KR920007115A - 액도포시스템 및 액 도포방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 실시예에 따른 액도포시스템을 모식적으로 도시하는 기구 블록도,
제3도 및 제4도는 각각 노즐 및 반도체 웨이퍼의 위치관계를 나타내는 사시도.
Claims (14)
- 피처리체에 액을 도포하는 액도포 시스템은 ; 액 공급원과, 상기 액 공급원에 연통하는 노즐수단을 구비하고, 상기 노즐 수단이, 상기 액 공급원으로부터 공급된 액이 모이는 액 저장부와, 상기 액 저장부에 연통되고, 각 횡단면이 상기 액 저장부에서 각각 작은 복수의 세관과, 상기 세관의 각각에 연통하고, 세관으로 부터의 액의 흐름을 합류시키고, 개구에서 피처리체로 향하여 액을 토출시키는 슬릿형상의 통로를 가지는 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관이 같은 피치 간격에서 일렬로 나열하고 있는 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관의 횡단면 형상이 직사각형인 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관의 횡단면 형상이 원형인 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관의 횡단면 형상이 반원형인 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관에 대한 액저장부의 컨덕턴스의 비율이 100배 이상인 것을 특징으로 하는 액도포 시스템.
- 제1항에 있어서, 세관이 슬릿 통로에 대하여 소정의 각도로 경사지고, 세관과 슬릿 통로와의 연통부가 구부러져 있는 것을 특징으로 하는 액도포시스템.
- 제7항에 있어서, 세관이 슬릿통로에 대해 30°±15°의 각도로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 액도포시스템.
- 제1항에 있어서, 슬릿 통로가 액토출측을 향하여 차차로 좁아지는 테이퍼 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액도포시스템.
- 제1항에 있어서, 슬릿 통로가 수직으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액도포시스템.
- 제1항에 있어서, 액 저장부가 노즐 토출부의 슬릿 통로를 따라 늘어나고, 액 저장부의 길이방향의 길이와 슬릿통로의 길이방향이 길이가 실질적으로 같은 길이인 것을 특징으로 하는 액도포시스템.
- 피처리체에 액을 도포하는 액도포 방법은 ; (a)피처리체를 준비하는 공정, (b)노즐수단을 준비하는 공정이 노즐수단은, 액 공급원에 연통하고, 액 공급원으로부터 공급된 액이 모이는 액 저장부와, 상기 액 저장부에 연통하고, 각 횡단면이 상기 액 저장부보다 각각 작은 복수의 세관과, 상기 세관의 각각의 연통하고, 세관으로 부터의 액의 흐름을 합류시키고, 개구에서 피처리체로 향하여 액을 토출시키는 슬릿형상의 통로를 가지고, (c)상기 노즐수단의 슬릿 통로의 개구를 상기 피처리체에 대면시키는 공정, (d)상기 노즐수단과 상기 피처리체를 상대 이동시키면서 상기 노즐 수단에서 상기 피처리체로 향하여 액을 토출하는 공정, (e)상기 노즐 수단을 상기 피처리체로부터 퇴피시키는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 액도포 방법.
- 제12항에 있어서, (d)공정에서 노즐수단을 정지한 채로 피처리체를 회전시키는 것을 특징으로 하는 액도포 방법.
- 제12항에 있어서, (d)공정에서 피처리체를 정지한 채로 노즐수단을 피처리체의 한쪽끝측으로 평행 이동시키는 것을 특징으로 하는 액도포 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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