KR930006450A - 전기적특성의 측정방법 및 그의 측정장치 - Google Patents

전기적특성의 측정방법 및 그의 측정장치 Download PDF

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Abstract

반도체 웨이퍼등의 피검사체의 전극패드등에 프로우브 가이드의 접촉침를 접촉시키어 피검사체의 전기적특성을 측정하는 프로우브장치에 있어서, 피검사체로서 커팅된 칩 또는 패키지된 칩을 사용하고, 이것을 유지하여 프로우브 가이드의 접촉침에 접속된는 유지수단을 설치한다. 이것에 의하여 커팅된 칩 또는 패키지된 칩의 전기적특성의 측정을 효율좋게 한다.

Description

전기적특성의 측정방법 및 그의 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 플로우브장치의 실시예를 나타내는 개략적인 사시도
제2도는 위쪽 방향에 배치된 프로우브 가이드를 테스트헤드에 부착된 상태를 나타낸는 측면도
제3도는 프로우브 가이드의 사시도.

Claims (8)

  1. 다수의 피검사체가 형성된 반도체 웨이퍼(60)를 피검사면의 위쪽으로 하여 웨이퍼에 재치하여 전착부착하고, 또 이 웨이퍼(60)를 웨이퍼 프레임에 재치하여 접팍하는 공정과, 상기 반도체 웨이퍼(60)를 다이싱날에 의하여 상기 반도체 웨이퍼(60)의 두께의 90%의 깊이까지 짤라서 피검사를 형성하는 공정과, 사기 웨이퍼 프레임(60) 전체를 잡아 당기고, 그 피검사체를 아래에서 밀어올리며, 동시에 위에서 흡착하여 각 피검사체와 함꼐 절단하는 공정과, 로 이루어지는 피검사체의 절단방법
  2. 피검사면을 위쪽방향으로 하여 다수의 피검사체를 아래쪽 수납 케이스(66)에 위쪽 수납케이스(68)를 겹치게 시키는 공정과, 겹치게 시킨 상기 아래쪽 수납케이스(66)와 위쪽 수납케이스(68)를 180도 반전하여 피검사면을 아래 방향으로 하는 공정과, 상기 피검사체가 수납되어 있는 상기 수납케이스를 프로우브장치에 설치하는 공정과, 로 이루어지는 피검사체의 프로우브 장치에서의 장전방법
  3. 회전축이 방사형상으로 배치된 복수의 아암(44)의 선단부에 부착된 흡인헤드(46)에 의하여 피검사체를 그의 검사면을 위쪽방향으로 하여 유지하는 공정과, 상기 피검사체를 유지한 아암(44)을 회전시켜 CCD카메라(48)의 바로 위에 위치시키고, 상기 흡인 헤드 (46) 그자체를 회전시켜서 상기 피감사체의 θ방향의 위치맞춤을 하는 공정과, 상기 피검사체를 유지한 아암(44)을 더 회전시켜서 프로우브 가이드(24)의 위쪽에 위치시키는 공정과, X-Y 위치검출 카메라(50)에 의하여 피검사체의 X-Y위치를 검출한채 상기 아암(44)을 X방향 및 Y방향으로 이동시켜서 상기 피검사체의 X-Y 위치를 조정함과 동시에 센서(52)에 의하여 피검사체의 Z위치를 조정하여 상기 피검사면에 형성한 전극패드(28a)를 상기 프로우브 가이드(24) 접촉칩(32)에 접촉시키는 공정과,로 이루어지고, 이것에 의하여 피검사체의 전기적 특성을 테스터(40)로 측정하는 것으로 되는 피검사체의 검사방법.
  4. 피검사체가 검사면을 가지고, 그 검사면에 프로우브 가이드(24)의 접촉침(32)을 접촉시켜서 피검사체의 전기적 특성을 측정하는 프로우브장치에 있어서, 상기 피검사체로서 반도체웨이퍼(60)로 부터 절단된 침(28) 또는 패키지된 그 칩(28)을 유지하여 상기 프로우브 가이드(24)의 접촉침(32)에 상기 검사면을 접촉시키는 유지수단(30)을 구비한 것을 특징으로 하는 프로우브장치
  5. 제4항에 있어서, 상기 프로우브 가이드(24)의 접촉침(32)이 위쪽 방향에 배치되고, 상기 유지수단이 회전축과, 그 회전축과 방사형상으로 배치된 복수의 아암(44)과, 그 아암(44)의 선단부에 배치되어 피검사체를 흡인 유지하는 흡인헤드(46)와, 로 이루어진 것을 특징으로 하는 프로우브장치
  6. 제4항에 있어서, 상기 프로우브(24)의 접촉침(32)이 아래쪽 방향에 배치도고, 상기 유지수단(30)이 상기 프로우브 가이드(24)의 접촉침(32)의 바로 아래에 배치된 피검사체를 유지하는 척(81)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 프로우브 장치
  7. 제4항에 있어서, 테스트 헤드(26)를 가지고, 그 테스트헤드(26)상에는 유지된 상기 피검사체의 X-Y방향위치 검축을 하는 X-Y위치 검출 카메라(50)와, 상기 피검사체의 Z방향위치를 검출하는 센서(52)와, 가 설치되는 것을 특징으로 하는 프로우브장치.
  8. 제4항에 있어서, 상기 피검사체의 검사면이 전극패드(28a)인 것을 특징으로 하는 프로우브장치
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920016222A 1991-09-05 1992-09-05 전기적특성의 측정방법 및 그의 측정장치 KR100187559B1 (ko)

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