KR880009414A - 강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조방법 - Google Patents

강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR880009414A
KR880009414A KR1019880000020A KR880000020A KR880009414A KR 880009414 A KR880009414 A KR 880009414A KR 1019880000020 A KR1019880000020 A KR 1019880000020A KR 880000020 A KR880000020 A KR 880000020A KR 880009414 A KR880009414 A KR 880009414A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wiring
potato
ferromagnetic
magnetoresistive element
straight line
Prior art date
Application number
KR1019880000020A
Other languages
English (en)
Other versions
KR910002314B1 (ko
Inventor
이찌로오 시바사끼
요시야스 스기모또
Original Assignee
에리 마사요시
아사히가세이고오교 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에리 마사요시, 아사히가세이고오교 가부시끼가이샤 filed Critical 에리 마사요시
Publication of KR880009414A publication Critical patent/KR880009414A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR910002314B1 publication Critical patent/KR910002314B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/30—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/09—Magnetoresistive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00—Galvanomagnetic devices
    • H10N50/01—Manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00—Galvanomagnetic devices
    • H10N50/10—Magnetoresistive devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49082—Resistor making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 7 도, 제 8 도 및 제 9 도는 각각 본 발명에 의한 자기 저항 소자의 실시예의 평면도.

Claims (6)

  1. 강자성체의 자기 저항 소자에 있어서, 복수개의 새로로 향한 감자 소자의 각각이 강자성 효과를 갖는 강자성체의 필름으로 구성되고, 배선부가 상기 감자 소자의 상기 얇은 필름의 저항보다 더 낮은 시트 저항을 갖는 금속 필름으로 구성되며, 상기 배선부가 배선 접속부에서 상기 감자 소자의 각각에 연결되고 상기 접속부에서 상기 감자 소자의 각각의 양측상에 횡방향으로 폭이 넓어지는 것을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자.
  2. 제1항에 있어서, 상기 배선 접속부 근처의 상기 감자 소자의 각 부분의 상기 폭이 그 다른 부분의 폭보다 더 넓은 것을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자.
  3. 제1항에 있어서, 상기 배선 접속부의 각각이 가하학적으로 대칭인 모양을 가짐을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 감자 소자 및 상기 배선부 사이의 그 경계에서 상기 접속부가 2개의 평행 직선상에 있는 1개의 직선 상에 놓여 있으며, 상기 감자 소자가 상기 배선부와 자동 배열 됨을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자.
  5. 제4항에 있어서, 상기 감자 소자 및 상기 배선부 사이의 그 경계에서 상기 접속부가 2개의 평행 직선상에 놓여 있으며, 상기 감자 소자가 상기 배선부와 자동 배열됨을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자.
  6. 기판 상에 개선된 자기 저항 소자를 형성시키는 방법으로, 그런 형식의 소자는 배선에 의하여 연결된 자기 저항 소자를 가지며, 다음의 단계, 기판 상에 직선을 따라 배열된 소자 접속부를 갖는 배선패턴 내 제1층의 도전성 재료를 형성시키는 단계, 기판 상에 직선을 따라 소정의 폭을 가지는 하나 이상의 배성 접속부를 가지는 소자패턴 내 제2층의 도전성 재료를 형성시키는 단계, 상기 제1층 형성단계가 상기 소정의 폭보다 더 큰 거리로 도전성 재료를 신장시키는 단계를 포함하는 방법에 있어서, 상기 제2층 형성 단계는 직선을 따라 소자 접속부 내 내포화 접촉이 되도록 직선을 따라 소자 접속부를 위치시키는 단계를 포함함으로 써 각 소자 접속부가 직선을 따라 각 접촉 배선 접속부의 양측 부분으로 신장됨을 특징으로 하는 강자성체 자기 저항 소자 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880000020A 1987-01-09 1988-01-06 강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조 방법 KR910002314B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62-1808 1987-01-09
JP62001808A JP2587822B2 (ja) 1987-01-09 1987-01-09 強磁性体磁気抵抗素子
JP87-1808 1987-01-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR880009414A true KR880009414A (ko) 1988-09-15
KR910002314B1 KR910002314B1 (ko) 1991-04-11

Family

ID=11511870

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880000020A KR910002314B1 (ko) 1987-01-09 1988-01-06 강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조 방법

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4835510A (ko)
JP (1) JP2587822B2 (ko)
KR (1) KR910002314B1 (ko)
DE (1) DE3800243A1 (ko)
FR (1) FR2609576B1 (ko)
NL (1) NL192232C (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02231586A (ja) * 1989-03-06 1990-09-13 Japan Servo Co Ltd 磁気センサ
US5155643A (en) * 1990-10-30 1992-10-13 Mars Incorporated Unshielded horizontal magnetoresistive head and method of fabricating same
JP2581421Y2 (ja) * 1991-06-17 1998-09-21 株式会社村田製作所 磁気センサ
US5617071A (en) * 1992-11-16 1997-04-01 Nonvolatile Electronics, Incorporated Magnetoresistive structure comprising ferromagnetic thin films and intermediate alloy layer having magnetic concentrator and shielding permeable masses
DE4436876A1 (de) * 1994-10-15 1996-04-18 Lust Antriebstechnik Gmbh Sensorchip
US5784772A (en) * 1995-12-21 1998-07-28 Storage Technology Corporation Method of simultaneously forming MR sensors in a dual element MR head
DE19608730C2 (de) * 1996-03-06 1998-05-28 Siemens Ag Magnetfeldempfindlicher Sensor mit einem Dünnschichtaufbau und Verwendung des Sensors
US20050260331A1 (en) * 2002-01-22 2005-11-24 Xingwu Wang Process for coating a substrate
JP2009194143A (ja) * 2008-02-14 2009-08-27 Elpida Memory Inc 半導体装置
JP2012173206A (ja) * 2011-02-23 2012-09-10 Yamanashi Nippon Denki Kk 磁気センサ及びその製造方法
CN103954927B (zh) * 2014-05-21 2016-03-23 常州天合光能有限公司 体积电阻与方块电阻转换校准装置及其校准方法
EP4117034A4 (en) * 2020-03-05 2023-11-22 TDK Corporation MAGNETIC RECORDING ARRAY, NEUROMORPHIC DEVICE AND CONTROL METHOD FOR MAGNETIC RECORDING ARRAY
JP7173104B2 (ja) 2020-07-21 2022-11-16 Tdk株式会社 磁気センサ

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56172901U (ko) * 1980-05-23 1981-12-21
JPS57171219A (en) * 1981-04-14 1982-10-21 Ishida Scales Mfg Co Ltd Computer scale
CA1209260A (en) * 1982-10-29 1986-08-05 Tetsuo Sekiya Magnetic transducer head using magnetroresistance effect
US4725776A (en) * 1984-01-25 1988-02-16 Matsushita Electric Industry Co., Ltd. Magnetic position detector using a thin film magnetoresistor element inclined relative to a moving object
JPS60194557A (ja) * 1984-03-16 1985-10-03 Nec Corp 混成集積回路
JPS6122677A (ja) * 1984-07-10 1986-01-31 Sanyo Electric Co Ltd 磁気センサの製造方法
JPH0728060B2 (ja) * 1984-07-18 1995-03-29 株式会社日立製作所 磁気低抗素子
JPS6218077A (ja) * 1985-07-16 1987-01-27 Dai Ichi Seiko Co Ltd 磁気抵抗素子

Also Published As

Publication number Publication date
DE3800243C2 (ko) 1993-07-29
NL192232B (nl) 1996-11-01
NL192232C (nl) 1997-03-04
US4835510A (en) 1989-05-30
KR910002314B1 (ko) 1991-04-11
FR2609576B1 (fr) 1994-07-08
DE3800243A1 (de) 1988-07-21
NL8800046A (nl) 1988-08-01
JP2587822B2 (ja) 1997-03-05
FR2609576A1 (fr) 1988-07-15
JPS63170981A (ja) 1988-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR880009414A (ko) 강자성체 자기 저항 소자 및 그 제조방법
KR910007096A (ko) Tab 테이프와 반도체 칩을 접속하는 방법 및 그것에 사용하는 범프시이트와 범프부착 tab 테이프
KR890013786A (ko) 비정질 실리콘 박막 트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법
KR920010872A (ko) 멀티칩 모듈
KR920008899A (ko) 집적회로다이
KR900004014A (ko) 게이트 어레이
KR890011101A (ko) 래터럴 트랜지스터를 구비한 집적 회로
JPH0424983A (ja) 屈曲用フレキシブルプリント基板
KR900002321A (ko) 고저항층을 가지는 반도체장치
KR890015403A (ko) 반도체집적회로장치
KR880001054A (ko) 저항성 회로망
JPH0334348A (ja) セル構造電力用半導体装置
DE3672627D1 (de) Integrierte halbleiterschaltung mit zwei epitaxieschichten aus verschiedenen leitungstypen.
KR910007131A (ko) 마스터 슬라이스 집적 회로 장치
KR920021973A (ko) 유동 측정 소자
KR970030521A (ko) 새로운 패드층을 구비하는 반도체장치
JPS57201062A (en) Semiconductor device
KR910016072A (ko) 반도체장치
KR870005449A (ko) 집적 회로 칩
KR890007404A (ko) 다층 배선 집적 반도체 회로
KR940010302A (ko) 반도체 접속장치
KR920010820A (ko) 반도체 소자의 접속장치 및 그 제조방법
JPS584193Y2 (ja) 多層配線装置
KR930003367A (ko) 주변부에 메탈 배선을 가진 반도체 장치
JPS6482693A (en) Wiring substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20070411

Year of fee payment: 17

EXPY Expiration of term