KR970701804A - 액체 소스로부터 발생된 화학 증기의 통합 전송 시스템에서의 개선된 모듈(animproved module in an integrated delivery system for chemical vapors from liquid sources) - Google Patents

액체 소스로부터 발생된 화학 증기의 통합 전송 시스템에서의 개선된 모듈(animproved module in an integrated delivery system for chemical vapors from liquid sources) Download PDF

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Abstract

본 발명의 통합 모듈은 액체 소스를 갖는 반도체 제조 공정에서 액체를 증기화하기 위해 용기(44)를 가열하는 수단을 포함한다. 용기(44)로부터의 증기 흐름을 제어하기 위한 차단 밸브(20,22)와 비례 압력 밸브(21)는 모듈(41A)상에 설치된다. 모듈에 설치된 커패시턴스 마노미터(19)도 역시 자체 가열 요소들을 구비한다. 증기의 응축이 방지되는 것으로 일관된 작동성 및 신뢰도가 얻어진다.

Description

액체 소스로부터 발생된 화학 증기의 통합 전송 시스템에서의 개선된 모듈(ANIMPROVED MODULE IN AN INTEGRATED DELIVERY SYSTEM FOR CHEMICAL VAPORS FROM LIQUID SOURCES)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용된 화학 증기 반응기를 예시한 개략도.
제2A도는 본 발명에 따른 화학 증기용 통합 전송 모듈을 예시한 측면 횡단면도.
제2B도는 제2A도에 도시된 모듈에 대한 측면 횡단면도이다.

Claims (12)

  1. 액체 소스로부터의 화학 증기를 유입구를 통해 반도체 웨이퍼 처리 유닛의 공정 챔버로 전송하기 위한 통합 모듈로서, 상기 소스로부터의 액체를 담기 위한 용기를 형성하는 금속 하우징과; 상기 소스에 연결된 공급 유입구에 상기 용기를 연결하는 공급 채널과; 상기 용기를 유출구에 연결하는 증기 채널과; 상기 유출구가 상기 공정 챔버 유입구에 연결되도록 상기 하우징을 상기 공정 유닛에 설치하는 수단과; 상기 용기내의 액체가 증기로 변환되도록 상기 용기를 가열하며, 상기 액체가 가열되도록 하기 위해 상기 용기로 연장하는 열전달판을 포함하는, 상기 하우징내 가열수단과; 상기 증기를 상기 용기로부터 상기 공정 챔버로 전송하는 것을 제어하기 위해 상기 증기 채널에 연결된 제어 수단을 포함하며; 상기 모듈은 증기를 일정하고 균일하며 재현 가능한 온도로 상기 액체 공급원으로부터 상기 공정 챔버로 정확하게 제어하여 공급하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  2. 제1항에 있어서, 상기 열전달판은 상기 증기를 가열하기 위한 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  3. 제2항에 있어서, 상기 하우징은 상기 용기를 형성하는 하부 유닛과, 상부 유닛을 구비하며, 상기 가열 수단은 상기 상부 유닛에 있는 가열 요소를 구비하며, 상기 열전달판은 상기 상부 유닛에 설치되어 상기 용기안으로 연장하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  4. 제3항에 있어서, 상기 가열 요소는 종방향 축을 갖는 적어도 하나의 가열 로드를 상기 상부 하우징에 구비하며, 상기 열전달판은 상기 상부 하우징 유닛에 설치된 긴 베이스를 구비하며, 상기 긴 베이스는 상기 종방향 축에 나란하고 상기 가열 로드에 근접 위치된 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  5. 제4항에 있어서, 상기 가열 요소는 종방향 축이 각기 구비되어 있고 그 각각의 종방향 축을 서로 나란하게 하여 상기 상부 하우징에 설치된 2개의 가열 로드를 구비하며, 상기 열전달판은 2개의 대향 연부들과 U자형 단면 형태로 되어 있고, 상기 대향 연부들은 상기 U자형 단면 형태로 된 상부 부분과, 상기 열전달판의 긴 베이스를 형성하며, 상기 긴 베이스는 상기 가열 로드중 하나에 근접되고 그 가열 로드의 종방향 축에 나란하게하여 상기 상부 하우징 유닛에 설치된 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  6. 제1항에 있어서, 상기 용기내 액체의 온도를 직접적으로 감지하기 위한 감지 수단을 추가로 구비하며, 상기 가열 수단은 상기 감지 수단의 신호에 응답하여 상기 용기내 액체를 가열하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  7. 제6항에 있어서, 상기 용기내의 상기 하부 하우징 유닛에 설치된 열전쌍을 추가로 구비하며, 상기 가열요소는 상기 열전쌍의 신호에 응답하여 상기 용기내 액체를 가열하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  8. 제1항에 있어서, 상기 액체는 실리레이션 작용제를 구비하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  9. 액체 소스로부터의 화학 증기를 유입구를 통해 반도체 웨이퍼 제조 공정 유닛의 공정 챔버로 전송하기 위한 통합 모듈로서, 상기 소스로부터 유입된 실리레이션 작용제를 함유한 액체를 담기 위한 용기가 내부에 형성된 금속 하우징과; 상기 소스에 연결된 공급 유입구에 상기 용기를 연결하는 상기 하우징내 공급 채널과; 상기 용기를 유출구에 연결하는 상기 하우징내 증기 채널과; 상기 유출구가 상기 공정 챔버 유입구에 연결되도록 상기 하우징을 상기 공정 유닛에 설치하는 수단과; 상기 액체의 온도를 직접적으로 감지하기 위해 상기 용기에 설치된 감지 수단과; 상기 용기내의 액체가 증기로 변화되도록 상기 용기를 가열하며, 상기 온도 감지 수단에 응답하여 상기 액체의 온도를 유지하기 위한 상기 하우징내 가열 요소들과; 상기 가열 요소들에 인접하게 상기 하우징에 설치되고 상기 용기내로 연장하는 열전달판과; 상기 하우징에 통합적으로 설치되고, 상기 증기를 상기 용기로부터 상기 공정 챔버로 전송하는 것을 제거하기 위해 상기 증기 채널에 연결된 제어 수단을 포함하며; 상기 모듈은 증기를 일정하고 균일하며 재현 가능한 온도로 상기 액체 공급원으로부터 상기 공정 챔버로 정확하게 제어하여 공급하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  10. 제9항에 있어서, 상기 하우징은 상부 및 하부 하우징 유닛을 구비하며, 상기 용기는 상기 하부 하우징 유닛에 의해 형성되며, 상기 상부 하우징 유닛은 상기 용기를 밀봉하기 위해 상기 하부 하우징 유닛과 쌍을 이루는 하부면을 구비하며, 상기 가열 요소들은 상기 상부 하우징 유닛에 위치하며, 상기 열전달판은 상기 상부 하우징 유닛의 상기 하부면에 설치되어 상기 용기안으로 연장하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  11. 제10항에 있어서, 상기 가열 요소들은 상기 상부 하우징 유닛에 나란하게 고정된 2개의 가열 로드를 구비하며, 상기 열전달판은 2개의 대향 연부들과 U자형 단면 형태로 이루어지며, 상기 대향 연부들은 상기 U자형 단면 형태로 된 상부 부분을 형성하며, 각각의 대향 연부는 상기 가열 로드중 하나에 근접되고 그 가열로드에 나란하게 하여 상기 하부면에 설치된 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
  12. 제11항에 있어서, 상기 온도 감지 수단은 상기 하부 하우징 유닛에 설치된 열전쌍
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 통합된 화학 증기 전송 모듈.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960704996A 1994-03-10 1995-03-08 액체 소스로 부터 발생된 화학 증기의 통합형 전송장치의 화학증기 전송 모듈 KR100247679B1 (ko)

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