KR900016734A - 광학적 패턴 검출장치 - Google Patents

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KR900016734A
KR900016734A KR1019890005648A KR890005648A KR900016734A KR 900016734 A KR900016734 A KR 900016734A KR 1019890005648 A KR1019890005648 A KR 1019890005648A KR 890005648 A KR890005648 A KR 890005648A KR 900016734 A KR900016734 A KR 900016734A
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슈우지 우에다
쇼오로 모찌다
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다니이 아끼오
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Abstract

내용 없음.

Description

광학적 패턴 검출장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 실시예에 있어서의 광학적 패턴검출장치의 측면도,
제2도는 본 발명의 제2의 실시예에 있어서의 광학적 패턴검출장치의 측면도,
제3도는 동 요부 사시도.

Claims (4)

  1. 투광성을 구비한 수지본체의 내부에 선단쪽을 향한 수광소자와 기단쪽을 향한 발광소자를 배면이 서로 대향하는 상태로 배치하는 동시에, 수지단체의 선단붕앙부에 패턴검출면으로부터의 반사광을 수광소자에 집광하는 집광랜즈를, 수지본체의 선단주연부에 패턴검출면을 조사하는 광이 투과하는 투과면을 각각 형성하는 한편, 수지본체의 기단부쪽 부위에 반광소자로부터의 광을 반사하는 평면미러를 배설하고, 또한 수지본채의 옆둘레부에 상기 평면 미러로 부터의 반사광을 패턴검출면1에 집광하는 집광미러를 배설한 것을 특징으로 하는 광학적 패턴검출장치.
  2. 투광성을 구비한 수지본체의 내부에 선단쪽을 향한 수광소자와, 기단쪽을 향한 발광소자를 배면이 서로 대향하는 상태로 배치하는 동시에, 수지본체의 선단중앙부에 패턴검출면으로 부터의 반사광을 수광소장에 집광하는 집광렌즈를, 수지본체의 선단주연부에 패턴 검출면을 조사하는 광이 투과하는 투과면을 각각 형성하는 한편, 수지본체의 기단부쪽부위에 발광소자로부터의 광을 반사하는 제1평면미러를 배설하고, 또한 수지본체의 옆둘레부에 제1평면미러로 부터의 반사광을 또 반사해서 그 반사광을 패턴검출면에 집광하는 제2평면미러 및 집광미러를 대향배치한 것을 특징으로 하는 광학적 패턴검출장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 수광소자와 발광소자와의 사이에 차광부재를 배설한 광학적 패턴검출장치.
  4. 제3항에 있어서, 차광부재를 수광소자와 발광소자가 표리에 실장된 라이드프레임인 광학적 패턴검출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890005648A 1988-04-28 1989-04-28 광학적패턴 검출장치 KR920008507B1 (ko)

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EP0339649B1 (en) 1993-10-13
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