JPS63231315A - 遮光膜の形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ〉産業上の利用分野 本発明は液晶表示装置に使用される遮光膜の形成方法に
関し、特に分離された電極間を遮光するための遮光膜の
形成方法に関する。

（ロ）従来の技術 従来の遮光膜形成方法は、第３図Ａ及びＢに示す如く、
ガラス基板（１０）（１１）上に列又は行方向の細長い
しま状の透明電極（１２）（１３）を形成し、透明電極
（１２）（１３）上には透明電極（１２）（１３）を分
割する遮光膜（１４）（１５）を形成する。遮光膜（１
４）（１５）はクロムやパラジウムやニッケルが用いら
れ、蒸着やスパッタ或は電気メッキで行われ、ホトリソ
グラフィやマスク蒸着によってパ久・−ニングされる。

次に第３図Ｃに示す如く、第３図Ａ及び第３図Ｂに示さ
れたガラス基板（１０）（１１）を対向配置する。画素
（１６）間のすき間（１７）は、第３図Ａの電極すき間
（１８）に相当し、第３図Ｂの遮光膜（１５）により遮
光され、すき間（１９）は、第３図Ｂ０′）電極すき間
（２０〉に相当し、第３図Ａの遮光膜（１４）により遮
光される。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 しかしながら、従来の遮光膜の形成方法では、画素の４
隅の部分は空間となり遮光されずそこから光が漏れ表示
に悪影響を与える問題点があった。

また、遮光膜を形成するために遮光膜専用のマスクが必
要であると共に電極のすき間に遮光膜が配置する様に組
立てなければならず、位置ズレが発生した場合、画素領
域と遮光膜とが交差し画素に悪影響を与える問題点があ
った。

（二〉問題点を解決するための手段 本発明は上述した問題点に鑑みて為されたものであり、
先ず第１図Ａに示す如く、透明ガラス基板（１）上に複
数の透明電極（２）を形成し、次に第１図Ｂに示す如く
、複数の透明電極り２）上に黒色の金属薄膜（３）を形
成し、次に第１図Ｃに示す如く、ガラス基板（１）全面
に黒色の感光性基材（４）を塗布した後、ガラス基板（
１）の裏面から露光し、透明電極（２〉間に遮光膜（４
′）を形成して解決する。

（ホ）作用 以上の如く、本発明に依れば、ガラス基板（１）に透明
電極（２）を形成し、透明電極（２）上に黒色の金属薄
膜（３）を形成し、ガラス基板（１）全面に感光性基材
（４）を塗布し、ガラス基板（１）の裏面から露光する
ことにより、金属薄膜〈３）がマスクとなり、専用のマ
スクを用いることなくセルファライニングで遮光膜（４
′）を形成することができる。

（へ〉実施例 以下に図面に示した実施例に基づいて本発明の詳細な説
明する。

第１図Ａ乃至第１図りは本発明の遮光膜の製造方法であ
る。

先ず第１図Ａに示す如く、透明なガラス基板（１）上に
透明電極ＣＩＴＯ膜）をスパッタリング等で塗布し、Ｉ
ＴＯ膜を所望の形状即ち、表示パターン及びリードパタ
ーンにパターニングして複数の透明電極（２）を形成す
る。

次に第１図Ｂに示す如く、透明電極（２）上に黒色の金
属薄膜（３）を形成する。金属薄膜（３）は透明電極（
２）の表示パターン以外の領域を遮光するために形成す
るものであり、ここでは無電解メッキにより、透明電極
（２）のみに金属薄膜（３）が付着し形成される。

次に第１図Ｃに示す如く、ガラス基板（１）全面に黒色
のネガ型感光性基材（４）を塗布する。感光性基材（４
）は黒色にするために黒色素、例えばカーボン粒子等が
混入されている。又、カラーフィルタ用の基材を用いた
場合は、後で黒色に染色する。感光性基材（４）を塗布
した後、ガラス基板（１）の裏面から平行光線（５）を
照射して露光する。露光すると感光性基材（４）はネガ
型であるため、金属薄膜（３）によって平行光線（５）
が当らない部分が感光きれないので、その部分が現像時
に除去されて第１図りの如く、透明電極（２）間に遮光
膜（４゛）が形成される。この際カラーフィルタ用の感
光性基材を用いた場合は黒色に染色する。透明電極（２
）上の表示部分となるところの金属薄膜（３〉は除去さ
れ表示パターンが形成される。

この様に透明電極（２）上に形成した金属薄膜（３）を
遮光膜（４′）を形成する際のマスクとして利用するこ
とにより、従来の如き、遮光膜を形成する際の専用のマ
スクを必要としないと共にセルファライニングにより露
光のズレ等が生じないものである。

次に本発明を用いたインターデジタル形状のマルチカラ
ーの液晶表示パネル（以下ＬＣＤとする）について簡単
に説明する。

第２図はガラス基板上に形成された櫛歯状に嵌合した共
通電極（５）（６）を示す要部拡大図であり、この共通
電極（５）（６）上には夫々異なった色の着色膜が形成
されるが表示パターン以外が遮光されたＬＣＤの着色膜
間の空間領域（７）を遮光する場合、第１図Ａ乃至第１
図りの方法で透明電極間に遮光膜を形成し、第１図Ｂで
形成した共通電極の表示パターン部分となる共通電極（
５）（６）上の金属薄膜をエツチング除去し、共通電極
（５）＜６）上に電着、染色、あるいは印刷により着色
膜を形成することにより、マルチカラーのＬＣＤを形成
することができる。

この様に共通電極間に遮光膜を形成することにより、光
の漏れを防止できカラー色が淡く見えることなくカラー
表示を行うことができる。

（ト〉発明の効果 以上に詳述した如く、本発明に依れば、透明電極上に金
属薄膜を形成し、金属薄膜上に感光性基材を塗布し、ガ
ラス基板の裏面から露光し透明電極間に遮光膜を形成す
ることにより７．従来の如き、遮光膜を形成する専用マ
スクを必要としないと共にセルファライニングにより確
実に位置ズレの無い遮光膜を形成することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ乃至第１図りは本発明の実施例を示す断面図、
第２図は他の実施例を示す要部拡大図、第３図Ａ乃至第
３図Ｃは従来例を示す断面図である。 （１）はガラス基板、　　（２）は透明電極、　（３〉
は金属薄膜、　（４）は感光性基材、　（４′）は遮光
膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ガラス基板上の複数の透明電極上に形成された複
   数色からなる着色層間を遮光する遮光膜の形成方法にお
   いて、前記ガラス基板上に複数の透明電極を形成し、前
   記透明電極上に黒色の金属薄膜を形成し、前記ガラス基
   板全面に黒色の感光性基材を塗布した後、前記ガラス基
   板の裏面から露光して前記透明電極間に遮光膜を形成す
   ることを特徴とする遮光膜の形成方法。