KR920006536A - CVD 다이아몬드 피복된 초음파 프로브 팁(Probe tip) - Google Patents

CVD 다이아몬드 피복된 초음파 프로브 팁(Probe tip) Download PDF

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horn
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얼 슬러츠 데이비드
도날드 지글 폴
루이스 칼플레이쉬 허버트
로버트 죤슨 니일
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아더 엠. 킹
제네랄 일렉트릭 캄파니
하버트 루이스 칼플레이쉬
울트라소닉스 코포레이션
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
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    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
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Abstract

내용 없음

Description

CVD 다이아몬드 피복된 초음파 프로브 팁(Probe tip)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 초음파 혼 또는 프로브(horn or porbe)프로세서에 있어서, 하나 이상의 열안정성 다이아몬드, CVD 다이아몬드, CVD 다이아몬드-유사 물질 또는 열안정성 CBN의 층으로 피복된 적어도 하나의 혼 또는 프로브의 외부표면을 포함함을 특징으로 하는 개선된 프로세서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 층의 두께가 약 1내지 400㎛범위인 프로세서.
  3. 제1항에 있어서, 상기 열안정성 다이아몬드 층이 약70내지 약95부피%의 다이아몬드 입자를 포함하며, 압분체 전체에 분포되어 있는 망상구조의 상호연결된 빈 기공을 가지고 있는 프로세서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 층이 혼 또는 프로브의 외부표면상에 브레이징된 프로세서.
  5. 제4항에 있어서, 상기 브레이징 합금이 700℃이상에서 액상인 프로세서.
  6. 초음파 혼 또는 프로브 프로세서를 제조하는 방법에 있어서, 적어도하나의 혼 또는 프로브의 외부표면상에 하나 이상의 열안정성 다이아몬드, CVD 다이아몬드 , CVD 다이아몬드-유사 물질 또는 열안정성 CBN 층의 피막을 형성시킴을 포함함을 특징으로 하는 개선된 방법.
  7. 제6항에 있어서, 탄화수소/수소 개스상 혼합물내에서의 탄화수소 대 수소의 몰비가 약1:10 내지 1:1,000 이고 불활성 가스를 추가로 포함하는 탄화수소/수소 개스상 혼합물을 적어도 부분적으로 분해시켜 상기층을 형성시키는 방법.
  8. 제6항에 있어서, 외부표면상에 피복된 층의 두께가 약 1내지 200㎛범위인 방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 층을 혼 또는 프로브의 외부 표면상에 브레이징시키는 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 브레이징 합금이 700℃ 이상에서 액상인 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910016771A 1990-09-27 1991-09-26 CVD 다이아몬드 피복된 초음파 프로브 팁(Probe tip) KR920006536A (ko)

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