KR900701490A - 연마식 세분장치 - Google Patents

연마식 세분장치

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KR900701490A
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grinding type
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스트리꼬 프랑소아
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원본미기재
포텍 앵듀스트리 소시에떼아노님
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Abstract

내용 없음

Description

연마식 세분장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 수직 방향 이동하는 브래킷과 수평 방향 이동하는 판을 구비한 2개의 와이어 안내부용 성형된 지지체의 제1실시예를 나타내는 사시도이다.
제2도는 절단 와이어의 방향을 나타내는 사시도이다.
제3도는 브래킷 위에 있는 이곳의 방향과 이동을 제어하는 장치에 대한 상세한 사시도이다.

Claims (14)

  1. 서로 대향하여 배열되고 동기적으로 회전하는 적어도 2개의 동일한 수평. 평행 와이어 안내부와, 균일공급부(139)에서 풀려나와, 균일권취부(148)에 다시 감기기 전에 인장하에 와이어 안내부 둘레에 감기어 적어도 1세트의 절단 와이어로 형성되는 와이어(144)와, 작동하여 잉곳(143)을 지지하는 브래킷(119)을 잉곳(143)의 무게중심부를 관총하여 수직측선(Z)을 따라 상승시켜 1세트의 절단 와이어에 대해 가압하는 작동기(129)로 구성되는, 경질의 물질로 만들어진 잉곳(143)을 다수의 웨이퍼로 세분하는 인삭식 세분장치에 있어서, 중간의 수직평면에 대칭이고 상기 와이어 안내부에 수직한 단일의 지지체(102)를 포함하며, 상기 지지체(102)는, 아래 부분에 위치하는 잉곳(143)을 지지하는 상기 브래킷(119)의 안내수단(123)과 상기 와이어 안내부(136,137)를 양측부에서 지지하는 2개의 상부 측방향 플랜지(111,112)을 갖는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  2. 제1항에 있어서, 잉곳(143)을 지지하는 상기 브래킷(119)은 상기 지지체(102)와 대향하는 수직부분(117)이 T형 으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 작동기(129)는, 기설정된 잉곳 세분절차에 따라 잉곳의 상승을 제어하는 전기식 데이타 처리수단에 의해 제어되는 증분 코드화 직류모터로 구동되는 블베어링 장착식 나사볼트기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 작동기(129)는, 기설정된 잉곳 세분절차에 따라 잉곳의 상승을 제어하는 전기식 데이타 처리수단에 의해 제어되는 분배부를 거쳐 펌프에 의해 작동되는 유압잭을 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 작동기(129)는, 기설정된 잉곳 세분절차에 따라 잉곳의 상승을 제어하는 전기식 데이타 처리수단에 의해 제어되는 압력조정수단을 가진 공압잭을 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 T형 브래킷(19)의 수평부분(18)은 그의 홈 내부에 로울러 슬라이드부에 의해 와이어 안내부의 측선에 평행하게 미끄럼 장착되는 판(26)과, 이 판(26)의 위치를 브래킷의 상기 수평부분(18)의 평면에 고정하는 기계식, 전기식 또는 유압식 수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  7. 제6항에 있어서, 판(26)의 위치를 브래킷(19)의 수평부분(18)의 평면에 고정하는 상기 수단을, 판(26)의 나사식 개구부에 보올에 의해 결합되며, 기설정된 잉곳 세분절차에 따라 전기식 데이타 처리 수단에 의해 제어되는 감속모터(27)에 의해 구되는 나사부로 구성되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 T형 브래킷(19)의 수평부분(18)은 잉곳의 축선방향을 수직축선(2)을 중심으로 회전시킴으로써 와이어 안내부의 축선에 대해 조절할 수 있는 위치-고정 수단을 갖는 회전판(32,33)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 T형 브래킷(19)의 수평부분(18)은, 절단 와이어의 세트에 수직하고 와이어 안내부에 평행한 중간평면에서 잉곳 밑에 위치한 수평축선을 중심으로 진동하는 판(30,31)으로 구성되며, 상기 판(30,31)은, 전기식 데이타 처리 수단에 의해 구동되어 잉곳의 기설정된 세분절차에 따라 진폭과 주파수가 좌우되는 진동으로 상기 판(30,31)을 구동하는 감속모터(42)에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  10. 제1항에 있어서, 부분적으로 원통형상인 동일한 대향셀부(70/73,170/173)를 각각 지지하는 2개의 아암을 갖는 적어도 1개의 핀서를 구성되는 분할된 잉곳 도울기구를 더 포함하며, 상기 핀서의 이동이 프로그램식 자동구동수단(190, 192, 194, 198)에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 셀부(70/73,170/173)의 외면에는, 세정탱크(90)의 저부에 위치하는 대응 슬리이브(91)에 끼워져 상기 셀부를 세정탱크에 위치시켜 파지함으로써 세척되는 동안 분할된 잉곳(43)을 파지하는 핀(71)이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  12. 제1항에 있어서, 절단도니 와이어(44)세트가 길이방향 분배부(40)에 의해 연삭재에 일정 수준으로 액침되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  13. 제1항에 있어서, 잉곳(43)이 세분되는 동안 내공기를 송풍하는 길이방향 노즐에 의해 냉각되는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
  14. 제1항에 있어서, 처음에 와이어(144)를 와이어 안내부에 배치하는 기구(160)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭식 세분장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900701422A 1988-11-03 1989-10-27 연마식 세분장치 KR900701490A (ko)

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