KR900004370A - 실온(室溫)에서 유동성 단량체(單量體)를 기화시키기 위한 방법과 장치 - Google Patents

실온(室溫)에서 유동성 단량체(單量體)를 기화시키기 위한 방법과 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

실온(室溫)에서 유동성 단량체(單量體)를 기화시키기 위한 방법과 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 화학적 증기 분리방식을 실시하는데 필요한 완전한 장치의 원리를 나타낸 원리도.
제2도는 본 발명에 의한 기화장치의 축에 대한 단면도.
제3도는 본 발명 제1도의 절단부에 대한 확대도.

Claims (11)

  1. 전류조절장치로서 대량관류조절기(10)가 사용되고, 관류조절기(10)로부터 운반된 단량체는 액체상태로 기화장치(12)에 흐르며, 모세관 작용을 일으키는 난방된 몸체(42) 속에서 진공의 압력으로 남김없이 기화된다는 것을 특징으로 하는, 실온에서 낮은 증기압을 가진 유동성 단량체, 특히 전류조절장치(10)와 여기에 접속된 기화장치(12)를 이용하여 진공에서 화학적 증기 분리(CVD 방식)에 의하여, 규소와 산소를 포함하고 있는 얇은 층을 토대판(4)에 형성할 때 테트라 에틸 오르토 규산염(TEOS), 테트라 메틸실란(TMS)과 헥사 메틸 디질 옥산(HMDS) 군에서 생기는 단량체를 기화시키기 위한 방법.
  2. 제1항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)에, 복사난방에 의하여 매우 강하게 기화열을 공급하는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법.
  3. 제1항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)를 길게 뻗은 모양으로 형성하고, 그 단부에 자유로이 걸고 유동성 단량체를 몸체(42)의 단부(42a)로 운반하고, 기화된 단량체를 몸체(42)의 빈 표면으로부터 빼어내어 진공실(1)내의 반응지역으로 운반하는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법.
  4. 제3항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)에, 유동성 단량체의 입구쪽부터 증기 모양의 단량체의 출구쪽까지, 0도 이상의 온도구배를 일으킨다는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법.
  5. 제1항에 있어서, 전류조절장치는 대량관류조절기(10)이고, 냉각장치실(22)에는 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)가 설치되고, 이 몸체(42)의 한쪽 단부(42a)에는, 대량관류조절기(10)에서 나오는 도관(33)이 연결되며, 몸체(42)는 냉각장치(22)의 난방된 벽면(22a)과 거리를 두고 있지만, 벽면(22a)과 눈에 보이게 연결되어 있다는 것을 특징으로 하는, 입구단부와 출구단부가 있는 냉각장치실(22)과 난방에 도움을 주는 난방장치를 갖추고 있으며, 화학적 증기 분리과정을 위한 진공실(1)이 접속된 기화장치(12)와 전류조절장치를 가진, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  6. 제4항에 있어서, 냉각장치실(22)은 난방장치인 방열코일(24)에 둘러싸인 입구쪽에 전면벽(31)이 있는 오목실린더(23)로 형성되며, 전면벽(31)에는 유동성 단량체를 위한 도관(33)이 삽입되어 있고 오목실린더(23)에는, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)가 설치되어 있어서, 몸체(42)의 한쪽 단부(42a)가 단량체를 위한 도관(33)쪽으로 향하고, 몸체(42)의 빈 표면(43)은 냉각장치실(22)의 난방된 벽면(22a) 쪽으로 향한다는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  7. 제6항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)의 입구쪽 단부(42a)가, 유동성 단량체를 위한 도관(33)에 삽입되고 몸체(42)의 종축이, (위에서 설명한) 냉각장치실(22)의 축선(A-A)에 기울어져서 예각으로 아래쪽으로 진행되는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  8. 제5항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)가 심지재(47)로 구성된다는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화하기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  9. 제8항에 있어서, 모세관 작용을 일으키는 몸체(42)가, 로프모양의 심지재(47)로 둘러싸인 길게 뻗은 지지봉(46)으로 구성됨을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화하기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  10. 제9항에 있어서, 심지재(47)는 지지봉(46)에 나선형으로 감겨져 있는 것을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
  11. 제5항에 있어서, 냉각장치실(22)의 출구면(44)에는 난방이 가능한 필터(45)가 설치됨을 특징으로 하는, 실온에서 유동성 단량체를 기화시키기 위한 방법을 실시하기 위한 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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