなる連
続フィルムをフィルム供給ロールから引き出し、前記カ
バーフィルムを剥離させ、搬送手段により搬送されてく
る基板の先端近傍に、感光性樹脂層側が該基板側に位置
するようにして、該基板に対して近接及び離反移動可能
な仮付け部材、及びこの仮付け部材の前記基板側に隣接
して位置される先端巻付用フィルム保持部材に吸着して
導いた後、該先端巻付用フィルム保持部材を後退させ
て、フィルム先端を前記仮付け部材先端に巻付け、次い
で前記基板の先端に前記仮付け部材により仮付けした
後、ラミネーションロールによりフィルムを基板に圧着
しつつ、基板を搬送するようにされ、前記圧着開始時
に、前記仮付け部材が、フィルム通過面に沿って基板か
ら離間され、且つ、フィルム切断時には、前記先端巻付
用フィルム保持部材がフィルム通過面まで前進して前記
仮付け部材と共にフィルムを吸着し、前記先端巻付用フ
ィルム保持部材に接近した位置でロータリーカッターに
よりフィルムを切断するようにされ、前記ロータリーカ
ッターは前記フィルム通過面と平行な回転中心軸廻りに
回転される回転刃と、この回転刃に対して離接自在とさ
れた固定刃とからなるフィルム張付装置において、前記
固定刃のフィルム幅方向両端外側位置で、フィルム送り
方向と平行に移動自在に、装置本体に取付けられた支持
ベースと、この支持ベースに、前記フィルム通過面と直
交する方向に配置された前後ガイドレールと、この前後
ガイドレールの移動ブロックに支持された固定刃支持部
材及びフィルム保持部材支持機構と、を設け、前記固定
刃支持部材により、前記固定刃のフィルム幅方向両端を
支持すると共に、前記フィルム保持部材支持機構により
前記先端巻付用フィルム保持部材のフィルム幅方向両端
を支持し、前記フィルム保持部材支持機構は前記先端巻
付用フィルム保持部材を前記フィルム通過面に沿って一
定範囲で移動自在に支持し、且つ、基板通過面から離間
する方向に付勢するばねを備えてなり、又、前記仮付け
部材の基板側先端及び前記フィルム保持部材支持機構と
の間であって、各々のフィルム幅方向両端近傍位置に押
圧機構を設け、この押圧機構は、前記仮付け部材が前記
基板方向に一定距離以内に接近したとき、前記先端巻付
用フィルム保持部材を前記ばねに抗して押圧し、且つ、
前記先端巻付用フィルム保持部材がフィルムから離間し
たとき、前記仮付け部材が、該先端巻付用フィルム保持
部材を越えて前記基板方向へ移動することを許容する
うにしたものである。
【0032】又、請求項6の発明は、請求項5の発明に
おいて、前記押圧機構は、前記仮付け部の基板側先端
近傍の側方から更に基板側に突出した位置に取付けら
れ、基板方向に一定距離以上移動したとき、前記フィル
ム保持部材支持機構に当接して押圧する押圧部材を備え
るようにしたものである。
【0033】請求項の発明は、請求項の発明におい
て、前記押圧部材は、回転中心軸が前記フィルム幅方向
と平行なローラであり、前記押圧機構は、前記ローラ
と、前記フィルム保持部材支持機構の前記ローラが当接
する部位に、前記フィルム通過面と直交する方向に設け
られ、前記ローラと接触した状態での移動を許容するレ
ール部材と、を含んで構成され、前記レール部材は、前
記先端巻付用フィルム保持部材と前記仮付け部材とがフ
ィルム送り方向に干渉する範囲で設けたものである。
【0034】請求項の発明は、請求項5、6又は
発明において、前記回転刃のフィルム幅方向両端を前記
前後ガイドレールに沿って移動自在に支持し、且つ、該
回転刃を前記フィルム通過面の位置にある前記固定刃と
協働してフィルム切断可能な切断位置、及び、前記フィ
ルム通過面から離間した退避位置で、それぞれ固定可能
とする回転刃支持装置を設けたものである。
【0035】
【0036】
【0037】
【0038】
【作用】請求項1の発明によれば、先端巻付用フィルム
保持部材を、基板へのフィルム仮付け時には仮付け部材
の干渉しない位置に待機させ、フィルム切断時には、仮
付け部材と共にフィルムを吸着したまま、これを同期し
て移動させつつ、該フィルムを切断することができる
ともに、仮付け部材を、基板近傍位置までは、回転数に
より位置制御されるモータにより、基板圧接時にはシリ
ンダ装置によりそれぞれ駆動するので、シリンダ装置の
空気圧により基板の厚さの相違を吸収し、且つ、フィル
ムを確実に基板へ仮付けすることができる
【0039】従って、切断時に、ロータリーカッターに
接近した位置でフィルムを保持して迅速に、且つ、フィ
ルムにたるみが生じることなく、正確に切断することが
でき、しかも、仮付け部材を小型軽量に構成することが
できる。
【0040】又、フィルム切断時に、仮付け部材により
先端巻付用フィルム保持部材を押すことによって両者を
同期させるので、先端巻付用フィルム保持部材のための
独立した駆動装置が不要となる。
【0041】
【0042】更に、仮付け部材をモータ回転数で位置制
御しつつ、シリンダ装置により短時間で原点に復帰させ
ることができる。
【0043】又、仮付け部材を基板搬送面近傍位置で待
機させておき、基板が搬送されたとき直ちに仮付けする
ので、作業時間を短縮できる。
【0044】
【0045】請求項の発明によれば、ガイドレールに
よってフィルム通過面と直交する方向に移動自在に支持
された固定刃支持部材及びフィルム保持部支持機構に、
固定刃と先端巻付用フィルム保持部材を支持し、且つ、
先端巻付用フィルム保持部材は固定刃支持部材に対して
フィルム送り方向と平行に移動自在、且つ、ばねにより
固定刃支持部材から離間する方向に付勢して支持してい
るので、固定刃支持部材及び先端巻付用フィルム保持部
材へ、フィルムに対して進退方向の駆動力が直接伝達さ
れ、従って該先端巻付用フィルム保持部材への駆動力伝
達系統に曲げ力や剪断力が作用して、これを曲げたり破
断したりすることを防止できる。
【0046】又、前記先端巻付用フィルム保持部材を押
圧機構を介して仮付け部材により基板方向に押圧するこ
とによって、該先端巻付用フィルム保持部材を仮付け部
材と同期して駆動することができ、確実にフィルム切断
作業を行うことができると共に、先端巻付用フィルム保
持部材のための独立した駆動機構が不要となる。
【0047】更に又、前記押圧機構により、先端巻付用
フィルム保持部材がフィルムから離間したとき、これを
越えて基板方向に前記仮付け手段が移動して、フィルム
を基板に仮付けすることができる。
【0048】前記押圧機構の、先端巻付用フィルム保持
部材を基板方向に押圧する押圧部材をローラとし、且つ
該先端巻付用フィルム保持部材側にはこのローラに対し
てフィルム通過面と直交する方向に移動するレール部材
を設け、先端巻付用フィルム保持部材が仮付け部材によ
って押圧されている状態で、該先端巻付用フィルム保持
部材が前記ローラと非接触となる退避位置に、フィルム
通過面と直交する方向に移動させることができ、これに
より、仮付け部材は基板方向に移動することができる。
【0049】
【0050】
【0051】
【0052】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
【0053】まず本発明の実施例に係るフィルム張付装
置10の概略構成を図1を参照して説明する。
【0054】このフィルム張付装置10によって切断し
て張付けられるフィルム12は、透光性支持フィルム上
に感光性樹脂層及びカバーフィルムが積層された3層構
造であり、供給ロール14に連続的に巻回されている。
【0055】供給ロール14から巻き出されたフィルム
12は、フィルム分離部材16によりカバーフィルムが
剥がされて、感光性樹脂層の接着面が露出された状態と
なり、テンションロー18を経て仮付け部材20の一
部を構成するメインバキュームプレート22に供給され
るようになっている。前記剥がされたカバーフィルム
は、巻取りロー24により巻き取られるように構成さ
れている。
【0056】前記供給ロール14、フィルム分離部材1
6、テンションロー18、仮付け部材20、巻取りロ
24等は、基板搬送面I−Iを中心に上下対称に一
対ずつ設けられていて、フィルム12が基板26の上面
及び下面に同期して張付けられるようにされている。
【0057】前記メインバキュームプレート22は、図
2に示されるように、負圧が印加される多数の吸引溝2
2A及び吸引孔22Bが表面に設けられ、フィルム12
を吸着できるようにされ、且つ、図において上下方向の
ガイドレール28に摺動自在に支持され、エアシリンダ
30及びメインバキュームプレート駆動用サーボモータ
35によってガイドレール28に沿って、上下同期して
フィルム張付位置に近接し、且つ、離反する方向、即ち
基板搬送面I−Iに対して近接、離反することができる
ようにされている。
【0058】又、前記メインバキュームプレート22の
基板搬送面I−I側先端には、前記メインバキュームプ
レート22の表面から連続して湾曲し、且つ正面にフィ
ルム吸着溝21Bが形成されたフィルム仮付け部材本体
21が連結されている。このフィルム仮付け部材本体2
1のフィルム送り方向の先端部21A近傍にはヒータ
(図示省略)が埋め込まれ、該先端部21Aを加熱する
ようにされている。
【0059】前記ガイドレール28は装置本体の取付枠
(図示省略)に固定されたメインバキュームプレート用
支持板32に取付けられている。
【0060】前記エアシリンダ30は、フィルム幅方向
の左右に一対設けられ、そのシリンダ側の端部が上側の
メインバキュームプレート22に、又ロッド側の端部が
下側のメインバキュームプレート22にそれぞれアーム
30Aを介して固着され、上下のアームがラック34
A、ピニオン34B、ラック34Cを介して同期して上
下のメインバキュームプレート22が駆動されるように
なっている。前記ピニオン34Bはメインバキュームプ
レート用支持板32に回転自在に支持されている。
【0061】更に、前記左右のピニオン34Bは、上側
の左右のアーム30A間に水平に配置された左右同調連
結シャフト34Dに同軸的に固着され、又、この左右同
調連結シャフト34Dの図2において右端にはメインバ
キュームプレート駆動用のサーボモータ35が接続さ
れ、前記左右のピニオン34Bが同期してサーボモータ
35によって駆動され得るようになっている。このサー
ボモータ35は、サーボモータ保持部材35Aを介し
て、前記メインバキュームプレート用支持板32に取付
けられている。
【0062】前記仮付け部材20は前記エアシリンダ3
0及びサーボモータ35により、次のように駆動される
ようにされている。
【0063】まず、図3に示されるように、仮付け部材
20は基板搬送面I−Iから最も離れた原点22Aから
手動切断位置22B、自動切断位置22C、仮付け待機
位置22Dの各停止位置を経て仮付け圧着位置22Eま
で順次接近していくが、原点22Aから仮付け待機位置
22Dまでは、サーボモータ35により駆動され、且
つ、各停止位置は、サーボモータ35の回転に応じて発
生するロータリーエンコーダ(図示省略)からのパルス
数を計数することにより決定される。
【0064】待機位置22Dは基板搬送面I−Iから2
0mmの位置とされ、前記仮付け部材20はここから、
エアシリンダ30により駆動され、空気圧によりフィル
ム12を介して基板26に押圧されるようになってい
る。
【0065】前記仮付け部材20が基板26から離間す
る際は、エアシリンダ30とサーボモータ35により原
点22A近く、例えば原点22Aから数mmの切替位置
22Fまで駆動され、この切替位置22Fから原点22
Aまではエアシリンダ35のみにより駆動される。エア
シリンダ30とサーボモータ35を併用する場合、仮付
け部材20の、仮付け圧着位置22Dから切替位置22
Fまでの移動量は、前記と同様にパルス数の計数により
検出される。
【0066】前記仮付け待機位置22Dから仮付け圧着
位置22Eまで、及び切替位置22Fから原点22Aま
での距離は、サーボモータ35により駆動されれる距離
を一定値としたとき、基板26の厚さにより異なるが、
これはエアシリンダ35のピストンにより吸収される。
従って、サーボモータ35の回転に応じて発生するパル
ス数の設定値を、基板26の厚さに応じて変更する必要
はない。
【0067】前記メインバキュームプレート用支持板3
2には、図4〜図6に示されるように、前記メインバキ
ュームプレート22の幅方向両端外側位置には、上下ガ
イド部材33を介して、支持ベース36が上下方向移動
自在に配置されている。
【0068】前記上下ガイド部材33はメインバキュー
ムプレート用支持板32側のガイドレール33Aと、支
持ベース36側に設けられ、ガイドレール33Aに摺動
自在に支持される摺動部材33Bとから構成されてい
る。
【0069】前記左右の支持ベース36は、図8におい
て、その上端がフィルム通過面12Aと平行、且つ、水
平の支持ピン36Aを介して、連結部材36Bに連結さ
れている。図8において左側の連結部材36Bは、ブラ
ケット32Aに取付けられたエアシリンダからなるロー
タリーカッター角度調整器37により上下方向に駆動さ
れるように支持されている。又右側の連結部材36B
は、ナット36Cにより上下方向位置調整可能に、ブラ
ケット32Aに支持されている。前記ブラケット32A
は、前記メインバキュームプレート用支持板32に固定
されている。
【0070】又、支持ピン36Aが貫通する支持ベース
36の孔36Dの内径は、該支持ピン36Aの外径より
も大きくされ、支持ベース36が連結部材36Bに対し
て、フィルム通過面12Aと平行な面内で僅かに傾くこ
とができるようにされている。
【0071】前記ロータリーカッター角度調整器37は
左側の支持ベース36のみを上下方向に駆動することに
より、後述のロータリーカッタ54における固定刃54
A、回転刃54Bを、フィルム通過面12Aと平行な面
内で傾動させて、該切刃及び回転刃54Bの中心軸線が
水平から所定の角度範囲(0°〜5°)で任意に傾くこ
とができるようにするものである。
【0072】前記支持ベース36には、フィルム通過面
12Aに対して直交する方向に配置された前後ガイドレ
ール38が設けられている。この前後ガイドレール38
は支持ベース36に固着された固定レール38Bと、こ
の固定レール38Bに摺動自在に支持された移動ブロッ
ク38Aとから構成され、該移動ブロック38Aは、相
互に独立して摺動され得る固定刃支持用移動ブロック3
9Aと回転刃支持用移動ブロック39Bとから構成され
ている。
【0073】前記固定刃支持用移動ブロック39Aには
浮動機構40を介して先端巻付用フィルム保持部材42
の両端が浮動支持されている。
【0074】更に詳細には、図6及び図7に示されるよ
うに、前記固定刃支持用移動ブロック39Aには、ガイ
ドレール40Aが上下方向に取付けられ、又、このガイ
ドレール40Aを上下自在に移動ブロック40Eが設け
られ、該移動ブロック40Eには、これを取り囲むよう
に、短い四角筒状のガイドフレーム40Bが支持されて
いる。このガイドフレーム40Bには、前記基板搬送面
I−I方向に細長い浮動シャフト40Cが立設され、こ
の浮動シャフト40Cの先端とストッパープレート40
Fとの間には圧縮コイルばね40Dが装架され、ガイド
フレーム40Bがガイドレール40Aに対して基板搬送
面I−Iから離間する方向に浮動支持されている。スト
ッパプレート40Fは前記固定刃支持用稼動ブロック3
9Aと一体の固定刃支持部材52(後述)に取り付けら
れている。
【0075】前記ガイドフレーム40Bは、前記メイン
バキュームプレート22の幅方向両側、且つ基板搬送面
I−I側先端に隣接した位置で、先端巻付用フィルム保
持部材42の幅方向両端を支持している。従って、先端
巻付用フィルム保持部材42は、ガイドレール40Aに
対して上下方向に浮動支持され、且つ前後ガイドレール
38によってフィルム通過面12Aに対して進退自在と
され、更に支持ベース36と共に上下方向に一定範囲で
駆動され得るようになっている。
【0076】前記先端巻付用フィルム保持部材42のフ
ィルム通過面12A側の端面には、負圧が印加される吸
引溝42Aと吸引孔42Bが設けられていて、該端面に
フィルム12を吸着することができるようにされてい
る。
【0077】図の符号44は前記ガイドレール40Aが
取付けられた、前後ガイドレール38における固定刃支
持用移動ブロック39Aを駆動するためのエアシリンダ
を示す。
【0078】前記ガイドフレーム40Bは、図4〜図7
に示されるように、断面L字形状の、且つフィルム通過
面12Aに対して直交する方向に一定長さを持ったレー
ル部材48Aを介して前記先端巻付用フィルム保持部材
42の両端を支持している。
【0079】これに対して、前記メインバキュームプレ
ート22の基板搬送面I−I側先端の幅方向両側には、
前記レール部材48Aに基板搬送面I−Iと反対方向か
ら接触し、且つ接触しつつレール部材48Aが、フィル
ム通過面12Aと直交する方向に移動するとき回転され
る押圧ローラ48Bが回転自在に支持されている。この
押圧ローラ48Bと前記レール部材48Aは押圧機構4
8を構成している。
【0080】又、前記前後ガイドレール38の固定刃支
持用移動ブロック39Aには、図7、図9に示されるよ
うに、固定刃支持部材52が取付けられ、この固定刃支
持部材52は、支持ベース36に固定されているエアシ
リンダ支持部材45に取付けられたエアシリンダ44の
ロッドの先端が接続されていて、該エアシリンダ44の
動作によって、ロータリーカッター54の固定刃54A
が、フィルム通過面12Aに対して直交する方向に進退
自在に支持されている。
【0081】この固定刃支持部材52は、前記固定刃5
4Aを、前記先端巻付用フィルム保持部材42がメイン
バキュームプレート22によって基板搬送面I−I方向
に押圧されたとき、該先端巻付用フィルム保持部材42
の基板搬送面I−I側に隣接して、その固定刃54Aの
先端が位置するようにこれを支持している。
【0082】前記ロータリーカッター54は、前記固定
刃54Aと、この固定刃54Aに対して回転することに
より、両者間でフィルムを切断する回転刃54Bとから
構成されている。この回転刃54Bは、その両端が回転
刃支持部材56により前記前後ガイドレール38におけ
る回転刃支持用移動ブロック39Bによりフィルム通過
面12Aに対して進退自在に支持されている。図の符号
54Cは回転刃54Bを回転駆動するためのサーボモー
タを示す。
【0083】前記回転刃支持部材56は、前記前後ガイ
ドレール38の固定レール38Bと一体の支持ベース3
6に対して、回転刃54Bが固定刃54Aと接触してフ
ィルム12を切断することができる切断位置、及び、フ
ィルム通過面12Aから固定刃54Bと反対方向に離間
した退避位置で、それぞれ位置固定できるように回転刃
位置ロック装置58を備えている。
【0084】この回転刃位置ロック装置58は、回転刃
支持部材56を貫通して形成された嵌合孔に先端が挿通
されるロックつまみ58Aと、このロックつまみ58A
の先端が、前記切断位置及び退避位置でそれぞれ係合す
るように、支持ベース36に形成された係止孔58B、
58Cと、ロックつまみ58Aをその突出方向、即ち支
持ベース36方向に付勢するためのロックばね58Dと
から構成されている。
【0085】前記ロックつまみ58Aの、フィルム幅方
向内側の位置でこれと対向する位置には、前記回転支持
部材56から延在して受け板58Eが設けられている。
この受け板58Eはロックつまみ58Aの中心軸と直交
するように、且つ、該ロックつまみ58Aを、人の人指
し指と中指で挟み込んだとき親指を掛けられる形状、距
離で配置されている。
【0086】前記回転刃支持部材の上下には、それぞれ
フィルム12へ向けてエアを吹き付けるための空気吹付
管60Aと、60B、60Cとが設けられている。これ
ら空気吹付管60A、60B、60Cには、前記フィル
ム12に対向する側に空気吹出孔(図示省略)が各管の
長手方向に沿って、例えば20mmピッチで多数穿設さ
れている。又、前記回転刃支持部材の下側の一対の空気
吹付管のうち、上部の空気吹付管60Bは、フィルム切
断時における前記仮付け部材20の先端部21Aに向け
て空気流を形成するようにされ、下部の空気吹付管60
Cは、後述のバキュームバー70とガイドロール72の
間に空気流を形成するようにされている。
【0087】又、前記受け板58Eは左右一対あり、こ
れらは、前記上側の空気吹付管60Aによりフィルム幅
方向に一体的に連結されている。
【0088】図の符号62はラミネーションロー、6
4は前記基板搬送機構における駆動用ローラ、66は同
従動用ローラ、68は基板押え部材、70はフィルム1
2の切断後のフィルム後端を吸着保持するためのバキュ
ームバー、72は基板先端位置検出光センサ、74は基
板後端位置検出光センサをそれぞれ示す。又符号76
は、フィルム切断時におけるバキュームバー70と固定
刃54Aとの間に配置され、該固定刃54Aの位置で、
フィルム12を図において上下方向に案内するためのガ
イドロールを示す。前記バキュームバー70はラミネー
ションロー62の近傍に回転自在に設けられ、該ラミ
ネーションロー62の回転周速度と等速乃至若干遅い
速度で、切断されたフィルム12の後端又はその近傍を
吸着保持しながら基板26上のフィルム12とラミネー
ションロー62との接触面近傍位置まで移動させるも
のである。
【0089】前記基板押え部材68は、基板押えローラ
68Aと、これを上下動させる基板押えローラ用エアシ
リンダ68Bとから構成されている。前記ラミネーショ
ンロー62〜基板押え部材68の関係は、次の如くで
ある。
【0090】基板搬送面I−Iの近傍に設けられた基板
先端位置検知光センサ72で基板26の先端が検知さ
れ、所定時間後にフィルム仮付け位置まで同基板22が
搬送されると、駆動用ローラ64の回転が停止される。
これと同時に前記基板押え部材68により基板26を押
えるように、基板押えローラ用エアシリンダ68Bによ
り、基板押えローラ68Aが駆動される。
【0091】前記基板押えローラ68Aにより、基板2
6の動きが確実に停止され、仮付け部材20の先端部で
あるフィルム仮付け部材本体21が基板26に当接して
も、該基板26が動かず、フィルム12の仮付けが確実
に行われる。
【0092】前記基板押えローラ68Aによる基板26
の押えは、ラミネーションロー62が基板26に当接
するまで行われ、ラミネーションロー62の当接タイ
ミングと同調して基板押えローラ用エアシリンダ68B
が解除作動される。
【0093】次に、図10〜図12を参照して前記実施
例に係るフィルム張付装置の作用について説明する。
【0094】まず、エアシリンダ44により固定刃支持
用移動ブロック39Aをフィルム通過面12A方向に前
進させ、これにより、先端巻付用フィルム保持部材42
と固定刃54Aがそれぞれ上下に隣接した状態でフィル
ム通過面12Aの位置となるようにセットする。又、仮
付け部材20は、サーボモータ35により、原点22A
から、基板搬送面I−I方向に駆動し、前記押圧ローラ
48Bによって、レール部材48Aを介して、前記先端
巻付用フィルム保持部材42が固定刃54Aと隣接する
状態(手動切断位置22B)までこれを押し下げる(図
10(A)参照)。
【0095】一方、回転刃支持部材56は、ロックつま
み58Aを引き出して、フィルム通過面12Aから離間
する方向に引張り、退避位置においてロックつまみ58
Aを係止孔58Cに係合させて、該退避状態に固定す
る。
【0096】従って、回転刃54Bと固定刃54A間に
は隙間が生じ、ここに、供給ロール14から引き出し、
且つカバーフィルムが剥離されたフィルム12を手動に
て引張り、その先端が固定刃54Aを越えた状態で、メ
インバキュームプレート22、フィルム仮付け部材本体
21、及び前記先端巻付用フィルム保持部材42に負圧
を印加してフィルム12を吸着する。
【0097】次に、ロータリーカッター角度調整器37
により、図8において左側の支持ベース36を上下動さ
せ、これに支持される固定刃54A及び回転刃54B
を、固定刃54Aの切刃及び回転刃54Bの中心軸線が
フィルム幅方向と平行になるようにセットする。
【0098】更に、ロックつまみ58Aを引張り、退避
状態のロックを解除して、回転刃支持部材56をフィル
ム通過面12A方向に駆動し、ロックつまみ58Aを係
止孔58Bに係合して切断位置に固定してから回転刃5
4Bを駆動し、固定刃54Aとの間で、固定刃54Bか
らはみ出した先端部を切断し、これを除去する。このと
き、固定刃54Aの切刃はフィルム進行方向と直交して
いるので、フィルムの先端が直角に切断される。
【0099】前記回転刃位置ロック装置58のロックつ
まみ58Aを係止孔58B又は58Cからロックばね5
8Dに抗して引張るときに、前記該ロックつまみ58A
のフィルム幅方向内側に対向して配置された前記受け板
58Eに親指を掛け、且つロックつまみ58Aを人指し
指及び中指にて挟み込み、これを引張ることにより、該
ロックつまみ58Aによるロックを、無理な姿勢をする
ことなく、操作性良く解除することができる。
【0100】次に、エアシリンダ44により、固定刃支
持用移動用ブロック38Aを駆動して、先端巻付用フィ
ルム保持部材42と固定刃支持部材52をフィルム通過
面12Aから離間するように駆動する。
【0101】このとき、フィルム12の先端は、先端巻
付用フィルム保持部材42に吸着されているので、該先
端は、図10(B)に示されるように、仮付け部材20
におけるメインバキュームプレート22から、更にフィ
ルム仮付け部材本体21の湾曲面に沿ってこれに押し付
けられるように引張られ、先端巻付用フィルム保持部材
42から離間して、フィルム仮付け部材本体21に吸着
される。
【0102】先端巻付用フィルム保持部材42及び固定
刃支持部材52がフィルム通過面12Aから一定距離以
上離間すると、先端巻付用フィルム保持部材42の仮付
け部材側面に形成されているレール部材48Aが、押圧
ローラ48Bから外れることになる。
【0103】従って、圧縮コイルばね40Dが押圧力か
ら解放されて伸長するため、先端巻付用フィルム保持部
材42及びこれを支持するガイドフレーム40B、浮動
シャフト40Cが固定刃54Aから離間する方向に駆動
され、図10(C)の状態となる。
【0104】先端巻付用フィルム保持部材42及び固定
刃54Aの後退により、仮付け部材20は、これらと干
渉することなく基板26方向への移動が可能となり、仮
付け部材20は、図11(A)で2点鎖線で示されるよ
うに、仮付け待機位置22Dまでサーボモータ35によ
り駆動され、ここで停止される。
【0105】次に、基板先端位置検出光センサ70によ
り基板26の先端が検出された後に、所定のタイミング
で、仮付け部材20がエアシリンダ30により基板26
方向に駆動され、図11(A)に実線で示されるよう
に、フィルム仮付け部材本体21に巻き付けられている
フィルム12の先端が、該先端部21Aのヒータによっ
て、基板26の先端に押圧、仮付けされる。
【0106】このとき、フィルム12の基板26の接触
工程をエアシリンダ30により行うと、基板26の厚さ
の差等を空気圧により吸収できると共に、充分な押圧力
を得て、仮付けを確実に行うことができる。
【0107】フィルム12の先端の仮付けが開始する
と、仮付け部材20はその負圧が解除され、設定時間経
過後に、図11(B)に示されるように基板26から離
間する方向に、切替位置22Fまで、前記エアシリンダ
30及びサーボモータ35によって駆動される。仮付け
圧着位置22Eから前記切替位置22Fまでの距離は一
定値に設定されているが、切替位置22Fから点22A
まではエアシリンダ30のみにより駆動されるので、基
板26の厚さの相違による切替位置22Fから原点22
Aまでの距離の変動が空気圧により吸収される。
【0108】仮付け部材20が基板26から離間する途
中に、ラミネーションロー62が基板26の先端位置
に駆動され、基板26を駆動用ローラ64によって搬送
することにより、ラミネーションロー62による、フ
ィルム12の基板26への熱圧着が開始される。
【0109】この熱圧着開始直前に、前記エアシリンダ
44により固定刃支持用移動ブロック39Aを介して、
前記先端巻付用フィルム保持部材42及び固定刃54A
がフィルム通過面12Aの位置まで前進される。このと
き、固定刃54Aに対して、先端巻付用フィルム保持部
材42は、図12(A)に示されるように、仮付け部材
20側に離間した状態とされている。又、ラミネーショ
ンロー62と同期して、前記バキュームバー70もフ
ィルム通過面12Aの位置に駆動されている。
【0110】又、固定刃54A及び回転刃54Bは、ロ
ータリーカッター角度調整器37により、その切刃及び
中心軸線が回転刃54Bにおける切刃のねじれ角と反対
方向に5°程度傾けられる。このようにすると、フィル
ム12を移動中に切断してもその先端縁の傾きが小さく
なる。
【0111】基板26の後端が接近すると、基板後端位
置検出光センサ72が基板後端を検出し(図13のS1
01参照)、仮付け部材動作タイミングカウンタがON
され(S102)、所定時間後に、仮付け部材20がガ
イドレール28に沿って、サーボモータ35によりフィ
ルム12と同期して基板26方向に駆動される(S10
3、S104)と、該仮付け部材20に取付けられた前
記押圧ローラ48Bが先端巻付用フィルム保持部材42
に接触してこれを押圧するので、先端巻付用フィルム保
持部材42は圧縮コイルばね40Dに抗して固定刃54
Aに隣接する位置にまでフィルム12と同期して基板2
6方向に押圧される(S105)。
【0112】前記仮付け部材動作タイミングカウンタが
ON信号を出力したとき、同時に、バキュームタイミン
グカウンタにこのON信号が入力される(S106)。
【0113】バキュームタイミングカウンタは所定時間
後にON信号を出力し、前記仮付け部材20及び先端巻
付用フィルム保持部材42に順次負圧を印加させる(S
107、S108)。又バキュームバー70にも負圧が
印加されて、前記仮付け部材20、先端巻付用フィルム
保持部材42と共に、フィルム12がこれらに吸着され
得る状態となる。この負圧印加のタイミングは、仮付け
部材20の基板26方向への移動がフィルム12と同期
したとき、該仮付け部材20にON、仮付け部材20が
先端巻付用フィルム保持部材42を押してこれと同期し
たときに該先端巻付用フィルム保持部材42にONとな
るようにする。
【0114】前記バキュームタイミングカウンタからの
ON信号はカッタースタートタイミングカウンタにも出
力され(S109)、所定時間後にサーボモータ54C
により回転刃54Bが駆動されると(S110)、固定
刃54Aとの間でフィルム12が切断される(S11
1)。フィルム切断中、前記仮付け部材20、先端巻付
用保持部材42及びフィルム12は基板26方向に移動
され、フィルム切断終了後に、前記先端巻付用フィルム
保持部材42が固定刃54Aに隣接する位置まで来て停
止される(S112)。なお、フィルム切断時における
回転刃54Bの切刃の回転周速をフィルム12の移動速
度の2倍以上とするとフィルム12の移動中も、これを
引張ったり、からまったりすることなく良好に切断でき
た。
【0115】フィルム12の後端はここに前記空気吹付
管60B、60Cからエアが吹付けられるので、図12
(B)に示されるようにガイドロール72に巻き付けら
れるように吹き流される。
【0116】フィルム12の後端はラミネーションロー
ル62による圧着が進行中であるので基板26方向に移
動するが、該後端がガイドロール72を通過するとき、
切替弁(図示省略)により圧力エア供給を空気吹付管6
0Bから60Cに切替える。
【0117】このためフィルム12の後端は、図12
(B)に2点鎖線で示されるように、バキュームバー7
0に巻き付けられるように吹き流される。ここで、前記
空気吹付管60Bからの空気流が、仮付け部材20の先
端部21Aに向けて噴出している間に、図10(A)か
ら(B)に至る工程が進行し、フィルム12の先端が、
該空気流により仮付け部材本体21の湾曲した吸着面及
び先端巻付用フィルム保持部材42の先端吸着面に吹き
付けられ、これからのフィルム12の脱落が防止され
る。
【0118】バキュームバー70に巻き付けられたフィ
ルム12の後端はこれに吸着され、この吸着により、フ
ィルム12の後端に引張り力を与えつつ、ラミネーショ
ンローラ62によりフィルム12を基板26に熱圧着し
て、1回のフィルム張付工程を終了する。
【0119】基板26Aのフィルム12の熱圧着が終了
した後は、図10(A)に示された最初の状態(原点2
2Aの位置)に戻り、次のフィルム12を次の基板26
に、前述と同様の図10(A)から図12(B)に示さ
れる過程で繰り返し熱圧着されることになる。
【0120】なお上記実施例はエアシリンダを各所に利
用しているが、これは流体により作動されるシリンダ装
置であればよく、油圧シリンダ、水圧シリンダ、ガスシ
リンダ等であってもよい。
【0121】
【発明の効果】この発明においては、仮付け部材を、基
板近傍位置までは、回転数により位置制御されるモータ
により、基板圧接時にはシリンダ装置によりそれぞれ駆
動するので、シリンダ装置の空気圧により基板の厚さの
相違を吸収し、且つ、フィルムを確実に基板へ仮付けす
ることができる。又、先端巻付用フィルム保持部材を、
基板へのフィルム仮付け時には仮付け部材の干渉しない
位置に待機させ、フィルム切断時には、仮付け部材と共
にフィルムを吸着したまま、これを同期して移動させつ
つ、該フィルムを切断することができる。
【0122】従って、切断時に、ロータリーカッターに
接近した位置でフィルムを保持して迅速に、且つ、フィ
ルムにたるみが生じることなく、正確に切断することが
でき、しかも、仮付け部材を小型軽量に構成することが
できる。
【0123】又、先端巻付用フィルム保持部材と固定刃
支持部材の両方が独立して前後ガイドレールの移動レー
ルに支持されているので、これらをフィルム通過面に対
して前後動させる際に、曲げ力や剪断力が発生すること
なく確実に駆動することができる。従って、従来のよう
に、先端巻付用フィルム保持部材の動作不能が生じるこ
とがない。
【0124】更に、仮付け部材により、押圧機構を介し
て先端巻付用フィルム保持部材を固定刃方向に押圧し、
且つ押圧状態で先端巻付用フィルム保持部材が仮付け部
材と非係合の位置まで後退できるようにしているので、
先端巻付用フィルム保持部材の駆動のための複雑な制御
機構を設けることなく、確実にその位置決めを行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るフィルム張付装置の実施例を示す
略示断面図
【図2】同実施例の仮付け部材及びその駆動機構を示す
一部断面とした斜視図
【図3】同実施例の先端巻付用フィルム保持部材及び仮
付け部材の関係を示す正面図
【図4】同実施例の仮付け部材の移動過程を示す略示断
面図
【図5】図4のV −V 線に沿う断面図
【図6】図4のVI−VI線に沿う拡大断面図
【図7】同実施例の浮動機構を示す分解斜視図
【図8】同実施例装置におけるロータリーカッターの回
転刃及びその移動機構を示す正面図
【図9】図8のIX−IX線に沿う断面図
【図10】同実施例装置の作用の前段を示す略示断面図
【図11】同実施例装置の作用の中段を示す略示断面図
【図12】同実施例装置の作用の後段を示す略示断面図
【図13】フィルム切断時の仮付け部材、先端巻付用フ
ィルム保持部材の動作を示す流れ図
【符号の説明】
10…フィルム張付装置 12…フィルム 12A…フィルム通過面 14…供給ロール 20…仮付け部材 22…メインバキュームプレート 26…基板 32…メインバキュームプレート用支持板 34…上下ガイドレール 35…サーボモータ 36…支持ベース 38…前後ガイドレール 38A…固定刃支持用移動ブロック 40…浮動機構 40A…ガイドレール 40B…ガイドフレーム 40C…浮動シャフト 40D…圧縮コイルばね 42…先端巻付用フィルム保持部材 44…エアシリンダ 48…押圧機構 48A…レール部材 48B…押圧ローラ 52…固定刃支持部材 54…ロータリーカッター 56…回転刃支持部材 58…回転刃位置ロック装置 58A…つまみ 58B、58C…係止孔 58D…ロックばね 58E…受け板 60A…空気吹付管 62…ラミネーションロー 70…バキュームバー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B29C 65/00 - 65/82 B29C 63/00 - 63/48 B32B 1/00 - 35/00 H05K 3/06

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及び
    カバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィル
    ム供給ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離
    させ、搬送手段により搬送されてくる基板の先端近傍
    に、感光性樹脂層側が該基板側に位置するようにして、
    該基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材、及
    びこの仮付け部材の前記基板側に隣接して位置される先
    端巻付用フィルム保持部材に吸着して導いた後、該先端
    巻付用フィルム保持部材を後退させて、フィルム先端を
    前記仮付け部材先端に巻付け、次いで前記基板の先端に
    前記仮付け部材により仮付けした後、ラミネーションロ
    ールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送
    し、前記圧着開始時に、前記仮付け部材が、フィルム通
    過面に沿って基板から離間され、且つ、フィルム切断時
    には、前記先端巻付用フィルム保持部材がフィルム通過
    面まで前進して前記仮付け部材と共にフィルムを吸着
    し、前記先端巻付用フィルム保持部材に接近した位置で
    ロータリーカッターによりフィルムを切断するようにさ
    れ、前記ロータリーカッターは前記フィルム通過面と平
    行な回転中心軸廻りに回転される回転刃と、この回転刃
    に対して離接自在とされた固定刃とからなるフィルム張
    付方法において、前記仮付け部材をフィルムと同期して
    基板方向に移動させつつ、前記フィルム切断の前に、フ
    ィルムの切断予定部位よりも上流側部分を、該仮付け部
    材により吸着し、次にフィルム通過面まで前進して待機
    している前記先端巻付用フィルム保持部材を前記仮付け
    部材と同期して移動させつつ、該先端巻付用フィルム保
    持部材により、前記フィルムの、前記切断予定部位の上
    流側に隣接した部位を吸着し、これら仮付け部材及び先
    端巻付用フィルム保持部材を、フィルムを吸着した状態
    でフィルムを基板方向に移動させつつ、ロータリーカッ
    ターでフィルムを切断し、前記仮付け部材及び先端巻付
    用フィルム保持部材は、該先端巻付用フィルム保持部材
    が前記ロータリーカッターの固定刃に当接する前に停止
    させ、且つ、前記仮付け部材の先端により、前記基板の
    先端にフィルムを仮付けする際に、該仮付け部材が、基
    板搬送面から離間した位置の原点から前記基板搬送面に
    接近する工程で、前記仮付け部材を、前記原点から基板
    搬送面近傍位置までの間は、モータにより、検出したそ
    の回転数により位置制御して駆動し、前記基板搬送面近
    傍位置から前記基板にフィルムを介して接触するまでの
    間はシリンダ装置により駆動し、前記仮付け部材が前記
    原点に戻る工程では、該仮付け部材を、前記基板に接触
    している位置から前記原点近傍までの間は、モータによ
    り、検出したその回転数により位置制御して駆動し、前
    記原点近傍位置から原点までの間はシリンダ装置により
    駆動することを特徴とするフィルム張付方法。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記先端巻付用フィル
    ム保持部材を、フィルム通過面に沿って移動可能、且
    つ、前記基板搬送ラインから離間する方向に付勢して支
    持し、フィルム切断直前に前記仮付け部材が基板方向に
    フィルムと同期して移動するとき、該仮付け部材に当接
    して基板方向にこれと同期して押されることを特徴とす
    るフィルム張付方法。
  3. 【請求項3】請求項1又は2において、前記原点への戻
    り工程における前記基板接触位置から原点近傍までの間
    では、モータとシリンダ装置により仮付け部材を駆動す
    ることを特徴とするフィルム張付方法。
  4. 【請求項4】請求項1、2又は3において、前記仮付け
    部材の基板搬送面への接近工程で、該仮付け部材を前記
    基板搬送面近傍位置で停止させ、前記基板が仮付け位置
    に搬送されてから、前記シリンダ装置により駆動して、
    フィルム先端を基板に仮付けすることを特徴とするフィ
    ルム張付方法。
  5. 【請求項5】透光性支持フィルム上に感光性樹脂層及び
    カバーフィルムが積層されてなる連続フィルムをフィル
    ム供給ロールから引き出し、前記カバーフィルムを剥離
    させ、搬送手段により搬送されてくる基板の先端近傍
    に、感光性樹脂層側が該基板側に位置するようにして、
    該基板に対して近接及び離反移動可能な仮付け部材、及
    びこの仮付け部材の前記基板側に隣接して位置される先
    端巻付用フィルム保持部材に吸着して導いた後、該先端
    巻付用フィルム保持部材を後退させて、フィルム先端を
    前記仮付け部材先端に巻付け、次いで前記基板の先端に
    前記仮付け部材により仮付けした後、ラミネーションロ
    ールによりフィルムを基板に圧着しつつ、基板を搬送す
    るようにされ、前記圧着開始時に、前記仮付け部材が、
    フィルム通過面に沿って基板から離間され、且つ、フィ
    ルム切断時には、前記先端巻付用フィルム保持部材がフ
    ィルム通過面まで前進して前記仮付け部材と共にフィル
    ムを吸着し、前記先端巻付用フィルム保持部材に接近し
    た位置でロータリーカッターによりフィルムを切断する
    ようにされ、前記ロータリーカッターは前記フィルム通
    過面と平行な回転中心軸廻りに回転される回転刃と、こ
    の回転刃に対して離接自在とされた固定刃とからなるフ
    ィルム張付装置において、前記固定刃のフィルム幅方向
    両端外側位置で、フィルム送り方向と平行に移動自在
    に、装置本体に取付けられた支持ベースと、この支持ベ
    ースに、前記フィルム通過面と直交する方向に配置され
    た前後ガイドレールと、この前後ガイドレールの移動ブ
    ロックに支持された固定刃支持部材及びフィルム保持部
    材支持機構と、を設け、前記固定刃支持部材により、前
    記固定刃のフィルム幅方向両端を支持すると共に、前記
    フィルム保持部材支持機構により前記先端巻付用フィル
    ム保持部材のフィルム幅方向両端を支持し、前記フィル
    ム保持部材支持機構は前記先端巻付用フィルム保持部材
    を前記フィルム通過面に沿って一定範囲で移動自在に支
    持し、且つ、基板通過面から離間する方向に付勢するば
    ねを備えてなり、又、前記仮付け部材の基板側先端及び
    前記フィルム保持部材支持機構との間であって、各々の
    フィルム幅方向両端近傍位置に押圧機構を設け、この押
    圧機構は、前記仮付け部材が前記基板方向に一定距離以
    内に接近したとき、前記先端巻付用フィルム保持部材を
    前記ばねに抗して押圧し、且つ、前記先端巻付用フィル
    ム保持部材がフィルムから離間したとき、前記仮付け部
    材が、該先端巻付用フィルム保持部材を越えて前記基板
    方向へ移動することを許容するようにされたことを特徴
    とするフィルム張付装置。
  6. 【請求項6】請求項5において、前記押圧機構は、前記
    仮付け部の基板側先端近傍の側方から更に基板側に突
    出した位置に取付けられ、基板方向に一定距離以上移動
    したとき、前記フィルム保持部材支持機構に当接して押
    圧する押圧部材を備えたことを特徴とするフィルム張付
    装置。
  7. 【請求項7】請求項5において、前記押圧部材は、回転
    中心軸が前記フィルム幅方向と平行なローラであり、前
    記押圧機構は、前記ローラと、前記フィルム保持部材支
    持機構の前記ローラが当接する部位に、前記フィルム通
    過面と直交する方向に設けられ、前記ローラと接触した
    状態での移動を許容するレール部材と、を含んで構成さ
    れ、前記レール部材は、前記先端巻付用フィルム保持部
    材と前記仮付け部材とがフィルム送り方向に干渉する範
    囲で設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
  8. 【請求項8】請求項5、6又は7において、前記回転刃
    のフィルム幅方向両端を前記前後ガイドレールに沿って
    移動自在に支持し、且つ、該回転刃を前記フィルム通過
    面の位置にある前記固定刃と協働してフィルム切断可能
    な切断位置、及び、前記フィルム通過面から離間した退
    避位置で、それぞれ固定可能とする回転刃支持装置を設
    けたことを特徴とするフィルム張付装置。
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