KR910004297A - 스프링 인장된 필라멘트를 포함하는 합성 다이어몬드 도포 장치 - Google Patents
스프링 인장된 필라멘트를 포함하는 합성 다이어몬드 도포 장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 장치의 개략적인 측면도,
제2도는 제1도의 2-2선을 취한 상기 장치의 단면도,
제3도는 제2도의 3-3을 취한 단면도.
Claims (14)
- 화학 증착에 의해 기판상에 다이어몬드를 도포하기 위한 장치로서, 대기압이하의 압력으로 유지되고 적어도 하나의 유입구수단과 적어도 하나의 배출구 수단을 가진 폐쇄된 반응실과, 상기 기판들사이에서 가스유동을 허용하기 위하여 이격되고 서로에 대하여 평행한 상기 반응실 내에 상기 기판을 지지하기 위한 지지수단과, 상기 기판으로부터 사실상 동일한 간격으로 위치한 다수의 수직으로 연장하는 선형 전도성 필라멘트들을 구비학, 상기 필라멘트들의 각각은 상기 필라멘트들에 전력을 공급하여 그들을 가열하도록 한쪽 단부는 고정 전극에 다른쪽 단부는 가동 전극에 고정되어 있는 저항 가열 수단과, 상기 필라멘트를 파괴시키는 일 없이 상기 기판에 사실상 평행하게, 상기 필라멘트들을 팽팽하게 고정시키기 위해, 상기 가동 전극에 부착된 다수의 스프링 수단을 구비하고 있는 다이어몬드 도포장치.
- 제1항에 있어서, 상기 필라멘트로부터 상기 스프링 수단을 전기적으로 격리시키는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 고정 전극은 상기 기판들 사이의 공간 아래에 위치한 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제3항에 있어서, 필라멘트는 금속 텅스텐으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제3항에 있어서, 스프링 수단은 인장 코일 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제3항에 있어서, 스프링 수단은 압축 코일 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제3항에 있어서, 스프링 수단은 캔틸레버식 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 필라멘트로부더 대향 측면상의 상기 기판들중의 한 기판에 인접하여 위치한 온도 제어 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제8항에 있어서, 온도 제어 수단은 냉각 수단일 것을 특징으로 하는 다이아몬드 도포 장치.
- 제9항에 있어서, 각각의 상기 기판의 상기 필라멘트로부터 대향측면상에 한 쌍의 기판 냉각 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제10항에 있어서, 기판으로부터 기판 냉각 수단까지의 거리를 조정하는 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 제11항에 있어서, 기판 냉각 수단은 냉각수의 통로를 위한 설비를 가진 금속 구리를 구비하는 것을 특징으로 하는 다이어몬드 도포 장치.
- 화학증착에 의해 한 쌍의 평면 수직 기판상에 다이어몬드의 도포를 하기 위한 장치로서, 대기압이하의 압력으로 유지되고 적어도 하나의 유입구 수단과 적어도 하나의 배출구 수단을 가진 폐쇄된 반응실과, 상기 기판들하이에서 가스유동을 허용하기 위하여 서로 이격되고 평행한 상기 반응실내에 상기 기판을 지지하기 위한지지 수단과, 상기 기판으로부터 사실상 동일한 간격으로 위치한 다수의 수직으로 연장하는 선형 전도성 필라멘트들을 구비하고, 상기 필라멘트들의 각각은 상기 필라멘트들에 전력을 공급하여 그들을 가열하도록 하부 단부는 고정 전극에 상부 단부는 가동 전극에 고정되어 있는 저항 가열 수단과 상기 필라멘트를 파괴하는 일 없이 상기 기판에 사실상 평행하게, 상기 필라멘트들을 팽팽하게 고정시키기 위해, 상기 가동 전극에 부착된 다수의 인장 코일 스프링 수단과, 상기 필라멘트로부터 상기 스프링을 전기적으로 격리시키는 수단과, 냉각수의 통로를 위한 설비를 갖는 금속 구리를 구비하고, 상기 필라멘트로부터 대향 측면상의 상기기판에 인접하여 위치한 한 쌍의 가동 열싱크를 구비한 다이어몬드 도포 장치.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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